JP2024013731A - エアリークテスト装置の大漏れ検出感度測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】エアリークテスト装置の大漏れ検出の感度を簡便かつ低コストで測定する。【解決手段】エアリークテスト装置において、ワークカプセル２０に漏れが無い検査対象１００Ａと装填部材２５を収容したときの大漏れ検出工程での圧力センサ１０の第１検出圧力Ｐ１と、ワークカプセル２０に漏れが無い検査対象１００Ａだけを収容したときの大漏れ検出工程での圧力センサ１０の第２検出圧力と、装填部材２５の外容積Ｖに基づき、エアリークテスト装置の大漏れ検出感度Ｓを次式から求める。Ｓ＝Ｖ／（Ｐ２―Ｐ１）【選択図】図４

Description

本発明は、エアリークテスト装置において検査対象の大漏れを検出するときの感度を測定する方法に関する。

中空の製品（検査対象）の密封性を評価する装置として、検査対象にテスト圧を付与するエアリークテスト装置が知られている。テスト圧が正圧の場合を例にとって説明すると、検査対象に微小なピンホール等の欠陥がある場合、圧縮空気が時間をかけて少量ずつ検査対象内に入り込む。以下、これを微小漏れと言う。検査対象に比較的大きな欠陥がある場合、瞬時に又は短時間のうちに圧縮空気が検査対象に入り込む。以下、これを大漏れと言う。一般的なエアリークテスト装置では、検査対象の微小漏れと大漏れを検出できるようになっている。

特許文献１に開示されているエアリークテスト装置を例にとって説明する。このエアリークテスト装置は、テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通通路部と、この共通通路部の下流端に接続された２つの分岐通路部と、これら２つの分岐通路部の下流端にそれぞれ接続されたワークカプセルおよびマスタカプセルと、２つの分岐通路部にそれぞれ設けられた第１弁と、２つの分岐路において第１弁の下流側に補助通路部を介して接続された所定容積のタンクと、これら補助通路部に設けられた第２弁と、ワークカプセル内の圧力とマスタカプセル内の圧力の差を検出する差圧センサ（圧力センサ）とを備えている。

上述のエアリークテスト装置において、ワークカプセルに検査対象を密封し、マスタカプセルにマスタ部材（漏れが無いことを確認した検査対象）を密封した状態で、両カプセルにテスト圧を供給し、第１弁により分岐通路部を遮断することにより、両カプセルをテスト圧で閉鎖する。検査対象に微小の欠陥がある場合には、ワークカプセル内のテスト圧の空気が検査対象の内部空間に微小量ずつ漏れるため、ワークカプセル内の圧力が時間の経過とともに減じられる。差圧センサで検出される差圧（ワークカプセルの圧力変化）が閾値を超えた場合には、微小漏れありと判断する。この微小漏れ検出工程の後に大漏れ検出工程を実行する。すなわち、第２弁を開くことにより、両カプセルをそれぞれのタンクと連通させる。これにより両カプセルのテスト圧がそれぞれのタンクに分圧される。検査対象に大きな欠陥がある場合には、テスト圧供給時に検査対象の内部空間がテスト圧となっているため、上記タンクへの分圧により両カプセルに圧力差が生じる。差圧センサで検出される差圧が閾値を超えた場合には、大漏れありと判断する。

上述のエアリークテスト装置では種々のサイズ、形状の検査対象の漏れ検査が実行される。検査対象に応じてワークカプセル、マスタカプセルのサイズ、形状も変わるが、そのたびに大漏れの検出感度を測定することが求められる。従来では次のようにして大漏れの検出感度を測定している。すなわち、ワークカプセル側の分岐通路部に、容積変更器が接続されている。ワークカプセルとマスタカプセル内にそれぞれ漏れの無い検査対象を密封する。容積変更器の容積を例えばゼロにした状態で、上述の大漏れ検出工程を実行し、差圧センサにより第１検出圧力を得る。次に、容積変更器を所定容積まで増大させた状態で、上述の大漏れ検出工程を実行し、差圧センサにより第２検出圧力を得る。そして、これら第１、第２検出圧力の差と容積変更器の容積増加分に基づき、大漏れの検出感度を測定する。

