JP2021089028A - 電磁弁マニホールド - Google Patents

Abstract

【課題】消費電力を低減すること。【解決手段】シャトル弁７４は、スプール弁１７が第１切換位置に切り換えられて第１出力ポートＡから第１検出流路７１を介して弁室７３に供給される流体の圧力によって、第１検出流路７１と連通流路７６との連通を許容し、且つ第２検出流路７２と連通流路７６との連通を遮断する第１シャトル弁切換位置に切り換えられる。また、シャトル弁７４は、スプール弁１７が第２切換位置に切り換えられて第２出力ポートＢから第２検出流路７２を介して弁室７３に供給される流体の圧力によって、第１検出流路７１と連通流路７６との連通を遮断し、且つ第２検出流路７２と連通流路７６との連通を許容する第２シャトル弁切換位置に切り換えられる。【選択図】図４

Description

本発明は、電磁弁のスプール弁の動作状態を検出すべく流体の圧力を検出可能な圧力センサを備えた電磁弁マニホールドに関する。

電磁弁マニホールドは、バルブケーシングと、バルブケーシングに形成された弁孔と、弁孔に往復動可能に収容されるスプール弁と、を有する電磁弁を備えている。バルブケーシングには、弁孔にそれぞれ連通する供給ポート、第１出力ポート、第２出力ポート、及び排出ポートが形成されている。スプール弁は、弁孔を往復動することにより、供給ポートと第１出力ポートとを連通し、且つ第２出力ポートと排出ポートとを連通する第１切換位置と、供給ポートと第２出力ポートとを連通し、且つ第１出力ポートと排出ポートとを連通する第２切換位置と、に切換可能になっている。

また、電磁弁マニホールドは、例えば特許文献１に開示されているように、スプール弁の動作状態を検出すべく流体の圧力を検出可能な圧力センサを備えている。特許文献１のように、バルブケーシングに第１出力ポート及び第２出力ポートが形成されている場合、電磁弁マニホールドは、第１出力ポートから出力される流体の圧力を検出する第１圧力センサと、第２出力ポートから出力される流体の圧力を検出する第２圧力センサと、を備えている。

そして、スプール弁が第１切換位置に切り換えられているときには、供給ポートに供給される流体が第１出力ポートから出力されるとともに第２出力ポートの流体が排出ポートを介して大気へ排出されるため、第１圧力センサにより検出される圧力が上昇し、第２圧力センサにより検出される圧力が下降する。一方、スプール弁が第２切換位置に切り換えられているときには、供給ポートに供給される流体が第２出力ポートから出力されるとともに第１出力ポートの流体が排出ポートを介して大気へ排出されるため、第１圧力センサにより検出される圧力が下降し、第２圧力センサにより検出される圧力が上昇する。このように、第１圧力センサにより検出される圧力、及び第２圧力センサにより検出される圧力からスプール弁が第１切換位置と第２切換位置とにそれぞれ切り換わるように動作しているか否かを検出することができる。

特許第４０７２７５６号公報

しかしながら、特許文献１のように、スプール弁の動作状態を検出するために、圧力センサを２つ用いる構成とすると、各圧力センサがそれぞれ電力を消費することになるため、電磁弁マニホールドにおいて消費電力が増大してしまうという問題がある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、消費電力を低減することができる電磁弁マニホールドを提供することにある。

上記課題を解決する電磁弁マニホールドは、バルブケーシングと、前記バルブケーシングに形成された弁孔と、前記弁孔に往復動可能に収容されるスプール弁と、前記バルブケーシングに形成されるとともに前記弁孔にそれぞれ連通する供給ポート、第１出力ポート、第２出力ポート、及び排出ポートと、を有する電磁弁と、前記スプール弁の動作状態を検出すべく流体の圧力を検出可能な圧力センサと、を備え、前記スプール弁は、前記弁孔を往復動することにより、前記供給ポートと前記第１出力ポートとを連通し、且つ前記第２出力ポートと前記排出ポートとを連通する第１切換位置と、前記供給ポートと前記第２出力ポートとを連通し、且つ前記第１出力ポートと前記排出ポートとを連通する第２切換位置と、に切換可能になっている電磁弁マニホールドであって、前記第１出力ポートに連通する第１検出流路と、前記第２出力ポートに連通する第２検出流路と、前記第１検出流路及び前記第２検出流路に連通する弁室と、前記弁室に収容されるシャトル弁と、前記圧力センサが収容されるセンサ室と、前記弁室と前記センサ室とを連通する連通流路と、を備え、前記シャトル弁は、前記スプール弁が前記第１切換位置に切り換えられて前記第１出力ポートから前記第１検出流路を介して前記弁室に供給される流体の圧力によって、前記第１検出流路と前記連通流路との連通を許容し、且つ前記第２検出流路と前記連通流路との連通を遮断する第１シャトル弁切換位置に切り換えられるとともに、前記スプール弁が前記第２切換位置に切り換えられて前記第２出力ポートから前記第２検出流路を介して前記弁室に供給される流体の圧力によって、前記第１検出流路と前記連通流路との連通を遮断し、且つ前記第２検出流路と前記連通流路との連通を許容する第２シャトル弁切換位置に切り換えられる。

上記電磁弁マニホールドにおいて、供給流路、第１出力流路、第２出力流路、及び排出流路が形成されたマニホールドベースと、前記バルブケーシングと前記マニホールドベースとの間に介在されるスペーサと、をさらに備え、前記スペーサは、前記供給ポートと前記供給流路とを連通する供給連通流路、前記第１出力ポートと前記第１出力流路とを連通する第１出力連通流路、前記第２出力ポートと前記第２出力流路とを連通する第２出力連通流路、及び前記排出ポートと前記排出流路とを連通する排出連通流路を有し、前記第１検出流路、前記第２検出流路、前記弁室、前記センサ室、及び前記連通流路は、前記スペーサに形成されており、前記第１検出流路は、前記第１出力連通流路を介して前記第１出力ポートに連通しており、前記第２検出流路は、前記第２出力連通流路を介して前記第２出力ポートに連通しているとよい。

