JP2021117103A - エアリークテスト装置 - Google Patents

Abstract

【課題】２つの方式のリークテストを行えるエアリークテスト装置を提供する。【解決手段】圧力源１と主回路３との間には第１供給弁ＳＶ１が介在し、主回路３は、第２供給弁ＳＶ２により、圧力源１側の上流側回路部３ａとワークカプセル２側の下流側回路部３ｂとに分けられ、上流側回路部３ａには絶対圧センサ６及び分岐回路４を介してタンク５が接続され、分岐回路４にはタンク５を主回路３に対して連通、遮断するタンク弁ＳＶ３が設けられ、下流側回路部３ｂには検圧回路７の両端が接続されており、検圧回路７には検圧弁ＳＶ４と差圧センサ８とが設けられている。コントローラ１０は、絶対圧センサ６からの検出圧に基づくワークの大漏れの検査及び差圧センサ８からの検出差圧に基づくワークの小漏れ検査を実行するにあたり、大漏れ検査を先に行う第１方式と、小漏れ検査を先に行う第２方式とを選択的に実行する。【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象（以下、ワークという）の欠陥の有無を検査するエアリークテスト装置に関し、特に２つの方式でエアリークテストを実行できる装置に関する。

例えば包装された医薬品において包装に欠陥があると、医薬品の劣化を招く。そのため、包装に欠陥があるか否かを検出するためにエアリークテスト装置が用いられている。包装の欠陥には、ピンホール等の小さな欠陥や、シール不良や破れ等の大きな欠陥がある。そのため、エアリークテスト装置は、小さな欠陥を検出するための小漏れ検出工程と、大きな欠陥を検出する大漏れ検出工程を実行することが求められる。

特許文献１は、第１方式（いわゆるタンク加圧方式）により小漏れと大漏れを検出するエアリークテスト装置を開示している。この装置は、圧力源とワークカプセルとを繋ぐ主回路を備えている。圧力源と主回路との間には第１供給弁が介在されている。主回路には第２供給弁が設けられ、この第２供給弁により主回路が圧力源側の上流側回路部とワークカプセル側の下流側回路部に分けられている。主回路の上流側回路部にはタンクが接続されている。主回路の下流側回路部には、検圧回路の両端が接続されている。検圧回路には差圧センサと検圧弁が設けられている。

最初に、第１供給弁が開き第２供給弁が閉じた状態で、タンクには圧力源からの設定圧が付与される。
次に、第１供給弁を閉じ、第２供給弁を開くことにより、上記設定圧のタンクと、大気圧状態で封鎖されている主回路の下流側回路部が、連通状態になる。その結果、ワークカプセル内には、上記設定圧と大気圧の中間のテスト圧力が付与されることになる。この時に検出されるタンク圧に基づき、大漏れの有無が判断する。
次に、検圧回路の検圧弁を閉じ、差圧センサからの検出差圧に基づき小漏れの有無を判断する。

特許文献２は、第２方式（いわゆるタンク分圧方式）のエアリークテスト装置を開示している。この方式では、上記第１方式（タンク加圧方式）とは逆に、小漏れ検出の後に大漏れ検出を実行する。この装置は、圧力源と、主回路と、これら圧力源と主回路との間に介在された供給弁とを備えている。主回路は２つの分岐路、すなわち末端にマスタ容器が接続されたマスタ側分岐路と、末端にワークカプセルが接続されたワーク側分岐路とに、分岐されている。マスタ側分岐路とワーク側分岐路にはそれぞれ検圧弁が設けられている。これら検圧弁の下流側においてマスタ側分岐路とワーク側分岐路間には、差圧センサが接続されている。さらに検圧弁の下流側においてマスタ側分岐路とワーク側分岐路には、それぞれタンク弁を介してタンクが接続されている。

上記特許文献２の装置では、最初に圧力源からテスト圧としての設定圧が、マスタ側分岐路とワーク側分岐路に供給される。次に、検圧弁を閉じた状態で、差圧センサによりマスタ側分岐路とワーク側分岐路の差圧を検出し、この検出差圧に基づき小漏れの有無を判断する。次に、タンク弁を開き、設定圧のマスタ側分岐路とワーク側分岐路を、大気圧のタンクと連通させる。その結果、ワークカプセル内には、上記設定圧と大気圧の中間の圧が付与されることになる。この時の差圧センサで検出される検出差圧に基づき、大漏れの有無を判断する。

特開２０１７−１２９４７７号公報（図１） ＷＯ２０１７／２０８５４３号公報（図１）

後述するように、第１方式と第２方式にはそれぞれ長所と短所がある。検査すべきワークは多種多様であり、上記第１方式が適するワークと、第２方式が適するワークがある。そのため、第１方式と第２方式にそれぞれ適したワークのエアリークテストを行う場合、第１方式のエアリークテスト装置と第２方式のエアリークテスト装置の２種類を用意する必要があり、設備コストの増大を招く。

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、エアリークテスト装置であって、ア）大気圧または大気圧に近い基準圧と設定圧を含む圧を供給可能な圧力源と、イ）検査対象のワークを収容するワークカプセルと、ウ）上記圧力源と上記ワークカプセルとを繋ぐ主回路と、エ）上記圧力源と上記主回路との間に介在された第１供給弁と、オ）上記主回路に設けられ、上記主回路を圧力源側の上流側回路部とワークカプセル側の下流側回路部とに分ける第２供給弁と、カ）上記主回路の上記上流側回路部に分岐回路を介して接続されるタンクと、キ）上記分岐回路に設けられ上記タンクを上記主回路に対して連通、遮断するタンク弁と、ク）上記主回路の上記上流側回路部に接続される圧力センサと、ケ）両端が上記主回路の下流側回路部に接続される検圧回路と、コ）上記検圧回路に設けられた検圧弁と、サ）上記検圧回路に設けられ、上記主回路の上記下流側回路部を介して上記ワークカプセルに連なるワーク側ポートと、上記検圧弁に連なる基準側ポートとを有する差圧センサと、シ）上記主回路に接続された大気開放弁と、ス）上記圧力源の供給圧の制御、上記第１供給弁、上記第２供給弁、上記タンク弁、上記検圧弁、上記大気開放弁のシーケンス制御、および前記圧力センサからの検出圧に基づく上記ワークの大漏れの有無の判断、上記差圧センサからの検出差圧に基づく上記ワークの小漏れの有無の判断を実行する制御・判断手段と、を備えたことを特徴とする。

