JP2021142724A - 圧電アクチュエータ及び記録ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧電素子列毎の駆動ノズル数に対する吐出液滴速度変動のばらつきを防止し、高品質の画像形成を行うことが可能な圧電アクチュエータ及び記録ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】複数の圧力発生室６と、複数の圧力発生室６に対応して設けられた複数の圧電素子１６ａ，１６ｂと、各圧電素子１６ａ，１６ｂをそれぞれ保持する複数の保持部４２ｄ，４２ｅを有する導電性のベース部材４２とを備え、ベース部材４２は、少なくとも隣り合う保持部４２ｄ，４２ｅ同士が互いに電気的に不通となるように構成されている圧電アクチュエータ４１。【選択図】図１０

Description

本発明は、圧電アクチュエータ及びこれを備えた記録ヘッド及びこれを備えた液滴吐出装置に関する。

インク吐出用のノズルを備えた記録ヘッドに対して転写シート等の被記録媒体を相対的に移動させつつ、印字信号に応じて記録ヘッドからインクを吐出させることにより被記録媒体上にインク液滴を付着させ、そのインクドットによって被記録媒体上に画像を形成する液滴吐出装置としてのインクジェット記録装置が知られている。このインクジェット記録装置としては、記録が必要なときにのみインクの微小液滴を吐出するオンデマンド方式のものが主流となっている。

液滴吐出装置としては、インクを充填した液室の壁部の一部に振動板を設け、圧電アクチュエータ等により振動板を変位させて液室内の圧力を高めてノズルからインク液滴を吐出させる圧電式と、通電によって発熱する発熱体を液室内に設け、発熱体の発熱により生じる気泡によって液室内の圧力を高めてインク液滴を吐出させるサーマル式とが知られている。何れの方式においても、液滴吐出装置を駆動させるための駆動回路からの駆動信号により圧力発生源を駆動させ、記録ヘッドに設けられたノズルからインク液滴を吐出させて被記録媒体上に付着させている。

上述した圧電式では、液室内の液体であるインクを加圧する圧力を発生させるための圧力発生手段として圧電素子、特に圧電層と内部電極とを交互に積層した積層型圧電部材を用いている。そして、この積層型圧電部材の変位により液室の壁面を構成する弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内の容積及び圧力を変化させて液滴を吐出させる圧電アクチュエータを用いた圧電型の記録ヘッドが知られている。
この圧電型の記録ヘッドでは、その両端面に個別外部電極及び共通外部電極が形成されており、下面には共通外部電極と導通した電極が形成された積層型圧電部材がステンレス等の導電性部材に接着されて設けられている。積層型圧電部材は、その一部を残して溝加工が施され、複数の圧電素子が直線上に並んだ列が形成されており、複数の圧電素子を駆動部及び非駆動部として使用している。

上述の記録ヘッドを用いる液滴吐出装置では、高画質化が困難であるという問題点があった。この問題の解決方法として、吐出液滴速度の変動を抑制する技術が知られており、吐出液滴速度が変動する要因としては、圧電素子の駆動数に伴う圧電素子駆動電圧の変動（負荷変動）が挙げられる。一つの記録ヘッドには複数列の圧電素子が存在しており、列毎に負荷変動が異なると列間で吐出液滴速度差が生じて画質に影響を及ぼす。列毎に負荷変動が異なる原因として、圧電素子の駆動電流が流れる共通電極と圧電素子を固定するベースとの間での電気的な接触抵抗のばらつきが挙げられる。
そこで、振動板電極を引き出すための振動板電極引き出しパッド部に振動板を構成する構造体上へ金属膜を形成し、振動板電極を記録ヘッド内の複数箇所から引き出す技術が知られている（例えば「特許文献１」参照）。

しかし上述の技術では、圧電素子の共通電極と圧電素子を固定する金属ベースとの固定方法において電気的な接触抵抗にばらつきが生じ、駆動ノズルに対する吐出液滴速度変動が圧電素子列毎にばらつき、被記録媒体への液滴の着弾位置が乱れて画像品質が向上しないという問題点がある。
本発明は、上述した問題点を解決し、圧電素子列毎の駆動ノズル数に対する吐出液滴速度変動のばらつきを防止し、高品質の画像形成を行うことが可能な圧電アクチュエータ及び記録ヘッド及び液滴吐出装置の提供を目的とする。