上記電磁弁マニホールドにおいて、前記第１検出流路及び前記第２検出流路の一方に設けられる減圧弁と、前記第１検出流路及び前記第２検出流路の一方において、前記減圧弁よりも前記弁室側の部位と前記減圧弁よりも前記弁室とは反対側の部位とを前記減圧弁を迂回して接続するバイパス流路と、前記バイパス流路に設けられるとともに前記弁室からの流体の流れを許容するとともに前記第１検出流路及び前記第２検出流路の一方における前記減圧弁よりも前記弁室とは反対側の部位から前記弁室に向けた流体の流れを遮断する逆止弁と、をさらに備えているとよい。

上記電磁弁マニホールドにおいて、前記シャトル弁は、柱状であり、前記シャトル弁の外周面は、前記弁室を形成する内壁に摺動するとともに、前記弁室内での前記シャトル弁における前記第１シャトル弁切換位置と前記第２シャトル弁切換位置との間での移動をガイドするガイド面と、前記ガイド面よりも凹む溝と、を有しているとよい。

上記電磁弁マニホールドにおいて、前記圧力センサにより検出される圧力が出力されるマイコンをさらに備え、前記マイコンは、前記圧力センサにより検出される圧力が下降するタイミングが、予め定められたタイミングよりも遅い場合に、前記スプール弁の動作不良と判定するとよい。

この発明によれば、消費電力を低減することができる。

第１の実施形態における電磁弁マニホールドを示す断面図。 電磁弁マニホールドの一部を拡大して示す断面図。 スプール弁が第１切換位置から第２切換位置に切り換わったときの流体の流れを示す断面図。 スプール弁が第２切換位置から第１切換位置に切り換わったときの流体の流れを示す断面図。 電磁弁マニホールドの一部を拡大して示す断面図。 シャトル弁の斜視図。 スプール弁が第１切換位置から第２切換位置に切り換えられるときの流体の圧力の変化を示すグラフ。 スプール弁が第２切換位置から第１切換位置に切り換えられるときの流体の圧力の変化を示すグラフ。 第２の実施形態における電磁弁マニホールドの一部を拡大して示す断面図。

（第１の実施形態）
以下、電磁弁マニホールドを具体化した第１の実施形態を図１〜図８にしたがって説明する。

図１に示すように、電磁弁マニホールド１０は、電磁弁１１と、四角ブロック状のマニホールドベース５０と、四角ブロック状のスペーサ６０と、を備えている。電磁弁１１は、スペーサ６０を介してマニホールドベース５０の載置面５０ａに載置されている。そして、電磁弁１１は、マニホールドベース５０及びスペーサ６０と共に電磁弁マニホールド１０を構成している。

電磁弁１１は、細長四角ブロック状のバルブケーシング１２を有している。バルブケーシング１２は、細長四角ブロック状のケーシング本体１３と、ケーシング本体１３の長手方向の一端に連結される第１連結ブロック１４と、ケーシング本体１３の長手方向の他端に連結される第２連結ブロック１５と、を有している。ケーシング本体１３、第１連結ブロック１４、及び第２連結ブロック１５は、例えば、合成樹脂材料製である。ケーシング本体１３は、スペーサ６０に対向する本体対向面１３ａを有している。第１連結ブロック１４は、スペーサ６０に対向する第１対向面１４ａを有している。第２連結ブロック１５は、スペーサ６０に対向する第２対向面１５ａを有している。

図２に示すように、ケーシング本体１３には、円孔状の弁孔１６が形成されている。弁孔１６は、ケーシング本体１３の長手方向に延びている。弁孔１６の一端は、ケーシング本体１３の長手方向の一端面に開口するとともに、弁孔１６の他端は、ケーシング本体１３の長手方向の他端面に開口している。よって、弁孔１６は、ケーシング本体１３の長手方向に貫通している。弁孔１６内には、スプール弁１７が弁孔１６内を往復動可能に収容されている。

ケーシング本体１３には、弁孔１６にそれぞれ連通する供給ポートＰ、第１出力ポートＡ、第２出力ポートＢ、第１排出ポートＲ１、及び第２排出ポートＲ２が形成されている。したがって、本実施形態の電磁弁１１は、少なくとも一つの排出ポートを有している。本実施形態の電磁弁１１は、５ポート電磁弁である。

供給ポートＰ、第１出力ポートＡ、第２出力ポートＢ、第１排出ポートＲ１、及び第２排出ポートＲ２は、ケーシング本体１３の長手方向の一端から他端に向かうにつれて、第１排出ポートＲ１、第１出力ポートＡ、供給ポートＰ、第２出力ポートＢ、第２排出ポートＲ２の順に並んでケーシング本体１３に形成されている。供給ポートＰ、第１出力ポートＡ、第２出力ポートＢ、第１排出ポートＲ１、及び第２排出ポートＲ２それぞれの一端は弁孔１６に連通している。供給ポートＰ、第１出力ポートＡ、第２出力ポートＢ、第１排出ポートＲ１、及び第２排出ポートＲ２それぞれの他端は、ケーシング本体１３の本体対向面１３ａに開口している。

弁孔１６の内周面において、供給ポートＰと第１出力ポートＡとの間には、第１弁座部２２が設けられている。また、弁孔１６の内周面において、第１出力ポートＡと第１排出ポートＲ１との間には、第２弁座部２３が設けられている。さらに、供給ポートＰと第２出力ポートＢとの間には、第３弁座部２４が設けられている。また、第２出力ポートＢと第２排出ポートＲ２との間には、第４弁座部２５が設けられている。第１弁座部２２、第２弁座部２３、第３弁座部２４、及び第４弁座部２５は、弁孔１６の内周面の一部を形成する環状である。

また、弁孔１６は、第１排出ポートＲ１に連通するとともに第２弁座部２３とは反対側に位置する弁孔１６の一端部を形成する第１孔部１６ａを有している。さらに、弁孔１６は、第２排出ポートＲ２に連通するとともに第４弁座部２５とは反対側に位置する弁孔１６の他端部を形成する第２孔部１６ｂを有している。第１弁座部２２、第２弁座部２３、第３弁座部２４、第４弁座部２５、第１孔部１６ａ、及び第２孔部１６ｂの内径は同じである。

スプール弁１７には、スプール弁１７の軸線方向において互いに離間する第１弁部１７１、第２弁部１７２、第３弁部１７３、第４弁部１７４、第５弁部１７５、及び第６弁部１７６を有している。第１弁部１７１、第２弁部１７２、第３弁部１７３、第４弁部１７４、第５弁部１７５、及び第６弁部１７６は、スプール弁１７の軸線方向の一端から他端に向かうにつれて、第５弁部１７５、第２弁部１７２、第１弁部１７１、第３弁部１７３、第４弁部１７４、及び第６弁部１７６の順に配列されている。第１弁部１７１、第２弁部１７２、第３弁部１７３、第４弁部１７４、第５弁部１７５、及び第６弁部１７６の外径は同じである。

スプール弁１７は、第１弁部１７１と第３弁部１７３とを連結する第１軸部１７ａと、第１弁部１７１と第２弁部１７２とを連結する第２軸部１７ｂと、第３弁部１７３と第４弁部１７４とを連結する第３軸部１７ｃと、を有している。また、スプール弁１７は、第２弁部１７２と第５弁部１７５とを連結する第４軸部１７ｄと、第４弁部１７４と第６弁部１７６とを連結する第５軸部１７ｅと、を有している。

スプール弁１７は、第５弁部１７５における第４軸部１７ｄとは反対側の端面から突出する柱状の第１突出部１７ｆを有している。第１突出部１７ｆは、スプール弁１７の軸線方向の一端部である。また、スプール弁１７は、第６弁部１７６における第５軸部１７ｅとは反対側の端面から突出する柱状の第２突出部１７ｇを有している。第２突出部１７ｇは、スプール弁１７の軸線方向の他端部である。

第１軸部１７ａ、第２軸部１７ｂ、第３軸部１７ｃ、第４軸部１７ｄ、第５軸部１７ｅ、第１突出部１７ｆ、及び第２突出部１７ｇの外径は同じである。第１弁部１７１、第２弁部１７２、第３弁部１７３、第４弁部１７４、第５弁部１７５、及び第６弁部１７６の外径は、第１軸部１７ａ、第２軸部１７ｂ、第３軸部１７ｃ、第４軸部１７ｄ、第５軸部１７ｅ、第１突出部１７ｆ、及び第２突出部１７ｇの外径よりも大きい。

第１弁部１７１の外周面には、第１弁部１７１が第１弁座部２２に着座して供給ポートＰと第１出力ポートＡとの間をシールする第１スプールパッキン２６が装着されている。第２弁部１７２の外周面には、第２弁部１７２が第２弁座部２３に着座して第１出力ポートＡと第１排出ポートＲ１との間をシールする第２スプールパッキン２７が装着されている。第３弁部１７３の外周面には、第３弁部１７３が第３弁座部２４に着座して供給ポートＰと第２出力ポートＢとの間をシールする第３スプールパッキン２８が装着されている。第４弁部１７４の外周面には、第４弁部１７４が第４弁座部２５に着座して第２出力ポートＢと第２排出ポートＲ２との間をシールする第４スプールパッキン２９が装着されている。第１スプールパッキン２６、第２スプールパッキン２７、第３スプールパッキン２８、及び第４スプールパッキン２９は、ゴム製の環状である。

第１連結ブロック１４には、第１孔部１６ａに連通する円孔状の第１ピストン収容凹部３１が形成されている。スプール弁１７の第１突出部１７ｆは、第１孔部１６ａから第１ピストン収容凹部３１内に出没可能である。第１ピストン収容凹部３１内には、円板状の第１ピストン３２が往復動可能に収容されている。第１ピストン３２は、スプール弁１７の第１突出部１７ｆの先端部に取り付けられている。第１ピストン３２の外周面には第１リップパッキン３３が装着されている。第１リップパッキン３３は、第１ピストン３２と第１ピストン収容凹部３１の内周面との間をシールする。そして、第１ピストン３２により第１ピストン収容凹部３１内に第１パイロット圧作用室３４が区画されている。第１パイロット圧作用室３４にはパイロット流体が給排される。

第２連結ブロック１５には、第２孔部１６ｂに連通する円孔状の第２ピストン収容凹部３５が形成されている。第２ピストン収容凹部３５の内径は、第１ピストン収容凹部３１と同じである。スプール弁１７の第２突出部１７ｇは、第２孔部１６ｂから第２ピストン収容凹部３５内に出没可能である。第２ピストン収容凹部３５内には、円板状の第２ピストン３６が往復動可能に収容されている。第２ピストン３６は、スプール弁１７の第２突出部１７ｇの先端部に取り付けられている。第２ピストン３６の外径は、第１ピストン３２の外径と同じである。第２ピストン３６の外周面には第２リップパッキン３７が装着されている。第２リップパッキン３７は、第２ピストン３６と第２ピストン収容凹部３５の内周面との間をシールする。そして、第２ピストン３６により第２ピストン収容凹部３５内に第２パイロット圧作用室３８が区画されている。したがって、第１パイロット圧作用室３４及び第２パイロット圧作用室３８は、バルブケーシング１２内においてスプール弁１７の両端部側にそれぞれ設けられている。第２パイロット圧作用室３８にはパイロット流体が給排される。

第１ピストン３２の外径と第２ピストン３６の外径とが同じであるため、第１ピストン３２における第１パイロット圧作用室３４内のパイロット流体の圧力を受ける受圧面積と、第２ピストン３６における第２パイロット圧作用室３８内のパイロット流体の圧力を受ける受圧面積とは同じである。

第５弁部１７５の外周面には、第５弁部１７５と第１孔部１６ａとの間をシールする第１シール部材３９ａが装着されている。第１シール部材３９ａは、環状のゴム製である。そして、第１シール部材３９ａによって、第１排出ポートＲ１から第１孔部１６ａを介した第１ピストン収容凹部３１への流体の洩れが抑制されている。

第６弁部１７６の外周面には、第６弁部１７６と第２孔部１６ｂとの間をシールする第２シール部材３９ｂが装着されている。第２シール部材３９ｂは、環状のゴム製である。そして、第２シール部材３９ｂによって、第２排出ポートＲ２から第２孔部１６ｂを介した第２ピストン収容凹部３５への流体の洩れが抑制されている。

図１に示すように、電磁弁１１は、第１パイロット弁４１及び第２パイロット弁４２を有している。したがって、電磁弁１１は、第１パイロット弁４１及び第２パイロット弁４２を有するダブルソレノイドタイプのパイロット形電磁弁である。第１パイロット弁４１及び第２パイロット弁４２に対する電圧の印加は、例えば、図示しないプログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）等の外部制御機器によって行われる。

第１パイロット弁４１は、電圧の印加が行われると、第１パイロット圧作用室３４にパイロット圧としてパイロット流体を供給し、電圧の印加が停止されると、第１パイロット圧作用室３４のパイロット流体を大気へ排出する公知の電磁弁であり、その詳細な構成の説明を省略する。第１パイロット弁４１における第１パイロット圧作用室３４へのパイロット流体の供給、及び第１パイロット弁４１における第１パイロット圧作用室３４のパイロット流体の大気への排出は、バルブケーシング１２、スペーサ６０、及びマニホールドベース５０に形成された図示しない流路を用いて行われる。

第２パイロット弁４２は、電圧の印加が行われると、第２パイロット圧作用室３８にパイロット圧としてパイロット流体を供給し、電圧の印加が停止されると、第２パイロット圧作用室３８のパイロット流体を大気へ排出する公知の電磁弁であり、その詳細な構成の説明を省略する。第２パイロット弁４２における第２パイロット圧作用室３８へのパイロット流体の供給、及び第２パイロット弁４２における第２パイロット圧作用室３８のパイロット流体の大気への排出は、バルブケーシング１２、スペーサ６０、及びマニホールドベース５０に形成された図示しない流路を用いて行われる。本実施形態の電磁弁１１は、供給ポートＰに供給された流体の一部を第１パイロット圧作用室３４及び第２パイロット圧作用室３８に供給する内部パイロット式である。

図３に示すように、マニホールドベース５０には、供給流路５１、第１出力流路５２、第２出力流路５３、第１排出流路５４、及び第２排出流路５５が形成されている。したがって、本実施形態のマニホールドベース５０には、少なくとも一つの排出流路が形成されている。供給流路５１、第１出力流路５２、第２出力流路５３、第１排出流路５４、及び第２排出流路５５は、載置面５０ａに開口している。

供給流路５１における載置面５０ａとは反対側の端部は、例えば配管等を介して、図示しない流体供給源に接続されている。第１出力流路５２における載置面５０ａとは反対側の端部、及び第２出力流路５３における載置面５０ａとは反対側の端部は、例えば配管等を介して、図示しない流体圧機器に接続されている。第１排出流路５４における載置面５０ａとは反対側の端部、及び第２排出流路５５における載置面５０ａとは反対側の端部は、例えば配管等を介して、大気に連通している。

スペーサ６０は、バルブケーシング１２とマニホールドベース５０との間に介在されている。スペーサ６０は、バルブケーシング１２に対向する第１対向面６０ａと、マニホールドベース５０に対向する第２対向面６０ｂと、を有している。スペーサ６０の第１対向面６０ａは、ケーシング本体１３の本体対向面１３ａ、第１連結ブロック１４の第１対向面１４ａ、及び第２連結ブロック１５の第２対向面１５ａそれぞれに対向している。スペーサ６０の第２対向面６０ｂは、マニホールドベース５０の載置面５０ａに対向している。

スペーサ６０は、供給連通流路６１、第１出力連通流路６２、第２出力連通流路６３、第１排出連通流路６４、及び第２排出連通流路６５を有している。したがって、本実施形態のスペーサ６０は、少なくとも一つの排出連通流路を有している。

供給連通流路６１の一端は、第１対向面６０ａに開口するとともに供給ポートＰに連通している。供給連通流路６１の他端は、第２対向面６０ｂに開口するとともに供給流路５１に連通している。したがって、供給連通流路６１は、供給ポートＰと供給流路５１とを連通する。

第１出力連通流路６２の一端は、第１対向面６０ａに開口するとともに第１出力ポートＡに連通している。第１出力連通流路６２の他端は、第２対向面６０ｂに開口するとともに第１出力流路５２に連通している。したがって、第１出力連通流路６２は、第１出力ポートＡと第１出力流路５２とを連通している。第２出力連通流路６３の一端は、第１対向面６０ａに開口するとともに第２出力ポートＢに連通している。第２出力連通流路６３の他端は、第２対向面６０ｂに開口するとともに第２出力流路５３に連通している。したがって、第２出力連通流路６３は、第２出力ポートＢと第２出力流路５３とを連通している。

第１排出連通流路６４の一端は、第１対向面６０ａに開口するとともに第１排出ポートＲ１に連通している。第１排出連通流路６４の他端は、第２対向面６０ｂに開口するとともに第１排出流路５４に連通している。したがって、第１排出連通流路６４は、第１排出ポートＲ１と第１排出流路５４とを連通している。第２排出連通流路６５の一端は、第１対向面６０ａに開口するとともに第２排出ポートＲ２に連通している。第２排出連通流路６５の他端は、第２対向面６０ｂに開口するとともに第２排出流路５５に連通している。したがって、第２排出連通流路６５は、第２排出ポートＲ２と第２排出流路５５とを連通している。

スペーサ６０の第１対向面６０ａとバルブケーシング１２との間には、第１ガスケット６６が設けられている。第１ガスケット６６は、スペーサ６０の第１対向面６０ａとバルブケーシング１２との間をシールする。スペーサ６０の第２対向面６０ｂとマニホールドベース５０の載置面５０ａとの間には、第２ガスケット６７が設けられている。第２ガスケット６７は、スペーサ６０の第２対向面６０ｂとマニホールドベース５０の載置面５０ａとの間をシールする。

