JP2021181195A - 液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】圧電素子とベース部材を接着剤により接合する際の加圧によって、接着剤の膜厚にばらつきが生じた場合においても、圧電素子とベース部材が電気的に接触することを低減できる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】圧力室と、振動板と、前記振動板を変形させ、前記圧力室の圧力を変動させる圧電素子２２と、圧電素子２２が接着接合され、金属材料からなるベース部材２１と、を備え、圧電素子２２は、ベース部材２１側に電極２８を有し、圧電素子２２とベース部材２１は、絶縁性の接着剤３１で接合されるとともに、圧電素子２２とベース部材２１との間に、圧電素子２２及びベース部材２１に接触する絶縁材４０が設けられていることを特徴とする。【選択図】図４

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置（例えばインクジェット記録装置）が知られている。

液体吐出ヘッドを用いる記録装置の大きな技術的課題として高画質化が挙げられ、この高画質化の解決方法として吐出液滴速度の変動を抑える技術がある。このような技術において、吐出液滴速度が変動する要因として、圧電素子の駆動数に伴う圧電素子駆動電圧の変動（負荷変動）が挙げられる。

一つの液体吐出ヘッドには圧電素子が複数列存在しており、列ごとに負荷変動が異なると列間で吐出液滴速度の差が発生し、画質に影響を及ぼす。列ごとに負荷変動が異なる原因として、圧電素子の駆動電流が流れる電極と圧電素子を固定する部材とが電気的に接触し、接触抵抗がばらつくことが挙げられる。

これに対して特許文献１では、圧電素子と取付部とを絶縁性の接着剤で接着することが開示されており、特許文献１によれば、圧電素子と取付部間における電気絶縁性を良好に維持することができるとしている。

しかしながら、圧電素子と取付部（ベース部材）を接着剤により接合する際の加圧によって、接着剤の膜厚にばらつきが生じ、電気的に接触する箇所が生じるという問題は解消できていない。電気的に接触する箇所が生じると、接触抵抗がばらつき、負荷変動が圧電素子の列ごとにばらついてしまう。

そこで本発明は、圧電素子とベース部材を接着剤により接合する際の加圧によって、接着剤の膜厚にばらつきが生じた場合においても、圧電素子とベース部材が電気的に接触することを低減できる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルに連通する圧力室と、前記圧力室の一面に設けられる振動板と、前記振動板を変形させ、前記圧力室の圧力を変動させる圧電素子と、前記圧電素子が接着接合され、金属材料からなるベース部材と、を備え、前記圧電素子は、前記ベース部材側に電極を有し、前記圧電素子と前記ベース部材は、絶縁性の接着剤で接合されるとともに、前記圧電素子と前記ベース部材との間に、前記圧電素子及び前記ベース部材に接触する絶縁材が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、圧電素子とベース部材を接着剤により接合する際の加圧によって、接着剤の膜厚にばらつきが生じた場合においても、圧電素子とベース部材が電気的に接触することを低減できる液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明の液体吐出ヘッドの一例を示す斜視図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 図１のＢ−Ｂ断面図である。 図３の拡大図の一例である。 図３の拡大図の他の例である。 本発明の液体吐出ヘッドの製造方法一例を説明するための断面図である。 絶縁材の配置の一例を示す平面図である。 絶縁材の配置の他の例を示す平面図である。 絶縁材の配置の他の例を示す平面図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例を説明する概略構成図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。

以下、本発明に係る液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置及び液体吐出ヘッドの製造方法について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルに連通する圧力室と、前記圧力室の一面に設けられる振動板と、前記振動板を変形させ、前記圧力室の圧力を変動させる圧電素子と、前記圧電素子が接着接合され、金属材料からなるベース部材と、備え、前記圧電素子は、前記ベース部材側に電極を有し、前記圧電素子と前記ベース部材は、絶縁性の接着剤で接合されるとともに、前記圧電素子と前記ベース部材との間に、前記圧電素子及び前記ベース部材に接触する絶縁材が設けられていることを特徴とする。

（第１の実施形態）
本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態について説明する。本実施形態の液体吐出ヘッドを図１に示す。図１は、本実施形態の液体吐出ヘッドの要部を示す斜視図である。ここでは、ベース部材２１上に圧電素子列２２ａが形成されていることが図示されている。

ベース部材２１の上面（又は下面）から見た平面において、ベース部材２１は長手方向と短手方向を有している。圧電体素子列２２ａは長手方向に対して圧電体素子が配列してなるものである。ここでは、２列の圧電体素子列２２ａを図示しているが、これに限られず、１列であってもよいし、２列よりも多くしてもよい。

図２に、図１におけるＡ−Ａ断面の概略図を示す。また、図３に、図１におけるＢ−Ｂ断面の概略図を示す。なお、図２では圧電素子を３つ図示しているが、他の２つについては符号を省略する。例えば、各圧電素子がそれぞれ色の異なるインクを吐出するようにしてもよい。

本実施形態の液体吐出ヘッドは、単結晶シリコン基板などで形成した流路基板（液室基板）１１と、この流路基板１１の下面に接合した振動板１２と、流路基板１１の上面に接合したノズル板１３とを有している。これらによって液体（液滴、インク滴）を吐出するノズル１５が連通する流路（インク液室）である圧力室（加圧室）１６、圧力室１６に流体抵抗部となるインク供給路１７を介して左右からインクを供給する共通液室１８を形成している。

流路基板１１は、結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、各圧力室１６、インク供給路１７、共通液室１８となる貫通穴、凹部をそれぞれ形成することができる。

振動板１２は、圧力室１６の一面に設けられ、例えばニッケルの金属プレートから形成することができる。この他、樹脂部材或いは樹脂部材と金属部材の積層部材などで形成することができ、例えば流路基板１１に接着剤接合している。

ノズル板１３は各圧力室１６に対応して、例えば直径１０〜３０μｍのノズル１５を形成し、流路基板１１に接着剤接合している。このノズル板１３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂との組み合せ、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。

本実施形態の液体吐出ヘッドでは、圧電素子２２と、金属材料からなるベース部材２１とが絶縁性の接着剤３１により接合される。本実施形態の液体吐出ヘッドは、プリント基板（ＰＣＢ基板）やＦＰＣを有していてもよく、プリント基板と圧電素子２２とを接続手段であるＦＰＣを介して電気的に接続させることができる。

ベース部材２１には金属部材、例えばＳＵＳを用いることができる。ベース部材２１を金属部材で形成することによって、高剛性となり、圧電素子２２の多チャンネル駆動時の共振を低減することができ、吐出特性が安定する。これに対して、ベース部材２１としてセラミック基板などを用いる場合、多チャンネルを駆動したときに、振動がベース部材２１に伝わり共振することがあるとともに、コストが高くなり、欠けなどによる撥塵を生じるおそれがある。

圧電素子２２は、接着剤１９により振動板１２と接合されている。また、図３にも示すように、圧電素子２２は圧電層２５と内部電極２６とを交互に積層し、内部電極２６は一端面と他端面に引き出して、それぞれ共通電極２８、個別電極２９に接続している。圧電素子２２は、ベース部材２１側に電極（ここでは共通電極２８）を有しており、共通電極２８を介してベース部材２１と接着接合している。なお、ベース部材２１側に形成される電極が個別電極であってもよい。

個別電極２９は駆動電圧供給側の電極として機能させることができ、共通電極２８は駆動電圧制御側の電極として機能させることができる。また、共通電極２８は、高Ｄｕｔｙで駆動した時の電圧降下を低減させるために、圧電素子２２とベース部材２１が接着される面にまで領域を広げて形成されている。

ここで、従来技術の問題点について説明する。ベース部材と圧電素子の接合に接着剤を用いる場合、接合の際に接着剤が加圧されて接着剤の膜厚が薄くなる箇所が生じ、接着剤の膜厚にばらつきが生じる。接着剤の膜厚が薄くなる箇所では、ベース部材と圧電素子、特にベース部材側に形成された電極（例えば共通電極）が接触して導通状態になる。ベース部材と圧電素子とが導通状態になる箇所では電気的ショートが発生し、これにより圧電素子の列ごとに負荷変動がばらついてしまう。この場合、品質の良い画像が得られない。

これに対して、本実施形態では、圧電素子とベース部材との間に絶縁材を設けている。これにより、圧電素子とベース部材との間の距離を確保することができ、圧電素子とベース部材を接着剤により接合する際の加圧によって接着剤の膜厚にばらつきが生じた場合においても、圧電素子とベース部材が電気的に接触することを低減できる。このため、圧電素子列ごとに負荷変動がばらつくことを抑制できる。

図４に、本実施形態におけるベース部材２１と圧電素子２２の接合箇所の拡大断面図を示す。図４は、図３の拡大断面図である。図示されるように、ベース部材２１と圧電素子２２は、絶縁性の接着剤３１で接合されており、圧電素子２２とベース部材２１との間に絶縁材４０を設けている。

ここで示される絶縁材４０は球体の部材であり、複数の絶縁材４０が圧電素子２２とベース部材２１との間に設けられている。絶縁材４０は、圧電素子２２とベース部材２１に接触するように設けられている。ただし、複数の絶縁材４０のうち、全てが圧電素子２２とベース部材２１に接触する必要はなく、ベース部材２１と圧電素子２２が電気的に接触しないように距離が保たれていればよい。