上記構成によれば、圧力源からタンクへの圧供給と、圧力源から主回路への圧供給を独立して行うことができるので、ワークに応じてエアリークテストの方式を選択することが可能となる。

好ましくは、上記圧力センサが絶対圧センサである。これにより、外部の大気圧の変動に影響されずに高精度のエアリークテストを行うことができる。

好ましくは、さらに、上記主回路の上記上流側回路部と上記下流側回路部の間に接続された基準漏れ回路と、上記基準漏れ回路に設けられた２つの基準漏れ弁と、上記基準漏れ回路において上記２つの基準漏れ弁間に設けられるとともにオリフィスを有する基準漏れ器と、を備えている。
上記構成によれば、装置の校正等のために、基準漏れ器でワークの小漏れに擬制した基準漏れを発生させることができる。しかも、主回路の上流側回路部を絶対圧で定義される基準圧とすることができるので、基準漏れ時に差圧センサにより高精度に差圧を検出することができる。

具体的態様として、第１方式のエアリークテストと、第２方式のエアリークテストを選択的に実行可能であり、
ａ．上記第１方式において上記制御・判断手段は、
上記第１供給弁と上記タンク弁を開き、上記第２供給弁を閉じた状態にして、上記圧力源から上記タンクに第１設定圧を供給する工程と、
上記タンク弁を閉じて上記タンク内を第１設定圧に維持したまま、上記第１供給弁と上記第２供給弁と上記検圧弁を開いた状態にして、上記圧力源から上記主回路と上記検出回路に上記基準圧を供給する工程と、
上記第１供給弁を閉じ、上記第２供給弁と上記検圧弁と上記タンク弁を開いた状態にして、上記タンクを上記主回路と上記検圧回路に連通させることにより、上記主回路と上記検圧回路を上記基準圧と上記第１設定圧の中間のテスト圧にし、この時の上記圧力センサからの検出圧に基づき、上記ワークの大漏れの有無を判断する大漏れ検出工程と、
上記検圧弁を閉じ、上記差圧センサからの検出差圧に基づき、上記ワークの小漏れの有無を判断する小漏れ検出工程と、
を上記順に実行し、
ｂ．上記第２方式において上記制御・判断手段は、
上記第１供給弁と上記タンク弁を開き、上記第２供給弁を閉じた状態にして、上記圧力源から上記タンクに上記基準圧を供給する工程と、
上記タンク弁を閉じて上記タンク内を上記基準圧に維持したまま、上記第１供給弁と上記第２供給弁と上記検圧弁を開いた状態にして、上記圧力源から上記主回路と上記検圧回路にテスト圧としての第２設定圧を供給する工程と、
上記第１供給弁を閉じ上記検圧弁を閉じた状態にして、上記差圧センサからの検出差圧に基づき、上記ワークの小漏れの有無を判断する小漏れ検出工程と、
上記タンク弁を開き、上記タンクと上記主回路を連通させた状態にして、上記圧力センサからの検出圧に基づき、上記ワークの大漏れの有無を判断する大漏れ検出工程と、
を上記順に実行する。

上記構成によれば、製品種別等に応じて、第１、第２方式を選択して実施することができる。
好ましくは、上記第１方式での第１設定圧は、正圧と負圧を選択でき、上記第２方式での第２設定圧も正圧と負圧を選択できるようにする。

好ましくは、負圧の上記第１設定圧を用いて第１方式のエアリークテストを実行する場合、または負圧の第２設定圧を用いて第２方式のエアリークテストを実行する場合に、上記制御・判断手段は、上記大漏れ検出工程と上記小漏れ検出工程の終了後に、上記圧力源からの正圧の供給を伴って上記開放弁を開くことにより、上記主回路を大気に開放する。
上記構成によれば、負圧によるワークカプセルの構成部材間の食い付きを確実に解消することができ、ワークカプセルを円滑に開放することができる。

好ましくは、上記制御・判断手段は、ワークの製品種別、テスト圧を含む情報を入力する情報入力部を有し、入力された製品の種別、テスト圧に応じて上記第１、第２方式のいずれかを選択する。
上記構成によれば、テスト方式を選択するユーザの負担を軽減することができる。

本発明によれば、複数方式のエアリークテストを実行可能な装置を提供することができる。

本発明の一実施形態をなすエアリークテスト装置の回路構成を示す概略図である。 図１の装置で実行される正圧を用いたタンク加圧方式のエアリークテストのタイムチャートである。 同装置で実行される負圧を用いたタンク加圧方式のエアリークテストのタイムチャートである。 同装置で実行される正圧を用いたタンク分圧方式のエアリークテストのタイムチャートである。 同装置で実行される負圧を用いたタンク分圧方式のエアリークテストのタイムチャートである。 図１の装置にさらに構成要素を追加した回路構成図である。 同装置で実行される方式選択のためのフローチャートである。

以下、本発明の一実施形態について、図１〜図５を参照しながら説明する。図１に概略的に示すエアリークテスト装置は、圧力源１と、ワークカプセル２と、圧力源１とワークカプセル２を繋ぐ主回路３を備えている。なお、本願明細書では、供給される圧力の正負に拘わらず、圧力源１側を上流側、ワークカプセル２側を下流側と定義する。

圧力源１は、それぞれ絶対圧で定義される正圧と、負圧と、大気圧より若干高い基準圧を、選択的に供給することができる。すなわち、圧力源１は、レギュレータを備えており、後述する絶対圧センサ６（圧力センサ）からの検出圧のフィードバックを受けて設定された圧を供給することができる。

ワークカプセル２は、検出すべきワークＷを収容するカプセル本体２ａと、このカプセル本体２ａの上端開口を塞ぐ天板２ｂ（蓋；閉塞部材）とを有している。カプセル本体２ａは、天板２ｂから離れたワーク搬入・搬出位置（想像線で示す）と、天板２ｂの真下の検出位置（実線で示す）との間で、スライド可能である。カプセル本体２ａと天板２ｂは、カプセル本体２ａが検出位置にある時にクランプ機構によりクランプされ、これによりワークカプセル２の内部空間を密封状態にすることができる。

圧力源１と主回路３との間には常開の第１供給弁ＳＶ１が配置されている。主回路２には常閉の第２供給弁ＳＶ２が設けられている。主回路３は第２供給弁ＳＶ２により、上流側回路部３ａと下流側回路部３ｂに分けられている。

