JP2021100117A - 気相エピタキシー法 - Google Patents
気相エピタキシー法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021100117A JP2021100117A JP2020209397A JP2020209397A JP2021100117A JP 2021100117 A JP2021100117 A JP 2021100117A JP 2020209397 A JP2020209397 A JP 2020209397A JP 2020209397 A JP2020209397 A JP 2020209397A JP 2021100117 A JP2021100117 A JP 2021100117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- doping
- mass flow
- flow rate
- precursor
- phase epitaxy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/14—Feed and outlet means for the gases; Modifying the flow of the reactive gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/16—Controlling or regulating
- C30B25/165—Controlling or regulating the flow of the reactive gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/42—Gallium arsenide
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02455—Group 13/15 materials
- H01L21/02463—Arsenides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02494—Structure
- H01L21/02496—Layer structure
- H01L21/0251—Graded layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/02546—Arsenides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02576—N-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02579—P-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】クロスコンタミネーションを抑制できる第III−V族層の気相エピタキシー法を提供する。【解決手段】担体ガスと、第1の前駆体と、第2の前駆体とを含むエピタキシーガス流Fからの気相による、反応チャンバK内の基板S表面上または先行する層上での、第1の導電型から第2の導電型へと変化するドーピングを有する第III−V族層の成長を有する気相エピタキシー法であって、第1の成長高さの達成時に、該エピタキシーガス流における、該第1の前駆体の第1の質量流量と該第2の前駆体の第2の質量流量との比を利用して、該第1の導電型の第1のドーピング初期値を調整し、続いて、該第1のドーピング初期値を、該第1または低い第2の導電型の第2のドーピング初期値へと下げ、続いて、少なくとも10μmの成長高さを有する遷移領域層により、該第2の導電型のドーピング目標値の達成まで段階的または連続的に変化させる。【選択図】図3
Description
本発明は、気相エピタキシー法に関する。
半導体層をエピタキシャル形成させるための非常に様々な気相エピタキシー装置が知られており、例えばAixtron社の装置が知られている。
それらの装置に共通するのは、反応チャンバ内に導入した基板上に、気相からのエピタキシャル層を蒸着ないしは成長させることである。そのためには、反応チャンバを加熱してエピタキシーガス流を反応チャンバ内に導入する。
ガス流の組成は、成長させるべき層の種類に従うが、典型的には、例えばアルシンおよび/またはTMGaのような、成長させるべき半導体層用の元素を供給する前駆体が添加され、かつ層をドーピングするためには、適宜、ドーパント用前駆体も添加される。前駆体は、担体ガスを利用して反応チャンバ内に案内される。ガス流の組成を制御するために、典型的にはマスフローコントローラを使用する。
ただし、リアクタ履歴(Reaktorhistorie)に起因し、反応チャンバ内には事前のプロセスに由来する望ましくない別の元素もなおかつ存在し得ることも顧慮する必要がある。このことは、ドープ量の少ない層を形成させる際にまさに問題になりかねない。
この背景をもとに、本発明の課題は、従来技術を発展させる方法を提示することにある。
この課題は、請求項1の特徴を有する方法によって解決される。本発明の有利な形態が、従属請求項の主題である。
本発明の主題によると、工程段階:基板表面上または先行する層上での、第1の導電型から第2の導電型へと変化するドーピングを有する第III−V族層の成長を有する気相エピタキシー法が提供される。