特開２００３－１４９０７６号公報

容積変更器の容積増加分は、検査対象の内容積と等しくさせる必要はないが、ある程度対応させる必要がある。そのため、検査対象の内容積が大きく異なる場合、１種類の容積変更器では対応できず、異なるサイズの複数の容積変更器を準備する必要があり、コスト高となる。

上記問題点を解決するために、本発明は、テスト圧源と、中空の検査対象を密閉するワークカプセルと、前記テスト圧源と前記ワークカプセルを連ねる通路と、前記通路に設けられ前記通路を開閉する第１弁と、前記ワークカプセル内の圧力を検出する圧力センサと、前記通路において前記第１弁と前記ワークカプセルとの間に接続された補助通路部と、前記補助通路部に接続された所定容積のタンクと、前記補助通路部に設けられ前記タンクと前記通路との間を開閉する第２弁と、制御演算手段と、を備え、前記制御演算手段が、大漏れ検出工程を含むエアリークテスト工程を実行し、この大漏れ検出工程では、前記第１弁を閉じた状態で前記第２弁を開くことにより、前記ワークカプセル内のテスト圧を前記タンクに分圧するか又は前記タンク内のテスト圧を前記ワークカプセルに分圧し、この時に前記圧力センサで検出される圧力から、前記検査対象に大漏れを生じさせるような欠陥が有るか否かを判断するエアリークテスト装置において、
１つ又は複数の装填部材を用いて大漏れ検出感度測定工程を実行し、この大漏れ検出感度測定工程では、前記ワークカプセルに漏れが無い検査対象と前記１つ又は複数の装填部材の全てを収容したときの前記大漏れ検出工程での前記圧力センサの第１検出圧力と、前記ワークカプセルに漏れが無い検査対象を収容するとともに前記ワークカプセルから前記１つ又は複数の装填部材のうちの少なくとも１つの装填部材を除外したときの前記大漏れ検出工程での前記圧力センサの第２検出圧力と、前記除外された少なくとも１つの装填部材の外容積に基づき、前記エアリークテスト装置の大漏れ検出感度を測定することを特徴とする。

上記方法によれば、ワークカプセルに装填部材を用いて簡便に大漏れ検出感度を測定できる。また、低コストで異なるサイズの検査対象に対応することができる。

好ましくは、前記制御演算手段は、前記エアリークテスト工程において、前記大漏れ検出工程の前又は後に微小漏れ検出工程を実行し、この微小漏れ検出工程では、前記第１弁と前記第２弁を閉じた状態で前記ワークカプセル内のテスト圧の時間変化を前記圧力センサ又は他の圧力センサで検出し、検出された圧力変化に基づき前記検査対象に微小欠陥があるか否かを判断し、前記大漏れ検出工程と前記微小漏れ検出工程を含む前記エアリークテスト工程では、前記ワークカプセルに前記１つ又は複数の装填部材の全てが収容されている。
この方法によれば、ワークカプセルの実容積（テスト圧で満たされる容積）を、装填部材を収容しない場合に比べて小さくすることができ、特に微小漏れ検出の精度を維持することができる。

一態様では、前記装填部材は１つであり、前記大漏れ検出感度測定工程において、前記ワークカプセルに前記漏れが無い検査対象と前記装填部材を収容した状態で前記第１検出圧力を得、前記ワークカプセルに前記漏れが無い検査対象だけを収容した状態で前記第２検出圧力を得る。
この方法によれば、より一層簡便に大漏れ検出感度を測定できる。

