JP2021185421A - カラーフィルタアレイの形成方法および電子デバイスの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタアレイの形成方法および電子デバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図4、図5、図6を用いて、MCFA50の構成および形成方法を説明する。図4はMCFA50の平面図を示し、図4(a)、(b)はMCFA50の形成において図4(c)の状態に至る途中の状態を示している。まず、図4(a)に示す工程Gでは、カラーフィルタアレイ10を形成し、次に、図4(b)に示す工程Bではカラーフィルタアレイ20を形成し、次に、図4(c)に示す工程Rではカラーフィルタアレイ30を形成する。このように、互いに幅の異なるカラーフィルタを含むカラーフィルタアレイ10を、他のカラーフィルタアレイ20、30よりも先に形成する。このようにすることで、互いに幅の異なるカラーフィルタ11〜15を含むカラーフィルタアレイ10の同色のカラーフィルタ11〜15、の厚さの違いを小さくすることができる。
比較形態では、まず、図4(c)に示したカラーフィルタアレイ30を形成する工程Rを行い、次に、図4(b)に示したカラーフィルタアレイ20を形成する工程Bを行い、次に、図4(a)に示したカラーフィルタアレイ10を形成する工程Gを行う。比較形態ではこのように、互いに幅の異なるカラーフィルタを含むカラーフィルタアレイ10を、他のカラーフィルタアレイ20、30よりも後に形成する。そうすると、互いに幅の異なるカラーフィルタ11〜15を含むカラーフィルタアレイ10の同色のカラーフィルタ11〜15の厚さの違いが大きくなってしまう。
第2実施形態では、図3(a)、(b)に示すようにカラーフィルタアレイ10、20、30を、光電変換部101からずらす場合に着目する。図3(a)に示すように、撮像デバイスISの中央部では、カラーフィルタ同士の境界の直下には、多層配線の最上層の配線層230が位置する。一方で、図3(b)に示すように撮像デバイスISの周辺部では、カラーフィルタ同士の境界の直下には、配線層230が位置しない。このように、カラーフィルタ11のうち配線層230に重なる領域の形状は、カラーフィルタ14のうち前記配線層230に重なる領域の形状と異なる。その場合、同色のカラーフィルタをパターニングする際に、同色のカラーフィルタの幅が、配線層230での露光光の反射の有無および強弱によって、異なる場合がある。図9(a)の線Pは撮像デバイスISの周辺部の方が、中央部よりもカラーフィルタの幅が大きくなることを示している。
第3実施形態では、図9(c)に示すように、パターンの開口幅が大きい開口OPXL以外の開口の幅を、中央部では幅OPL、周辺部では幅OPS、中央部と周辺部の間の中間部では幅OPMとなるように設計されたフォトマスク500を用いている。そのため、開口の幅について、OPga>OPgb、OPba>OPbb、OPra>OPrbとなっている。このように、フォトマスク500は、カラーフィルタ膜600のうちカラーフィルタ11となる部分を露光するための幅OPgaを有する開口と、カラーフィルタ膜600のうちカラーフィルタ14となる部分を露光するための幅OPgbを有する開口と、を含む。そして、幅OPgaを有する開口と幅OPgbを有する開口とが並ぶ方向(X方向が対応)において、幅OPgaと幅OPgbが互いに異なる。これによって、上述ハレーションの影響が補償され、現像によって得られたカラーフィルタの幅については、Wga=Wgb、Wba=Wbb、Wra=Wrb、あるいはこれに近い関係を実現することができる。
第4実施形態では、上述したハレーション自体を抑制すべく、基体400は、配線層230とカラーフィルタ膜600、700、800との間に位置する光吸収膜を有する構成にすることができる。ここで光吸収膜とは、カラーフィルタ膜600、700、800のパターニングで用いられる露光光(例えばi線)の吸収率が10%以上である膜を指す。本例では、平坦化膜320を光吸収膜としている。なお、一般的な樹脂の平坦化膜のi線吸収率が2〜3%である。露光光の吸収率は20%以上であることが好ましいが、光吸収膜の露光波長における吸収率を極端に高めると可視光線の吸収率も高まり、感度が低下する可能性があるため、露光光の吸収率は60%以下であってもよい。光吸収膜を透過した露光光は基板100で反射されても再び光吸収膜で吸収されるため、20%以上であれば十分な効果を得ることができる。このように、10%以上の吸収率を有する光吸収膜を配線層230の上に配置すれば、配線層230とカラーフィルタ膜との位置関係の違いによる、ハレーションの程度の違いが生じにくくなる。
600、700 カラーフィルタ膜
10、20 カラーフィルタアレイ
1、2 間隙
11、12、21 カラーフィルタ
Wx11、Wy11、Wx12、Wy12 幅
Claims (1)
- カラーフィルタアレイの形成方法であって、
基体の表面の上に、塗布法を用いて第1カラーフィルタ膜を成膜し、前記第1カラーフィルタ膜をパターニングすることにより第1カラーフィルタアレイを形成する工程と、
前記表面の上に、前記第1カラーフィルタアレイを覆うように、塗布法を用いて第2カラーフィルタ膜を成膜し、前記第2カラーフィルタ膜をパターニングすることにより第2カラーフィルタアレイを形成する工程と、を有し、
前記第1カラーフィルタアレイは、各々が画素を構成する第1のカラーフィルタおよび第2のカラーフィルタを含み、
前記第2カラーフィルタアレイは、前記第1のカラーフィルタと前記第2のカラーフィルタとの間に位置する第3のカラーフィルタを含み、
前記第1のカラーフィルタと前記第2のカラーフィルタとが並ぶ第1方向および前記第1方向に直交する第2方向の少なくとも一方において、前記第1のカラーフィルタの幅と前記第2のカラーフィルタの幅とが互いに異なることを特徴とする形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021124630A JP7155359B2 (ja) | 2017-04-27 | 2021-07-29 | 撮像デバイス、および表示デバイス |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017088511A JP6929119B2 (ja) | 2017-04-27 | 2017-04-27 | カラーフィルタアレイの形成方法および電子デバイスの製造方法 |
JP2021124630A JP7155359B2 (ja) | 2017-04-27 | 2021-07-29 | 撮像デバイス、および表示デバイス |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017088511A Division JP6929119B2 (ja) | 2016-08-29 | 2017-04-27 | カラーフィルタアレイの形成方法および電子デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021185421A true JP2021185421A (ja) | 2021-12-09 |
JP7155359B2 JP7155359B2 (ja) | 2022-10-18 |
Family
ID=64355851
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017088511A Active JP6929119B2 (ja) | 2016-08-29 | 2017-04-27 | カラーフィルタアレイの形成方法および電子デバイスの製造方法 |
JP2021124630A Active JP7155359B2 (ja) | 2017-04-27 | 2021-07-29 | 撮像デバイス、および表示デバイス |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017088511A Active JP6929119B2 (ja) | 2016-08-29 | 2017-04-27 | カラーフィルタアレイの形成方法および電子デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP6929119B2 (ja) |
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2017
- 2017-04-27 JP JP2017088511A patent/JP6929119B2/ja active Active
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2021
- 2021-07-29 JP JP2021124630A patent/JP7155359B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6929119B2 (ja) | 2021-09-01 |
JP7155359B2 (ja) | 2022-10-18 |
JP2018185476A (ja) | 2018-11-22 |
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