請求項１記載の発明は、複数の圧力発生室と、前記複数の圧力発生室に対応して設けられた複数の圧電素子と、前記各圧電素子をそれぞれ保持する複数の保持部を有する導電性のベース部材とを備え、前記ベース部材は、少なくとも隣り合う前記保持部同士が互いに電気的に不通となるように構成されていることを特徴とする。

本発明によれば、隣り合う圧電素子同士が電気的に接続されることが防止され、これにより圧電素子に加わる駆動波形に影響が及ばず、圧電素子の列毎における負荷変動のばらつきを防止でき、圧電素子の列毎における駆動ノズル数に対する吐出液滴速度変動のばらつきを防止できる。

本発明の一実施形態を適用可能な記録ヘッドを説明する概略図である。 本発明の一実施形態を適用可能な記録ヘッドを説明する概略図である。 本発明の一実施形態を適用可能な記録ヘッドを説明する概略図である。 従来の圧電アクチュエータを説明する概略図である。 従来の圧電アクチュエータにおける問題点を説明する概略図である。 従来の圧電アクチュエータにおける問題点を説明する概略図である。 図４を電気回路記号で表した図である。 図５を電気回路記号で表した図である。 図６を電気回路記号で表した図である。 本発明の第１の実施形態に係る圧電アクチュエータを説明する概略図である。 本発明の第２の実施形態に係る圧電アクチュエータを説明する概略図である。 図１０，図１１を電気回路記号で表した図である。 本発明の記録ヘッドを搭載可能な液滴吐出装置の概略斜視図である。 本発明の記録ヘッドを搭載可能な液滴吐出装置の概略正面図である。

図１は、本発明の一実施形態に適用可能な記録ヘッドを示している。同図において記録ヘッド１は、インク供給口２（図３参照）及び共通液室３が形成されたフレーム４と、流体抵抗部５及び圧力発生室６及び導入部７が形成された流路板８ａ，８ｂ，８ｃと、ノズル９が形成されたノズル板１０とを備えている。さらに記録ヘッド１は、凸部１１及びダイヤフラム部１２及びインク流入口１３を有する振動板１４と、接着剤１５を介して凸部１１に接合された積層圧電素子１６と、積層圧電素子１６を固定しているベース部材１７とを備えている。ベース部材１７はステンレス材によって形成されており、積層圧電素子１６を二列配置して接合している。

積層圧電素子１６は、一層当たりの厚さ１０〜５０μｍのチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層１８と、一層当たりの厚さ数μｍの銀パラジウム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層１９とを交互に積層して形成されている。内部電極層１９は、その両端において外部電極に接続している。
積層圧電素子１６は、ハーフカットのダイシング加工により櫛歯状に分割形成されており、一つ毎に駆動部２０と支持部（非駆動部）２１（共に図２参照）として機能する。外部電極の外側は、ハーフカットのダイシング加工で分割されるように切欠等の加工によって長さを制限されており、外側部分の一方は複数の個別電極２２となる。また、外部電極の外側部分の他方はダイシングでは分割されず、導通していて共通電極２３となる。
駆動部２０の個別電極２２にはフレキシブル基板（ＦＰＣ）２４が半田によって接合されており、共通電極２３は積層圧電素子１６の端部に電極層を設けて回し込まれ、フレキシブル基板２４の接地電極に接合されている。フレキシブル基板２４には図示しないドライバＩＣが実装されており、これにより駆動部２０への駆動電圧印加が制御されている。共通電極２３は、接着剤１５によってベース部材１７に固定されている。

