JP2021197387A - バンプ電極基板の形成方法 - Google Patents
バンプ電極基板の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021197387A JP2021197387A JP2020100616A JP2020100616A JP2021197387A JP 2021197387 A JP2021197387 A JP 2021197387A JP 2020100616 A JP2020100616 A JP 2020100616A JP 2020100616 A JP2020100616 A JP 2020100616A JP 2021197387 A JP2021197387 A JP 2021197387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder
- bump
- flux
- electrode
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 100
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title abstract description 14
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 204
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims abstract description 108
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 59
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000011824 nuclear material Substances 0.000 claims description 28
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 7
- 238000009736 wetting Methods 0.000 abstract description 20
- 239000011800 void material Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 26
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 23
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 19
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 10
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 10
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910017944 Ag—Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020816 Sn Pb Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020836 Sn-Ag Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020830 Sn-Bi Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020888 Sn-Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020922 Sn-Pb Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020988 Sn—Ag Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018728 Sn—Bi Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910019204 Sn—Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910008783 Sn—Pb Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- 229910018956 Sn—In Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910003455 mixed metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002896 organic halogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/20—Preliminary treatment of work or areas to be soldered, e.g. in respect of a galvanic coating
- B23K1/203—Fluxing, i.e. applying flux onto surfaces
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/4007—Surface contacts, e.g. bumps
- H05K3/4015—Surface contacts, e.g. bumps using auxiliary conductive elements, e.g. pieces of metal foil, metallic spheres
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K35/00—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
- B23K35/02—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape
- B23K35/0222—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape for use in soldering, brazing
- B23K35/0244—Powders, particles or spheres; Preforms made therefrom
- B23K35/025—Pastes, creams, slurries
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/4853—Connection or disconnection of other leads to or from a metallisation, e.g. pins, wires, bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