主回路３の上流側回路部３ａには、分岐回路４が接続されている。この分岐回路４には常開のタンク弁ＳＶ３が設けられ、さらにその末端にはタンク５が接続されている。上流側回路部３ａには、タンク５から独立した絶対圧センサ６も接続されている。

主回路３の下流側回路部３ｂには、検圧回路７の両端が接続されており、この検圧回路７には、差圧センサ８と常開の検圧弁ＳＶ４が設けられている。差圧センサ８の一方のポート８ａ（ワーク側ポート）は、主回路３の下流側回路部３ｂを介してワークカプセル２に連なっている。他方のポート８ｂ（基準側ポート）は、検圧弁ＳＶ４に連なっている。主回路３の下流側回路部３ｂには、大気に連なる開放回路９が接続されている。開放回路９には常開の開放弁ＳＶ５が設けられている。
なお、上述した弁ＳＶ１〜ＳＶ５は空気作動型の弁である。

エアリークテスト装置はさらに、コントローラ１０（制御・演算手段）を備えている。コントローラ１０は、圧力源１のレギュレータに接続されて供給圧を制御し、ワークカプセル２のためのスライド機構、クランプ機構を制御し、弁ＳＶ１〜ＳＶ５をシーケンス制御し、絶対圧センサ６からの検出圧に基づきワークの大漏れの有無を判断し、差圧センサ８からの検出差圧に基づきワークの小漏れの有無を判断する。

上記構成をなすエアリークテスト装置は、コントローラ１０により、２つの方式でエアリークテストを行なうことができる。２つの方式は、ワークＷの大漏れと小漏れのいずれを先に行うかで識別される。
第１の方式は、大漏れを先に行う方式であり、後述のようにタンク５に蓄えられた圧を基準圧の主回路３に向けて供給するためタンク加圧方式と称す。
第２の方式は、小漏れを先に行う方式であり、後述のように主回路３の圧を基準圧のタンク５に分けるため、タンク分圧方式と称す。

以下、タンク加圧方式、タンク分圧方式のエアリークテストを、それぞれ正圧を用いる場合と負圧を用いる場合について、図２〜図５のタイムチャートを参考にしながら説明する。これらタイムチャートにおいて、各工程のハッチングは、各弁ＳＶ１〜ＳＶ５が開いている状態を示し、ハッチングなしは閉じている状態を示す。

タンク加圧方式（正圧）
最初に、正圧を用いたタンク加圧方式エアリークテストについて図２を参照しながら説明する。
（初期工程）
弁ＳＶ１〜ＳＶ５は図１の状態にある。第１供給弁ＳＶ１が開き、第２供給弁Ｖ２が閉じているので、圧力源１から正圧の第１設定圧Ｐｘが主回路３の上流側回路部３ａに付与されている。この第１設定圧Ｐｘは、圧力源１のレギュレータが絶対圧センサ６からのフィードバックを受けて制御されるので、一定に維持されている。また、タンク弁ＳＶ３が開いているので、タンク５にも上記第１設定圧Ｐｘが供給されている。
他方、検圧弁ＳＶ４と開放弁ＳＶ５が開いているので、主回路３の下流側回路部３ｂおよび検圧回路７は大気開放されている。

（スライド工程）
次に、弁ＳＶ１〜ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、ワークＷを収容したカプセル本体２ａを搬入・搬出位置から天板２ｂの下側の検出位置までスライドさせる。

（タンク遮断・クランプ工程）
次に、カプセル本体２ａと天板２ｂをクランプして、ワークカプセル２の内部空間を密封する。このクランプ工程で、タンク弁ＳＶ３をオンして閉じ状態にし、タンク５を主回路３の上流側回路部３ａから遮断する。これにより、タンク５は第１設定圧Ｐｘに維持される。

（基準圧供給工程）
次に、弁ＳＶ１，ＳＶ３、ＳＶ４を前工程と同じ状態にしたままで、開放弁ＳＶ５をオンして閉じ状態にし、主回路３を外部から遮断する。これと略同時または直後に、第２供給弁ＳＶ２をオンして開き状態にするとともに、圧力源１から大気圧に近い基準圧Ｐｒを供給する。これにより、主回路３、検圧回路７およびワークカプセル２が基準圧Ｐｒとなる。タンク５は第１設定圧Ｐｘに維持されたままである。

（タンク連通・テスト圧供給工程）
次に、第１供給弁ＳＶ１をオンして閉じ状態にした後、タンク弁ＳＶ３をオフにして開き状態にすることにより、タンク５を主回路３と連通させる。他の弁は前工程と同じ状態に維持されている。これにより、タンク５からの第１設定圧Ｐｘの空気が主回路３へと流れる。その結果、主回路３、検圧回路７およびワークカプセル２を含む閉鎖回路全体の圧が正圧のテスト圧Ｐｔ_１となる。このテスト圧Ｐｔ_１は、基準圧Ｐｒと第1設定圧Ｐｘの中間の値であり、下記の式により表される。
Ｐｔ_１＝（Ｐｘ・Ｖｔ＋Ｐｒ・Ｖｃ）／（Ｖｔ＋Ｖｃ）・・・（１）
ただし、Ｖｔはタンク体積であり、Ｖｃは主回路３、検圧回路７、ワークカプセル２を含むタンク５を除く閉鎖回路の容積（ただし、ワークカプセル２の容積については、ワークカプセル２の内面により画成された容積からワークＷの容積を減じる）である。これら体積Ｖｔ、Ｖｃは既知である。

（大漏れ検出工程）
次に、弁ＳＶ１〜ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、絶対圧センサ６で検出される上記閉鎖回路の絶対圧に基づき大漏れの有無を判断する。ワークＷに包装のシール不良や破れ等の大きな欠陥が無い場合には、絶対圧センサ６で検出される圧力は、上記式（１）で見込まれるテスト圧Ｐｔ_１に維持されるが、大きな欠陥がある場合には、ワークカプセル２内のテスト圧Ｐｔ_１の空気が一瞬のうちにワークＷ内に入り込み（大漏れ）、その分だけ絶対圧センサ６で検出される圧が、テスト圧Ｐｔ_１から低下する。
コントローラ１０では、この絶対圧センサ６での検出圧とテスト圧Ｐｔ_１との差が閾値内であればワークＷに大漏れが無いと判断し、この差が閾値を超えた場合には大漏れ有り、すなわちワークＷに大きな欠陥有りと判断する。