他の態様では、前記装着部材が複数あり、前記大漏れ検出感度測定工程において、前記ワークカプセルに前記漏れが無い検査対象と前記複数の装填部材を収容した状態で前記第１検出圧力を得、前記ワークカプセルに前記漏れが無い検査対象だけを収容した状態で前記第２検出圧力を得る。
この方法によれば、スペーサが複数の場合に、大漏れ検出感度を測定するためのスペーサの合計外容積を大きくできるので、大漏れ検出感度の測定精度を上げることができる。

好ましくは、前記ワークカプセルの内面には１つ又は複数の収容凹部が形成され、これら１つ又は複数の収容凹部に、前記１つ又は複数の装填部材が着脱可能に収容される。
この方法によれば、装填部材を安定してワークカプセルに収容することができる。

好ましくは、前記ワークカプセルには、検査対象の外形状に対応した形状の収容空間が形成され、この収容空間には、収容空間の内面と検査対象の外面との間の実容積を減じるための１つ又は複数のスペーサが着脱可能に収容されており、前記１つ又は複数のスペーサが前記１つまたは複数の装填部材として提供される。
この方法によれば、微小漏れ検出工程の精度を上げるためのスペーサを用いて大漏れ検出感度を測定することができる。

本発明によれば、検査対象のサイズに対応して低コストで簡便に大漏れ検出の感度を測定することができる。

本発明方法が適用されるエアリークテスト装置の概略構成図である。 上記エアリークテスト装置で用いられる一実施形態に係るワークカプセルの断面図であり、通常のエアリークテスト工程を実行する時の状態を示す。 上記エアリークテスト装置で用いられるマスタカプセルの断面図である。 大漏れ検出感度を測定する工程を実行する時の上記ワークカプセルの断面図であり、（Ａ）は第１検出圧力を得るために大漏れ検出工程を実行する時の状態、（ｂ）は第２検出圧力を得るために大漏れ検出工程を実行する時の状態をそれぞれ示す。 別の実施形態に係るワークカプセルのカプセル本体を示す平面図である。

以下、本発明方法の第１実施形態を図面を参照しながら説明する。
＜エアリークテスト装置の構成＞
最初に、本発明方法が適用されるエアリークテスト装置を、図１を参照しながら説明する。このエアリークテスト装置の基本構成は公知である。エアリークテスト装置は、圧力源１と通路２を備えている。本実施形態の圧力源１は加圧（正圧）の空気源であるが負圧でもよい。なお、正圧、負圧に拘わらず通路２の圧力源１側を上流と言う。

通路２は、上流端が圧力源１に接続された共通通路部２ｘと、この共通通路部２ｘの下流端にそれぞれ接続された２つの分岐通路部２ａ，２ｂとを備えている。共通通路部２ｘには、レギュレータ３およびその下流側の三方弁４が設けられている。レギュレータ３は圧力源１からの圧力を設定されたテスト圧に維持する。したがって、この圧力源１とレギュレータ３により、テスト圧源５が構成される。三方弁４は、リークテスト開始時にはテスト圧源５からのテスト圧を分岐通路部２ａ，２ｂに供給し、リークテスト終了時には分岐通路部２ａ，２ｂを大気に開放する。

分岐通路部２ａ，２ｂには、第１弁６ａ，６ｂがそれぞれ設けられている。上記分岐通路部２ａ，２ｂにおいて第１弁６ａ，６ｂの下流側には補助通路部７ａ，７ｂがそれぞれ接続されており、この補助通路部７ａ，７ｂには、それぞれ第２弁８ａ，８ｂが設けられ、さらにその先端には所定容積のタンク９ａ，９ｂが接続されている。

分岐通路部２ａの下流端にはワークカプセル２０が接続され、分岐通路部２ｂの下流端にはマスタカプセル３０が接続されている。分岐通路部２ａ，２ｂにおいて第１弁６ａ，６ｂの下流側には差圧センサ１０（圧力センサ）の２つのポートがそれぞれ接続されており、これにより分岐通路部２ａ，２ｂ間の差圧、ひいてはワークカプセル２０とマスタカプセル３０との間の差圧を検出することができる。