- H01L23/49816—Spherical bumps on the substrate for external connection, e.g. ball grid arrays [BGA]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/42—Printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
- H01L2021/60007—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation involving a soldering or an alloying process
- H01L2021/60022—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation involving a soldering or an alloying process using bump connectors, e.g. for flip chip mounting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
- H01L2021/60277—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation involving the use of conductive adhesives
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/81009—Pre-treatment of the bump connector or the bonding area
- H01L2224/81024—Applying flux to the bonding area
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10227—Other objects, e.g. metallic pieces
- H05K2201/10234—Metallic balls
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3431—Leadless components
- H05K3/3436—Leadless components having an array of bottom contacts, e.g. pad grid array or ball grid array components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3489—Composition of fluxes; Methods of application thereof; Other methods of activating the contact surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
Cu核ボールを使用して積層基板の接合を行う場合、1次実装時にCu核ボール上に不濡れが発生すると、2次実装時において、Cu核ボールが接合されていない側の基板の電極上にはんだペーストが塗付されていたとしても、前述の通り、Ni層の表面に形成された金属間化合物がはんだペーストをはじいてしまうため、不濡れが改善されない場合もある。
図1から図6には、バンプ電極基板の形成方法の一例が示されている。図1は、最初の工程を示すバンプ電極基板の断面図である。基板10には電極14と絶縁膜12が設けられている。これらは例えばプリント基板として提供され得る。そして、基板10に設けられた電極14の上に第1フラックス16を塗布し、はんだ材料を搭載する。第1フラックス16としては、ロジン系樹脂や、アクリル系樹脂・ポリエチレン樹脂等の合成樹脂を用いた樹脂系フラックス、ポリエチレングリコールに代表されるポリアルキレングリコールや末端(アルキル)エステル化ポリアルキレングリコール、末端(アルキル)エーテル化ポリアルキレングリコール、末端アミノ化ポリアルキレングリコール、末端(アルキル)アミノ化ポリアルキレングリコール、末端(アルキル)アミド化ポリアルキレングリコールなどを用いた水溶性フラックス、残渣成分が硬化樹脂となるエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を用いた熱硬化型フラックス等が挙げられるが特に限定されない。また樹脂成分を使用しない、または極少量使用して揮発性の高粘度、または固形溶剤をベース剤として用いる無洗浄フラックスでもよい。更に第1フラックス16は、必要に応じて、樹脂成分のほかに活性剤(有機酸、アミン、有機ハロゲン化合物、アミンハロゲン化水素酸塩等)、チキソ剤、溶剤、その他添加剤(酸化防止剤・消泡剤・着色剤)等が添加されてもよい。後述のフラックスについても第1フラックス16と同じ組成とすることができる。
・核部分24aの組成
一例によれば、核部分24aは、Cu単体の組成とすることもできるし、Cuを主成分とする合金組成とすることもできる。核部分24aを合金により構成する場合、Cuの含有量は50質量%以上である。また、核となるボールとしては、Cu以外にも、Ni、Ag、Bi、Pb、Al、Sn、Fe、Zn、In、Ge、Sb、Co、Mn、Au、Si、Pt、Cr、La、Mo、Nb、Pd、Ti、Zr、Mgの金属単体や合金、金属酸化物、あるいは金属混合酸化物により構成しても良いし、樹脂材料によって構成しても良い。
核部分24aは、スタンドオフ高さを制御する観点から真球度が0.95以上が好ましいが、特に限定はされない。真球度は、より好ましくは0.990以上である。本発明において、真球度とは真球からのずれを表す。真球度は、例えば、最小二乗中心法(LSC法)、最小領域中心法(MZC法)、最大内接中心法(MIC法)、最小外接中心法(MCC法)など種々の方法で求められる。詳しくは、真球度とは、500個の各核部分24aの直径を長径で割った際に算出される算術平均値であり、値が上限である1.00に近いほど真球に近いことを表す。本発明での長径の長さ、および直径の長さとは、ミツトヨ社製のウルトラクイックビジョン、ULTRA QV350−PRO測定装置によって測定された長さをいう。
本発明を構成する核部分24aの直径は特に限定されないが、1〜1000μmであることが好ましい。この範囲にあると、球状の核部分24aを安定して製造でき、また、端子間が狭ピッチである場合の接続短絡を抑制することができる。
・はんだ層24cの組成
はんだ層24cのはんだ組成は特に限定されず、都度最適な組成を選択することができる。例えば、Sn単体の組成とすることもできるし、Snを主成分とする鉛フリーはんだ合金の合金組成とすることもできるし、Sn−Pbはんだ合金の組成とすることもできる。はんだ層24cを合金により構成する場合、鉛フリーはんだ組成の一例としては、例えば、Sn、Sn−Ag合金、Sn−Cu合金、Sn−Bi合金、Sn−Ag−Cu合金、Sn−In合金、およびこれらに所定の合金元素を添加したものが挙げられる。添加する合金元素としては、例えばAg、Cu、In、Ni、Co、Sb、P、Fe、Bi、Ge、Ga、Zn、Mn、Pt、Pd等が挙げられる。はんだ層24cの厚さは、特に制限されないが、例えば100μm(片側)以下であれば十分である。一般には5〜50μmであれば良い。
