JP2021089950A - シート剥離装置 - Google Patents
シート剥離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021089950A JP2021089950A JP2019219119A JP2019219119A JP2021089950A JP 2021089950 A JP2021089950 A JP 2021089950A JP 2019219119 A JP2019219119 A JP 2019219119A JP 2019219119 A JP2019219119 A JP 2019219119A JP 2021089950 A JP2021089950 A JP 2021089950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective sheet
- adherend
- peeling
- head
- release tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 100
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
2 ・・・保持テーブル
21 ・・・吸着面
3 ・・・繰出手段
31 ・・・送りローラー
32 ・・・巻取ローラー
37 ・・・押圧部材
4 ・・・貼付手段
41 ・・・ヒートスタンプ
42 ・・・第1のヘッド
43 ・・・第2のヘッド
44 ・・・(第1のヘッドの)下面
45 ・・・(第2のヘッドの)下面
46 ・・・前方縁
47 ・・・後方縁
5 ・・・規制ローラー
51 ・・・ガイド面
DT ・・・ダイシングテープ
RF ・・・リングフレーム
S ・・・保護シート
T ・・・剥離テープ
W ・・・被着体
Claims (2)
- 被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離テープを繰り出す繰出手段と、
前記剥離テープを前記保護シートに溶着させるヒートスタンプと、
を備え、
前記ヒートスタンプは、
前記保護シートの周縁で前記剥離テープと前記保護シートとを溶着させる第1のヘッドと、
前記保護シートの周縁より中心側で前記剥離テープと前記保護シートとを前記第1のヘッドより大面積で溶着させる第2のヘッドと、
を備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記第2のヘッドは、底面から視て前記保護シートの半径と略同一の曲率半径で形成されていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019219119A JP7432345B2 (ja) | 2019-12-03 | 2019-12-03 | シート剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019219119A JP7432345B2 (ja) | 2019-12-03 | 2019-12-03 | シート剥離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021089950A true JP2021089950A (ja) | 2021-06-10 |
JP7432345B2 JP7432345B2 (ja) | 2024-02-16 |
Family
ID=76220412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019219119A Active JP7432345B2 (ja) | 2019-12-03 | 2019-12-03 | シート剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7432345B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023053570A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 株式会社東京精密 | シート剥離装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007109927A (ja) | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 表面保護フィルム剥離方法および表面保護フィルム剥離装置 |
JP5238390B2 (ja) | 2008-07-24 | 2013-07-17 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
JP5113658B2 (ja) | 2008-07-24 | 2013-01-09 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
JP5075780B2 (ja) | 2008-09-29 | 2012-11-21 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
-
2019
- 2019-12-03 JP JP2019219119A patent/JP7432345B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023053570A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 株式会社東京精密 | シート剥離装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7432345B2 (ja) | 2024-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130126100A1 (en) | Sheet separation apparatus and separation method, and sheet attaching apparatus and attaching method | |
JP6316673B2 (ja) | テープ貼着装置 | |
WO2010024066A1 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
US7686916B2 (en) | Sheet peeling apparatus and peeling method | |
JP2015053473A (ja) | 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 | |
JP2021068789A (ja) | シート剥離装置 | |
JP2017123409A (ja) | 剥離装置 | |
JP2021089950A (ja) | シート剥離装置 | |
JP5006300B2 (ja) | マウント装置及びマウント方法 | |
JP7204389B2 (ja) | テープ貼着装置 | |
JP2010147123A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2009123963A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
WO2023053570A1 (ja) | シート剥離装置 | |
JP2010232417A (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP2016050034A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2019102769A (ja) | 剥離用テープカッター | |
JP6476027B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 | |
JP2021145088A (ja) | チャックテーブル | |
JP2011233697A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5203856B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
WO2023085074A1 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
WO2022030535A1 (ja) | シート供給装置およびシート供給方法 | |
JP2017222367A (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP5468381B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2010278282A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221005 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7432345 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |