JP2021158377A - インダクタ、インダクタの製造方法、受動素子および半導体装置 - Google Patents
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(1−1.インダクタの構成)
図1(A)はインダクタ100の上面図であり、図1(B)はインダクタ100のA1−A2間の断面図である。図1(A)および図1(B)に示すように、インダクタ100は、基板110、貫通電極120、溝125、配線130、配線140、溝225、配線230および配線240を備える。
次に、図1に示したインダクタ100の製造方法を図2〜図4を用いて説明する。
よい。このとき、酸化シリコン膜の膜厚は、500nm以上2μm未満であることが望ましい。酸化シリコン膜を形成した後、金属層が形成される。
)を管理することにより制御することができる。また、配線130の線幅は、溝125の幅により決定される。溝125は、基板110を貫通させずに形成されるものであり、基板を貫通した溝よりも細く制御することができる。配線130の幅が細くなることにより、配線130によって構成されるコイルの巻き数を増やすことができる。これにより、インダクタのインダクタンスを向上させることができる。インダクタンスの向上は、インダクタのQ値を高めることにつながる。また、配線130の幅が細くなることにより、配線の高密度化が容易となり、インダクタの小型化が可能となる。したがって、上述の構造および製造方法を用いることにより、高出力かつ小型化したインダクタを提供することが可能となる。また、溝125に配線130が設けられる構成とすることにより、材料コストの削減が可能となる。
次に、構造の異なるインダクタについて説明する。なお、第1実施形態において示した構造、材料、および方法については、その説明を援用する。
は、適宜定電位線に接続されてもよい。
次に、構造の異なるインダクタについて説明する。なお、第1および第2実施形態において示した構造、材料、および方法については、その説明を援用する。
次に、構造の異なるインダクタについて説明する。なお、第1〜第3実施形態において示した構造、材料、および方法については、その説明を援用する。
本実施形態では、第1〜4実施形態で説明したインダクタを含んだ半導体装置について説明する。
本実施形態では、第5実施形態において説明した半導体装置500を電気機器に適用した例について説明する。
本開示の第1実施形態では、インダクタの配線(コイル)が四角形の渦巻き形状を有する例を示したが、これに限定されない。図11(A)は、インダクタ100−5の上面図であり、図11(B)はインダクタ100−5のA1−A2間の断面図である。図12(A)は、インダクタ100−6の上面図であり、図12(B)はインダクタ100−6のA1−A2間の断面図である。図11に示すように、同心円の渦巻き形状を有してもよいし、図12に示すように六角形の渦巻き形状を有してもよい。また、この他にも、インダクタの配線の形状として方形、楕円、非円形状、八角形の巻き線形状を有してもよい。
本開示の第1実施形態では、基板は一つとして説明したが、これに限定されない。図13(A)は、インダクタ100−7の上面図であり、図13(B)はインダクタ100−7のA1−A2間の断面図である。図13(A)および図13(B)に示すように、インダクタ100−7は、基板110、貫通電極120、配線130、配線230、配線240、絶縁層150、配線140の他、配線141、基板111、貫通電極121、配線131および配線231を有する。インダクタ100−7は、外側の配線(つまり配線131および配線230)は、ノイズカット用のガードトレースとして用いられる。これにより、配線130および配線231は、インダクタとして機能させることができ、渦電流損失を低減させることができる。また、立体的にコイルが配置されており、結合係数を高めることができ、Q値を高めることができる。つまり、高出力のインダクタを提供することができる。
また、本開示の第1実施形態では、インダクタ100は、溝を有する例を示したが、これに限定されない。図14(A)は、インダクタ100−8の上面図であり、図14(B)はインダクタ100−8のA1−A2間の断面図である。インダクタ100−8において、溝は貫通するものであってもよい。この場合、他の実施例のインダクタと組み合わせて用いてもよい。
本開示の第1実施形態では、貫通電極120を形成する際に、貫通孔115が充填されるめっきが行われる例を示したが、これに限定されない。図15(A)は、インダクタ100−9の上面図であり、図15(B)はインダクタ100−9のA1−A2間の断面図である。インダクタ100−9において、貫通電極は、コンフォーマルめっき法により形成されてもよい。この場合、貫通孔115、溝125および溝225に対して同時にめっき処理によりが行われ、貫通電極120−9、配線130および配線230が形成される。これにより、インダクタの製造工程を短縮することができる。