核材料24を構成する核部分24aについて、材料となるCu材はセラミックのような耐熱性の板である耐熱板に置かれ、耐熱板とともに炉中で加熱される。耐熱板には底部が半球状となった多数の円形の溝が設けられている。溝の直径や深さは、核部分24aの粒径に応じて適宜設定されている。また、Cu細線が切断されて得られたチップ形状のCu材(以下、「チップ材」という。)は、耐熱板の溝内に一個ずつ投入される。
基板10を加熱して常温からはんだの液相温度付近に至る温度に昇温し、核材料24及びはんだバンプ20の第2フラックス22と接している表面の酸化膜を除去する(第1溶融ステップ)。この第1溶融ステップで、第2フラックス22によりはんだバンプ20及び核材料24の第2フラックス22と接している底面側のみの酸化膜が除去される。
(1)不濡れの有無
エポキシ樹脂でモールド後、ストルアス製研磨装置「TegraPol 25」にて断面研磨し、FE−EPMA(電界放出型電子プローブマイクロアナライザ、日本電子製JXA−8530F)を使用し、目視にて下記基準にて評価した。
不濡れが0個:○
不濡れが1個以上:×
(2)継手のボイド有無
透過X線写真 (装置:Nordson Dage製XD7600NT)を使用し、目視にて下記基準にて評価した。
ボイドが0個:○
ボイドが1個以上:×
(3)バンプ高さのばらつき
リアルカラーコンフォーカル顕微鏡 (装置:LaserTec製OPTELICS C130)を使用し、下記基準にて評価した。
バンプの高さばらつきが3μm以下:○
バンプの高さばらつきが3μm超:×
Claims (10)
- 基板に設けられた電極の上に第1フラックスを塗布することと、はんだ材料を搭載することと、
前記基板を加熱し、前記電極にはんだバンプを形成することと、
前記はんだバンプを変形させて、前記はんだバンプに平坦面又は窪み部を設けることと、
前記はんだバンプに第2フラックスを塗付することと、
核部分と、前記核部分の表面を覆うはんだ層とを有する、核材料を、前記はんだバンプの上に搭載することと、
前記基板を加熱し、前記はんだバンプと前記はんだ層によって前記核材料を前記電極に接合することと、を備えたバンプ電極基板の形成方法。 - 前記はんだ材料ははんだボールである請求項1に記載のバンプ電極基板の形成方法。
- 前記はんだ材料はプリフォームはんだである請求項1に記載のバンプ電極基板の形成方法。
- 前記はんだ材料を搭載する際には、前記はんだ材料に前記第1フラックスが塗布された構造が、前記電極の上に搭載される請求項3に記載のバンプ電極基板の形成方法。
- 前記平坦面は、コイニング装置によって形成される請求項1から4のいずれか1項に記載のバンプ電極基板の形成方法。
- 前記核材料はCu核ボールである請求項1から5のいずれか1項に記載のバンプ電極基板の形成方法。
- 前記核材料の形状は円柱又は角柱である請求項1から5のいずれか1項に記載のバンプ電極基板の形成方法。
- 電極と絶縁膜が露出した基板に対しフラックスを塗布することで、前記フラックスが少なくとも前記電極を覆うことと、
前記フラックスの上に、核部分と、前記核部分の表面を覆うはんだ層とを有する、核材料と、はんだ材料とをのせることと、
前記基板を加熱し、前記はんだ層と前記はんだ材料によって前記核材料を前記電極に接合することと、を備えたバンプ電極基板の形成方法。 - 前記フラックスは、前記電極と、前記電極の周囲に塗布され、
前記核材料と前記はんだ材料とを前記フラックスの上にのせる際、前記核材料と前記はんだ材料の一方が前記電極の上にあり、他方は前記絶縁膜の上にある、請求項8に記載のバンプ電極基板の形成方法。 - 前記フラックスは水溶性フラックスであり、前記水溶性フラックスが前記核材料と前記はんだ材料を仮固定する請求項8又は9に記載のバンプ電極基板の形成方法。
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020100616A JP6767665B1 (ja) | 2020-06-10 | 2020-06-10 | バンプ電極基板の形成方法 |
TW110118687A TWI764727B (zh) | 2020-06-10 | 2021-05-24 | 凸塊電極基板的形成方法 |
MYPI2021002886A MY196477A (en) | 2020-06-10 | 2021-05-25 | Method For Forming Bump Electrode Substrate |
BR102021010133-4A BR102021010133B1 (pt) | 2020-06-10 | 2021-05-25 | Método para formar um substrato de eletrodo de saliência |
KR1020210067350A KR102364541B1 (ko) | 2020-06-10 | 2021-05-26 | 범프 전극 기판의 형성 방법 |
MX2021006217A MX2021006217A (es) | 2020-06-10 | 2021-05-27 | Metodo para formar sustrato de electrodo de protuberancia. |
EP21177392.4A EP3923686B1 (en) | 2020-06-10 | 2021-06-02 | Method for forming bump electrode substrate |
PH12021050254A PH12021050254A1 (en) | 2020-06-10 | 2021-06-03 | Method for forming bump electrode substrate |
US17/337,551 US11478869B2 (en) | 2020-06-10 | 2021-06-03 | Method for forming bump electrode substrate |
CN202311229828.XA CN117038474A (zh) | 2020-06-10 | 2021-06-07 | 凸点电极基板的形成方法 |
CN202110631207.9A CN113782450A (zh) | 2020-06-10 | 2021-06-07 | 凸点电极基板的形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020100616A JP6767665B1 (ja) | 2020-06-10 | 2020-06-10 | バンプ電極基板の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6767665B1 JP6767665B1 (ja) | 2020-10-14 |
JP2021197387A true JP2021197387A (ja) | 2021-12-27 |
Family
ID=72745087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020100616A Active JP6767665B1 (ja) | 2020-06-10 | 2020-06-10 | バンプ電極基板の形成方法 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11478869B2 (ja) |