（圧力安定化工程）
次に、弁ＳＶ１，ＳＶ３，ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、第２供給弁ＳＶ２をオフして閉じ状態にすることにより、主回路３の上流側回路部３ａと下流側回路部３ｂの間を遮断するとともに、検圧弁ＳＶ４をオンして閉じ状態にすることにより、検圧回路７を２つに分けて遮断する。この状態を所定時間維持して主回路３の下流側回路部３ｂと検圧回路７の圧を安定化させる。

（小漏れ検出工程）
次に、弁ＳＶ１〜ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、差圧センサ８で検出される差圧に基づき小漏れの有無を判断する。この状態で、差圧センサ８の２つのポート８ａ，８ｂは、互いに遮断されている。すなわち、ワーク側ポート８ａは、主回路３の下流側回路部３ｂを介してワークカプセル２に連なっている。基準側ポート８ｂは、検圧回路７において、差圧センサ８と検圧弁ＳＶ４との間の部分に連なっている。基準側ポート８ｂでの圧力は、テスト圧Ｐｔ_１に維持されている。

ワークＷの包装にピンホール等の小さな欠陥が無い場合には、ワーク側ポート８ａ側の圧力もテスト圧Ｐｔ_１に維持されている。コントローラ１０は、差圧センサ８の検出差圧が閾値内にある場合には、小漏れ無し、すなわちワークＷに小さな欠陥が無いと判断する。
ワークＷの包装にピンホール等の小さな欠陥が有る場合には、テスト圧Ｐｔ_１の空気が少しずつワークＷ内に入り込む。これにより、主回路３の下流側回路部３ｂとワークカプセル２の圧が徐々に減じられ、ワーク側ポート８ａの圧が基準側ポート８ｂの圧（テスト圧Ｐｔ_１）より低くなる。コントローラ１０は、差圧センサ８の検出差圧が閾値を超えた時には、小漏れ有り、すなわち小さな欠陥が有ると判断する。

（大気開放工程）
次に、弁ＳＶ１，ＳＶ３を前工程のまま維持した状態で、第２供給弁ＳＶ２をオンして開き，検圧弁ＳＶ４をオフして開き、開放弁ＳＶ５をオフして開く。これにより、圧力供源１から遮断された状態で、主回路３および検圧回路７を含む回路と、タンク５と、ワークカプセル２が大気に開放される（排気される）。

（クランプ解除工程）
次に、弁ＳＶ１〜ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、ワークカプセル２のクランプを解除する。
（スライド工程）
最後に、検査済みのワークＷを収容したカプセル本体２ａをスライドさせることにより、天板２ｂに対応する検出位置から搬入・搬出位置へと戻し、ワークＷをカプセル本体２ａから取り出す。この工程で、第１供給弁ＳＶ１をオフにして開き、第２供給弁ＳＶ２をオフにして閉じることにより、全ての弁ＳＶ１〜ＳＶ５を初期工程と同じ状態に戻す。

上記タンク加圧方式では、圧力源１の供給圧は、基準圧供給工程でのみ基準圧Ｐｒまで低下するが、他の工程では正圧の第１設定圧Ｐｘを維持される。

タンク加圧方式（負圧）
（初期工程から小漏れ検出工程まで）
次に、負圧を用いたタンク加圧方式のエアリークテストについて図３を参照しながら説明する。初期工程、スライド工程、タンク遮断・クランプ工程、基準圧供給工程、タンク連通・テスト圧供給工程、大漏れ検出工程、圧力安定化工程、小漏れ検出工程までの弁ＳＶ１〜ＳＶ５の動作は、上記正圧のタンク加圧方式エアリークテスト方法と同じである。圧力源１は、初期工程からタンク遮断・クランプ工程まで、負圧の第1設定圧Ｐｘ’を供給し、基準圧供給工程で基準圧Ｐｒを供給する。

タンク連通・テスト圧供給工程では、負圧の第1設定圧Ｐｘ’のタンク５と、基準圧Ｐｒの閉鎖回路（主回路３、検圧回路７、ワークカプセル２を含む）が連通し、タンク５の負圧の第1設定圧Ｐｘ’が基準圧Ｐｒの閉鎖回路に供給される。換言すれば、負圧のタンク５に閉鎖回路内の基準圧Ｐｒの空気が流れ込む。その結果、閉鎖回路およびタンク５の圧が負圧のテスト圧Ｐｔ_１’となる。このテスト圧Ｐｔ_１’は、基準圧Ｐｒと負圧の第1設定圧Ｐｘ’の中間の値であり、上記式（１）において正圧の第1設定圧Ｐｘを負圧の第１設定圧Ｐｘ’に置き換えることにより得られる。

ワークＷの包装に大きな欠陥が有る場合には、上記タンク連通・テスト圧供給工程において、ワークＷの空気が負圧のテスト圧Ｐｔ_１’のワークカプセル２へと一瞬のうちに漏れ出（大漏れ）、その分だけ絶対圧センサ６で検出される圧は、テスト圧Ｐｔ_１’より高くなる。大漏れ検出工程では、上記正圧の場合と同様に、絶対圧センサ６で検出される圧とテスト圧Ｐｔ_１’との差に基づいてワークＷに大漏れが有るか無いかを判断する。

小漏れ検出工程では、ワークＷの包装にピンホール等の小さな欠陥が有る場合に、ワークＷ内の空気が負圧のテスト圧Ｐｔ_１’のワークカプセル２へと少しずつ漏れ出る。これにより、主回路３の下流側回路部３ｂとワークカプセル２の圧力が徐々に上昇し、差圧センサ８のワーク側ポート８ａの圧が基準側ポート８ｂの圧（テスト圧Ｐｔ_１’）より高くなる。コントローラ１０は、正圧の場合と同様に、差圧センサ８の検出差圧に基づいて小漏れの有無を判断する。

なお、本実施形態では、圧力源１の供給圧は、基準圧供給工程の後、テスト圧供給工程から小漏れ検出工程に至るまで、負圧の第1設定圧Ｐｘ’に戻している。

（大気開放工程からスライド工程まで）
大気開放工程とクランプ解除工程では、正圧のタンク加圧方式エアリークテストと弁の動作が異なる。詳述すると、大気開放工程では、すべての弁ＳＶ１〜ＳＶ５が開くとともに、圧力源１の供給圧が負圧のＰｘ’から正圧に切り替わる。なお、この大気開放工程で供給される正圧は、上述した正圧の第１設定圧Ｐｘより低くてもよく、基準圧Ｐｒまたは基準圧Ｐｒより若干高い程度でもよい。

上記大気開放工程では、大気が大気開放弁ＳＶ５からワークカプセル２へ流れ込むとともに、圧力源１からの正圧の空気が、ワークカプセル２に流れ込む。前工程までワークカプセル２は負圧状態にあり、カプセル本体２ａが天板２ｂに食い付いている可能性があるが、上記正圧の空気が入り込むことにより、食い付きを確実に解除することができる。その結果、スライド工程において、円滑にカプセル本体２ａを天板２ｂの下側の検出位置から搬入・搬出位置へとスライドさせることができる。
スライド工程では第２供給弁ＳＶ２がオフして閉じ状態となり、圧力源１の供給圧が所定負圧Ｐｙに戻り、初期工程と同じ状態になる。

タンク分圧方式（正圧）
次に、正圧を用いたタンク分圧方式エアリークテスト方法について図４を参照しながら説明する。
（初期工程）
圧力源１は、基準圧Ｐｒを供給している。弁ＳＶ１〜ＳＶ５は図１の状態にあり、第１供給弁ＳＶ１が開き、第２供給弁Ｖ２が閉じているので、圧力源１からの基準圧Ｐｒが主回路３の上流側回路部３ａに付与されている。タンク弁ＳＶ３が開いているので、タンク５にも上記基準圧Ｐｒが供給されている。主回路３の下流側回路部３ｂは大気開放されている。

（スライド工程）
次に、弁ＳＶ１〜ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、ワークＷを収容したカプセル本体２ａを天板２ｂに対応した検出位置までスライドさせる。
（タンク遮断・クランプ工程）
次に、カプセル本体２ａと天板２ｂをクランプして、ワークカプセル２の内部空間を密封する。この工程では、タンク弁ＳＶ３をオンして閉じ状態にし、タンク５を主回路３の上流側回路部３ａから遮断する。これにより、タンク５は基準圧Ｐｒに維持される。なお本実施形態では、タンク弁ＳＶ３が閉じた直後に第２供給弁ＳＶ２がオンして開き、圧力源１からの基準圧Ｐｒの空気が、主回路３を通り開放弁ＳＶ５から大気へ排出される。

（テスト圧供給工程）
次に、弁ＳＶ１、ＳＶ２，ＳＶ３、ＳＶ４を前工程のまま維持した状態で、開放弁ＳＶ５をオンして閉じることにより主回路３、検圧回路７、ワークカプセル２を含む回路を閉鎖し、圧力源１の供給圧を基準圧Ｐｒから正圧の第２設定圧Ｐｙに切り替える。その結果、主回路３、検圧回路７およびワークカプセル２を含む閉鎖回路に正圧の第２設定圧Ｐｙが供給される。この正圧の第２設定圧Ｐｙは、小漏れ検出用のテスト圧Ｐｔ_２として提供される。差圧センサ８の２つのポート８ａ，８ｂは、等しいテスト圧Ｐｔ_２を受けている。

（圧力安定化工程）
次に、弁ＳＶ２、ＳＶ３、ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、第１供給弁ＳＶ１をオンして閉じることにより、主回路３を圧力源１から遮断するとともに、検圧弁ＳＶ４をオンして検圧回路７を遮断する。この状態を所定時間維持して圧力を安定化させる。

（小漏れ検出工程）
次に、弁ＳＶ１〜ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、差圧センサ８で検出される差圧に基づき小漏れの有無を判断する。この状態で、差圧センサ８の２つのポート８ａ，８ｂは、互いに遮断されている。すなわち、ワーク側ポート８ａは、主回路３の下流回路部３ｂを介してワークカプセル２に連なっている。基準側ポート８ｂは、検圧回路７において、差圧センサ８と検圧弁ＳＶ４との間の部分に連なっている。ポート８ｂでの圧力は、テスト圧Ｐｔ_２に維持されている。

ワークＷの包装にピンホール等の小さな欠陥が無い場合には、ワーク側ポート８ａ側の圧力もテスト圧Ｐｔ_２に維持される。その結果、差圧センサ８の検出差圧は、閾値内に維持され、コントローラ１０は小漏れ無しと判断する。
ワークＷの包装にピンホール等の小さな欠陥が有る場合には、テスト圧Ｐｔ_２の空気が徐々にワークＷ内に入り込む。これにより、ワークカプセル２の圧力が徐々に減じられ、ワーク側ポート８ａ側の圧力が基準側ポート８ｂ側の圧（テスト圧Ｐｔ_２）より低くなり、差圧センサ８の検出差圧が閾値を超えるため、コントローラ１０は小漏れ有りと判断する。

上述したように小漏れ検出に用いられるテスト圧Ｐｔ_２は、圧力源１から供給される第２設定圧Ｐｙをそのまま用いることができるので、高く設定することができる。

（大漏れ検出工程）
次に、弁ＳＶ１、ＳＶ２、ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、タンク弁ＳＶ３をオフして開き、検圧弁ＳＶ４をオフして開く。これにより、主回路３内における正圧のテスト圧Ｐｔ_２（正圧の第２設定圧Ｐｘ）の空気が、これより低い基準圧Ｐｒのタンク５へと流れ込み、主回路３の圧力が大漏れ用のテスト圧Ｐｔ_３まで減じられる。このテスト圧Ｐｔ_３は、上記式（１）において、第１設定圧Ｐｘを第２設定圧Ｐｙに置き換えることにより、求められる。

ワークＷの包装に大きな欠陥が無い場合には、絶対圧センサ６で検出される圧は、テスト圧Ｐｔ_３と等しい。しかし、大きな欠陥がある場合には、ワークＷ内が既にテスト圧Ｐｔ_２になっており、このテスト圧Ｐｔ_２の空気が放出される分だけ、ワークカプセル２および主回路３の圧がテスト圧Ｐｔ_３より高くなる。コントローラ１０では、絶対圧センサ６で検出される主回路３内の圧と上記テスト圧Ｐｔ_３との差が閾値内にある場合には、大漏れ無しと判断し、閾値を超える場合には大漏れ有りと判断する。