ワークカプセル２０は、開閉可能な２つのカプセル構成部材からなり、例えば図２に示すように、上端が開口し検査対象１００を収容する容器形状のカプセル本体２１と、蓋２２とを備えている。カプセル本体２１は、図２に破線で示す搬入・搬出位置から実線で示す蓋２２の下側の検査位置との間で移動可能である。カプセル本体２１が検査位置にある時にカプセル本体２１と蓋２２はクランプ機構によりクランプされ、その収容空間２３に検査対象１００を密封するようになっている。

図２ではワークカプセル２０を概略的に示しているが、ワークカプセル２０の収容空間２３は、検査対象１００に対応した形状、サイズを有しており、これにより収容空間２３の内容積から検査対象１００の外容積を減じた収容空間２３の実容積をできるだけ小さくするように設計されている。

ワークカプセル２０のカプセル本体２１の内面、例えば検査対象１００を載せる底面には、収容凹部２４が形成されている。この収容凹部２４には、収容凹部２４と略同形状、同サイズの装填部材２５が着脱可能に装填されるようになっている。この装填部材２５の外容積は、検査対象１００の内容積と等しくする必要はないが、この内容積に見合った大きさ、例えば内容積の５０～２００％とするのが好ましい。

図３に示すように、マスタカプセル３０もワークカプセル２０と同一形状、サイズのカプセル本体３１、蓋３２および収容空間３３を有しており、マスタ部材Ｍとして漏れが無いことが確認されている検査対象を密封している。本実施形態では、マスタカプセル３０にもワークカプセル２０と同一形状、サイズの収容凹部３４が形成され、この収容凹部３４に装填部材３５が装填されている。この装填部材３５は、通常のエアリークテスト工程および後述の大漏れ検出感度の測定工程において、収容凹部３４に装填されたまま維持される。なお、マスタカプセル３０には収容凹部３４および装填部材３５を省略してもよい。

上記弁４，６ａ，６ｂ，８ａ，８ｂはコントローラ５０（図１参照；制御演算手段）によりシーケンス制御される。コントローラ５０は、ワークカプセル２０の開閉、差圧センサ１０での検出差圧に基づく検出対象１００の良否判定（漏れの有無の判定）も行う。

＜通常のエアリークテスト工程＞
以下、通常のエアリークテスト工程について説明する。この工程を実行する時には、ワークカプセル２０の収容凹部２４に装填部材２５が装填されている。エアリークテスト工程は、微小漏れ検出工程と大漏れ検出工程を含んでいる。

最初に検査対象１００を収容したワークカプセル２０を上述したようにして閉じ、検査対象１００を密封する。次に、三方弁４をオンすることにより、テスト圧源５からのテスト圧を、分岐通路部２ａ，２ｂを介してワークカプセル２０とマスタカプセル３０に供給する。次に、第１弁６ａ，６ｂが閉じ、その下流側の分岐通路部２ａ，２ｂを互いに隔離して閉鎖する。

次に、微小漏れ検出工程を実行する。すなわち、弁６ａ，６ｂを閉じてから所定時間経過後の差圧センサ１０の検出差圧を第１閾値と比較する。検査対象１００に微小のピンホール等の欠陥があると、ワークカプセル２０内の加圧空気が検査対象１００の内部空間に微小量ずつ入り込み、ワークカプセル２０内の圧力がテスト圧から徐々に低下する。他方、マスタカプセル３０ではテスト圧が維持される。その結果、ワークカプセル２０内の圧力とマスタカプセル３０内の圧力との間には差が生じる。この差圧（ワークカプセル２０の圧力変化）が差圧センサ１０で検出される。検出差圧が第１閾値を超えている場合には、微小漏れ有りと判断し、検出差圧が第１閾値を超えない場合には、検査対象１００の微小漏れ無しと判断する。ワークカプセル２０の収容凹部２４に装填部材２５が収容されているので、ワークカプセル２０の実容積（テスト圧で満たされる容積）を、装填部材２５が収容凹部２４に収容されない場合に比べて小さくすることができ、微小漏れ検出の精度を維持することができる。