本開示の第1実施形態では、基板内に環形状の配線が設けられる例を示したが、これに限定されない。図16(A)は、インダクタ100−10の上面図であり、図16(B)はインダクタ100−10のA1−A2間の断面図である。インダクタ100−10は、基板110、溝125、配線130、絶縁層150および配線140−10を有する。配線140−10は、蛇状の形状を有する。配線140−10は、インダクタとして、機能させてもよいし、抵抗素子または容量素子として機能させてもよい。
本開示の第3実施形態では、インダクタ100−2は、貫通電極120、配線230が有していないが、適宜設けられてもよい。図17(A)は、インダクタ100−11の上面図であり、図17(B)はインダクタ100−11のA1−A2間の断面図である。インダクタ100−11は、基板110、溝125、配線130、孔132−11、構造体133−11、配線140および絶縁層150の他、溝225、配線230、孔232、構造体233、配線240および絶縁層250を有する。インダクタ100−11において、構造体133はそれぞれ分離しているものに限定されない。構造体133−11は配線130を囲むように(例えば枠状に)設けられてもよい。この場合、構造体133−11はノイズカット用のガードトレースとして用いてもよい。また、構造体133−11は、適宜定電位線(例えばGND線)に接続されてもよい。なお、貫通電極120が適宜配置されてもよい。
Claims (13)
- 第1面、および前記第1面と反対側の第2面を有する基板と、
前記第1面および前記第2面の少なくとも一方に設けられた環状の溝と、
前記環状の溝に設けられた配線と、
を含み、
前記環状の溝は、前記基板の前記第1面側に設けられた第1の環状の溝と、前記基板の前記第2面側に設けられた第2の環状の溝と、を含み、
前記第1の環状の溝に設けられた第1の配線と、
前記第2の環状の溝に設けられた第2の配線と、
前記基板に設けられた貫通孔と、
前記基板の前記貫通孔に設けられ、前記第1の配線および前記第2の配線と接続された貫通電極と、
前記環状の溝の周りに設けられた複数の孔と、
前記複数の孔に設けられ、前記配線と同じ材料を含む構造体と、を含み、
前記複数の孔の一部は、枠状に設けられる、
インダクタ。 - 前記第1の環状の溝と、前記第2の環状の溝とは、重なる領域を有する、
請求項1に記載のインダクタ。 - 前記基板は、高抵抗材料を含む、
請求項1または2に記載のインダクタ。 - 前記環状の溝は、渦巻き形状を有する、
請求項1乃至3のいずれか一に記載のインダクタ。 - 前記環状の溝は、同一の面上に複数の渦巻き形状を有する、
請求項4に記載のインダクタ。 - 前記貫通電極および前記配線は、銅を含む、
請求項1に記載のインダクタ。 - 複数の請求項1乃至6のいずれか一に記載のインダクタを含み、
前記複数の前記インダクタの一と、前記複数の前記インダクタの他の一とは、重なって配置され、電気的に接続される、
インダクタ。 - 請求項1乃至6のいずれか一に記載のインダクタと、
断面視において、前記配線と同一面に一方の電極を有する容量素子と、を含む、
受動素子。 - 第1面、および前記第1面の反対側に第2面を有する基板を用い、
前記第1面および前記第2面の少なくとも一方に環状の溝を形成し、
前記環状の溝を塞ぐように、レジストを形成し、
前記基板に貫通孔を形成し、
前記レジストを除去し、
前記基板の前記貫通孔に貫通電極を形成し、
前記環状の溝に配線を形成し、
前記環状の溝の周りに複数の孔を形成し、
前記複数の孔に、前記配線と同じ材料を含む構造体を形成すること、を含み、
前記複数の孔の一部は、枠状に形成される、
インダクタの製造方法。 - 前記貫通電極および前記配線は、銅を含む、
請求項9に記載のインダクタの製造方法。 - 前記配線および前記構造体は、めっき法により形成される、
請求項9または10に記載のインダクタの製造方法。 - 請求項1乃至7のいずれか一に記載のインダクタと、半導体回路基板と、を含む、
半導体装置。 - インダクタであって、
前記インダクタは、
第1面、および前記第1面と反対側の第2面を有する第1基板と、
前記第1面と対向する第3面、および前記第3面と反対側の第4面を有する第2基板と、
前記第1面に設けられた第1の環状の溝と、
前記第2面に設けられた第2の環状の溝と、
前記第3面に設けられた第3の環状の溝と、
前記第4面に設けられた第4の環状の溝と、
前記第1の環状の溝に設けられた第1配線と、
前記第2の環状の溝に設けられた第2配線と、
前記第3の環状の溝に設けられた第3配線と、
前記第4の環状の溝に設けられた第4配線と、
前記第1基板に設けられた第1貫通孔と、
前記第1基板の前記第1貫通孔に設けられ、前記第1配線および前記第2配線と接続された第1貫通電極と、
前記第2基板に設けられた第2貫通孔と、
前記第2基板の前記第2貫通孔に設けられ、前記第3配線および前記第4配線と接続された第2貫通電極と、を含み、
前記第1の環状の溝と、前記第3の環状の溝とは、重なる領域を有し、
前記第1配線および前記第3配線は、前記インダクタ用の配線として機能し、
前記第2配線および前記第4配線は、ノイズカット用のガードトレースとして機能する、
インダクタ。
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