EP (1) | EP3923686B1 (ja) |
JP (1) | JP6767665B1 (ja) |
KR (1) | KR102364541B1 (ja) |
CN (2) | CN113782450A (ja) |
BR (1) | BR102021010133B1 (ja) |
MX (1) | MX2021006217A (ja) |
MY (1) | MY196477A (ja) |
PH (1) | PH12021050254A1 (ja) |
TW (1) | TWI764727B (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08139097A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-05-31 | World Metal:Kk | フリップチップ用接続ボール及び半導体チップの接合方法 |
WO1997018584A1 (fr) * | 1995-11-15 | 1997-05-22 | Citizen Watch Co., Ltd. | Procede de formation de bosse de contact sur un dispositif a semi-conducteurs |
JP2016009740A (ja) * | 2014-06-24 | 2016-01-18 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板の製造方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4752027A (en) * | 1987-02-20 | 1988-06-21 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for solder bumping of printed circuit boards |
US5788143A (en) * | 1992-04-08 | 1998-08-04 | International Business Machines Corporation | Solder particle deposition |
CA2154409C (en) * | 1994-07-22 | 1999-12-14 | Yuzo Shimada | Connecting member and a connecting method using the same |
US5482736A (en) * | 1994-08-04 | 1996-01-09 | Amkor Electronics, Inc. | Method for applying flux to ball grid array package |
JPH09260824A (ja) * | 1996-03-18 | 1997-10-03 | Ibiden Co Ltd | 半田供給用フィルム |
JP3975569B2 (ja) | 1998-09-01 | 2007-09-12 | ソニー株式会社 | 実装基板及びその製造方法 |
US6543674B2 (en) * | 2001-02-06 | 2003-04-08 | Fujitsu Limited | Multilayer interconnection and method |
JP4659262B2 (ja) * | 2001-05-01 | 2011-03-30 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 電子部品の実装方法及びペースト材料 |
US6854633B1 (en) * | 2002-02-05 | 2005-02-15 | Micron Technology, Inc. | System with polymer masking flux for fabricating external contacts on semiconductor components |
JP3886405B2 (ja) | 2002-04-12 | 2007-02-28 | 株式会社リコー | はんだバンプ形成方法及びはんだバンプ形成装置 |
WO2006126361A1 (ja) * | 2005-05-24 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ハンダバンプ形成方法および半導体素子の実装方法 |
US20100044416A1 (en) * | 2008-08-21 | 2010-02-25 | Nec Corporation | Method of manufacturing electronic components having bump |
JP5456545B2 (ja) * | 2009-04-28 | 2014-04-02 | 昭和電工株式会社 | 回路基板の製造方法 |
JP2010263014A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Panasonic Corp | 半導体装置 |
JP5421863B2 (ja) * | 2010-06-28 | 2014-02-19 | 新光電気工業株式会社 | 半導体パッケージの製造方法 |
JP5690554B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2015-03-25 | 昭和電工株式会社 | はんだボールの製造方法 |
KR101278339B1 (ko) | 2010-11-10 | 2013-06-25 | 삼성전기주식회사 | 코이닝 장치 |
JP2013138169A (ja) | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Hitachi Ltd | 貼り合せ基板およびその製造方法 |
JP6197319B2 (ja) * | 2013-03-21 | 2017-09-20 | 富士通株式会社 | 半導体素子の実装方法 |
JP5692314B2 (ja) | 2013-09-03 | 2015-04-01 | 千住金属工業株式会社 | バンプ電極、バンプ電極基板及びその製造方法 |
JP5773106B1 (ja) * | 2014-01-31 | 2015-09-02 | 千住金属工業株式会社 | フラックスコートボール、はんだペースト、フォームはんだ及びはんだ継手 |
KR102420126B1 (ko) | 2016-02-01 | 2022-07-12 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 |
JP2017183571A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US10586782B2 (en) * | 2017-07-01 | 2020-03-10 | International Business Machines Corporation | Lead-free solder joining of electronic structures |