第1の導電型はpであり、かつ第2の導電型はnである。
反応チャンバ内において、エピタキシーガス流からの気相により第III−V族層を成長させる。
該エピタキシーガス流は、担体ガスと、第III主族からの元素用の少なくとも1つの第1の前駆体と、第V主族からの元素用の少なくとも1つの第2の前駆体とを有する。
さらに、第1の成長高さ(Aufwachshoehe)の達成時に、エピタキシーガス流における、第1の前駆体の第1の質量流量と第2の前駆体の第2の質量流量との比を利用して、かつ第1の導電型のドーパント用のもう1つの前駆体をエピタキシーガス流に添加するかまたは添加せずに、第1の導電型の第1のドーピング初期値を調整する。
続いて、その第1のドーピング初期値を、第2の導電型のドーパント用の第3の前駆体の第3の質量流量の、エピタキシーガス流への添加により、および/または第1の質量流量と第2の質量流量との比の変化により、急激に、第1の導電型の第2のドーピング初期値へと下げるか、または最高で1×1015cm−3の、第2の導電型の第2のドーピング初期値へと調整する。
再び続いて、つまり第2のドーピング初期値の達成後、第3の前駆体の質量流量の段階的または連続的な上昇により、および/または第1の質量流量と第2の質量流量との比の段階的または連続的な変化により、第III−V族層のドーピングを、少なくとも10μmの成長高さを有する遷移領域層(Uebergangsbereichsschicht)により、第2の導電型のドーピング目標値の達成まで段階的または連続的に変化させる。
第III−V族層は、第III主族の少なくとも1つの成分さらには複数の成分、例えばアルミニウムまたはガリウム、および第V主族の少なくとも1つの成分または複数の成分、例えばインジウムまたはヒ素またはリンを有することが自明である。
前駆体と呼ばれるのは、エピタキシャル成長の出発生成物(Ausgangsprodukt)として利用される分子である。それに応じて、前駆体は、成長させるべき元素、例えば、第III主族もしくは第V主族の元素、またはドーパント、および少なくとも1つのさらなる元素からなる分子である。
特に、有機金属前駆体、例えばTMGaの場合、少なくとももう1つの元素、例えば、成長中に放出されてドーパントとして作用する炭素が存在する。
ドーパント用前駆体を添加する場合、これは活性ドーピング(aktive Dotierung)と呼ばれ、有機金属前駆体の炭素を利用するドーピングはオートドーピングと呼ばれる。
第III−V族層のドーピングの程度および種類は、反応チャンバ内における第III主族の元素と第V主族の元素との量比にも依存する。
使用する気相装置の種類およびサイズに応じて、その量比は反応チャンバ内で変動し、つまり、異なる場所では、流入するガス流が、異なるV/III量比を有する。そのような変動は、個々の半導体ディスクの範囲内で、および/または複数の半導体ディスクを越えて起こり得る。半導体ディスクの用語には、もう1つの層を伴わない基板ディスクも含まれていることを付け加えておく。
質量流量の変化または2つの異なる質量流量の比の変化は、該当する分圧ないしは分圧比の変化と同等であること、ないしは基本的にそれぞれの量制御/量変化と同等であることが自明である。
前述のドーピング値の調整は成長中に行われること、ないしは連続的に成長させ、成長中ないしは蒸着中に質量流量を変化させることも自明である。
その際、個々のステップ、つまりドーピング飛躍(Dotierungssprung)が第1のドーピング初期値の調整に、ないしはドーピング目標値までの連続的な変化がドーピング飛躍に、時間的に互いに直接に続くかまたは時間的に遅延して行われ、それに応じて、時間的な遅延のもとエピタキシーガス流のさらなる変化を伴うことなく、ドーピング量が一定であるもう1つの層が形成される。
まず、第1の導電型の第1のドーピング初期値が調整される。例えば、あらかじめ成長させた層が、第1の導電型の低下する推移を伴うドーピングを有し、第1の成長高さにおいて第1のドーピング初期値が達成される。
遷移領域層の成長中に第3の前駆体の質量流量を変化させることにより、pn接合の領域で再現可能な推移を達成することができる。
半導体ディスク上で、望ましくない複数の直列pn接合の形成を、半導体ディスク上での、または半導体ディスク間でのドーパント推移における局所差の形成と同様に確実に抑制することができる。
もう1つの利点は、例えば、先行するエピタキシー相に由来するリアクタチャンバの占有によるクロスコンタミネーションを確実かつ効果的に抑制でき、5×1015cm−3未満のドープ量の少ない層、および特に、p型ドーピングを起点としたpn接合を確実に製造できることである。
少なくとも10μmの遷移領域層の成長中の一定のV/III比を起点に、100V超の差異を伴う、従来の半導体ディスク上で著しく変動する逆電圧を低下させることができる。
言い換えると、V/III比の変動に起因する、および/またはエピタキシー装置内での異なるバックグラウンドドーピングに起因する半導体ディスク上での局所ドーピング差が低下する。
別法として、先行する層または基板がすでに、ドーピング初期値に相当するドーピングを有するため、第1の成長高さに達した際の調整は、設定の維持に相当することになる。
さらなる一別法では、あらかじめ成長させた層または基板が、より大きい量のドーピングを有し、そのドーピングを、第1の成長高さまで急激、段階的または連続的に第1の初期値へと下げる。
