JP3920683B2 - 撮像素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被写体光を光電的に取り込むことで被写体画像を得る撮像素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年急速に普及しているデジタルカメラやビデオカメラの本体内には、被写体光を光電信号に変換して画像を記録するCCDイメージセンサ(以下CCDと略記する)などの撮像素子が組み込まれている。このような撮像素子は、被写体光を受光して光電信号に変換する受光素子などから構成される画素が複数配置された画素領域を備えている。
【0003】
図3は、CCDを用いた撮像素子の構成例である。撮像素子100は、受光素子101と、垂直CCD102と、水平CCD103と、出力バッファ104とで構成される。この撮像素子100では、受光素子101により光電変換された信号電荷が、垂直CCD102、水平CCD103へと順次転送され、出力バッファ104により増幅されて外部に出力される。
【0004】
上記のような構成の撮像素子では、カラー画像を得るために色フィルタが各受光素子上に配置される。図4は、色フィルタの配列の一例を示す配置図である。RGBは、それぞれ赤緑青のフィルタを示し、110が赤の色フィルタ、111が青の色フィルタ、112が緑の色フィルタである。
【0005】
図5は、従来の撮像素子の断面図である。撮像素子120は、基板121、受光素子122、第1保護膜123、色フィルタ124、第2保護膜125、マイクロレンズ126から構成される。基板121に受光素子122が配置される。各受光素子122上には、第1保護膜123を介して色フィルタ124が配置される。また、集光率を向上させるためにマイクロレンズ126が第2保護膜125を介して受光素子122の真上に配置される。これらの受光素子122、色フィルタ124、およびマイクロレンズ126などにより、1つの画素127(図中2点鎖線で囲む部分)が構成され、この画素127が複数配置されて画素領域128が形成される。
【0006】
ところで、このような撮像素子には、画素領域の中央部に比べて周辺部の信号出力が減衰するシェーディングという現象が発生する。このシェーディングは、周辺部へ入射光が斜めに入射して光電変換効率が悪化することに起因する。また、中央部と周辺部で色フィルタの各色毎にズレが生じる色シェーディングという現象も知られている。シェーディングや色シェーディングが発生すると、画素領域の中央部と周辺部で画像や色のバランスが悪くなって、製品の性能を著しく低下させる。
【0007】
一方、前記撮像素子は、入射光量に対する光電変換し得る範囲、所謂ダイナミックレンジが狭いので、高コントラストの被写体を撮像する場合、高輝度部が白一色となる白つぶれ、あるいは低輝度部が黒一色となる黒つぶれの問題がある。
【0008】
この問題を解決する方法として、特開平10−189930号公報には、色フィルタを複数の異なる濃度で形成することにより広いダイナミックレンジを実現させた撮像素子が記載されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平10−189930号公報に記載の撮像素子は、シェーディングや色シェーディングへの対策がなされていないため、汎用性に乏しいという欠点があった。
【0010】
本発明は、画素領域の全面に亘ってシェーディングおよび色シェーディングのない良好な画像を得ることができる撮像素子を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、被写体光を受光して光電信号に変換する受光素子と、この受光素子上に形成された色フィルタとから構成される画素が複数配置された画素領域を備えた撮像素子において、色フィルタの膜厚または濃度を、前記画素領域の中央部から周辺部に向かって徐々に変化させることにより、シェーディングを補正するものである。
【0012】
また、本発明は、色フィルタが複数色で配列され、前記膜厚または濃度の変化量を、各色フィルタ毎に設定することにより、色シェーディングを補正するものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1に、本発明を実施した撮像素子の第1の実施例を示す。撮像素子2は、基板3、受光素子4、第1保護膜5、色フィルタ6、第2保護膜7、マイクロレンズ8から構成される。基板3は、シリコンウエハなどの半導体からなり、この基板3上に受光素子4が配置される。各受光素子4上には、第1保護膜5を介して色フィルタ6が配置される。また、集光率を向上させるためにマイクロレンズ8が第2保護膜7を介して受光素子4の真上に配置される。これらの受光素子4、色フィルタ6、およびマイクロレンズ8などにより、1つの画素9(図中2点鎖線で囲む部分)が構成され、この画素9が複数配置されて画素領域10が形成される。
【0014】
