JP2021196314A - 磁気センサアレイ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気センサアレイ1は複数の磁気センサ10を備える。磁気センサ10は、センサチップを収容するセンサ収容体20と、センサ収容体20に設けられた連結部11,12とを含む。複数の磁気センサ10は、隣接する一方の磁気センサ10に設けられた連結部11と他方の磁気センサ10に設けられた連結部12が互いに軸支されることにより連結されている。これにより、連結部11,12を軸として隣接する2つの磁気センサ10の相対的な角度が可変となるため、測定対象物の表面が曲面であっても複数の磁気センサ10を測定対象物の表面に対して垂直に押し当てることが可能であり、且つ、その状態を容易に維持することができる。
【選択図】図6
Description
10 磁気センサ
11〜14 連結部
15,16 回転軸
20 センサ収容体
21 基板
22 センサチップ
23 集磁体
24,25 絶縁膜
31 差動アンプ
32 電圧測定回路
C1 キャンセルコイル
F フィードバック電流
G1〜G4 グループ
H センサヘッド
M1〜M4 磁気抵抗効果素子
R 抵抗
S1〜S4 側面
Claims (5)
- 複数の磁気センサを備える磁気センサアレイであって、
前記複数の磁気センサのそれぞれは、センサチップと、前記センサチップを収容するセンサ収容体と、前記センサ収容体に設けられた第1及び第2の連結部とを含み、
前記複数の磁気センサは、隣接する一方の磁気センサに設けられた前記第1の連結部と他方の磁気センサに設けられた前記第2の連結部が互いに軸支されることにより連結されていることを特徴とする磁気センサアレイ。 - 前記センサ収容体は、前記磁気センサの感度軸方向に対して垂直なセンサヘッドと、前記感度軸方向と平行であり、互いに反対側に位置する第1及び第2の側面とを有し、
前記第1の連結部は、前記第1の側面の前記センサヘッド近傍に設けられ、
前記第2の連結部は、前記第2の側面の前記センサヘッド近傍に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサアレイ。 - 前記複数の磁気センサは、第1及び第2のグループ含む複数のグループを構成し、
前記第1のグループに属する前記磁気センサの少なくとも一つは、前記センサ収容体に設けられた第3の連結部をさらに含み、
前記第2のグループに属する前記磁気センサの少なくとも一つは、前記センサ収容体に設けられた第4の連結部をさらに含み、
前記第1及び第2のグループは、前記第3の連結部と前記第4の連結部が互いに軸支されることにより連結されていることを特徴とする請求項2に記載の磁気センサアレイ。 - 前記センサ収容体は、前記感度軸方向と平行、且つ、前記第1及び第2の側面と直交し、互いに反対側に位置する第3及び第4の側面をさらに有し、
前記第3の連結部は、前記第3の側面の前記センサヘッド近傍に設けられ、
前記第4の連結部は、前記第4の側面の前記センサヘッド近傍に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の磁気センサアレイ。 - 前記第1の連結部と前記第2の連結部を軸支する回転軸が非磁性材料からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁気センサアレイ。
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