続いて、ドーピングを急激に、つまり中間ステップを伴わずに、かつ非常にわずかな成長高さ、例えば最高で数ナノメートルにより低下させる。
続いて、スロープまたはステップにより、つまり成長する層中の遷移領域層にわたるドーピングの連続的または段階的な変化によりドーピング目標値を達成する。
ドーピングの急激な変化も、遷移領域層にわたる、ドーピングの連続的または段階的な変化も、第3の前駆体、例えばシランの質量流量の上昇のみによって行うか、または第III主族の元素と第V主族の元素との量比、つまり第1の質量流量と第2の質量流量との量比も追加的に変化させるかのいずれか一方である。
さらなる一別法では、ドーピングの変化を、第III主族の元素と第V主族の元素との量比の変化のみによって引き起こす。
すべての組み合わせも可能であり、また急激なドーピング変化はスロープ状またはステップ状のドーピング変化には依存しないため、方法は互いに独立に選択可能であることが自明である。
さらに、エピタキシーガス流が、第1のドーピング初期値の調整時にもすでに、第3の前駆体の、適宜、わずかな質量流量を有し得ることが自明であり、第2の導電型のドーパントの存在は、V/III比および/またはさらなる前駆体の質量流量を利用して相応に補整される。
エピタキシーガス流用の担体ガスとしては、例えば、H2またはN2が適切である。
急激なpn接合は、V/III比の局所差ゆえ、および/またはバックグラウンドドーピングゆえ、少ないドーピング量においてまさに、個々の半導体ディスクおよび/または複数の半導体ディスクを越えて、非常に異なる逆電圧をもたらしかねない。
遷移領域の開始での急激な変化、つまり第1の導電型をなおも確実に有するドーピング値から、例えば、第1または第2の導電型の非常に低いドーピング値への変化、およびある一定の層厚を有する遷移領域層による、第2の導電型のドーピング領域内への段階的または連続的なさらなる変化により、pn接合の再現可能な推移を達成することができる。
それゆえ、本発明の利点は、簡便かつ再現可能な方法で、使用する気相エピタキシー装置に特別な要件が課されることなく、200V超の高い絶縁耐力が確実に達成されることである。
本方法の利点は、第V族用の第2の前駆体のわずかな流量を利用しながら気相エピタキシー法を行えることにある。特に、第2の前駆体用にアルシンまたはTGMaを使用する場合、第2の前駆体のわずかな流量を利用して、製造費を明らかに下げることができ、かつ製造プロセスの環境への配慮を著しく高めることができる。
それに対して、質量流量のV/III比が一定またはほぼ一定である場合の、遷移領域層の厚さにわたるドーピングの段階的または連続的な変化により、反応チャンバ全体にわたって再現可能な、半導体ディスク上でのpn接合の推移が達成される。
流入するガス流中での差異は、単に、接合の絶対的な成長深さ(Wachstumstiefe)にしか影響を及ぼさず、ただし、絶対的な成長深さの点での差異は、達成される逆電圧に対して、pn接合の再現不可能なドーピング推移(Dotierungsverlauf)よりもわずかな影響を及ぼす。
さらなる一実施形態では、第1の導電型の第1のドーピング初期値が、最高で5×1016cm−3または最高で1×1016cm−3である。
別の一実施形態によると、第1の導電型の第2のドーピング初期値が、最高で5×1015cm−3または最高で1×1015cm−3または最高で5×1014cm−3または最高で1×1014cm−3である。
別の一変形形態では、第2の導電型のドーピング目標値が、最高で1×1015cm−3または最高で5×1014cm−3または最高で1×1014cm−3である。
さらなる一変形形態によると、遷移領域の成長高さは、少なくとも30μmまたは少なくとも60μmである。
別の一実施形態では、遷移領域層を横切るドーピングを、5μmの成長高さにわたり最高で1×1013cm−3だけ変化させる。
さらなる一実施形態によると、遷移領域層を横切るドーピングを、少なくとも4ステップで変化させる。
さらなる実施形態では、第III主族の元素はガリウムであり、第V主族の元素はヒ素であり、かつ/または第3の前駆体はモノシランである。
一変形形態では、成長高さによりn型ドーピング目標値に達した後、第3の質量流量の急激な変化により、および/または第1の質量流量と第2の質量流量との比の急激な変化により、第2のn型ドーピング目標値を調整し、ただし、第2のn型ドーピング目標値はn型ドーピング目標値よりも大きい。
以下に、図面に関連付けて本発明をより詳細に説明する。その際、同種の要素には同一の符号を付す。説明する実施形態は、著しく図式化されており、つまり間隔ならびに横方向および垂直方向の長さは一定率でなく、異なる指定がない限り、互いに導出可能な幾何学的関係も有しない。
図1の図解は、気相エピタキシー装置のリアクタチャンバKの横断面図を概略的に示す。リアクタチャンバKの床には、基板Sが配置されている。さらに、リアクタチャンバKは、リアクタチャンバK内にエピタキシーガス流Fを導入するガス入口要素Oを有する。
エピタキシーガス流Fは、担体ガスと、第III主族の元素用の少なくとも1つの第1の有機金属前駆体、例えばTMGaと、第V主族の元素用の第2の前駆体、例えばアルシンと、第3のn型ドーパント用前駆体、例えばシランとを有する。
ガス入口要素Oは、リアクタチャンバK内で終了する複数の導管を有し、それらの導管により、エピタキシーガス流Fのそれぞれ1つの成分または複数の成分をリアクタチャンバKへと案内する。
図2の図解では、第V主族の元素と第III主族の元素との量比に対するドーピングの依存性をグラフにプロットしている。特に、ドーピングの程度のみならず、ドーピングの種類、つまりnまたはpも、V/III比、つまりガス流中での量比によって調整できることが明らかになる。
他方、半導体ディスク上ないしは基板上でのV/III比の変動が、異なるドーピングをもたらすこと、およびそのような変動が、ドーピング量が少ない場合はまさに、特に著しく影響を及ぼすことが明らかになる。
図3の図解では、本発明による気相エピタキシー法の第1の実施形態を、成長高さxにわたるドーピングDの推移をもとに具体的に示す。
まず、ないしは第1の成長高さx1において、エピタキシーガス流Fにおける、第1の前駆体、例えばTMGaの第1の質量流量と、第2の前駆体、例えばアルシンの第2の質量流量との比を利用して、かつ第1の導電型のドーパント用のもう1つの前駆体、例えば四臭化炭素またはジメチル亜鉛のもう1つの質量流量をエピタキシーガス流Fに添加するかまたは添加せずに、第1の導電型の第1のドーピング初期値DA1を調整する。
続いて、第1の導電型の第2のドーピング初期値DA2または(破線でプロットしてあるように)第2の導電型の第2のドーピング初期値DA2*を調整するために、第2の導電型のドーパント用の第3の前駆体、例えばシランの第3の質量流量を添加し、かつ/または第1の質量流量と第2の質量流量との比を急激に変化させる。
続いて、第3の前駆体の第3の質量流量および/または第1の質量流量と第2の質量流量との比を、遷移領域層UEにわたって、第2の成長高さx2においてp型ドーピング目標値Dzに達するまで連続的に変化させる。遷移領域層UEが、第1の成長高さx1から第2の成長高さx2まで延在することは自明である。
続いて、エピタキシーガス流Fを、成長高さxの引き続く領域にわたってさらには変化させないため、続く第III−V族層のドーピングは一定のままになる。
図4の図解では、ドーピング推移Dをもとに、本発明による気相エピタキシー法のさらなる一実施形態を具体的に示し、ただし、以下では、図3の図解との相違点のみを説明する。
n型ドーピング初期値DA1からp型ドーピング目標値Dzへのドーピングの変化は、複数ステップで行われ、その結果、遷移領域層UEにわたるドーピングのステップ状推移が生じることになる。
図5の図解では、第1の成長高さx1から第2の成長高さx2までの遷移領域層UEの厚さにわたる質量流量MDの推移をもとに、本発明による気相エピタキシー法のさらなる一実施形態を具体的に示し、ただし、以下では、図4の図解との相違点のみを説明する。
質量流量MDの変化は、ゼロまたはほぼゼロに位置する初期値MAから、第3の前駆体の質量流量MZの目標値MZまで行う。質量流量の上昇は、連続的または少なくとも恒常的に行うことができ、つまり、遷移領域層UEの厚さにわたって、直線的または少なくとも恒常的なドーピングの上昇が起こる。本明細書では、質量流量の直線的な上昇のみをプロットしてある。
Claims (10)
- 工程段階:
− 担体ガスと、第III主族からの元素用の少なくとも1つの第1の前駆体と、第V主族からの元素用の少なくとも1つの第2の前駆体とを含むエピタキシーガス流(F)からの気相による、反応チャンバ(K)内の基板表面上または先行する層上での、第1の導電型から第2の導電型へと変化するドーピング(D)を有する第III−V族層の成長を有する気相エピタキシー法であって、
前記第1の導電型がpであり、かつ前記第2の導電型がnであり、
− 第1の成長高さの達成時に、前記エピタキシーガス流(F)における、前記第1の前駆体の第1の質量流量と前記第2の前駆体の第2の質量流量との比を利用して、かつ前記第1の導電型のドーパント用のもう1つの前駆体を前記エピタキシーガス流(F)に添加するかまたは添加せずに、前記第1の導電型の第1のドーピング初期値(DA1)を調整し、
− 続いて、前記第1のドーピング初期値(DA1)を、前記第2の導電型のドーパント用の第3の前駆体の第3の質量流量の、前記エピタキシーガス流(F)への添加により、および/または前記第1の質量流量と前記第2の質量流量との前記比の変化により、急激に、前記第1の導電型の第2のドーピング初期値(DA2)へと下げるか、または最高で1×1015cm−3の、前記第2の導電型の第2のドーピング初期値(DA2*)へと調整し、
− 続いて、前記第3の前駆体の前記質量流量の段階的または連続的な上昇により、および/または前記第1の質量流量と前記第2の質量流量との前記比の段階的または連続的な変化により、前記第III−V族層のドーピング(D)を、少なくとも10μmの成長高さを有する遷移領域層(UE)により、前記第2の導電型のドーピング目標値(DZ)の達成まで段階的または連続的に変化させる気相エピタキシー法。 - 前記第1の導電型の前記第1のドーピング初期値(DA1)が、最高で5×1016cm−3または最高で1×1016cm−3であることを特徴とする、請求項1記載の気相エピタキシー法。
- 前記第1の導電型の前記第2のドーピング初期値(DA2)が、最高で5×1015cm−3または最高で1×1015cm−3または最高で5×1014cm−3または最高で1×1014cm−3であることを特徴とする、請求項1または2記載の気相エピタキシー法。
- 前記第2の導電型の前記ドーピング目標値(DZ)が、最高で1×1015cm−3または最高で5×1014cm−3または最高で1×1014cm−3であることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項記載の気相エピタキシー法。
