JP2021150413A - 半導体記憶装置および半導体記憶装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】コンタクトが下層の導電層とショートしてしまうのを抑制すること。【解決手段】実施形態の半導体記憶装置は、複数の導電層と複数の絶縁層とが1層ずつ交互に積層され、複数の導電層の端部が階段状となった階段部を備える積層体と、積層体を貫通し、複数の導電層の各々の高さ位置にメモリセルを有するピラーと、階段部に配置され、複数の導電層のうちの最下層の導電層からn番目(nは2以上の整数)の導電層に、側面で接続されるコンタクトと、複数の導電層のうちの最下層の導電層から(n−1)番目の導電層内に埋め込まれ、コンタクトの下方の位置に配置される導電部材、及び導電部材を囲う絶縁部材を含み、周囲を取り巻く(n−1)番目の導電層から絶縁された領域と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体記憶装置および半導体記憶装置の製造方法に関する。
3次元不揮発性メモリでは、積層された複数の導電層を引き出すため、導電層の端部を階段状とし、そこに複数のコンタクトが配置される。この場合に、コンタクトが接続対象の導電層を貫通して下層の導電層とショートしてしまうのを抑制する必要がある。
本発明の実施形態は、コンタクトが下層の導電層とショートしてしまうのを抑制することができる半導体記憶装置および半導体記憶装置の製造方法を提供することを目的とする。
実施形態の半導体記憶装置は、複数の導電層と複数の絶縁層とが1層ずつ交互に積層され、前記複数の導電層の端部が階段状となった階段部を備える積層体と、前記積層体を貫通し、前記複数の導電層の各々の高さ位置にメモリセルを有するピラーと、前記階段部に配置され、前記複数の導電層のうちの最下層の導電層からn番目(nは2以上の整数)の導電層に、側面で接続されるコンタクトと、前記複数の導電層のうちの最下層の導電層から(n−1)番目の導電層内に埋め込まれ、前記コンタクトの下方の位置に配置される導電部材、及び前記導電部材を囲う絶縁部材を含み、周囲を取り巻く前記(n−1)番目の導電層から絶縁された領域と、を備える。
以下に、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の実施形態により、本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるものあるいは実質的に同一のものが含まれる。
[実施形態1]
以下、図面を参照して、実施形態1について詳細に説明する。
以下、図面を参照して、実施形態1について詳細に説明する。
(半導体記憶装置の構成例)
図1は、実施形態1にかかる半導体記憶装置1の構成例を示す断面図である。なお、実施形態1の半導体記憶装置1における上下方向は、後述する階段部SRの形状に基づき規定される。具体的には、階段部SRのテラス部TRR、つまり、階段部SRの各段における絶縁層OLの露出面が向いた方向を、半導体記憶装置1における上方向とする。
図1は、実施形態1にかかる半導体記憶装置1の構成例を示す断面図である。なお、実施形態1の半導体記憶装置1における上下方向は、後述する階段部SRの形状に基づき規定される。具体的には、階段部SRのテラス部TRR、つまり、階段部SRの各段における絶縁層OLの露出面が向いた方向を、半導体記憶装置1における上方向とする。
図1に示すように、半導体記憶装置1はソース線SLを備える。ソース線SLは、例えばn−ウェル内にp−ウェルが設けられ、ソース線SLとして機能するシリコンウェハ等の半導体基板の上部領域である。または、ソース線SLは、半導体基板の上方に別途設けられてもよい。この場合、ソース線SLは、例えばポリシリコン等の導電性の材料から構成される。
ソース線SL上には、複数の導電層としてのワード線WLと、複数の絶縁層OLとが1層ずつ交互に積層された積層体LMが配置される。ワード線WLは、例えばタングステンまたはモリブデン等の導電体から構成される。絶縁層OLは、例えばSiO2等の絶縁性の材料から構成される。ワード線WLの積層数は任意である。絶縁層OLは、任意の層数の個々のワード線WL間に配置される。
