JP2021137943A - 検査装置及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 :研削手段(加工手段)
21 :研削砥石
21a:研削面
22 :砥石スピンドル
23 :スピンドル送り機構
24 :コラム
3 :チャックテーブル
3a :回転軸
31 :チャックスピンドル
4 :検査装置
41 :カメラ(撮影手段)
42 :生成手段
43 :判定手段
44 :推定手段
5 :制御装置
L :軌跡
W :ワーク
Claims (4)
- 加工中のワークに対して欠陥検査を行う検査装置であって、
前記ワークが回転している状態で、前記ワークの被加工面を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段の撮影画像に基づいて判定用画像を生成する生成手段と、
前記判定用画像に略円環状の軌跡が表れる場合に、前記被加工面内に欠陥が発生したと判定する判定手段と、
を備えていることを特徴とする検査装置。 - 前記判定手段は、前記軌跡の径方向寸法に基づいて、前記欠陥が発生したか再判定することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 予め記憶された欠陥の数に応じた前記軌跡の濃さと前記判定用画像に表れた前記軌跡の濃さとを比較して、前記欠陥の数を推定する推定手段をさらに備えていることを特徴とする請求項2記載の検査装置。
- 請求項1乃至3の何れか1項記載の検査装置と、
前記ワークを吸着保持して、回転可能なチャックテーブルと、
前記ワークを加工する加工手段と、
を備えていることを特徴とする加工装置。
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