（大気開放工程）
次に、弁ＳＶ１〜ＳＶ４を前工程のまま維持した状態で、開放弁ＳＶ５をオフして開き、これにより、主回路３、検圧回路７、タンク５、ワークカプセル２が大気に開放される（排気される）。
（クランプ解除工程）
次に、弁ＳＶ１〜ＳＶ５を前工程のまま維持した状態で、ワークカプセル２のクランプを解除する。
（スライド工程）
最後に、検査済みのワークＷを収容したカプセル本体２ａをスライドさせて、天板２ｂの下側の検出位置から搬入・搬出位置へ戻すとともに、第１供給弁ＳＶ１をオフにして開き、第２供給弁ＳＶ２をオフにして閉じることにより、全ての弁ＳＶ１〜ＳＶ５を初期工程と同じ状態に戻す。

上記方式では、圧力源１は、上記タンク遮断・クランプ工程までは基準圧Ｐｒを供給し、テスト圧供給工程からスライド工程までは正圧の第２設定圧Ｐｙを維持し、初期状態で基準圧Ｐｒに戻す。

タンク分圧方式（負圧）
（初期工程からタンク連通・大漏れ検出工程まで）
次に、負圧を用いたタンク分圧方式エアリークテスト方法について図５を参照しながら説明する。初期工程、スライド工程、タンク遮断・クランプ工程、テスト圧供給工程、圧力安定化工程、小漏れ検出工程、タンク連通・大漏れ検出工程までの弁ＳＶ１〜ＳＶ５の動作は、上記正圧のタンク分圧方式エアリークテスト方法と同じである。圧力源１は、初期工程からタンク遮断・クランプ工程まで基準圧Ｐｒを供給し、テスト圧供給工程からタンク連通・大漏れ検出工程まで負圧の第２設定圧Ｐｙ’を、負圧のテスト圧Ｐｔ_２’として供給する。

小漏れ検出工程では、ワークＷの包装にピンホール等の小さな欠陥が有る場合に、ワークＷ内の空気が負圧のテスト圧Ｐｔ_２’のワークカプセル２へと少しずつ漏れ出る。これにより、主回路３の下流側回路部３ｂとワークカプセル２の圧力が徐々に上昇し、差圧センサ８のワーク側ポート８ａの圧力が基準側ポート８ｂの圧（テスト圧Ｐｔ_２’）より高くなる。コントローラ１０は、正圧の場合と同様に、差圧センサ８の検出差圧に基づいて小漏れの有無を判断する。

タンク連通・大漏れ検出工程では、ワークＷに大漏れが無い場合、基準圧Ｐｒのタンク５の空気がテスト圧Ｐｔ_２’（負圧の第２設定圧Ｐｙ’）の主回路３内へと流れ込み、主回路３の圧がテスト圧Ｐｔ_３’まで上昇する。このテスト圧Ｐｔ_３’は、上記式（１）において第１設定圧Ｐｘを負圧の第２設定圧Ｐｙ’に置き換えることにより得られる。

上記タンク連通・大漏れ検出工程において、ワークＷに大漏れが有る場合、ワークＷ内は、タンク連通・大漏れ工程の前に既にテスト圧Ｐｔ_２’（負圧の第２設定圧Ｐｙ’）になっており、タンク５内の空気が流入しても、テスト圧Ｐｔ_３’まで上昇しない。その結果、コントローラ１０は、絶対圧センサ６で検出される圧力とテスト圧Ｐｔ_３’との差に基づいてワークＷに大漏れが有るか無いかを判断することができる。

なお、本実施形態では、圧力源１の供給圧は、タンク遮断・クランプ工程の後、テスト圧供給工程からタンク連通・大漏れ検出工程に至るまで、負圧の第２設定圧Ｐｙ’に戻している。

（大気開放工程からスライド工程まで）
正圧を用いるタンク分圧方式エアリークテスト方法と弁の動作が異なるのは、大気開放工程とクランプ解除工程である。大気開放工程では、開放弁ＳＶ５がオフして開き、第１供給弁ＳＶ１がオフして開く（すなわち全ての弁ＳＶ１〜ＳＶ５が開く）とともに、圧力源１の供給圧が負圧の第２設定圧Ｐｙ’から正圧に切り替わる。なお、この大気開放工程で供給される正圧は、上述した正圧の第２設定圧Ｐｙより低くてもよく、基準圧Ｐｒまたは基準圧Ｐｒより若干高い程度でもよい。これにより、大気が大気開放弁ＳＶ５からワークカプセル２へ流れ込むとともに、圧力源１からの正圧の空気が、ワークカプセル２に流れ込む。その結果、カプセル本体２ａの天板２ｂへの食い付きが確実に解除され、クランプ解除後に円滑にカプセル本体２ａを検出位置から搬入・搬出位置へとスライドさせることができる。
スライド工程では第２供給弁ＳＶ２がオフして閉じ状態となり、圧力源１の供給圧が負圧の第２設定圧Ｐｙ’に戻り、初期工程と同じ状態になる。

上記の正圧または負圧を用いたタンク分圧方式のエアリークテスト方法では、圧力安定化工程および小漏れ検出工程において第２供給弁ＳＶ２を閉じてもよい。また、初期工程とスライド工程の間において、第２加圧弁ＳＶ２を一時的に開いてもよい。

絶対圧センサ６の役割
本実施形態では、天候等により変化する大気圧を用いず、絶対圧センサ６で管理された基準圧を用いるため、タンク加圧方式の大漏れ検出工程および小漏れ検出工程でのテスト圧を高精度に設定することができ、またタンク分圧方式での大漏れ検出工程でのテスト圧を高精度に設定することができる。その結果、エアリークテストの精度を高めることができる。

タンク加圧方式とタンク分圧方式の比較
タンク加圧方式では、事前に既知の容積のタンク５を第１設定圧にし、このタンク５の第１設定圧を基準圧の閉鎖回路に供給するので、タンクを含む閉鎖回路に存在する空気の絶対量を正確に把握することができる。そのため、大漏れ検査を正確に行うことができる。
ただし、タンク加圧方式では、小漏れ検査工程でのテスト圧が圧力源１からの第１設定圧と大気圧に近い基準圧との中間の値となるため、高くできない。

タンク分圧方式では、小漏れ検査工程でのテスト圧として圧力源１からの第２設定圧をそのまま用いるので、小漏れ検出工程でのテスト圧を正圧の場合には高く負圧の場合には低くすることができ、過酷な環境での漏れ検査を必要とする場合には好適である。また、小漏れ検査の精度を高めることができる。
ただし、タンク５に基準圧を供給して閉じた後に、圧力源１からの第２設定圧がワークカプセル２に供給され、小漏れ検査工程の期間も供給され続けるので、ワークの包装に欠陥があった場合に、ワーク内への空気の侵入量（正圧の場合）またはワークからの空気の放出量（負圧の場合）を正確に把握できない。そのため、ワークの態様によっては大漏れ検査の精度が減じられる可能性がある。