振動板１４は、薄膜部材であるダイヤフラム部１２と、ダイヤフラム部１２の中央に形成され駆動部２０となる積層圧電素子１６と接合する島状の凸部（アイランド部）１１と、支持部２１に接合する梁を含む厚膜部と、電鋳工法によるニッケル合金メッキ膜を二層重ねて形成されたインク流入口１３となる開口とを備えている。凸部１１と駆動部２０及び振動板１４とフレーム４との固定は、ギャップ材を含んだ接着剤１５をパターニングして接着することにより行われる。
各流路板８ａ，８ｂ，８ｃは、ステンレス材に流体抵抗部５、圧力発生室６、導入部７となる貫通穴をそれぞれエッチング加工によって形成することによりそれぞれ構成されている。各流路板８ａ，８ｂ，８ｃにおいて、同一箇所がエッチング加工で残された部分は、圧力発生室６の隔壁２５（図２参照）となる。

上述した記録ヘッド１では、例えば積層圧電素子１６に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって積層圧電素子１６が収縮し、振動板１４のダイヤフラム部１２が図１において下方に引き下げられ、圧力発生室６の容積が膨張して圧力発生室６内に液体が流入する。
その後、積層圧電素子１６に印加する電圧を上げて積層圧電素子１６を積層方向に伸長させ、振動板１４のダイヤフラム部１２が図１において上方に移動することにより、圧力発生室６の容積が収縮して圧力発生室６内の液体が加圧され、ノズル９から液体が吐出される。

ここで、上述した記録ヘッド１における従来の問題点を説明する。
図４は、記録ヘッド１において、二つの積層圧電素子１６ａ及び１６ｂと、ステンレス材からなる金属製のベース部材１７とを備えた圧電アクチュエータ２８の概略図である。積層圧電素子１６ａ，１６ｂは、それぞれ接着剤１５によってベース部材１７に固定されており、駆動電圧供給側の個別電極２２ａ，２２ｂ及び駆動電圧接地端子側の共通電極２３ａ，２３ｂがそれぞれ設けられている。共通電極２３ａ，２３ｂは、高負荷駆動時の電圧降下を抑制するために積層圧電素子１６ａ，１６ｂとベース部材１７とが接着される面まで領域を広げられており、共通電極２３ａ，２３ｂとベース部材１７とは接着剤１５で固定されている。

この構成により、通常であれば共通電極２３ａ，２３ｂとベース部材１７とは接着剤１５によって絶縁されているが、図５に示すように共通電極２３ａ，２３ｂ及びベース部材１７の表面に微小な凹凸部２６が存在する場合がある。この場合には、共通電極２３ａ，２３ｂとベース部材１７とが点接触して導通状態となり、共通電極２３ａ，２３ｂとベース部材１７とが導通状態となると、ベース部材１７を介して共通電極２３ａと共通電極２３ｂとが導通状態となる。
共通電極２３ａ，２３ｂとベース部材１７との間は、凹凸部２６による点接触の発生状況に応じて接触抵抗にばらつきが生じる。この接触抵抗のばらつきが積層圧電素子１６に加わる駆動波形に影響を及ぼし、列毎の駆動ノズル数に対する吐出液滴速度変動のばらつきを生じさせる。

上述した問題点である、共通電極２３ａ，２３ｂとベース部材１７との接触抵抗のばらつきを低減させる方法として、図６に示すように、接着剤１５に代えて導電性接着剤２７を用いた圧電アクチュエータ２９を用いる方法が挙げられる。この構成によれば、共通電極２３ａ，２３ｂとベース部材１７との電気的接続が点接触から面接触へと変化し、微小な凹凸部２６による点接触の発生状況に左右されることなく、接触抵抗を低い値で一定にすることができる。
しかし、導電性接着剤２７は基剤中の金属粒子を接着面に接触させているため、接着強度が低下するという問題点がある。また、他の方法として、ベース部材１７を金属から樹脂等の非導電性部材に置換した圧電アクチュエータを用いる方法も考えられるが、この方法ではベース部材が金属製に比して軽量となるため、積層圧電素子１６の機械的動作時に生じる反力の受け止めが弱くなるという問題点がある。
図４、図５、図６に示す構成をそれぞれ電気回路記号で表した図を、図７、図８、図９に示す。各図において、符号３０，３１は積層圧電素子１６ａ，１６ｂの駆動電圧を、３２，３３は個別電極２２ａ，２２ｂの抵抗を、３４，３５は共通電極２３ａ，２３ｂの抵抗を、３６，３７は積層圧電素子１６ａ，１６ｂの駆動電圧接地端子を、３８はベース部材１７の抵抗を、３９，４０は共通電極２３ａ，２３ｂとベース部材１７との間の接触抵抗をそれぞれ示している。