絶縁材４０を設けることにより、接合時の加圧によって接着剤の膜厚が減少することを抑え、圧電素子２２とベース部材２１の距離を保つことができるため、圧電素子２２とベース部材２１が接触して導通状態になることを防止することができる。これにより、接触抵抗がばらつくことを抑え、圧電素子列ごとに負荷変動がばらつくことを抑制できる。
なお、絶縁材４０をギャップ材やスペーサーなどと称してもよい。

絶縁材４０の積層方向の大きさとしては、接合強度を保つために設定されている接着剤３１の厚さと同等であることが好ましい。

絶縁材４０の形状としては、例えば、立方体、直方体、球体、楕円体等が挙げられ、中でも球体であることが好ましい。球体である場合、絶縁材４０の向きに関わらず、圧電素子とベース部材との距離を一定に保つことができる。

また、絶縁材４０の配置は、適宜変更することができる。規則的に配置してもよいし、不規則的に配置してもよい。本実施形態のその他の例は後述の実施形態で説明する。

図５に、絶縁材４０が直方体である場合の例を示す。図５は、図４と同様の断面図である。このように、絶縁材４０の形状や配置等を適宜変更することができる。なお、ベース部材２１の圧電素子２２との接合面と平行な方向に対しては、絶縁材４０どうしの大きさは異なっていてもよいが、接合面と垂直な方向（基板の積層方向）に対しては、絶縁材４０どうしの大きさ（高さ）が同じ、又は、略同じであることが好ましい。

絶縁性の接着剤３１の材料としては、例えばエポキシ樹脂等が挙げられる。

次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法について具体例を挙げつつ説明する。
本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法は、金属材料からなるベース部材に絶縁材を塗布する工程と、前記絶縁材を付与した後、絶縁性の接着剤を前記ベース部材に塗布する工程と、前記ベース部材と、前記ベース部材側に電極を有する圧電素子が形成された流路基板とを貼り合わせる工程と、を含むことを特徴とする。

図６は、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための図であり、図５と同様の断面図である。また、ここでは、図５に示される例に対応する場合の例を説明する。

図６（Ａ）にベース部材２１の一部を示しており、図６（Ｂ）に示すように、このベース部材２１に絶縁材４０を塗布する。本例では、絶縁材４０どうしが隣接しないような配置にしている。

絶縁材４０を塗布する方法としては、例えばスプレー塗布、ディスペンサー、ロールコーター、カーテンコーター等が挙げられる。中でも、スプレー塗布が好ましく、この場合、後の工程で接着剤を塗布した場合に、絶縁材４０がベース材２１上にとどまりやすくなる。

次いで、図６（Ｃ）に示すように、ベース部材２１に対して、塗布した絶縁材４０の上から絶縁性の接着剤３１を塗布する。接着剤３１を塗布する方法としては、例えばスプレー塗布、ディスペンサー、ロールコーター、カーテンコーター）等が挙げられる。中でも、スプレー塗布が好ましく、この場合、接着剤を塗布した場合に、絶縁材４０がベース材２１上にとどまりやすくなる。

次いで、図６（Ｄ）に示すように、圧電素子２２とベース部材２１を接合する。ここでは、あらかじめ流路基板１１上に圧電素子２２を形成しておき、流路基板１１とベース部材２１とを接合することにより、圧電素子２２とベース部材２１を接合する。これにより、本実施形態の液体吐出ヘッドが得られる。

（第２の実施形態）
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの他の実施形態について説明する。上記実施形態と同様の事項については説明を省略する。本実施形態では、主に絶縁材４０の配置について説明する。

図７に、本実施形態における絶縁材４０の配置の一例を示す。図７は、ベース部材２１と絶縁材４０を図示するものであり、ベース部材２１の上面から見た場合の平面模式図である。図示されるように、ベース部材２１は、圧電素子２２と接合する面において長手と短手を有しており、以下、これらの方向を長手方向、短手方向と称する。

本例における絶縁材４０としては、球体の絶縁材を用いており、本例では、絶縁材４０が離散的にまんべんなく配置されている。絶縁材４０が離散的に配置されている場合、ベース部材２１の長手方向及び短手方向の接合ばらつきを分散させることができる。

図７に示される例では、絶縁材４０を不規則に配置させているが、本実施形態においてはこれに限られるものではなく、絶縁材４０を離散的に、かつ、規則的に配置させてもよい。この場合、絶縁材４０が密となる箇所、疎となる箇所を防止でき、接合強度を均一に保ちやすくなる。