上述したように、タンク加圧方式、タンク分圧方式には長短があるので、製品種別、小漏れ時に要求されるテスト圧を勘案して、方式を選択する必要がある。この点については後述する。

他の実施形態
図６は図１のエアリークテスト装置に他の構成要素を付加した実施形態を示す。詳述すると、主回路３の下流側回路部３ｂには差圧センサ８より下流側において常開の遮断弁ＳＶ６が設けられている。この遮断弁ＳＶ６は、上述したエアリークテストを実行している時には開き状態を維持しており、回路を構成するマニホルドの気密検査する際には閉じられる。

図６に示すように、主回路３の上流側回路部３ａと下流側回路部３ｂの間には、基準漏れ回路１５が接続されている。基準漏れ回路１５には、基準漏れ器１６が設けられるとともに、その両側に常閉の基準漏れ弁ＳＶ７，ＳＶ８が設けられている。基準漏れ器１６は、両端が基準漏れ回路１５に連なる筒状の本体と、この本体内に収容された筒状のオリフィス部材とを有している。オリフィス部材の一端は拡径されて本体内周に接合され、他端は縮径されてオリフィスとなっている。

基準漏れ弁ＳＶ７，ＳＶ８は上述した通常のタンク加圧方式、タンク分圧方式のエアリークテストの時には閉じ状態を維持されている。
エアリークテスト装置の校正や閾値設定等を行なう際には、下流側回路部３ｂにテスト圧を付与し、上流側回路部３ａに基準圧を付与し、第１供給弁ＳＶ１、第２供給弁ＳＶ２、検圧弁ＳＶ４、開放弁ＳＶ５を閉じた状態で基準漏れ弁ＳＶ７，ＳＶ８を開く。これにより、疑似漏れ器１６のオリフィスを介してワークの小漏れに相当する基準漏れが発生する。この時の差圧センサ８の検出差圧に基づき、校正等を行う。
上記基準漏れ発生時に、基準漏れ器１６の他端が絶対圧センサ６で管理された基準圧となっているため、外部環境の大気圧の変化に影響されずに一定の基準漏れ量を発生させることができる。

テスト方式の自動選択
本実施形態では、コントローラ１０はタッチパネル（図示しない）を装備しており、ユーザがタッチパネルに製品種別と所望するテスト圧の情報を入力することにより、自動的にテスト方式を選択できるようになっている。

ワークが包装された医薬品の場合、製品種別として、ＰＴＰ包装，ピロー包装、バイアル、その他が想定される。
ＰＴＰ包装は、錠剤を、接合されたアルミシートと樹脂シート間に収容するようになっており、テスト圧は＋１０〜＋４０ｋＰａに制限される。
ピロー包装は、袋状の包装であり、負圧でエアリークテストを行う必要がある。
バイアルはガラス製またはプラスチック製の小瓶であり、薬剤を収容し、ゴム栓と金属キャップで密閉してある。このバイアルは、正圧でエアリークテストを行う必要がある。

以下、図７を参照しながら、コントローラ１０で実行されるテスト方式の自動選択について詳述する。
ステップ１００でユーザが上記製品種別を入力し、ステップ１０１で所望する小漏れ検査のためのテスト圧を例えば１０ｋＰａ単位で入力する。なお、ユーザがＰＴＰ包装を選択しながら、テスト圧として上記範囲を超える圧を指定した場合には、訂正を促す。また、ユーザがピロー包装を入力しながら正圧のテスト圧を指定した場合や、バイアルを入力しながら負圧のテスト圧を指定した場合も、同様に訂正を促す。

次のステップ１０２では、指定された小漏れ検査時のテスト圧Ｐｔが−４０≦Ｐｔ≦＋４０ｋＰａの範囲にあるか否かを判断する。肯定判断した時にはステップ１０３に進みタンク加圧方式を選択する。否定判断した時にはステップ１０４に進みタンク分圧方式を選択する。

ステップ１０３でタンク加圧方式を選択した場合には、ステップ１０５に進み、ここで上述したテスト圧を得るためのタンク６の圧（すなわち圧力源１からの第１供給圧Ｐｘ）が本エアリークテスト装置で実現可能か否かを判断する。ここで実現可能でないと判断した場合には、ステップ１０６でテスト圧を変更して再度ステップ１０５の判断を行う。テスト圧の変更は、テスト圧が正圧の場合には１０ｋＰａずつ低くし、テスト圧が負圧の場合には１０ｋＰａずつ高くする。なお、ステップ１０６に先立ちステップ１０７では、テスト圧が＋１０ｋＰａに達しているか否か（正圧の場合）、またはー１０ｋＰａに達しているか否か（負圧の場合）を判断する。ここで肯定判断した時には、ステップ１０４に進み、テスト方式をタンク加圧方式からタンク分圧方式に変更する。

ステップ１０５で肯定判断した場合、すなわち指定されたテスト圧または変更したテスト圧でタンク加圧方式を実行可能であると判断した場合には、ステップ１０８に進む。同様にステップ１０４でタンク分圧方式を選択した場合にも、ステップ１０８に進む。このステップ１０８では、テスト方式およびテスト圧に基づき、測定条件すなわち各工程の所要時間、弁等の動作タイミング、圧力源１から供給される設定圧等を設定する。なお、予めメモリにはテスト方式およびテスト圧に対応する測定条件が記憶されており、テスト方式とテスト圧を指定すれば、測定条件をメモリから読み出すことができるようになっている。

次のステップ１０９では、ワークとしての良品を複数（例えば３つ）用意し、これら良品について、設定されたテスト方式、テスト圧および測定条件で、上述のエアリークテストの工程を実行し、絶対圧センサ６の検出圧と、差圧センサ８の検出差圧を、記憶する。
次のステップ１１０では、大漏れを生じるような欠陥を有する不良品を例えば３つ用意し、これら不良品について、設定されたテスト方式、テスト圧および測定条件で、上述のエアリークテストの工程を実行し、絶対圧センサ６の検出圧と、差圧センサ８の検出差圧を、記憶する。

