JP2021144789A - 磁界レンズの制御方法および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
磁界レンズの制御方法であって、
前記磁界レンズの励磁電流と前記磁界レンズの焦点距離との関係を表す関係式を用いて、前記磁界レンズを所定の焦点距離とする前記磁界レンズの励磁電流を算出する工程と、
算出された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズの加工誤差に基づき補正することによって、前記磁界レンズの焦点距離のずれを補正する工程と、
補正された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズに供給する工程と、
を含む。
磁界レンズと、
前記磁界レンズを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記磁界レンズの励磁電流と前記磁界レンズの焦点距離との関係を表す関係式を用いて、前記磁界レンズを所定の焦点距離とする前記磁界レンズの励磁電流を算出する処理と、
算出された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズの加工誤差に基づき補正することによって、前記磁界レンズの焦点距離のずれを補正する処理と、
補正された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズに供給する処理と、
を行う。
1.1. 電子顕微鏡
まず、第1実施形態に係る電子顕微鏡について説明する。図1は、第1実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を示す図である。
をヨーク24に閉じ込め、ヨーク24に形成されたレンズギャップ26から、磁界を漏洩させて、光軸L上に磁界をつくる。レンズギャップ26は、ヨーク24に形成された隙間である。
ズ40の焦点距離との関係を示す関係式を用いて、対物レンズ40を設定された焦点距離としたときの励磁電流を算出する。次に、制御部70は、算出された励磁電流を、対物レンズ40の加工誤差に基づき補正することによって、対物レンズ40の加工誤差に由来する対物レンズ40の焦点距離のずれを補正する。そして、制御部70は、補正された励磁電流を、対物レンズ40に供給する。
次に、電子顕微鏡100における磁界レンズの制御方法について説明する。
まず、磁界レンズの励磁電流を補正する手法について説明する。第1実施形態では、理想的なレンズにおける励磁電流と焦点距離との関係を表す関係式で求めた励磁電流を、磁界レンズの加工誤差を考慮した補正式を用いて補正する。以下、この補正式について説明する。
加工誤差を含んだ実レンズに理想レンズと等しい焦点距離を持たせるためには、式(1.6)を用いて励磁E2を計算すればよい。
、次式(2.2)のように表される。
次に、制御部70の処理について説明する。ここでは、対物レンズ40を制御する処理について説明する。
補正できる。これにより、加工誤差に由来する対物レンズ40の焦点距離のずれを補正できる。なお、式(1.6)のs1は、処理S12で用いた式(1.2)のs1の値である。また、式(1.6)のb1は、処理S12で用いた式(1.2)のb1の値である。また、式(1.6)のA,Bは、処理S12で用いた式(1.2)のA,Bの値である。
電子顕微鏡100では、制御部70は、磁界レンズの励磁電流と磁界レンズの焦点距離との関係を表す関係式を用いて、磁界レンズを所定の焦点距離とする磁界レンズの励磁電流を算出する処理と、算出された磁界レンズの励磁電流を磁界レンズの加工誤差に基づき補正することによって、磁界レンズの焦点距離のずれを補正する処理と、補正された磁界レンズの励磁電流を、磁界レンズに供給する処理と、を行う。
上述した実施形態では、集束レンズ20の加工誤差δを求めるための励磁電流の測定は、対物レンズ40の励磁を零として行い、対物レンズ40の加工誤差δを求めるための励磁電流の測定は、集束レンズ20の励磁を零として行った。
2.1. 電子顕微鏡
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡について説明する。
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡における磁界レンズの制御方法について説明する。
次に、制御部70の処理について説明する。ここでは、対物レンズ40を制御する処理について説明する。
第2実施形態に係る電子顕微鏡では、制御部70は、磁界レンズの焦点距離のずれを補正する処理(S22)において、算出された磁界レンズの励磁電流を磁界レンズの加工誤差および加速電圧の誤差に基づき補正することによって、磁界レンズの焦点距離のずれを補正する。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
Claims (7)
- 磁界レンズの制御方法であって、
前記磁界レンズの励磁電流と前記磁界レンズの焦点距離との関係を表す関係式を用いて、前記磁界レンズを所定の焦点距離とする前記磁界レンズの励磁電流を算出する工程と、
算出された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズの加工誤差に基づき補正することによって、前記磁界レンズの焦点距離のずれを補正する工程と、
補正された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズに供給する工程と、
を含む、磁界レンズの制御方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記磁界レンズの焦点距離のずれを補正する工程では、
算出された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズの加工誤差および加速電圧の誤差に基づき補正することによって、前記磁界レンズの焦点距離のずれを補正する、磁界レンズの制御方法。 - 磁界レンズと、
前記磁界レンズを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記磁界レンズの励磁電流と前記磁界レンズの焦点距離との関係を表す関係式を用いて、前記磁界レンズを所定の焦点距離とする前記磁界レンズの励磁電流を算出する処理と、
算出された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズの加工誤差に基づき補正することによって、前記磁界レンズの焦点距離のずれを補正する処理と、
補正された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズに供給する処理と、
を行う、荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源に、荷電粒子線を加速させるための加速電圧を供給する電源と、
を含み、
前記磁界レンズの焦点距離のずれを補正する処理では、
算出された前記磁界レンズの励磁電流を、前記磁界レンズの加工誤差および前記加速電圧の誤差に基づき補正することによって、前記磁界レンズの焦点距離のずれを補正する、荷電粒子線装置。
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