図1(a)に示すように、積層体LMは中央付近にセルアレイ領域CAを有する。セルアレイ領域CAには複数のピラーPLが配置されている。個々のピラーPLは、積層体LMの積層方向に積層体LMを貫通してソース線SLに到達する。ピラーPL内には、ピラーPLの内壁側から順に、ブロック絶縁層BLK、電荷蓄積層CHT、トンネル絶縁層TNL、及びチャネル層CHNが配置されている。チャネル層CHNは、ピラーPLの底面にも配置され、ソース線SLと接続される。ピラーPL内のチャネル層CHNの更に内側にはコア層CORが充填されている。
ブロック絶縁層BLK、トンネル絶縁層TNL、及びコア層CORは例えばSiO2等から構成される。電荷蓄積層CHTは例えばSiN等から構成される。チャネル層CHNは、例えばα−Siまたはポリシリコン等から構成される。
積層体LM上には、コンタクトCHを有する絶縁層MLが配置される。絶縁層ML上には、ビット線BLを有する絶縁層TLが配置される。絶縁層MLを貫通するコンタクトCHは、ピラーPLのチャネル層CHNと、絶縁層TLのビット線BLとを接続する。
このように構成されることで、個々のワード線WLとピラーPLとの交差位置には、個々のワード線WLの高さ位置に並ぶメモリセルMCが形成される。ワード線WLから所定の電圧を印加することで、メモリセルMCの電荷蓄積層CHTに電荷が蓄積されるなどしてメモリセルMCにデータが不揮発に書き込まれる。また、ワード線WLから所定の電圧を印加することで、メモリセルMCが保持するデータがビット線BLに読み出される。
ただし、積層体LMの最上層および最下層のワード線WLを含む幾つかのワード線WLは、選択ゲート線として機能してもよい。選択ゲート線とピラーPLとの交差部には、メモリセルMCの代わりに選択ゲートが形成される。選択ゲートがオンまたはオフすることで、その選択ゲートが属するピラーPLのメモリセルMCを選択状態または非選択状態とすることができる。
図1(b)に示すように、積層体LMは、外縁付近に階段部SRを有する。階段部SRでは、複数のワード線WLの端部が階段状となって終端している。階段部SRの個々の段STGは、終端した2つのワード線WLとそれらのそれぞれの上層の絶縁層OLとの端部で構成されるステップ部STPと、その段STGに属する最上層の絶縁層OLが露出したテラス部TRRとを有する。
階段部SRは、セルアレイ領域CAの方向へ向かって昇段していく。図1(b)の断面位置では、ワード線WLは、最下層のワード線WLより2層目のワード線WLから2層ずつ昇段している。後述するように、他の断面位置では、ワード線WLは、最下層のワード線Wlから2層ずつ昇段する。これにより、ワード線WLの1層1層が、階段部SRの各段STGのテラス部TRRに引き出される。
階段部SRの各段STGのテラス部TRRにはコンタクトCCが配置される。コンタクトCCは例えばタングステン等の金属から構成される。階段部SRは、例えば積層体LMの上面と等しい高さまで層間絶縁層ILに覆われている。コンタクトCCは、上述の絶縁層MT、層間絶縁層IL、及び個々の段STGにおいて上面に露出した絶縁層OLを貫通し、絶縁層OL下層のワード線WLに接続される。
層間絶縁層IL上には、上述の絶縁層MLと、コンタクトV0を有する上述の絶縁層TLとが、この順に配置される。絶縁層TLを貫通するコンタクトV0は、コンタクトCCと、図示しない上層配線等とを接続する。
最上層のワード線WLに接続されるコンタクトCCを含む上層側のコンタクトCCの下方には、コンタクトCCが配置される位置と上面視で重なる位置に台座PDが配置されている。
台座PDの上端部は、その台座PDが設けられたコンタクトCCが接続されるワード線WL内に配置される。台座PDの下端部は、台座PDが設けられたコンタクトCCが接続されるワード線WLのうち、最下層のワード線WLの、少なくとももう1層下のワード線WLを貫通する深さ位置まで達する。
図1(b)の例では、台座PDは、最上層のワード線WL及びそのもう2層下のワード線WLに、それぞれ接続されるコンタクトCCの下方に配置されている。それぞれの台座PDの上端部は、最上層のワード線WL内、及びもう2層下のワード線WL内に配置されている。それぞれの台座PDの下端部はいずれも、最上層のワード線WLの2層下のワード線WLの更にもう1層下のワード線、つまり、最上層のワード線WLの3層下のワード線WLを貫通する深さ位置まで到達している。
ただし、これらの台座PDの下端部が、より深い位置に達していてもよく、例えば積層体LMを貫通してソース線SLに到達していてもよい。
台座PDは、例えばSiO2等から構成される絶縁部材INと、例えばα−Si等から構成される導電部材CRとを有する。ただし、導電部材CRはポリシリコン等から構成されてもよい。絶縁部材INは、台座PDの内壁面および底面に沿って薄く配置されている。導電部材CRは絶縁部材INの更に内側に充填されている。
これにより、例えば台座PDが貫通しているワード線WLは絶縁領域ARを有する。絶縁領域ARはワード線WLにおいて台座PDが占める領域である。換言すれば、絶縁領域ARは、導電部材CRを取り囲む絶縁部材INによって区画される領域である。絶縁部材INに取り囲まれることで、絶縁領域ARは周囲を取り巻くワード線WLから絶縁されている。
台座PDの側壁を構成する絶縁部材INの外壁は、コンタクトCCの側壁と連続する平面から構成される。すなわち、台座PDと接するコンタクトCCの底部の径と、コンタクトCCと接する台座PDの上部の径とは略等しく、コンタクトCCの側壁と台座PDの側壁とは略一体に形成されている。
台座PDの中央部に配置される導電部材CRの上端部は、例えば台座PDの外縁部に配置される絶縁部材INの上端部よりも突出した凸部CRpを有する。一方、コンタクトCCは、例えば底面の中央部に凹部CCrを有する。この台座PDの導電部材CRの凸部CRpが、コンタクトCCの凹部CCrに嵌め合わされることで、台座PDの導電部材CRの上端部とコンタクトCCの下端部とが接続されている。すなわち、コンタクトCCと台座PDの導電部材CRとの間には、例えばワード線WLが介在しない。
図2は、実施形態1にかかる半導体記憶装置1の階段部SRの構成例を示す斜視図である。
図2に示すように、半導体記憶装置1の階段部SRは、セルアレイ領域CAへと向かう方向と直交する方向において例えば2列に分割されている。つまり、階段部SRは、セルアレイ領域CAへと向かって昇段する2列の階段を有している。
セルアレイ領域CAの方向と直交する方向に並ぶ2列の階段のうち、一方は他方に比べて1段、つまり、ワード線WL1層分だけ高い階段となっている。また、セルアレイ領域CAへと向かう方向においては、2列の階段はそれぞれが、セルアレイ領域CAへ向かってワード線2層分ずつ昇段する。このように階段部SRが構成されることにより、積層体LMの端部においてワード線WLを1層ずつ引き出すことができる。
図1及び図2には示されないが、半導体記憶装置1は、メモリセルMCの動作に寄与する周辺回路を備える。周辺回路は、図示しないトランジスタを半導体基板上に備える。上述のソース線SLが半導体基板である場合、周辺回路は積層体LMの外側に、積層体LMの横方向に並んで配置される。上述のソース線SLが半導体基板上方に別途設けられている場合、周辺回路は積層体LMの下方の半導体基板の近傍に配置される。
(半導体記憶装置の製造方法)
次に、図3〜図7を用いて、実施形態1の半導体記憶装置1の製造方法について説明する。図3〜図7は、実施形態1にかかる半導体記憶装置1の製造方法の手順の一例を示す断面図である。
次に、図3〜図7を用いて、実施形態1の半導体記憶装置1の製造方法について説明する。図3〜図7は、実施形態1にかかる半導体記憶装置1の製造方法の手順の一例を示す断面図である。
以下、ピラーPLの形成方法と階段部SRの形成方法とについて、順次説明していく。まずは、ピラーPLの形成方法について説明する。
図3(a)に示すように、ソース線SL上に、複数の第2の絶縁層としての犠牲層NLと、複数の第1の絶縁層としての絶縁層OLとを1層ずつ交互に積層した積層体LMsを形成する。犠牲層NLは、後述するリプレース処理でワード線WLとなる層であって、例えばタングステン等の導電体と置き換え可能なSiN等から構成される。
図3(b)に示すように、積層体LMsを貫通してソース線SLに到達する複数のメモリホールMHを形成する。
図3(c)に示すように、それぞれのメモリホールMHに、メモリホールMHの内壁側から順に、ブロック絶縁層BLK、電荷蓄積層CHT、トンネル絶縁層TNL、チャネル層CHN、及びコア層CORを形成する。チャネル層CHNはメモリホールMHの底面にも形成される。以上により、複数のピラーPLが形成される。
次に、階段部SRの形成方法について説明する。
図4(a)に示すように、階段部SRとなる領域にまで延伸して形成された積層体LMsの端部を階段状に加工して、階段部SRを形成する。階段部SRを例えば積層体LMsの上面の高さまで第3の絶縁層としての層間絶縁層ILで覆う。
上記のような階段部SRの加工は、例えば後述するレジストパターンのスリミング技術を用いて行うことができる。すなわち、積層体LMs上に形成したレジストパターンの端部をスリミングにより後退させながら、露出した積層体LMsを上層から所定の層数ずつ除去していくことで、ステップ部STPとテラス部TRRとを含む段STGを複数有する階段部SRを形成することができる。
このとき、2列の階段のうち1列分の階段の、最上層の絶縁層OLと、その下層の犠牲層NLとを、予め除去しておく。これにより、もう1列の階段に対して、後にワード線WLとなる犠牲層NLの1層分だけ低くなった階段を形成することができる。
なお、図3(a)〜(c)に示す処理と、図4(a)に示す処理とは、処理の順番を入れ替え可能である。
図4(b)に示すように、層間絶縁層IL上に絶縁層MLを形成する。絶縁層MLは、セルアレイ領域CAの積層体LMs上にも形成される。
図4(c)に示すように、階段部SRの最上段および最上段の1段下の上方位置に、絶縁層ML、層間絶縁層IL、及び積層体LMsの所定深さの犠牲層NLまで貫通する複数のホールHLを形成する。これにより、例えば最上段に最上層の犠牲層NLからその3層下の犠牲層NLまで貫通するホールHLと、最上段の1段下に最上層の2層下の犠牲層NL及びそのもう1層下の犠牲層NLまで貫通するホールHLと、の2つのホールHLが形成される。
図5(a)に示すように、絶縁層MLを覆うように絶縁部材INを形成する。このとき、ホールHL内の側壁および底面にも絶縁部材INが形成される。絶縁部材INによってホールHL内が充填されてしまうことがないよう、絶縁部材INは充分に薄く形成される。
図5(b)に示すように、ホールHL内の側壁および底面の絶縁部材INを覆って、第1の導電部材としての導電部材CRを形成する。このとき、導電部材CRは充分に厚く形成され、ホールHL内が導電部材CRで充填される。絶縁層ML上の絶縁部材INを覆う導電部材CRは除去される。
図5(c)に示すように、絶縁層OL間の犠牲層NLを除去し、タングステン等の導電体を絶縁層OL間に充填してワード線WLを形成する。犠牲層NLの除去および導電体の充填は、図示しないスリットを介して行われる。スリットは、積層体LMsを貫通し、セルアレイ領域CAから階段部SRにまで延びる溝として形成される。つまり、スリットは図5(c)における断面と平行に形成される。
これにより、セルアレイ領域CAから階段部SRまでの犠牲層NLがワード線WLに置き換えられる。積層体LMs全体の犠牲層NLがワード線WLに置き換わることで、ワード線WLと絶縁層OLとが交互に積層された積層体LMが形成される。
なお、犠牲層NLを導電体に置き換えてワード線WLを形成する上記のような処理をリプレースと呼ぶことがある。
図6(a)に示すように、階段部SRの絶縁層ML上に、絶縁部材INを介してレジストパターンPR1を形成する。レジストパターンPR1の端部からは、2つのホールHLのうち、階段部SRの最上段の1段下に形成されたホールHLが露出した状態とする。そして、露出したホールHL内から、ホールHL内に充填された導電部材CRを所定深さまでエッチバックする。
図6(b)に示すように、レジストパターンPR1をO2プラズマ等によりスリミングしてレジストパターンPR1の端部を後退させ、2つのホールHLのうちのもう1つのホールHL、つまり、階段部SRの最上段に形成されたホールHLも露出させる。
そして、最上段のホールHL内に充填された導電部材CRを所定深さまでエッチバックする。このとき、先に露出していた最上段の1段下のホールHL内の導電部材CRが更に深い位置までエッチバックされる。
これにより、最上段のホールHL内では、導電部材CRの上端部の高さが例えば最上層のワード線WL内の高さ位置となる。また、当初より露出していた最上段の1段下のホールHL内では、導電部材CRの上端部の高さが例えば最上層から2層目のワード線WL内の高さ位置となる。