JP6485580B1 (ja) | 2018-06-12 | 2019-03-20 | 千住金属工業株式会社 | Cu核ボール、はんだ継手、はんだペースト及びフォームはんだ |
-
2020
- 2020-06-10 JP JP2020100616A patent/JP6767665B1/ja active Active
-
2021
- 2021-05-24 TW TW110118687A patent/TWI764727B/zh active
- 2021-05-25 MY MYPI2021002886A patent/MY196477A/en unknown
- 2021-05-25 BR BR102021010133-4A patent/BR102021010133B1/pt active IP Right Grant
- 2021-05-26 KR KR1020210067350A patent/KR102364541B1/ko active IP Right Grant
- 2021-05-27 MX MX2021006217A patent/MX2021006217A/es unknown
- 2021-06-02 EP EP21177392.4A patent/EP3923686B1/en active Active
- 2021-06-03 US US17/337,551 patent/US11478869B2/en active Active
- 2021-06-03 PH PH12021050254A patent/PH12021050254A1/en unknown
- 2021-06-07 CN CN202110631207.9A patent/CN113782450A/zh active Pending
- 2021-06-07 CN CN202311229828.XA patent/CN117038474A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08139097A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-05-31 | World Metal:Kk | フリップチップ用接続ボール及び半導体チップの接合方法 |
WO1997018584A1 (fr) * | 1995-11-15 | 1997-05-22 | Citizen Watch Co., Ltd. | Procede de formation de bosse de contact sur un dispositif a semi-conducteurs |
JP2016009740A (ja) * | 2014-06-24 | 2016-01-18 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102364541B1 (ko) | 2022-02-17 |
BR102021010133B1 (pt) | 2022-07-12 |
PH12021050254A1 (en) | 2022-01-03 |
US11478869B2 (en) | 2022-10-25 |
KR20210153532A (ko) | 2021-12-17 |
EP3923686B1 (en) | 2024-04-24 |
JP6767665B1 (ja) | 2020-10-14 |
TW202147472A (zh) | 2021-12-16 |
CN113782450A (zh) | 2021-12-10 |
CN117038474A (zh) | 2023-11-10 |
US20210387276A1 (en) | 2021-12-16 |
TWI764727B (zh) | 2022-05-11 |
EP3923686A1 (en) | 2021-12-15 |
MY196477A (en) | 2023-04-13 |
BR102021010133A2 (pt) | 2021-09-14 |
MX2021006217A (es) | 2022-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107214430B (zh) | 焊锡合金、焊锡膏及电子线路基板 | |
US4740252A (en) | Solder paste for electronic parts | |
KR20190122741A (ko) | 땜납 재료, 땜납 페이스트, 폼 땜납 및 땜납 접합 | |
KR102242388B1 (ko) | 땜납 합금, 땜납 접합 재료 및 전자회로 기판 | |
US6799711B2 (en) | Minute copper balls and a method for their manufacture | |
JP2022506217A (ja) | 混合合金はんだペースト、その製造方法、およびはんだ付け方法 | |
JP3782743B2 (ja) | ハンダ用組成物、ハンダ付け方法および電子部品 | |
JPH1133776A (ja) | 半田材料及びそれを用いた電子部品 | |
JP2023153935A (ja) | はんだペースト | |
JP6767665B1 (ja) | バンプ電極基板の形成方法 | |
JP6156136B2 (ja) | はんだバンプの焼結芯を形成するための芯用ペースト | |
JP6428409B2 (ja) | ハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペースト | |
JP4112946B2 (ja) | 非鉛系接合材、ソルダーペースト及び接合方法 | |
JP5652689B2 (ja) | 電子部品接合構造体の製造方法及び該製造方法により得られた電子部品接合構造体 | |
JP5884513B2 (ja) | Pbフリーはんだ | |
JP7073701B2 (ja) | Au-Sn合金はんだペースト、及びAu-Sn合金はんだペーストを用いた接合方法 | |
JP6267427B2 (ja) | はんだ付け方法及び実装基板 | |
JP6427752B1 (ja) | はんだ合金、はんだ接合材料及び電子回路基板 | |
CN114173983A (zh) | 预制焊料和使用该预制焊料形成的焊料接合体 | |
JP2009200285A (ja) | バンプ及びバンプ接続構造体 | |
JP2005057117A (ja) | はんだ付け方法および接合構造体ならびに電気/電子部品 | |
JPWO2019117041A1 (ja) | ソルダペースト、接合構造体及び接合構造体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200610 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200610 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200625 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200818 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6767665 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |