JP6772003B2 - カラーフィルタアレイの形成方法および電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
カラーフィルタアレイ10、20の形状の第1実施形態を説明する。
図9は、第1実施形態の図3(a)と同様の基体400(H10<H20)を用いて、図3(c)に対応する段階を異なる段階を経た場合の比較形態を示している。
第2実施形態の第1実施形態との主な違いは2点ある。1点目は、中央部110における表面410の高さH10が、周辺部120における表面420の高さH20よりも高い点(H10>H20)である。2点目は、カラーフィルタ11、12およびそれらの間の間隙1が周辺部120に位置し、カラーフィルタ13、14およびそれらの間の間隙2が中央部110に位置する点である。
第3実施形態の第2実施形態との主な違いは、中央部110における表面410の高さH10と、周辺部120における表面420の高さH20との関係である。
第2実施形態のように、基体400の中央部110における表面410が周辺部120における表面420よりも高い(H10>H20)場合であっても、第3実施形態と同様に色シェーディングを抑制できる。つまり、入射角特性による周辺部120の感度低下が顕著な場合に、中央部110に厚いカラーフィルタ21を配置し、周辺部120に薄いカラーフィルタ22を配置すればよい。そのためには、中央部110に狭い間隙1を配置し、周辺部120に広い間隙2が位置するように、カラーフィルタアレイ10を形成すればよい。
中央部110における感度を周辺部120における感度よりも高めたい場合が想定される。その場合には、中央部110に薄いカラーフィルタ22を配置し、周辺部120に厚いカラーフィルタ21を配置すればよい。そのためには、中央部110に広い間隙2を配置し、周辺部120に狭い間隙1が位置するように、カラーフィルタアレイ10を形成すればよい。
上述した各実施形態において間隙1と間隙2の幅を異ならせる方法の変形例を説明する。
600、700 カラーフィルタ膜
10、20 カラーフィルタアレイ
1、2 間隙
11、12、13、14、21、22 カラーフィルタ
W1、W2 幅
Claims (20)
- カラーフィルタアレイの形成方法であって、
基体の表面の上に、塗布法を用いて第1カラーフィルタ膜を成膜し、前記第1カラーフィルタ膜をパターニングすることにより第1カラーフィルタアレイを形成する工程と、
前記表面の上に、前記第1カラーフィルタアレイを覆うように、塗布法を用いて第2カラーフィルタ膜を成膜し、前記第2カラーフィルタ膜をパターニングすることにより第2カラーフィルタアレイを形成する工程と、を有し、
前記第2カラーフィルタアレイを形成する前の前記第1カラーフィルタアレイは、所定の方向において第1間隙を介して互いに隣り合う第1対のカラーフィルタと、前記所定の方向において、第2間隙を介して互いに隣り合う第2対のカラーフィルタと、を含み、
前記第2カラーフィルタアレイは、前記第1対のカラーフィルタの間に位置する第1のカラーフィルタと、前記第2対のカラーフィルタの間に位置する第2のカラーフィルタと、を含み、
前記所定の方向における前記第1対のカラーフィルタの前記第1間隙を介した間隔は、前記所定の方向における前記第2対のカラーフィルタの前記第2間隙を介した間隔よりも大きく、
前記所定の方向における前記第1のカラーフィルタの幅は、前記所定の方向における前記第2のカラーフィルタの幅よりも大きいことを特徴とする形成方法。 - 前記第1のカラーフィルタおよび前記第2のカラーフィルタのそれぞれは、前記基体の側の面である下面と前記下面とは反対側の面である上面とを有し、
前記表面に沿った平面を基準面として、前記基準面から前記第1のカラーフィルタの前記上面までの距離と前記基準面から前記第2のカラーフィルタの前記上面までの距離とが互いに異なる、請求項1に記載の形成方法。 - 記基準面から前記第2のカラーフィルタの前記上面までの前記距離は、前記基準面から前記第1のカラーフィルタの前記上面までの前記距離よりも大きい、請求項2に記載の形成方法。
- 前記第1のカラーフィルタの厚さと前記第2のカラーフィルタの厚さとの差が、前記基準面から前記第1のカラーフィルタの前記下面までの距離と前記基準面から前記第2のカラーフィルタの前記下面までの距離との差よりも小さい、請求項2または3に記載の形成方法。
- 前記基準面から前記第1のカラーフィルタの前記上面までの距離と前記基準面から前記第2のカラーフィルタの前記上面までの距離の差が、前記基準面から前記第1のカラーフィルタの前記下面までの距離と前記基準面から前記第2のカラーフィルタの前記下面までの距離との差よりも大きい、請求項2または3に記載の形成方法。