図４に示すように、例えば、第１パイロット弁４１への電圧の印加が行われており、第２パイロット弁４２への電圧の印加が停止されているとする。すると、第１パイロット弁４１によって、流体供給源からの圧縮された流体が第１パイロット圧作用室３４にパイロット流体として供給されるとともに、第２パイロット弁４２によって、第２パイロット圧作用室３８内のパイロット流体が大気へ排出される。これにより、スプール弁１７が第２ピストン収容凹部３５に向けて移動する。その結果、スプール弁１７は、供給ポートＰと第１出力ポートＡとを連通し、且つ第２出力ポートＢと第２排出ポートＲ２とを連通する第１切換位置に切り換わる。また、供給ポートＰと第２出力ポートＢとの間が第３弁部１７３の第３スプールパッキン２８によってシールされるとともに、第１出力ポートＡと第１排出ポートＲ１との間が第２弁部１７２の第２スプールパッキン２７によってシールされる。

図３に示すように、例えば、第１パイロット弁４１への電圧の印加が停止されており、第２パイロット弁４２への電圧の印加が行われているとする。すると、第２パイロット弁４２によって、流体供給源からの圧縮された流体が第２パイロット圧作用室３８にパイロット流体として供給されるとともに、第１パイロット弁４１によって、第１パイロット圧作用室３４内のパイロット流体が大気へ排出される。これにより、スプール弁１７が第１ピストン収容凹部３１に向けて移動する。その結果、スプール弁１７は、供給ポートＰと第２出力ポートＢとを連通し、且つ第１出力ポートＡと第１排出ポートＲ１とを連通する第２切換位置に切り換わる。また、供給ポートＰと第１出力ポートＡとの間が第１弁部１７１の第１スプールパッキン２６によってシールされるとともに、第２出力ポートＢと第２排出ポートＲ２との間が第４弁部１７４の第４スプールパッキン２９によってシールされる。

よって、第１パイロット弁４１における第１パイロット圧作用室３４に対するパイロット流体の給排、及び第２パイロット弁４２における第２パイロット圧作用室３８に対するパイロット流体の給排が行われることにより、スプール弁１７が第１切換位置と第２切換位置との間で弁孔１６を往復動する。したがって、スプール弁１７は、弁孔１６を往復動することにより、第１切換位置と、第２切換位置と、に切換可能になっている。そして、スプール弁１７が第１切換位置と第２切換位置とに切り換わることにより、各ポート間の連通が切り換えられる。

図５に示すように、電磁弁マニホールド１０は、圧力センサ７０と、第１検出流路７１と、第２検出流路７２と、弁室７３と、シャトル弁７４と、センサ室７５と、連通流路７６と、を備えている。本実施形態において、第１検出流路７１、第２検出流路７２、弁室７３、センサ室７５、及び連通流路７６は、スペーサ６０に形成されている。

第１検出流路７１の一端は、第１出力連通流路６２に連通している。したがって、第１検出流路７１は、第１出力連通流路６２を介して第１出力ポートＡに連通している。第１検出流路７１の他端は、弁室７３に連通している。第２検出流路７２の一端は、第２出力連通流路６３に連通している。したがって、第２検出流路７２は、第２出力連通流路６３を介して第２出力ポートＢに連通している。第２検出流路７２の他端は、弁室７３に連通している。したがって、弁室７３は、第１検出流路７１及び第２検出流路７２に連通している。

弁室７３は、スペーサ６０の一部である円筒状の内壁７３ａと、内壁７３ａの軸線方向の両側にそれぞれ位置する第１端面７３ｂ及び第２端面７３ｃとにより形成されている。第１検出流路７１における弁室７３側の端部は、第１端面７３ｂに開口している。第２検出流路７２における弁室７３側の端部は、第２端面７３ｃに開口している。したがって、第１検出流路７１における弁室７３に対する開口部位と、第２検出流路７２における弁室７３に対する開口部位とは、内壁７３ａの軸線方向で互いに対向している。弁室７３は、シャトル弁７４を収容する。

図６に示すように、シャトル弁７４は、円柱状である。シャトル弁７４の外周面は、複数のガイド面７４ａと、複数の溝７４ｂと、を有している。各溝７４ｂは、各ガイド面７４ａよりも凹んでいる。複数の溝７４ｂは、シャトル弁７４の周方向で９０度置きに配置されている。各溝７４ｂは、シャトル弁７４の軸線方向に延びている。各溝７４ｂの一端は、シャトル弁７４の軸線方向の一方に位置する一端面に連続するとともに、各溝７４ｂの他端は、シャトル弁７４の軸線方向の他方に位置する他端面に連続している。各ガイド面７４ａは、シャトル弁７４の周方向に円弧状に延びている。各ガイド面７４ａは、シャトル弁７４の周方向で隣り合う溝７４ｂ同士をそれぞれ接続している。各ガイド面７４ａの外径は、内壁７３ａの内径よりも僅かに小さい。

図５及び図６に示すように、シャトル弁７４は、シャトル弁７４の軸線方向が内壁７３ａの軸線方向に一致した状態で弁室７３を軸線方向に往復動可能に弁室７３に収容されている。そして、各ガイド面７４ａは、弁室７３を形成する内壁７３ａに摺動するとともに弁室７３内での移動をガイドする。

図５に示すように、連通流路７６の一端は、弁室７３に連通するとともに、連通流路７６の他端は、センサ室７５に連通している。したがって、連通流路７６は、弁室７３とセンサ室７５とを連通している。連通流路７６の一端は、内壁７３ａに開口している。センサ室７５には、圧力センサ７０の検出部７０ａが収容されている。圧力センサ７０は、スプール弁１７の動作状態を検出すべく流体の圧力を検出可能である。具体的には、圧力センサ７０の検出部７０ａは、センサ室７５内の圧力を検出する。

スペーサ６０には、制御基板７７が収容される基板収容室７８が形成されている。基板収容室７８は、センサ室７５に連続している。圧力センサ７０は、検出部７０ａがセンサ室７５内に位置した状態で、制御基板７７に実装されている。センサ室７５と基板収容室７８との間は、シール部材７９によってシールされている。シール部材７９は、センサ室７５から基板収容室７８への流体の洩れを抑制する。

