JP2021109256A - 切削ブレードの状態検知方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係る切削ブレードの状態検知方法を図面に基づいて説明する。実施形態1に係る切削ブレードの状態検知方法は、図1に示された切削装置1において実施される。まず、切削装置1の構成を説明する。図1は、実施形態1に係る切削ブレードの状態検知方法を実施する切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示された切削装置の切削ユニットの要部と刃先検査ユニットのユニット本体を示す斜視図である。
実施形態1では、図1に示す切削装置1の加工対象の被加工物200は、シリコン、ガリウムヒ素、SiC(炭化ケイ素)又はサファイア、などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物200は、表面201に格子状に形成された複数の分割予定ライン202によって格子状に区画された領域にデバイス203が形成されている。
図1に示された切削装置1は、被加工物200をチャックテーブル10で保持し分割予定ライン202に沿って切削ブレード21で切削加工する加工装置である。切削装置1は、図1に示すように、被加工物200を保持面11で吸引保持するチャックテーブル10と、切削ブレード21でチャックテーブル10に保持された被加工物200を切削する切削ユニット20と、チャックテーブル10に保持された被加工物200を撮影する撮像ユニット30と、刃先検査ユニット40とを備える。
次に、刃先検査ユニットを説明する。図3は、図1に示された切削装置の刃先検査ユニットの構成を模式的に示す図である。図4は、図1に示された切削装置の刃先検査ユニットの発光部が発光したパルス光と切削ブレードとを模式的に示す側面図である。図5は、図1に示された切削装置の刃先検査ユニットのパルス光の光量を光電変換部が変換した電圧の電圧値を示す図である。図6は、図1に示された切削装置の刃先検査ユニットの切削ブレードの切り刃の刃先状態を検知する位置を説明する図である。
実施形態1に係る切削ブレードの状態検知方法は、前述した構成の切削装置1において、切削ブレード21の切り刃212の刃先の状態、即ち欠けの発生の有無及び貫通穴213の発生の有無を検知する方法である。図8は、実施形態1に係る切削ブレードの状態検知方法の流れを示すフローチャートである。図9は、図8に示された切削ブレードの状態検知方法の判定ステップにおいて、切り刃に欠けが発生していると判定する際の電圧値の変化の一例を示す図である。図10は、図8に示された切削ブレードの状態検知方法の判定ステップにおいて、切り刃に貫通穴が発生していると判定する際の電圧値の変化の一例を示す図である。
本発明の実施形態2に係る切削ブレードの状態検知方法を図面に基づいて説明する。図11は、実施形態2に係る切削ブレードの状態検知方法を実施する切削装置の第2刃先検査ユニットの構成を模式的に示す図である。なお、図11は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
10 チャックテーブル
20 切削ユニット
21 切削ブレード
23 スピンドル
40 刃先検査ユニット
44 侵入部
45 発光部
46 受光部
53 Z軸移動ユニット(移動ユニット、切り込み送りユニット)
70 第2刃先検査ユニット(刃先検査ユニット)
74 侵入部
75 発光部
76 受光部
80 受発光部移動ユニット
101 光電変換部
102 電圧記録部
200 被加工物
212 切り刃
Z 径方向
ST2 電圧記録ステップ
ST3 判定ステップ
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、外周に切り刃を備える切削ブレードがスピンドルに装着され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該切削ブレードの該切り刃が侵入する侵入部と該侵入部を挟んで発光部と受光部とを備える刃先検査ユニットと、該刃先検査ユニットと該切削ユニットとを該切削ブレードの径方向に相対的に移動させる移動ユニットと、を備える切削装置において該切削ブレードの刃先状態を検知する切削ブレードの状態検知方法であって、
該刃先検査ユニットは、該受光部が受光したパルス光の光量を電圧に変換する光電変換部と、該光電変換部で変換された該電圧をパルス毎に記録する電圧記録部と、を更に備え、
該切削ブレードを回転させながら該移動ユニットを駆動させ、該受光部が受光するパルス光を該切り刃が遮蔽しない位置から該切り刃を該侵入部へ所定量侵入する位置へと移動する間の、該電圧の変化を記録する電圧記録ステップと、
該電圧記録ステップで記録した該電圧の変化から、該切り刃の状態を判定する判定ステップと、を備え、
該判定ステップでは、
所定以上の該電圧の増加が無い場合は、該切り刃に欠け無しと判定し、
該切り刃による該パルス光の遮蔽が開始された直後から定期的且つ一時的な該電圧の増加が発生していた場合、該切り刃の先端に欠けが発生していると判定し、
該切り刃による該パルス光の遮蔽が開始された直後から定期的且つ一時的な該電圧の増加の発生が無い状態が続いた後、定期的且つ一時的な該電圧の増加が発生していた場合、該切り刃の外周縁より径方向内側に貫通穴が発生していると判定する切削ブレードの状態検知方法。 - 該移動ユニットは、該切削ユニットを移動させる切り込み送りユニットまたは、該発光部及び該受光部を一体的に移動させる受発光部移動ユニットである請求項1に記載の切削ブレードの状態検知方法。
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