- 前記第2対のカラーフィルタの少なくとも一方のカラーフィルタの前記所定の方向における幅は、前記第1対のカラーフィルタの少なくとも一方のカラーフィルタの前記所定の方向における幅よりも大きい、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記第1カラーフィルタアレイに含まれる複数のカラーフィルタは、部分的に連続している、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記第1のカラーフィルタは前記第2カラーフィルタアレイの中央部に位置し、前記第2のカラーフィルタは前記第2カラーフィルタアレイの周辺部に位置する、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記第1のカラーフィルタは前記第2カラーフィルタアレイの周辺部に位置し、前記第2のカラーフィルタは前記第2カラーフィルタアレイの中央部に位置する、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記基体は基板と前記基板の上の膜とを含み、
前記第1のカラーフィルタの下の部分における前記膜の厚さと、前記第2のカラーフィルタの下の部分における前記膜の厚さと、が互いに異なる請求項1乃至9のいずれか1項に記載の形成方法。 - 前記第2カラーフィルタアレイを形成する前の前記第1カラーフィルタアレイは、前記所定の方向を第1方向として、前記第1方向に交差する第2方向において、第3間隙を介して互いに隣り合う第3対のカラーフィルタと、前記第2方向において、第4間隙を介して互いに隣り合う第4対のカラーフィルタと、を含み、
前記第2カラーフィルタアレイは、前記第3対のカラーフィルタの間に位置する第3のカラーフィルタと、前記第4対のカラーフィルタの間に位置する第4のカラーフィルタと、を含み、
前記第2方向における前記第3対のカラーフィルタの前記第3間隙を介した間隔は、前記第2方向における前記第4対のカラーフィルタの前記第4間隙を介した間隔よりも大きく、
前記第2方向における前記第3のカラーフィルタの幅は、前記第2方向における前記第4のカラーフィルタの幅よりも大きい、請求項1乃至10に記載の形成方法。 - 前記第2カラーフィルタ膜の形成をスピンコート法によって行う、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記第1カラーフィルタアレイおよび第2カラーフィルタアレイを覆うように、第3カラーフィルタ膜を成膜し、前記第3カラーフィルタ膜をパターニングすることにより第3カラーフィルタアレイを形成する工程と、を有し、前記第3カラーフィルタ膜は前記第1カラーフィルタ膜よりも厚い、請求項1乃至12のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記第1カラーフィルタ膜の前記パターニングはフォトリソグラフィによって行われ、前記第1カラーフィルタ膜のうち前記第1対のカラーフィルタに対応する部分または前記第1間隙に対応する部分の露光時のフォーカス条件のベストフォーカスからのズレ量が、前記第1カラーフィルタ膜のうち前記第2対のカラーフィルタに対応する部分または前記第2間隙に対応する部分のフォーカス条件のベストフォーカスからのズレ量と異なる、請求項1乃至13のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記第1間隙の前記幅は、前記第2間隙の前記幅の101%以上、110%以下である、請求項1乃至14のいずれか1項に記載の形成方法。
- 前記カラーフィルタアレイはハニカム型またはストライプ型の配置である、請求項1乃至15のいずれか1項に記載の形成方法。
- 基体を形成し、前記基体の上にカラーフィルタアレイを形成する電子デバイスの製造方法であって、
前記カラーフィルタアレイの形成を、請求項1乃至16のいずれか1項に記載の形成方法を用いて行うことを特徴とする製造方法。 - 前記基体の形成は、化学機械研磨法を用いた絶縁層の平坦化を含む、請求項17に記載の製造方法。
- 前記基体は発光層を有する、請求項17または18に記載の製造方法。
- 前記基体は陽極および陰極を有し、前記発光層は前記陽極と前記陰極の間に配されている、請求項19に記載の製造方法。
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