色フィルタ6の膜厚は、画素領域10の中央部(中心線O1で示す部分)から周辺部(矢印X1方向)に向かって徐々に変化する。すなわち、画素領域10の中央部における色フィルタ6の膜厚L1よりも、周辺部における膜厚L2のほうが小になるように徐々に変化する。これに伴い第2保護膜7の膜厚も中央部から周辺部に向かって徐々に大となる。色フィルタ6の膜厚の変化量は、各色フィルタ毎に、色シェーディングを補正するための最適な値に設定される。
【0015】
図2に、本発明を実施した撮像素子の第2の実施例を示す。第1の実施例と同様に、撮像素子20は、基板21、受光素子22、第1保護膜23、色フィルタ24、第2保護膜25、マイクロレンズ26から構成される。基板21は、シリコンウエハなどの半導体からなり、この基板21上に受光素子22が配置される。各受光素子22上には、第1保護膜23を介して色フィルタ24が配置される。また、集光率を向上させるためにマイクロレンズ26が第2保護膜25を介して受光素子22の真上に配置される。これらの受光素子22、色フィルタ24、およびマイクロレンズ26などにより、1つの画素27(図中2点鎖線で囲む部分)が構成され、この画素27が複数配置されて画素領域28が形成される。
【0016】
色フィルタ24の濃度は、画素領域28の中央部(中心線O2で示す部分)から周辺部(矢印X2方向)に向かって徐々に変化する。すなわち、画素領域28の中央部における色フィルタ24の濃度よりも、周辺部における濃度のほうが薄くなるように徐々に変化する。この濃度の変化量は、各色フィルタ毎に、色シェーディングを補正するための最適な値に設定される。
【0017】
第1の実施例では、画素領域10の中央部における色フィルタ6の膜厚L1よりも、周辺部における膜厚L2のほうが小になるように徐々に変化する。このため、膜厚が均一な色フィルタを用いた場合よりも、周辺部における光電変換効率が改善される。また、この膜厚の変化量は、各色フィルタ毎に、色シェーディングを補正するための最適な値に設定される。したがって、画素領域の中央部に比べて周辺部の信号出力が減衰するシェーディングと、中央部と周辺部で色フィルタの各色毎にズレが生じる色シェーディングとを補正することができ、画素領域の全面に亘ってシェーディングおよび色シェーディングのない良好な画像を得ることが可能である。
【0018】
第2の実施例では、画素領域28の中央部における色フィルタ24の濃度よりも、周辺部における濃度のほうが薄くなるように徐々に変化する。このため、濃度が均一な色フィルタを用いた場合よりも、周辺部における光電変換効率が改善される。また、この濃度の変化量は、各色フィルタ毎に、色シェーディングを補正するための最適な値に設定される。したがって、シェーディングと色シェーディングとを補正することができ、画素領域の全面に亘ってシェーディングおよび色シェーディングのない良好な画像を得ることが可能である。
【0019】
なお、撮像素子としては、図3に示すCCDによるものに限らず、MOS型デバイスを用いたものにも本発明を適用できる。また、色フィルタの配列は、図4に示すRGB3色による原色系の構成でもよいし、シアン、イエロー、マゼンタの補色系による構成でもよく、これらを組み合わせて構成されるものでもよい。
【0020】
上記実施形態では、色フィルタの膜厚を変化させる実施例と、濃度を変化させる実施例とを別にして説明したが、これらの実施例を同時に用いた場合についても本発明は有効である。
【0021】
【発明の効果】
以上のように、本発明の撮像素子によれば、色フィルタの膜厚または濃度を、撮像素子に形成された画素領域の中央部から周辺部に向かって徐々に変化させることによりシェーディングを補正し、この膜厚または濃度の変化量を、各色フィルタ毎に設定することにより色シェーディングを補正しているので、画素領域の全面に亘ってシェーディングおよび色シェーディングのない良好な画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施した撮像素子の第1の実施例を示す断面図である。
【図2】撮像素子の第2の実施例を示す断面図である。
【図3】従来の撮像素子の構成例を示す概略図である。
【図4】色フィルタの配列の一例を示す配置図である。
【図5】従来の撮像素子の断面図である。
【符号の説明】
2、20 撮像素子
4、22 受光素子
6、24 色フィルタ
8、26 マイクロレンズ
9、27 画素
10、28 画素領域
Claims (2)
- 被写体光を受光して光電信号に変換する受光素子と、該受光素子上に形成された色フィルタとから構成される画素が複数配置された画素領域を備えた撮像素子において、
前記色フィルタの膜厚または濃度を、前記画素領域の中央部から周辺部に向かって徐々に変化させることにより、シェーディングを補正することを特徴とする撮像素子。 - 前記色フィルタが複数色で配列され、前記膜厚または濃度の変化量を、各色フィルタ毎に設定することにより、色シェーディングを補正することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
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