- 前記遷移領域の前記成長高さが、少なくとも30μmまたは少なくとも60μmであることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項記載の気相エピタキシー法。
- 前記遷移領域層(UE)を横切る前記ドーピング(D)を、5μmにわたり最高で1×1013cm−3のステップで変化させることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項記載の気相エピタキシー法。
- 前記遷移領域層(UE)を横切る前記ドーピング(D)を、少なくとも4ステップで変化させることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載の気相エピタキシー法。
- 前記第III主族の元素がガリウムであり、前記第V主族の元素がヒ素であることを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項記載の気相エピタキシー法。
- 前記第3の前駆体がモノシランであることを特徴とする、請求項1から8までのいずれか1項記載の気相エピタキシー法。
- 成長高さによる前記n型ドーピング目標値(DZ)の前記達成後、前記第3の質量流量の急激な変化により、および/または前記第1の質量流量と前記第2の質量流量との前記比の急激な変化により、第2のn型ドーピング目標値を調整し、ただし、前記第2のn型ドーピング目標値が前記n型ドーピング目標値(DZ)よりも大きいことを特徴とする、請求項1から9までのいずれか1項記載の気相エピタキシー法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102019008929.4A DE102019008929A1 (de) | 2019-12-20 | 2019-12-20 | Gasphasenepitaxieverfahren |
DE102019008929.4 | 2019-12-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021100117A true JP2021100117A (ja) | 2021-07-01 |
JP7014883B2 JP7014883B2 (ja) | 2022-02-01 |
Family
ID=73838870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020209397A Active JP7014883B2 (ja) | 2019-12-20 | 2020-12-17 | 気相エピタキシー法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11859310B2 (ja) |
EP (1) | EP3839105B1 (ja) |
JP (1) | JP7014883B2 (ja) |
CN (1) | CN113005520B (ja) |
DE (1) | DE102019008929A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022265065A1 (ja) | 2021-06-16 | 2022-12-22 | 積水メディカル株式会社 | SARS-CoV-2の免疫測定方法及び免疫測定キット、並びにモノクローナル抗体又はその抗体断片 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08264456A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Matsushita Electric Works Ltd | 化合物半導体の結晶成長方法 |
JP2000340505A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Kyocera Corp | 化合物半導体基板およびその製造方法 |
JP2004134548A (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-30 | Hitachi Cable Ltd | ヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法 |
JP2007311371A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 窒化物半導体素子の製造方法 |
JP2017183582A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社サイオクス | 窒化物半導体基板、半導体装置、および窒化物半導体基板の製造方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL279070A (ja) * | 1959-06-18 | |||
US3363155A (en) * | 1964-08-19 | 1968-01-09 | Philips Corp | Opto-electronic transistor with a base-collector junction spaced from the material heterojunction |