図８に、本実施形態における絶縁材４０の配置の他の例を示す。図８は、図７と同様に、ベース部材２１と絶縁材４０を図示するものであり、ベース部材２１の上面から見た場合の平面模式図である。

本例において、絶縁材４０は規則的に配置され、長手方向に対して平行なライン状に配置される。このように配置するには、一本のライン状の絶縁材４０を用いてもよいが、本例においては、複数の絶縁材が互いに接触するように配置させることにより、ライン状としている。それぞれの絶縁材としては、立方体や直方体であってもよいし、球体であってもよい。

このように絶縁材４０を長手方向に平行なライン状に配置するには、例えば、ベース部材２１にマスキングして絶縁材４０を塗布し、その後、マスキングを剥がして接着剤３１を塗布する。

規則的に配置することにより、個体間のばらつきを低減することができる。特に、短手方向のばらつきをより低減することができる。

図９に、本実施形態における絶縁材４０の配置の他の例を示す。図９は、図７と同様に、ベース部材２１と絶縁材４０を図示するものであり、ベース部材２１の上面から見た場合の平面模式図である。

本例において、絶縁材４０は規則的に配置され、短手方向に対して平行なライン状に配置される。このように配置するには、一本のライン状の絶縁材４０の部材としてもよいが、本例においては、複数の絶縁材を集合させて配置することにより、ライン状としている。

このように絶縁材４０を短手方向に平行なライン状に配置するには、例えば、ベース部材２１にマスキングして絶縁材４０を塗布し、その後、マスキングを剥がして接着剤３１を塗布する。

規則的に配置することにより、絶縁材の個体間のばらつきを低減することができる。特に、長手方向のばらつきをより低減することができる。また、本例においては、絶縁材４０の塗布面積を抑えることができ、絶縁材４０の塗布量を低減できるという利点が得られる。

（液体を吐出する装置）
次に、本発明の液体を吐出する装置の一実施形態について説明する。本実施形態の液体を吐出する装置は、上記液体吐出ヘッドを備える。

本実施形態の液体を吐出する装置について、図１０、図１１を用いて説明する。ここでは、液体を吐出する装置の一実施形態として、画像形成装置を例に挙げて説明する。図１０は、本例の画像形成装置の概略構成図であり、図１１は、本例の画像形成装置の要部平面説明図である。

本例の画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する液体吐出ヘッド２３４ａ、２３４ｂを１つのベース部材に取り付けて構成したもので、一方のヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、他方のヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、各色毎の液体吐出ヘッドを備えることもできる。

また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「サブタンク２３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置し、この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２４７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このように、この画像形成装置では本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えているので、安定した滴吐出特性が得られ、安定して高画質画像を形成することができる。

なお、上記実施形態では、画像形成装置としてシリアル型画像形成装置を例に説明しているが、ライン型画像形成装置にも同様に実施することができる。

１１ 流路基板
１２ 振動板
１５ ノズル
１６ 圧力室
１７ インク供給路
１８ 共通液室
１９ 接着剤
２１ ベース部材
２２ 圧電素子
２２ａ 圧電素子列
２５ 圧電層
２６ 内部電極
２８ 共通電極
２９ 個別電極
３１ 接着剤
４０ 絶縁材

特開２０１０−１０８５８９号公報

Claims (8)

1. 液滴を吐出するノズルに連通する圧力室と、
   前記圧力室の一面に設けられる振動板と、
   前記振動板を変形させ、前記圧力室の圧力を変動させる圧電素子と、
   前記圧電素子が接着接合され、金属材料からなるベース部材と、を備え、
   前記圧電素子は、前記ベース部材側に電極を有し、
   前記圧電素子と前記ベース部材は、絶縁性の接着剤で接合されるとともに、前記圧電素子と前記ベース部材との間に、前記圧電素子及び前記ベース部材に接触する絶縁材が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記ベース部材は、前記圧電素子と接合する面において長手と短手を有し、
   前記絶縁材は、前記長手に対して平行なライン状に配置されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記ベース部材は、前記圧電素子と接合する面において長手と短手を有し、
   前記絶縁材は、前記短手に対して平行なライン状に配置されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記絶縁材は、規則的に配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記絶縁材は、不規則的に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記絶縁材は、球体状であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体を吐出する装置。
8. 請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを製造する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   金属材料からなるベース部材に絶縁材を塗布する工程と、
   前記絶縁材を付与した後、絶縁性の接着剤を前記ベース部材に塗布する工程と、
   前記ベース部材と、前記ベース部材側に電極を有する圧電素子が形成された流路基板とを貼り合わせる工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
   

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