次に、大漏れ検出工程を実行する。検査対象１００に大きな欠陥がある場合には、テスト圧供給とほぼ同時に、テスト圧の加圧空気がピンホールから検査対象１００の内部空間に入る（大漏れする）ため、上記微小漏れ検出工程では漏れを検出できない。

大漏れ検出工程では、第１弁６ａ，６ｂが閉じた状態で第２弁８ａ，８ｂを開き、タンク９ａ，９ｂをそれぞれ分岐通路部２ａ，分岐通路部２ｂと連通させる。タンク９ａ，９ｂは例えば大気圧であるため、ワークカプセル２０、マスタカプセル３０内のテスト圧がタンク９ａ，９ｂへと逃げて、分圧される。大漏れがある場合には検査対象１００の内部空間内のテスト圧の加圧空気分だけ、分岐通路部２ａおよびワークカプセル２０の圧力が、分岐通路部２ｂおよびマスタカプセル３０の圧力より高い。この差圧を差圧センサ１０で第２閾値と比較し、第２閾値を超えている場合には検査対象１００に大漏れ有りと判断し、超えない場合には大漏れ無しと判断する。

＜大漏れ検出感度測定工程＞
次に、本発明の要部である大漏れの検出感度測定工程について説明する。この工程では、通常のエアリークテスト工程での大漏れ検出工程を異なる２つの状況で実施する。なお、通常のエアリークテスト方法と同様に、微小漏れ検出工程の後に大漏れ検出工程を実行してもよいし、微小漏れ検出工程を省いて大漏れ検出工程だけを実行してもよい。

＜第１の状況での大漏れ検出工程＞
図４（Ａ）に示すように、第１の状況では、ワークカプセル２０の収容凹部２４に装填部材２５を装填した状態で、漏れが無いことが確認された検出対象１００Ａ（マスタ部材Ｍと実質的に同じ）を密封し、大漏れ検出工程を実行して、差圧センサ１０の検出差圧（第１検出圧力Ｐ１）を得る。ちなみに本実施形態では第１検出圧力はゼロ又はゼロに近い値となることが想定される。

＜第２の状況での大漏れ検出工程＞
図４（Ｂ）に示すように、第２の状況では、ワークカプセル２０の収容凹部２４から装填部材２５を外した状態で、漏れが無いことが確認された検出対象１００Ａだけを収容空間２３に密封し、大漏れ検出工程を実行して、差圧センサ１０の検出差圧（第２検出圧力Ｐ２）を得る。

上述のようにして得られた第１検出圧力Ｐ１（ｋＰａ）と第２検出圧力Ｐ２（ｋＰａ）と装填部材２５の外容積Ｖ（ｍＬ）から、次式により大漏れ検出の感度Ｓ（ｍＬ／ｋＰａ）を求めることができる。
Ｓ＝Ｖ／（Ｐ２―Ｐ１）・・・（１）

上述したように、装填部材２５をワークカプセル２０に装填したり外したりすることにより、第１、第２の検出圧力を得ることができ、大漏れ検出感度の測定を簡便に行うことができる。

異なる形状、サイズの検査対象１００のリークテストを実行する場合には、その検査対象１００に対応した形状、サイズのワークカプセル２０、マスタカプセル３０が用いられる。検査対象１００の内容積の変化が大きい場合には、ワークカプセル２０の収容凹部２４および装填部材２５のサイズも検査対象１００の内容積に応じて変える。このように検出対象１００の内容積が大きく変わっても装填部材２５を変えるだけで大漏れの検出感度の測定を実行することができ、従来のように容積変更器を変える場合に比べて低コストで対応することができる。