換言すれば、2つのホールHL内の導電部材CRの上端部が、上記の高さ位置となるよう図6(a)(b)の処理を適宜調整して実行する。
このときにも、2列の階段のうち1列分の階段の導電部材CRを、予め所定深さまでエッチバックしておく。これにより、もう1列の階段に対して、犠牲層NLの1層分だけ低くなった導電部材CRをホールHL内に残すことができる。
図7(a)に示すように、ウェットエッチング等により、2つのホールHLの側面の絶縁部材INを所定深さまで除去し、2つのホールHL内における最上層のワード線WLの側面をそれぞれのホールHL内に露出させる。
つまり、最上段のホールHL内においては、少なくとも最上層のワード線WLの側面が露出する。このとき、このホールHL内に残った導電部材CRの上端部より深い位置まで、ホールHLの側面の絶縁部材INが除去されることにより、導電部材CRの上端部が絶縁部材INの高さ位置から突出した凸部CRpを有することとなってもよい。ただし、ホールHLの側面の絶縁部材INの上端部の位置は、最上層のワード線WLのもう1層下のワード線WLの上面の高さ位置より高くなっていなければならない。
また、最上段の1段下のホールHL内においては、少なくとも最上層から2層目のワード線WLの側面が露出する。このとき、このホールHL内に残った導電部材CRの上端部より深い位置まで、ホールHLの側面の絶縁部材INが除去されることにより、導電部材CRの上端部が絶縁部材INの高さ位置から突出した凸部CRpを有することとなってもよい。ただし、ホールHLの側面の絶縁部材INの上端部の位置は、最上層から2層目のワード線WLのもう1層下のワード線WLの上面の高さ位置より高くなっていなければならない。
以上により、2つのホールHL内に、それぞれ台座PDが形成される。またこのとき、絶縁層MLの上面の絶縁部材INも除去される。
図7(b)に示すように、絶縁層ML上にレジストパターンPR2を形成する。レジストパターンPR2は、最上段および最上段の1段下の段よりも下方の各段の上方位置に開口を有する。最上段および最上段の1段下の位置に形成済みの2つのホールHLは、レジストパターンPR2により塞がれている。なお、これらのホールHLは充分に浅いので、これらのホールHL内には略完全に、レジストパターンPR2を構成するレジスト材が充填された状態となる。
レジストパターンPR2をマスクとして、絶縁層MLから各段のワード線WLにそれぞれ到達する複数のコンタクトホールHLcを形成する。その後、レジストパターンPR2を除去する。
図7(c)に示すように、レジストパターンPR2で塞がれていた2つのホールHL内、及びレジストパターンPR2をマスクに形成された複数のコンタクトホールHLc内にタングステン等の第2の導電部材としての導電材を充填する。絶縁層ML上に形成された導電材はCMP(Chemical Meachanical Polishing)等により除去する。
これにより、2つのホールHL内には、最上層および最上層から2層目のワード線WLにそれぞれ側面で接続し、下端部に台座PDが配置されたコンタクトCCが形成される。これらのコンタクトCCは、例えば下端部に凹部CCrを有し、それらの凹部CCrには台座PDの導電部材CRの凸部CRpが嵌め合わせられている。
また、上記により、これらのホールHLの下方のコンタクトホールHLc内には、それぞれのワード線WLの少なくとも上面と接続する複数のコンタクトCCが形成される。
これ以降、セルアレイ領域CAの絶縁層MLを貫通し、ピラーPLのチャネル層CHNに接続されるコンタクトCHが形成される。また、セルアレイ領域CA及び階段部SRの絶縁層ML上に絶縁層TLが形成される。また、セルアレイ領域CAの絶縁層TLにコンタクトCHと接続されるビット線BLが形成される。また、階段部SRの絶縁層TLを貫通してコンタクトCCに接続されるコンタクトV0が形成される。コンタクトV0の更に上方には、コンタクトV0と接続する上層配線等が形成される。
以上により、実施形態1の半導体記憶装置1が製造される。
(比較例)
図8は、比較例にかかる半導体記憶装置の構成例を示す断面図である。比較例の半導体記憶装置では、最上層から最下層のワード線WL’にそれぞれ接続されるコンタクトホールを一括して形成する。このため、例えば最上層等の上層側のワード線WL’を接続対象とするコンタクトホールが、接続対象のワード線WL’を貫通して下層のワード線WL’にまで到達してしまうことがある。