図４に示すように、シャトル弁７４は、スプール弁１７が第１切換位置に切り換えられて第１出力ポートＡから第１出力連通流路６２及び第１検出流路７１を介して弁室７３に供給される流体の圧力によって、弁室７３内を第２端面７３ｃに向けて移動する。シャトル弁７４は、第２端面７３ｃに当接することにより、第１検出流路７１と連通流路７６との連通を許容し、且つ第２検出流路７２と連通流路７６との連通を遮断する第１シャトル弁切換位置に切り換えられる。そして、第１出力ポートＡからの流体の一部が、第１出力連通流路６２及び第１検出流路７１を介して弁室７３に流れ込む。このとき、弁室７３に流れ込む流体は、各溝７４ｂにも流れ込むため、第１検出流路７１から弁室７３へ流体が流れ込み易くなっている。そして、弁室７３に流れ込んだ流体は、連通流路７６を介してセンサ室７５に導入される。

図３に示すように、シャトル弁７４は、スプール弁１７が第２切換位置に切り換えられて第２出力ポートＢから第２出力連通流路６３及び第２検出流路７２を介して弁室７３に供給される流体の圧力によって、弁室７３内を第１端面７３ｂに向けて移動する。シャトル弁７４は、第１端面７３ｂに当接することにより、第１検出流路７１と連通流路７６との連通を遮断し、且つ第２検出流路７２と連通流路７６との連通を許容する第２シャトル弁切換位置に切り換えられる。そして、第２出力ポートＢからの流体の一部が、第２出力連通流路６３及び第２検出流路７２を介して弁室７３に流れ込む。このとき、弁室７３に流れ込む流体は、各溝７４ｂにも流れ込むため、第１検出流路７１から弁室７３へ流体が流れ込み易くなっている。そして、弁室７３に流れ込んだ流体は、連通流路７６を介してセンサ室７５に導入される。

したがって、シャトル弁７４は、スプール弁１７が第１切換位置に切り換えられて第１出力ポートＡから第１検出流路７１を介して弁室７３に供給される流体の圧力によって、第１シャトル弁切換位置に切り換えられる。また、シャトル弁７４は、スプール弁１７が第２切換位置に切り換えられて第２出力ポートＢから第２検出流路７２を介して弁室７３に供給される流体の圧力によって、第２シャトル弁切換位置に切り換えられる。各ガイド面７４ａは、弁室７３内でのシャトル弁７４における第１シャトル弁切換位置と第２シャトル弁切換位置との間での移動をガイドする。

図１に示すように、電磁弁マニホールド１０は、マイコン８０をさらに備えている。マイコン８０は、制御基板７７に実装されている。マイコン８０は、圧力センサ７０と電気的に接続されている。そして、マイコン８０には、圧力センサ７０により検出される圧力が出力される。マイコン８０は、外部制御機器と無線で通信可能になっている。マイコン８０には、圧力センサ７０から出力された流体の圧力に関する情報を外部制御機器に送信する。

また、マイコン８０には、圧力センサ７０により検出される圧力が下降するタイミングが、予め定められたタイミングよりも遅い場合に、スプール弁１７の動作不良と判定する判定プログラムが予め記憶されている。具体的には、マイコン８０は、第１パイロット弁４１への電圧の印加が行われてから圧力センサ７０により検出される圧力が下降するまでの時間を計測し、その計測時間が予め定められている時間よりも長い場合に、スプール弁１７の動作不良と判定するプログラムが予め記憶されている。また、マイコン８０は、第２パイロット弁４２への電圧の印加が行われてから圧力センサ７０により検出される圧力が下降するまでの時間を計測し、その計測時間が予め定められている時間よりも長い場合に、スプール弁１７の動作不良と判定するプログラムが予め記憶されている。

ここで、図７及び図８において実線Ｌ１で示す波形は、本実施形態の圧力センサ７０により検出された流体の圧力の変化を示している。また、図７及び図８において一点鎖線Ｌ１１で示す波形は、例えば、検証のために、第１出力流路５２における載置面５０ａとは反対側の端部に第１圧力センサを設けて、第１出力ポートＡから出力される流体の圧力を検出した際の圧力の変化を示している。さらに、図７及び図８において二点鎖線Ｌ１２で示す波形は、例えば、検証のために、第２出力流路５３における載置面５０ａとは反対側の端部に第２圧力センサを設けて、第２出力ポートＢから出力される流体の圧力を検出した際の圧力の変化を示している。

図７及び図８では、第１パイロット弁４１に印加される電圧の変化を破線Ｌ２で示しており、第２パイロット弁４２に印加される電圧の変化の図示を省略している。なお、第１パイロット弁４１に対して予め定められた所定の電圧Ｖｘが印加されると、第２パイロット弁４２に対する電圧の印加が停止して、第２パイロット弁４２に印加される電圧は零になる。一方で、第１パイロット弁４１に対する電圧の印加が停止して、第１パイロット弁４１に印加される電圧が零になると、第２パイロット弁４２に対して予め定められた所定の電圧Ｖｘが印加される。

第１パイロット弁４１に所定の電圧Ｖｘが印加されて、第２パイロット弁４２への電圧の印加が停止されると、スプール弁１７が第２切換位置から第１切換位置に切り換わり、供給ポートＰに供給される流体が第１出力ポートＡから出力されるとともに第２出力ポートＢの流体が第２排出ポートＲ２、第２排出連通流路６５、及び第２排出流路５５を介して大気へ排出される。これにより、図７において一点鎖線Ｌ１１で示すように、第１圧力センサにより検出される圧力が、零から予め定められた所定の圧力Ｐｘ１０まで上昇し、図７において二点鎖線Ｌ１２で示すように、第２圧力センサにより検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘ１０から零まで下降する。ここで、第１圧力センサにより検出される圧力が零から上昇し始める上昇開始点Ｐ１１、及び第２圧力センサにより検出される圧力が所定の圧力Ｐｘ１０から下降し始める下降開始点Ｐ２１は、スプール弁１７が第２切換位置から第１切換位置に切り換わったタイミングＴ１である。