図５は別の実施形態を示す。図５において前述した実施形態に対応する構成部には同番号を付す。ワークカプセル２０のカプセル本体２１の収容空間２３は、検査対象１００の形状に対応した内面形状を有している。この収容空間２３の内面と検査対象１００の外面との間には、これら間の容積を減じるためのスペーサ２６が収容されている。このスペーサ２６は高精度に作成されており収容空間２３の内面に接し、スペーサ２６と検査対象１００の外面との間の隙間２７を可能な限り減じている。なお、カプセル本体２１の上面には蓋２２（図５には示されていない）との間をシールするための環状のシール材２９が、上記収容空間２３を囲うようにして設けられている。

スペーサ２６を収容空間２３に装着した状態で、微小漏れ検出工程と大漏れ検出工程を含むエアリークテスト工程を実行する。ワークカプセル２０の実容積が小さいので、微小漏れを高精度に検出することができる。

大漏れ検出感度測定工程では、漏れが無い検査対象１００Ａ（図５には示されていない）とスペーサ２６をワークカプセル２１の収容空間２３に収容した状態で大漏れ検出工程を実行することにより、上述の実施形態と同様に第１検出圧力を得、スペーサ２６を外して漏れが無い検査対象１００Ａだけをワークカプセル２１の収容空間２３に収容した状態で大漏れ検出工程を実行することにより、第２検出圧力を得る。そして、スペーサ２６の外容積と第１、第２検出圧力に基づいて、大漏れ検出感度を測定する。この説明から明らかなように、本実施形態のスペーサ２６は大漏れ検出感度測定のための装填部材としての役割を担う。

本発明は、上記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変をなすことができる。
容易に理解できるので図示しないが、装填部材は複数あってもよい。ワークカプセルの内面に収容凹部を形成する場合には、装填部材の数に応じて収容凹部も複数形成する。スペーサは、検査対象の部位毎に複数に分割されていてもよい。
装填部材が複数ある場合、第１検出圧力を得る時に漏れの無い検査対象とともに全ての装填部材をワークカプセルに収容し、第２検出圧力を得る時に複数の装填部材の全てを除外して漏れの無い検査対象だけをワークカプセルに収容するのが好ましい。これによれば、大漏れ検出感度を測定するためのスペーサの合計外容積（上述した式（１）の外容積Ｖ参照）を大きくできるので、大漏れ検出感度の測定精度を上げることができる。ただし、第２検出圧力を検出する際、ワークカプセルから複数の装填部材の一部を除外し、残りをワークカプセルに収容してもよい。
スペーサが複数ある場合も、同様である。

通常のエアリークテスト工程において、大漏れ検出工程を微小漏れ検出工程より先に実行してもよい。大漏れ検出工程において、予めタンクにテスト圧を供給して第２弁を閉じ、タンクより上流側の第１弁を閉じた状態で第２弁を開くことにより、タンクのテスト圧を例えば大気圧のワークカプセルに逃がして分圧してもよい。この場合、微小漏れ検出工程で用いられる差圧センサとは異なる絶対圧センサを第１弁の下流側の通路に設け、この絶対圧センサの検出圧力を用いて大漏れ検出工程での大漏れ検出を行ってもよい。
マスタカプセルの容積は、ワークカプセルの容積と異なっていてもよいし、マスタカプセルにマスタ部材を収容しなくてもよい。マスタカプセルおよびマスタカプセルへの分岐通路を省いてもよい。
差圧センサの代わりに絶対圧センサの検出圧力に基づいて大漏れの有無を判断してもよい。
テスト圧は、正圧ではなく真空に近い負圧であってもよい。