図8は、比較例にかかる半導体記憶装置の構成例を示す断面図である。比較例の半導体記憶装置では、最上層から最下層のワード線WL’にそれぞれ接続されるコンタクトホールを一括して形成する。このため、例えば最上層等の上層側のワード線WL’を接続対象とするコンタクトホールが、接続対象のワード線WL’を貫通して下層のワード線WL’にまで到達してしまうことがある。
図8に示すように、このようなコンタクトホールに導電体を充填してコンタクトCC’を形成すると、本来の接続対象であるワード線WL’と、その下層のワード線WL’とがコンタクトCC’により導通し、ショート不良DFを起こしてしまう。
実施形態1の半導体記憶装置1によれば、最上層を含む上層側のワード線WLに接続されるコンタクトCCの下層のワード線WL内に台座PDを有する。このような台座PDは、例えば所定深さのホールHL内に形成され、コンタクトCCの接続対象のワード線WLの下層のワード線WLから絶縁されている。そして、例えばコンタクトCCの接続対象となるワード線WLのみが露出したホールHL内に、導電材を埋め込んでコンタクトCCが形成される。
このように、予め周囲から絶縁された台座PDの上方に導電材を埋め込むことでコンタクトCCが形成されるので、上層側においてコンタクトホールHLcを形成する必要が無く、コンタクトホールHLcが接続対象のワード線WLを貫通してしまうのが抑制される。これにより、コンタクトCCが下層のワード線WLとショートしてしまうのを抑制することができる。
またこのように、上層側においてコンタクトホールHLcを形成する必要が無い実施形態1の構成は、ワード線WLの積層数が増すほど、接続対象のワード線WLの貫通を抑制し、ワード線WLがショートしてしまうのを抑制する効果がよりいっそう得られやすい。
実施形態1の半導体記憶装置1によれば、台座PDの側壁は、コンタクトCCの側壁と連続する平面から構成される。つまり、コンタクトCCとその下方に配置される台座PDとは、同一のホールHL内に形成されている。これにより、コンタクトCCを形成する際、コンタクトCCの形成位置が台座PDからずれてしまうことを抑制できる。
[実施形態2]
以下、図面を参照して、実施形態2について詳細に説明する。実施形態2の半導体記憶装置2では、上層側だけでなく下層側のワード線WLに接続されるコンタクトCCの下方にも台座PDmが配置されている点が、上述の実施形態1とは異なる。
以下、図面を参照して、実施形態2について詳細に説明する。実施形態2の半導体記憶装置2では、上層側だけでなく下層側のワード線WLに接続されるコンタクトCCの下方にも台座PDmが配置されている点が、上述の実施形態1とは異なる。
(半導体記憶装置の構成例)
図9は、実施形態2にかかる半導体記憶装置2の構成例を示す断面図である。なお、実施形態2の半導体記憶装置2における上下方向も、階段部SRのテラス部TRRが向いた方向を上方向として規定される。
図9は、実施形態2にかかる半導体記憶装置2の構成例を示す断面図である。なお、実施形態2の半導体記憶装置2における上下方向も、階段部SRのテラス部TRRが向いた方向を上方向として規定される。
図9に示すように、セルアレイ領域CAは、例えば上述の実施形態1のセルアレイ領域CAと同様に構成される。
階段部SRでは、各段STGのコンタクトCCの下方に台座PDmが配置されている。つまり、台座PDmは、最上層のワード線WLに接続されるコンタクトCCから、最下層から2層目のワード線WLに接続されるコンタクトCCまでの各コンタクトCCの下方に配置されている。
台座PDmの上端部は、その台座PDmが設けられたコンタクトCCが接続されるワード線WL内に配置される。台座PDmの下端部は、少なくとも最下層のワード線WLを貫通する深さ位置まで達する。より具体的には、台座PDmは例えばソース線SLまで到達している。
台座PDmの内壁面、及びソース線SLと接する底面には、例えばSiO2等から構成される絶縁部材INが薄く配置されている。絶縁部材INの内側には、例えばα−Siまたはポリシリコン等から構成される導電部材CRが充填されている。