一方、第１パイロット弁４１への電圧の印加が停止されて、第２パイロット弁４２に所定の電圧Ｖｘが印加されると、スプール弁１７が第１切換位置から第２切換位置に切り換わり、供給ポートＰに供給される流体が第２出力ポートＢから出力されるとともに第１出力ポートＡの流体が第１排出ポートＲ１、第１排出連通流路６４、及び第１排出流路５４を介して大気へ排出される。これにより、図８において一点鎖線Ｌ１１で示すように、第１圧力センサにより検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘ１０から零まで下降し、図８において二点鎖線Ｌ１２で示すように、第２圧力センサにより検出される圧力が、零から所定の圧力Ｐｘ１０まで上昇する。ここで、第１圧力センサにより検出される圧力が所定の圧力Ｐｘ１０から下降し始める下降開始点Ｐ１２、及び第２圧力センサにより検出される圧力が零から上昇し始める上昇開始点Ｐ２２は、スプール弁１７が第１切換位置から第２切換位置に切り換わったタイミングＴ２である。

次に、第１の実施形態の作用について説明する。
スプール弁１７が第２切換位置から第１切換位置に切り換えられると、センサ室７５に導入されている流体が、連通流路７６、弁室７３、第２検出流路７２、及び第２出力連通流路６３を介して第２出力ポートＢの流体と共に第２排出ポートＲ２、第２排出連通流路６５、及び第２排出流路５５を介して大気へ徐々に排出されていく。これにより、図７において実線Ｌ１で示すように、圧力センサ７０により検出される圧力が、予め定められた所定の圧力Ｐｘから徐々に下降していく。ここで、所定の圧力Ｐｘから下降し始める下降開始点Ｐ１は、スプール弁１７が第２切換位置から第１切換位置に切り換わったタイミングＴ１である。

そして、供給ポートＰに供給されて第１出力ポートＡから出力される流体の一部が、第１出力連通流路６２、第１検出流路７１を介して弁室７３に供給される。これにより、シャトル弁７４が、弁室７３内を第１端面７３ｂに当接するまで移動し、第１シャトル弁切換位置に切り換えられる。その結果、第１出力ポートＡからの流体の一部が、第１出力連通流路６２、第１検出流路７１、弁室７３、及び連通流路７６を介してセンサ室７５に導入され、圧力センサ７０により検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘから零まで下降する前に再び上昇していく。ここで、所定の圧力Ｐｘから零まで下降する前に再び上昇する変曲点Ｐ２は、シャトル弁７４が第２シャトル弁切換位置から第１シャトル弁切換位置に切り換わったタイミングＴ３である。そして、圧力センサ７０により検出される圧力が、予め定められた所定の圧力Ｐｘまで上昇する。

このとき、図７において、変曲点Ｐ２は、一点鎖線Ｌ１１と二点鎖線Ｌ１２との交点にほぼ一致している。そして、実線Ｌ１における変曲点Ｐ２よりも時系列的に前の部分は、二点鎖線Ｌ１２に沿って延びており、実線Ｌ１における変曲点Ｐ２よりも時系列的に後の部分は、一点鎖線Ｌ１１に沿って延びている。したがって、第２出力ポートＢの流体が大気へ排出され、且つ第１出力ポートＡからの流体が出力されている状態であることが、圧力センサ７０により検出される流体の圧力の変化を示す波形によって把握することができる。その結果、圧力センサ７０により検出される流体の圧力からスプール弁１７が弁孔１６内を第２切換位置から第１切換位置に切り換わるように動作しているか否かを検出可能である。

一方、スプール弁１７が第１切換位置から第２切換位置に切り換えられると、センサ室７５に導入されている流体が、連通流路７６、弁室７３、第１検出流路７１、及び第１出力連通流路６２を介して第１出力ポートＡの流体と共に第１排出ポートＲ１、第１排出連通流路６４、及び第１排出流路５４を介して大気へ徐々に排出されていく。これにより、図８において実線Ｌ１で示すように、圧力センサ７０により検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘから徐々に下降していく。ここで、所定の圧力Ｐｘから下降し始める下降開始点Ｐ３は、スプール弁１７が第１切換位置から第２切換位置に切り換わったタイミングＴ２である。

そして、供給ポートＰに供給されて第２出力ポートＢから出力される流体の一部が、第２出力連通流路６３及び第２検出流路７２を介して弁室７３に供給される。これにより、シャトル弁７４が、弁室７３内を第２端面７３ｃに当接するまで移動し、第２シャトル弁切換位置に切り換えられる。その結果、第２出力ポートＢからの流体の一部が、第２出力連通流路６３、第２検出流路７２、弁室７３、及び連通流路７６を介してセンサ室７５に導入され、圧力センサ７０により検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘから零まで下降する前に再び上昇していく。ここで、所定の圧力Ｐｘから零まで下降する前に再び上昇する変曲点Ｐ４は、シャトル弁７４が第１シャトル弁切換位置から第２シャトル弁切換位置に切り換わったタイミングＴ４である。そして、圧力センサ７０により検出される圧力が、予め定められた所定の圧力Ｐｘまで上昇する。

このとき、図８において、変曲点Ｐ４は、一点鎖線Ｌ１１と二点鎖線Ｌ１２との交点にほぼ一致している。そして、実線Ｌ１における変曲点Ｐ４よりも時系列的に前の部分は、一点鎖線Ｌ１１に沿って延びており、実線Ｌ１における変曲点Ｐ４よりも時系列的に後の部分は、二点鎖線Ｌ１２に沿って延びている。したがって、第１出力ポートＡの流体が大気へ排出され、且つ第２出力ポートＢからの流体が出力されている状態であることが、圧力センサ７０により検出される流体の圧力の変化を示す波形によって把握することができる。その結果、圧力センサ７０により検出される流体の圧力からスプール弁１７が弁孔１６内を第１切換位置から第２切換位置に切り換わるように動作しているか否かを検出可能である。