本発明は、エアリークテスト装置における大漏れの検出感度を測定する方法に適用できる。

２ 通路
５ テスト圧源
６ａ 第１弁
７ａ 補助通路部
８ａ 第２弁
９ａ タンク
１０ 差圧センサ（圧力センサ）
２０ ワークカプセル
２３ 収容空間
２４ 収容凹部
２５ 装填部材
２６ スペーサ（装着部材）
５０ コントローラ（制御演算手段）
１００ 検査対象
１００Ａ 漏れの無い検査対象

Claims (6)

1. テスト圧源と、中空の検査対象を密閉するワークカプセルと、前記テスト圧源と前記ワークカプセルを連ねる通路と、前記通路に設けられ前記通路を開閉する第１弁と、前記ワークカプセル内の圧力を検出する圧力センサと、前記通路において前記第１弁と前記ワークカプセルとの間に接続された補助通路部と、前記補助通路部に接続された所定容積のタンクと、前記補助通路部に設けられ前記タンクと前記通路との間を開閉する第２弁と、制御演算手段と、を備え、
   前記制御演算手段が、大漏れ検出工程を含むエアリークテスト工程を実行し、この大漏れ検出工程では、前記第１弁を閉じた状態で前記第２弁を開くことにより、前記ワークカプセル内のテスト圧を前記タンクに分圧するか又は前記タンク内のテスト圧を前記ワークカプセルに分圧し、この時に前記圧力センサで検出される圧力から、前記検査対象に大漏れを生じさせるような欠陥が有るか否かを判断するエアリークテスト装置において、
   １つ又は複数の装填部材を用いて大漏れ検出感度測定工程を実行し、この大漏れ検出感度測定工程では、前記ワークカプセルに漏れが無い検査対象と前記１つ又は複数の装填部材の全てを収容したときの前記大漏れ検出工程での前記圧力センサの第１検出圧力と、前記ワークカプセルに漏れが無い検査対象を収容するとともに前記ワークカプセルから前記１つ又は複数の装填部材のうちの少なくとも１つの装填部材を除外したときの前記大漏れ検出工程での前記圧力センサの第２検出圧力と、前記除外された少なくとも１つの装填部材の外容積に基づき、前記エアリークテスト装置の大漏れ検出感度を測定する方法。
2. 前記制御演算手段は、前記エアリークテスト工程において、前記大漏れ検出工程の前又は後に微小漏れ検出工程を実行し、この微小漏れ検出工程では、前記第１弁と前記第２弁を閉じた状態で前記ワークカプセル内のテスト圧の時間変化を前記圧力センサ又は他の圧力センサで検出し、検出された圧力変化に基づき前記検査対象に微小欠陥があるか否かを判断し、
   前記大漏れ検出工程と前記微小漏れ検出工程を含む前記エアリークテスト工程では、前記ワークカプセルに前記１つ又は複数の装填部材の全てが収容されていることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記装填部材は１つであり、前記大漏れ検出感度測定工程において、前記ワークカプセルに前記漏れが無い検査対象と前記装填部材を収容した状態で前記第１検出圧力を得、前記ワークカプセルに前記漏れが無い検査対象だけを収容した状態で前記第２検出圧力を得ることを特徴とする請求項２に記載の方法。
4. 前記装着部材が複数あり、前記大漏れ検出感度測定工程において、前記ワークカプセルに前記漏れが無い検査対象と前記複数の装填部材を収容した状態で前記第１検出圧力を得、前記ワークカプセルに前記漏れが無い検査対象だけを収容した状態で前記第２検出圧力を得ることを特徴とする請求項２に記載の方法。
5. 前記ワークカプセルの内面には１つ又は複数の収容凹部が形成され、これら１つ又は複数の収容凹部に、前記１つ又は複数の装填部材が着脱可能に収容されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
6. 前記ワークカプセルには、検査対象の外形状に対応した形状の収容空間が形成され、この収容空間には、収容空間の内面と検査対象の外面との間の実容積を減じるための１つ又は複数のスペーサが着脱可能に収容されており、前記１つ又は複数のスペーサが前記１つまたは複数の装填部材として提供されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
   
   

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