これにより、例えば台座PDmが貫通しているワード線WLは、そのワード線WLから絶縁された絶縁領域ARを有する。
台座PDmと接するコンタクトCCの底部の径と、コンタクトCCと接する台座PDmの上部の径とは略等しく、コンタクトCCの側壁と台座PDmの側壁とは略一体に形成されている。
コンタクトCCの底面は、台座PDmの導電部材CRの上面と接続される。つまり、コンタクトCCと台座PDの導電部材CRとの間には、例えばワード線WLが介在しない。
ここで、図9の例では、台座PDmの導電部材CRの上端部は、台座PDの絶縁部材INの上端部と略等しい高さ位置にあるが、複数の台座PDmのうち、例えば上層側のワード線WLと接続されるコンタクトCCの下方の導電部材CR等の一部の導電部材CR、または全部の導電部材CRが、実施形態1と同様、凸部を有していていもよい。また、これに伴い、コンタクトCCの下端部が凹部を有し、コンタクトCCの凹部に導電部材CRの凸部が嵌め合わせられていてもよい。
(半導体記憶装置の製造方法)
次に、図10〜図12を用いて、実施形態2の半導体記憶装置2の製造方法について説明する。図10〜図12は、実施形態2にかかる半導体記憶装置2の製造方法の手順の一例を示す断面図である。
次に、図10〜図12を用いて、実施形態2の半導体記憶装置2の製造方法について説明する。図10〜図12は、実施形態2にかかる半導体記憶装置2の製造方法の手順の一例を示す断面図である。
セルアレイ領域CAは、例えば上述の実施形態1の図3の処理と同様の処理により形成される。
図10(a)は、上述の実施形態1の図4(c)の処理に対応する処理の様子を示す図である。すなわち、これまでに、積層体LMsから構成される階段部SRが形成され、層間絶縁層ILで階段部SRが覆われ、その上に絶縁層MLが形成済みである。
図10(a)に示すように、階段部SRの各段の上方位置に、絶縁層ML、層間絶縁層IL、及び積層体LMsを貫通し、ソース線SLに到達するホールHLmをそれぞれ形成する。
図10(b)に示すように、絶縁層ML、並びにホールHLm内の側壁および底面を覆うように絶縁部材INを形成する。絶縁部材INを介してホールHLm内が充填されるよう導電部材CRを形成する。絶縁層ML上の絶縁部材INを覆う導電部材CRは除去される。
図10(c)に示すように、図示しないスリットを介して、絶縁層OL間の犠牲層NLを除去し、タングステン等の導電体を絶縁層OL間に充填してワード線WLを形成する。これにより、ワード線WLと絶縁層OLとが交互に積層された積層体LMが形成される。
図11(a)に示すように、階段部SRの絶縁層ML上に、絶縁部材INを介してレジストパターンPR3を形成する。レジストパターンPR3の端部からは、階段部SRの最下段の位置に形成されたホールHLmが露出している。そして、露出したホールHLm内に充填された導電部材CRを所定深さまでエッチバックする。
図11(b)に示すように、レジストパターンPR3をスリミングしながら、レジストパターンPR3の端部から順次、上段側のホールHLmを露出させ、露出したホールHLm内の導電部材CRをエッチバックする。これにより、最下段に近い方のホールHLmでは、導電部材CRがより深い位置までエッチバックされ、最上段に近い方のホールHLmでは、導電部材CRがより浅くエッチバックされる。
図12(a)に示すように、階段部SRの各段における最上層のワード線WLの高さ位置まで、導電部材CRがエッチバックされた状態で、ウェットエッチング等により、各ホールHLmの側面の絶縁部材INを所定深さまで除去し、各ホールHLm内における最上層のワード線WLの側面をそれぞれのホールHLm内に露出させる。
このとき、上述の実施形態1の図7(a)の処理のように、各段に形成されるホールHLm内の導電部材CRのうち、一部の導電部材CRまたは全部の導電部材CRの上端部が絶縁部材INの上端部から突出する凸部を有することとなってもよい。この場合、導電部材CR及び絶縁部材INの上端部がより浅い位置にある上段側において、導電部材CRがより突出した状態となりやすいと考えられる。
これにより、階段部SRの各段に台座PDmが形成される。
図12(b)に示すように、各ホールHLm内にタングステン等の導電材を充填する。絶縁層ML上に形成された導電材はCMP等により除去する。