次のステップ１１１では、ステップ１０９，１１０の測定結果に基づき、その平均値とばらつきに基づき大漏れ検査および小漏れ検査で用いられる閾値を設定する。
次に、ステップ１１２では、良品をワークカプセル２にセットして上述した基準漏れ測定工程を実行し、ステップ１１３で測定感度等を確認してこのプログラムを終了する。

本発明は、前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変をなすことができる。
基準圧は、大気圧と同程度であってもよく、若干低くても良い。

本発明は、医薬品包装等の欠陥を検査するエアリークテスト装置に適用できる。

１ 圧力源
２ ワークカプセル
３ 主回路
３ａ 上流側回路部
３ｂ 下流側回路部
４ 分岐回路
５ タンク
６ 絶対圧センサ（圧力センサ）
７ 検圧回路
８ 差圧センサ
８ａ ワーク側ポート
８ｂ 基準側ポート
１０ コントローラ（制御・判断手段）
１５ 基準漏れ回路
１６ 基準漏れ器
ＳＶ１ 第１供給弁
ＳＶ２ 第２供給弁
ＳＶ３ タンク弁
ＳＶ４ 検圧弁
ＳＶ５ 開放弁
ＳＶ７，ＳＶ８ 基準漏れ弁
Ｗ ワーク

Claims (7)

1. ア）大気圧または大気圧に近い基準圧と設定圧を含む圧を供給可能な圧力源と、
   イ）検査対象のワークを収容するワークカプセルと、
   ウ）上記圧力源と上記ワークカプセルとを繋ぐ主回路と、
   エ）上記圧力源と上記主回路との間に介在された第１供給弁と、
   オ）上記主回路に設けられ、上記主回路を圧力源側の上流側回路部とワークカプセル側の下流側回路部とに分ける第２供給弁と、
   カ）上記主回路の上記上流側回路部に分岐回路を介して接続されるタンクと、
   キ）上記分岐回路に設けられ上記タンクを上記主回路に対して連通、遮断するタンク弁と、
   ク）上記主回路の上記上流側回路部に接続される圧力センサと、
   ケ）両端が上記主回路の下流側回路部に接続される検圧回路と、
   コ）上記検圧回路に設けられた検圧弁と、
   サ）上記検圧回路に設けられ、上記主回路の上記下流側回路部を介して上記ワークカプセルに連なるワーク側ポートと、上記検圧弁に連なる基準側ポートとを有する差圧センサと、
   シ）上記主回路に接続された大気開放弁と、
   ス）上記圧力源の供給圧の制御、上記第１供給弁、上記第２供給弁、上記タンク弁、上記検圧弁、上記大気開放弁のシーケンス制御、および前記圧力センサからの検出圧に基づく上記ワークの大漏れの有無の判断、上記差圧センサからの検出差圧に基づく上記ワークの小漏れの有無の判断を実行する制御・判断手段と、
   を備えたことを特徴とするエアリークテスト装置。
2. 上記圧力センサが絶対圧センサであることを特徴とする請求項１に記載のエアリークテスト装置。
3. さらに、上記主回路の上記上流側回路部と上記下流側回路部の間に接続された基準漏れ回路と、上記基準漏れ回路に設けられた２つの基準漏れ弁と、上記基準漏れ回路において上記２つの基準漏れ弁間に設けられるとともにオリフィスを有する基準漏れ器と、を備えていることを特徴とする請求項２に記載のエアリークテスト装置。
4. 第１方式のエアリークテストと、第２方式のエアリークテストを選択的に実行可能であり、
   ａ．上記第１方式において上記制御・判断手段は、
   上記第１供給弁と上記タンク弁を開き、上記第２供給弁を閉じた状態にして、上記圧力源から上記タンクに第１設定圧を供給する工程と、
   上記タンク弁を閉じて上記タンク内を第１設定圧に維持したまま、上記第１供給弁と上記第２供給弁と上記検圧弁を開いた状態にして、上記圧力源から上記主回路と上記検出回路に上記基準圧を供給する工程と、
   上記第１供給弁を閉じ、上記第２供給弁と上記検圧弁と上記タンク弁を開いた状態にして、上記タンクを上記主回路と上記検圧回路に連通させることにより、上記主回路と上記検圧回路を上記基準圧と上記第１設定圧の中間のテスト圧にし、この時の上記圧力センサからの検出圧に基づき、上記ワークの大漏れの有無を判断する大漏れ検出工程と、
   上記検圧弁を閉じ、上記差圧センサからの検出差圧に基づき、上記ワークの小漏れの有無を判断する小漏れ検出工程と、
   を上記順に実行し、
   ｂ．上記第２方式において上記制御・判断手段は、
   上記第１供給弁と上記タンク弁を開き、上記第２供給弁を閉じた状態にして、上記圧力源から上記タンクに上記基準圧を供給する工程と、
   上記タンク弁を閉じて上記タンク内を上記基準圧に維持したまま、上記第１供給弁と上記第２供給弁と上記検圧弁を開いた状態にして、上記圧力源から上記主回路と上記検圧回路にテスト圧としての第２設定圧を供給する工程と、
   上記第１供給弁を閉じ上記検圧弁を閉じた状態にして、上記差圧センサからの検出差圧に基づき、上記ワークの小漏れの有無を判断する小漏れ検出工程と、
   上記タンク弁を開き、上記タンクと上記主回路を連通させた状態にして、上記圧力センサからの検出圧に基づき、上記ワークの大漏れの有無を判断する大漏れ検出工程と、
   を上記順に実行すること、
   を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のエアリークテスト装置。
5. 上記第１方式での第１設定圧は、正圧と負圧を選択でき、上記第２方式での第２設定圧も正圧と負圧を選択できることを特徴とする請求項４に記載のエアリークテスト装置。
6. 負圧の上記第１設定圧を用いて第１方式のエアリークテストを実行する場合、または負圧の第２設定圧を用いて第２方式のエアリークテストを実行する場合に、上記制御・判断手段は、上記大漏れ検出工程と上記小漏れ検出工程の終了後に、上記圧力源からの正圧の供給を伴って上記開放弁を開くことにより、上記主回路を大気に開放することを特徴とする請求項５に記載のエアリークテスト装置。
7. 上記制御・判断手段は、ワークの製品種別、テスト圧を含む情報を入力する情報入力部を有し、入力された製品の種別、テスト圧に応じて上記第１、第２方式のいずれかを選択することを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載のエアリークテスト装置。

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