上述した問題点を解決する本発明の第１の実施形態を以下に説明する。
図１０は、本発明の第１の実施形態に係る圧電アクチュエータ４１を示している。この圧電アクチュエータ４１は、上述した圧電アクチュエータ２８と比較すると、ベース部材１７に代えてベース部材４２を用いている点において相違しており、他の構成は同一である。

ベース部材４２は、ベース部材１７と同様に金属からなる二つのベース部材本体４２ａ，４２ｂと、各ベース部材本体４２ａ，４２ｂを互いに連結する非導電性の連結部材４２ｃとから構成されている。ベース部材本体４２ａは、その上面に積層圧電素子１６ａの共通電極２３ａを保持する保持部４２ｄを有しており、保持部４２ｄには接着剤１５によって積層圧電素子１６ａが固定される。ベース部材本体４２ｂは、その上面に積層圧電素子１６ｂの共通電極２３ｂを保持する保持部４２ｅを有しており、保持部４２ｅには接着剤１５によって積層圧電素子１６ｂが固定される。
ベース部材４２において、連結部材４２ｃによって互いに連結された各ベース部材本体４２ａ，４２ｂ間には、各ベース部材本体４２ａ，４２ｂ間における電気の導通を阻止するための隙間４２ｆが設けられている。各ベース部材本体４２ａ，４２ｂは、ねじ止め等の方法によって連結部材４２ｃにそれぞれ固定されている。
図１０に示す構成を、電気回路記号で表した図を、図１２に示す。

上述の構成により、隙間４２ｆにより共通電極２３ａと共通電極２３ｂとが電気的に接続されることが防止され、これにより積層圧電素子１６に加わる駆動波形に影響が及ばず、積層圧電素子１６の列毎における負荷変動のばらつきを防止でき、積層圧電素子１６の列毎における駆動ノズル数に対する吐出液滴速度変動のばらつきを防止できる。
上述した実施形態では、各ベース部材本体４２ａ，４２ｂを連結する連結部材４２ｃを用いたが、各ベース部材本体４２ａ，４２ｂ間に隙間４２ｆを形成した状態で各ベース部材本体４２ａ，４２ｂをそれぞれ固定できるのであれば、連結部材４２ｃは必ずしも必要ではない。

図１１は、本発明の第２の実施形態に係る圧電アクチュエータ７１を示している。この圧電アクチュエータ３０は、上述した圧電アクチュエータ２８と比較すると、ベース部材１７に代えてベース部材７２を用いている点において相違しており、他の構成は同一である。
ベース部材７２は、ベース部材１７と同様に金属からなる二つのベース部材本体７２ａ，７２ｂと、各ベース部材本体７２ａ，７２ｂ間に挟持された絶縁体からなる絶縁部材７２ｃとから構成されている。ベース部材本体７２ａは、その上面に積層圧電素子１６ａの共通電極２３ａを保持する保持部７２ｄを有しており、保持部７２ｄには接着剤１５によって積層圧電素子１６ａが固定される。ベース部材本体７２ｂは、その上面に積層圧電素子１６ｂの共通電極２３ｂを保持する保持部７２ｅを有しており、保持部７２ｅには接着剤１５によって積層圧電素子１６ｂが固定される。

各ベース部材本体７２ａ，７２ｂ間には、各ベース部材本体７２ａ，７２ｂ間における電気の導通を阻止するための絶縁部材７２ｃが設けられている。絶縁部材７２ｃは、接着等の方法によって各ベース部材本体７２ａ，７２ｂに固定されており、各ベース部材本体７２ａ，７２ｂは絶縁部材７２ｃを介して一体化されている。絶縁部材７２ｃとしては、厚みがあるものよりはビニル等のように厚みが薄いものの方が、ベース部材７２の重量変化が少なく好ましい。
図１１に示す構成を、電気回路記号で表した図は、図１２と同様となる

