JP2021107316A5 - - Google Patents

Description

前記分散剤としては特に限定されず、一般的な界面活性剤を用いることができる。前記界面活性剤としては、例えば、非イオン性炭化水素界面活性剤、カチオン性炭化水素界面活性剤、アニオン性炭化水素界面活性剤、非イオン性炭化フッ素界面活性剤、カチオン性炭化フッ素界面活性剤、及びアニオン性炭化フッ素界面活性剤等が挙げられる。

また例示した界面活性剤のうち、フッ素原子を有する界面活性剤、すなわち、非イオン性炭化フッ素界面活性剤、カチオン性炭化フッ素界面活性剤、及びアニオン性炭化フッ素界面活性剤は屈折率が低いので、これらの界面活性剤を含む分散液は、光学膜の構成材料に好適である。

前記フッ化物粒子の製造方法は、ナトリウム塩水溶液又はカリウム塩水溶液（以下、「ナトリウム塩水溶液等」という。）と、ケイフッ化物又はホウフッ化物（以下、「ケイフッ化物等」という。）とを反応させて、前記Ａ_ｘＣＦ_ｙで表されるフッ化物の粒子のスラリーを得る工程と、得られたスラリーの固液分離及びスラリーの固形分の洗浄を行う工程と、洗浄後のフッ化物粒子の固形分（ペースト）を乾燥して水分を除去する工程とを含む。

分散液の製造過程においては、分散液中の水分濃度［ａ］を管理するのが好ましい。具体的には、分散液中の水分濃度［ａ］が、前述の式（１）で表される関係を満たす様に行うのが好ましい。水分濃度［ａ］を管理する方法としては、例えば、ドライルーム等の露点管理された場所で湿式粉砕を行う方法や、フッ化物粒子、非プロトン性有機溶媒及びこれらを含む分散液が外気に晒されないように、密閉した空間内に於いて不活性ガス又はドライエアーの環境下で行う方法が挙げられる。不活性ガスとしては特に限定されず、例えば、窒素、アルゴン等が挙げられる。

（比較例５）
本比較例に於いては、実施例１で作製した分散液の代わりに比較例１で作製した分散体を用いた。それ以外は、実施例４と同様の方法にて本比較例に係る反射防止膜を積層した。

Claims (2)

1. 前記フッ化物粒子の分散液を作製する工程は、
   前記フッ化物粒子の分散液１００質量％に対する、当該フッ化物粒子の分散液中の水分濃度［ａ］（質量％）と、前記非プロトン性有機溶媒の比誘電率［ｂ］とが、以下の式（１）で表される関係を満たす様に、当該分散液中の水分濃度［ａ］を調整して行う請求項１１に記載のフッ化物粒子の分散液の製造方法。
   ［ａ］≦０．０６ｅ^{０．１５［ｂ］} （１）
2. 前記分散液中の水分濃度［ａ］の調整は、前記フッ化物粒子の分散液を不活性ガスの雰囲気中で作製することにより行う請求項１２に記載のフッ化物粒子の分散液の製造方法。