これにより、各ホールHLm内には、各ホールHLmにおける最上層のワード線WLにそれぞれ側面で接続し、下端部に台座PDmが配置されたコンタクトCCが形成される。このとき、導電部材CRが上端部に凸部を有することにより、コンタクトCCの下端部に凹部が形成され、これらの凸部に凹部が嵌め合わされてもよい。
これ以降、上述の実施形態1の処理と同様の処理が実施され、コンタクトCH,V0、ビット線BL、その他の上層配線等が形成される。
以上により、実施形態2の半導体記憶装置2が製造される。
実施形態2の半導体記憶装置2によれば、上述の実施形態1の半導体記憶装置1と同様の効果を奏する。
上述の実施形態1の半導体記憶装置1は、2列の階段を有する階段部SRを備えることとした。しかし、半導体記憶装置の階段部は、1列の階段を有し、セルアレイ領域に向かってワード線が1層分ずつ昇段する構成を有していてもよい。また、階段部は、3列以上の階段を有し、セルアレイ領域に向かってワード線が3層分以上ずつ昇段する構成であってもよい。
上述の実施形態1の半導体記憶装置1は、積層体LMの側方または下方に周辺回路を備えることとした。しかし、半導体記憶装置は、例えば積層体の上方に周辺回路を備えていてもよい。このような構成は、例えば、周辺回路が配置された半導体基板とは別基板に積層体が形成された後、周辺回路が配置された半導体基板に積層体が貼り合わせられることで得られる。この場合においても、積層体はソース線上に形成され、ソース線と共に周辺回路の半導体基板に貼り合わされる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1,2…半導体記憶装置、AR…絶縁領域、CC…コンタクト、PD,PDm…台座、LM…積層体、MC…メモリセル、NL…犠牲層、OL…絶縁層、PL…ピラー、WL…ワード線。
Claims (5)
- 複数の導電層と複数の絶縁層とが1層ずつ交互に積層され、前記複数の導電層の端部が階段状となった階段部を備える積層体と、
前記積層体を貫通し、前記複数の導電層の各々の高さ位置にメモリセルを有するピラーと、
前記階段部に配置され、前記複数の導電層のうちの最下層の導電層からn番目(nは2以上の整数)の導電層に、側面で接続されるコンタクトと、
前記複数の導電層のうちの最下層の導電層から(n−1)番目の導電層内に埋め込まれ、前記コンタクトの下方の位置に配置される導電部材、及び前記導電部材を囲う絶縁部材を含み、周囲を取り巻く前記(n−1)番目の導電層から絶縁された領域と、を備える、
半導体記憶装置。 - 前記絶縁部材の外壁は、前記コンタクトの側壁と連続する平面から構成される、
請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記コンタクトの下端部は前記導電部材の上端部に接続されている、
請求項1または請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 前記コンタクトは下端部に凹部を有し、
前記導電部材は上端部に凸部を有し、
前記凸部が前記凹部に嵌め合わされている、
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。 - 複数の第1の絶縁層と、後に導電層へと置き換えられる複数の第2の絶縁層とが1層ずつ交互に積層された積層体を形成し、
前記積層体に前記複数の第2の絶縁層の端部が階段状となった階段部を形成し、
前記階段部を第3の絶縁層で覆い、
少なくとも前記第3の絶縁層の上面から延び、前記階段部の最下段からn番目(nは2以上の整数)の段における、前記複数の第2の絶縁層のうちの最下層の第2の絶縁層から(n−1)番目の第2の絶縁層を貫通する貫通孔を形成し、
前記(n−1)番目の第2の絶縁層内に埋め込まれる第1の導電部材、及び前記第1の導電部材を囲う絶縁部材を含み、前記(n−1)番目の第2の絶縁層が前記導電層に置き換えられたときには、周囲を取り巻く前記(n−1)番目の導電層から絶縁されることとなる領域を前記貫通孔内に形成し、
前記貫通孔内に第2の導電部材を充填して、前記n番目の第2の絶縁層に接続されるコンタクトを形成する、
半導体記憶装置の製造方法。
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