上述の構成により、絶縁部材７２ｃにより共通電極２３ａと共通電極２３ｂとが電気的に接続されることが防止され、これにより積層圧電素子１６に加わる駆動波形に影響が及ばず、積層圧電素子１６の列毎における負荷変動のばらつきを防止でき、積層圧電素子１６の列毎における駆動ノズル数に対する吐出液滴速度変動のばらつきを防止できる。
上述した実施形態では、各ベース部材本体７２ａ，７２ｂを絶縁部材７２ｃによって一体化する構成を採用したが、各ベース部材本体４２ａ，４２ｂを上述した連結部材４２ｃと同様の部材によって一体化する構成を採用してもよい。

次に、上述した記録ヘッド１を搭載した液滴吐出装置としてのインクジェット記録装置を図１３及び図１４に基づいて説明する。
液滴吐出装置としてのインクジェット記録装置４３は、その装置本体内部に主走査方向に対して移動可能であり記録ヘッド１を搭載するキャリッジ４４を有している。また装置本体内部には、記録ヘッド１にインクを供給するインクタンク４５等で構成される液滴吐出ユニット４６等が収納されている。装置本体の下部には、前方側から多数枚の被記録媒体である転写シート４７を積載可能な給紙カセット（給紙トレイでもよい）４８が抜き差し自在に装着されている。さらに装置本体には、転写シート４７を手差しで給紙する際に開放される手差しトレイ４９が配設されている。インクジェット記録装置４３は、給紙カセット４８または手差しトレイ４９から給紙される転写シート４７を取り込み、液滴吐出ユニット４６によって所望の画像を記録した後、画像形成後の転写シート４７を後面側に配設された排紙トレイ５０に排出する。

液滴吐出ユニット４６は、図示しない左右の側板に掛け渡されたガイド部材である主ガイドロッド５１と従ガイドロッド５２とキャリッジ４４とを、主走査方向に向けて摺動自在に保持している。キャリッジ４４には、イエロ（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色インク液滴を吐出する各記録ヘッド１が設けられている。
またキャリッジ４４には、各記録ヘッド１に各色インクを供給する各インクタンク４５が交換可能に装着されている。各インクタンク４５は、上方に大気と連通する大気口を、下方に各記録ヘッド１へインクを供給する供給口をそれぞれ有している。インクタンク４５の内部にはインクが充填された多孔質体が設けられており、多孔質体の毛管力によって記録ヘッド１に供給されるインクを僅かな負圧に維持している。

キャリッジ４４は、後方側である用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド５１に摺動自在に嵌装され、前方側である用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド５２上に摺動自在に載置されている。キャリッジ４４を主走査方向に移動走査させるため、主走査モータ５３で回転駆動される駆動プーリ５４と従動プーリ５５との間にタイミングベルト５６を掛け渡し、タイミングベルト５６をキャリッジ４４に固定している。この構成より、主走査モータ５３の正逆回転により、キャリッジ４４が往復移動される。

一方、給紙カセット４８にセットした転写シート４７を記録ヘッド１の下方側へと搬送するため、給紙カセット４８から転写シート４７を分離給送する給紙ローラ５７及びフリクションパッド５８が配設されている。また、転写シート４７を案内するガイド部材５９、給送された転写シート４７を反転させて搬送する搬送ローラ６０が配設されている。さらに、搬送ローラ６０の周面に押し付けられる搬送コロ６１、搬送ローラ６０から転写シート４７の送り出し角度を規定する先端コロ６２が設けられている。搬送ローラ６０は、図示しない副走査モータによってギヤ列を介して回転駆動される。

キャリッジ４４の主走査方向における移動範囲に対応し、搬送ローラ６０から送り出された転写シート４７を記録ヘッド１の下方位置で案内するため、シートガイド部材である印写受け部材６３が配設されている。印写受け部材６３の用紙搬送方向下流側には、転写シート４７を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ６４及び拍車６５が設けられている。また、さらに転写シート４７を排紙トレイ５０に送り出す排紙ローラ６６及び拍車６７と、排紙経路を形成するガイド部材６８，６９が配設されている。

上述のインクジェット記録装置４３では、記録時においてキャリッジ４４を移動させつつ画像信号に応じて記録ヘッド１を駆動する。これにより、停止している転写シート４７にインクを吐出して１行分を記録し、その後に転写シート４７を所定量搬送した後に次の行の記録を行う。記録終了信号または転写シート４７の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、インクジェット記録装置４３は記録動作を終了させて転写シート４７を排紙する。

キャリッジ４４の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド１の吐出不良を回復させるための回復装置７０が配設されている。回復装置７０は、それぞれ図示しない吸引キャップとポンプとワイピング装置とを有している。キャリッジ４４は印字待機中に回復装置７０側に移動され、吸引キャップで記録ヘッド１をキャッピングしてノズル９を湿潤状態に保つことにより、インク乾燥による吐出不良の発生を防止している。また、記録途中等に記録とは関係のないインクを吐出することにより、全てのノズル９のインク粘度を一定にさせて安定した吐出状態を維持している。

吐出不良が発生した場合等には、吸引キャップで記録ヘッド１のノズル９を密封し、廃インク通路を通して図示しないポンプによりノズル９からインクと共に気泡等を吸い出す。そして、ノズル９に付着したインクやごみ等をワイピングブラシによって除去し、これにより吐出不良が回復する。また、吸引したインクは本体下部に設けられた図示しない廃液タンクに排出され、廃液タンク内部に設けられたインク吸収体に吸収保持される。
また、上述の説明では液滴吐出ユニット４６としてインクを吐出するものを示したが、本発明が適用可能な液体はインクには限られず、例えばパターニング用の液体レジストを吐出する装置に液滴吐出ユニット４６を適用してもよい。さらには遺伝子分析試料を吐出する装置に液滴吐出ユニット４６を適用してもよい。

上記実施形態及び各変形例では、液滴吐出装置としてカラープリンタを用いた例を示したが、液滴吐出装置としてはこれに限られず、プリンタ、ファクシミリ、複合機等にも本発明は適用可能である。また本実施形態及び変形例では、画像が形成される被記録媒体として転写シート４７を用いる構成を示したが、この転写シート４７とは記録紙には限定されず、厚紙、ハガキ、封筒、普通紙、薄紙、塗工紙（コート紙やアート紙等）、トレーシングペーパ、ＯＨＰシート、ＯＨＰフィルム、樹脂フィルム等も含まれ、シート状を呈し画像形成可能な物質であればどのようなものを用いてもよい。

以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。本発明の実施の形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を例示したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。

１ 記録ヘッド
６ 圧力発生室
１６ａ，１６ｂ 積層圧電素子
４１，７１ 圧電アクチュエータ
４２，７２ ベース部材
４２ｄ，４２ｅ，７２ｄ，７２ｅ 保持部
４２ｆ 隙間
４３ 液滴吐出装置（インクジェット記録装置）
７２ｃ 絶縁体（絶縁部材）

特開２００２−３６５３６号公報

Claims (7)

1. 複数の圧力発生室と、
   前記複数の圧力発生室に対応して設けられた複数の圧電素子と、
   前記各圧電素子をそれぞれ保持する複数の保持部を有する導電性のベース部材とを備え、
   前記ベース部材は、少なくとも隣り合う前記保持部同士が互いに電気的に不通となるように構成されている圧電アクチュエータ。
2. 請求項１記載の圧電アクチュエータにおいて、
   前記隣り合う保持部は、前記複数の圧力発生室の配置方向において、その間に隙間を介して配置されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
3. 請求項１記載の圧電アクチュエータにおいて、
   前記隣り合う保持部は、前記複数の圧力発生室の配置方向において、その間に絶縁体を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
4. 請求項１ないし３の何れか一つに記載の圧電アクチュエータにおいて、
   前記複数の保持部は、前記複数の圧電素子に対応してそれぞれ設けられた共通電極を介して対応する前記圧電素子をそれぞれ支持することを特徴とする圧電アクチュエータ。
5. 請求項１ないし４の何れか一つに記載の圧電アクチュエータを有することを特徴とする記録ヘッド。
6. 請求項１ないし４の何れか一つに記載の圧電アクチュエータを有することを特徴とする液滴吐出装置。
7. 請求項５記載の記録ヘッドを有することを特徴とする液滴吐出装置。

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