GB1112411A (en) * | 1965-01-21 | 1968-05-08 | Mullard Ltd | Improvements in and relating to semiconductor devices |
US4045257A (en) * | 1971-03-09 | 1977-08-30 | Jenoptik Jena G.M.B.H. | III(A)-(VB) Type luminescent diode |
JPH10321903A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子およびその製法 |
US6555452B2 (en) * | 1997-11-18 | 2003-04-29 | Technologies And Devices International, Inc. | Method for growing p-type III-V compound material utilizing HVPE techniques |
JP2003133320A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-09 | Sumitomo Chem Co Ltd | 薄膜半導体エピタキシャル基板及びその製造方法 |
DE10163394A1 (de) * | 2001-12-21 | 2003-07-03 | Aixtron Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden kristalliner Schichten und auf kristallinen Substraten |
JP2003297849A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-17 | Toshiba Corp | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ及びその製造方法 |
KR101030068B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2011-04-19 | 니치아 카가쿠 고교 가부시키가이샤 | 질화물 반도체 소자의 제조방법 및 질화물 반도체 소자 |
CN102140696B (zh) * | 2006-08-09 | 2013-08-14 | 夫莱堡复合材料公司 | 掺杂的iii-n大块晶体和自支撑的、掺杂的iii-n衬底 |
US20120248577A1 (en) * | 2011-04-04 | 2012-10-04 | Epowersoft Inc. | Controlled Doping in III-V Materials |
JP6190582B2 (ja) * | 2012-10-26 | 2017-08-30 | 古河電気工業株式会社 | 窒化物半導体装置の製造方法 |
DE102017121693B4 (de) * | 2017-09-19 | 2022-12-08 | Infineon Technologies Ag | Dotierungsverfahren |
JP7126361B2 (ja) * | 2018-03-08 | 2022-08-26 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置、電力変換装置、及び、半導体装置の製造方法 |
DE102019008930A1 (de) * | 2019-12-20 | 2021-06-24 | Azur Space Solar Power Gmbh | Gasphasenepitaxieverfahren |
DE102019008931B4 (de) * | 2019-12-20 | 2024-04-11 | Azur Space Solar Power Gmbh | Gasphasenepitaxieverfahren |
DE102019008927B4 (de) * | 2019-12-20 | 2024-04-11 | Azur Space Solar Power Gmbh | Gasphasenepitaxieverfahren |
-
2019
- 2019-12-20 DE DE102019008929.4A patent/DE102019008929A1/de not_active Withdrawn
-
2020
- 2020-11-27 CN CN202011353181.8A patent/CN113005520B/zh active Active
- 2020-12-11 EP EP20000462.0A patent/EP3839105B1/de active Active
- 2020-12-17 JP JP2020209397A patent/JP7014883B2/ja active Active
- 2020-12-21 US US17/129,737 patent/US11859310B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08264456A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Matsushita Electric Works Ltd | 化合物半導体の結晶成長方法 |
JP2000340505A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Kyocera Corp | 化合物半導体基板およびその製造方法 |
JP2004134548A (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-30 | Hitachi Cable Ltd | ヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法 |
JP2007311371A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 窒化物半導体素子の製造方法 |
JP2017183582A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社サイオクス | 窒化物半導体基板、半導体装置、および窒化物半導体基板の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022265065A1 (ja) | 2021-06-16 | 2022-12-22 | 積水メディカル株式会社 | SARS-CoV-2の免疫測定方法及び免疫測定キット、並びにモノクローナル抗体又はその抗体断片 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3839105A1 (de) | 2021-06-23 |
CN113005520B (zh) | 2024-02-20 |
CN113005520A (zh) | 2021-06-22 |
US11859310B2 (en) | 2024-01-02 |
DE102019008929A1 (de) | 2021-06-24 |
JP7014883B2 (ja) | 2022-02-01 |
EP3839105B1 (de) | 2022-02-23 |
US20210193465A1 (en) | 2021-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20210091081A (ko) | 게르마늄 주석을 포함하는 막의 형성 방법 그리고 그 막을 포함하는 구조물 및 디바이스 | |
EP2691977B1 (en) | Method for growing a monocrystalline tin-containing semiconductor material | |
US9281189B2 (en) | Wafer and method of fabricating the same | |
US20190316273A1 (en) | P-type sic epitaxial wafer and production method therefor | |
CN104919571A (zh) | 外延晶元,以及使用其的开关元件和发光元件 | |
JP7014883B2 (ja) | 気相エピタキシー法 | |
JP2007515791A (ja) | 窒化物半導体層を成長させる方法及びこれを利用する窒化物半導体発光素子 | |
JP7078703B2 (ja) | 気相エピタキシー法 | |
KR102165614B1 (ko) | 에피택셜 웨이퍼 | |
US11955334B2 (en) | Vapor phase epitaxy method | |
CN113013024B (zh) | 气相外延方法 | |
KR102053077B1 (ko) | 에피택셜 웨이퍼 및 그 제조 방법 | |
KR102098209B1 (ko) | 에피택셜 웨이퍼 및 그 제조 방법 | |
JP6997283B2 (ja) | 気相エピタキシー法 | |
KR101675187B1 (ko) | III/V Si 템플릿을 제조하기 위한 방법 | |
JPH11329980A (ja) | 有機金属気相成長装置およびそれを用いた有機金属気相成長法 | |
CN105575773A (zh) | 一种InGaAsBi高迁移率材料的制备方法及结构 | |
WO2019176470A1 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR102165615B1 (ko) | 에피택셜 웨이퍼 | |
JP5507975B2 (ja) | 半導体基板、電子デバイスおよび半導体基板の製造方法 | |
KR20150025648A (ko) | 에피택셜 웨이퍼 | |
US20140284628A1 (en) | Wafer and method of fabricating the same | |
KR20150075195A (ko) | 탄화규소 에피택시 고속 성장 공정 | |
JP2006054370A (ja) | 半導体エピタキシャルウェーハおよびその製造方法 | |
JP2011096722A (ja) | 化合物半導体エピタキシャルウェハ及びその製造方法、並びにhemt素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211223 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220120 |