このように、圧力センサ７０により検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘから下降し始めてから零まで下降する前に再び上昇していき、所定の圧力Ｐｘまで上昇する波形となるか否かによって、スプール弁１７が第１切換位置と第２切換位置とにそれぞれ切り換わるように動作しているか否かを検出することが可能である。

マイコン８０は、例えば、第１パイロット弁４１への電圧の印加が行われてから圧力センサ７０により検出される圧力が下降するまでの時間を計測し、その計測時間が予め定められている時間よりも長い場合には、スプール弁１７の動作不良と判定し、スプール弁１７が動作不良である旨の信号を外部制御機器に送信する。また、マイコン８０は、第２パイロット弁４２への電圧の印加が行われてから圧力センサ７０により検出される圧力が下降するまでの時間を計測し、その計測時間が予め定められている時間よりも長い場合には、スプール弁１７の動作不良と判定し、スプール弁１７が動作不良である旨の信号を外部制御機器に送信する。

第１の実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１−１）圧力センサ７０により検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘから下降し始めてから零まで下降する前に再び上昇していき、所定の圧力Ｐｘまで上昇する波形となるか否かによって、スプール弁１７が第１切換位置と第２切換位置とにそれぞれ切り換わるように動作しているか否かを検出することができる。したがって、圧力センサ７０を１つ用いるだけで、スプール弁１７の動作状態を検出することができるため、圧力センサを２つ用いてスプール弁１７の動作状態を検出する構成に比べて、消費電力を低減することができる。

（１−２）第１検出流路７１、第２検出流路７２、弁室７３、センサ室７５、及び連通流路７６は、スペーサ６０に形成されている。第１検出流路７１は、第１出力連通流路６２を介して第１出力ポートＡに連通しており、第２検出流路７２は、第２出力連通流路６３を介して第２出力ポートＢに連通している。これによれば、例えば、バルブケーシング１２やマニホールドベース５０に、第１検出流路７１、第２検出流路７２、弁室７３、センサ室７５、及び連通流路７６を形成する必要が無いため、既存の構成のバルブケーシング１２やマニホールドベース５０を用いることができる。

（１−３）シャトル弁７４は、柱状である。シャトル弁７４の外周面は、弁室７３を形成する内壁７３ａに摺動するとともに、弁室７３内でのシャトル弁７４における第１シャトル弁切換位置と第２シャトル弁切換位置との間での移動をガイドするガイド面７４ａと、ガイド面７４ａよりも凹む溝７４ｂと、を有している。これによれば、ガイド面７４ａが弁室７３を形成する内壁７３ａに摺動することによって、弁室７３内でのシャトル弁７４における第１シャトル弁切換位置と第２シャトル弁切換位置との間での移動がガイドされるため、弁室７３内でのシャトル弁７４における第１シャトル弁切換位置と第２シャトル弁切換位置との間での移動がスムーズに行われる。そして、シャトル弁７４が、ガイド面７４ａが弁室７３を形成する内壁７３ａに摺動することによって弁室７３内での移動がガイドされる構成であっても、弁室７３に流れ込む流体は、溝７４ｂにも流れ込むため、第１検出流路７１又は第２検出流路７２から弁室７３へ流体を流れ込み易くすることができる。

（１−４）マイコン８０は、圧力センサ７０により検出される圧力が下降するタイミングが、予め定められたタイミングよりも遅い場合に、スプール弁１７の動作不良と判定する。これによれば、マイコン８０が、圧力センサ７０により検出される圧力が下降するタイミングが、予め定められたタイミングよりも遅い場合に、スプール弁１７の動作不良と判定するため、電磁弁１１のメンテナンス時期を把握し易くすることができる。

（第２の実施形態）
以下、電磁弁マニホールドを具体化した第２の実施形態を図９にしたがって説明する。なお、以下に説明する実施形態では、既に説明した第１の実施形態と同一構成について同一符号を付すなどして、その重複する説明を省略又は簡略する。

図９に示すように、電磁弁マニホールド１０は、減圧弁８１と、バイパス流路８２と、逆止弁８３と、をさらに備えている。第２検出流路７２は、第１流路７２ａ、第２流路７２ｂ、及び減圧弁室７２ｃを有している。第１流路７２ａの一端は、減圧弁室７２ｃに連通している。第１流路７２ａの他端は、弁室７３に連通している。第２流路７２ｂの一端は、減圧弁室７２ｃに連通している。第２流路７２ｂの他端は、第２出力連通流路６３に連通している。

減圧弁室７２ｃは、スペーサ６０の一部である円筒状の減圧弁室内壁７２１ｃと、減圧弁室内壁７２１ｃの軸線方向の両側にそれぞれ位置する第１端面７２２ｃ及び第２端面７２３ｃとにより形成されている。第１流路７２ａにおける減圧弁室７２ｃ側の端部は、第１端面７２２ｃに開口している。第２流路７２ｂにおける減圧弁室７２ｃ側の端部は、第２端面７２３ｃに開口している。したがって、第１流路７２ａにおける減圧弁室７２ｃに対する開口部位と、第２流路７２ｂにおける減圧弁室７２ｃに対する開口部位とは、減圧弁室内壁７２１ｃの軸線方向で互いに対向している。

減圧弁室７２ｃは、減圧弁８１を収容する。したがって、減圧弁８１は、第２検出流路７２に設けられている。そして、第１流路７２ａは、第２検出流路７２における減圧弁８１よりも弁室７３側の部位である。第２流路７２ｂは、第２検出流路７２における減圧弁８１よりも弁室７３とは反対側の部位である。

減圧弁８１は、減圧弁体８１ａと、減圧弁体８１ａを第２端面７２３ｃに向けて付勢する付勢ばね８１ｂと、を有している。そして、減圧弁８１は、減圧弁体８１ａが付勢ばね８１ｂの付勢力によって付勢されて第２端面７２３ｃに当接することにより閉弁状態となる。一方、減圧弁８１は、減圧弁体８１ａが付勢ばね８１ｂの付勢力に抗して第２端面７２３ｃから離間することにより開弁状態となる。

バイパス流路８２は、第２検出流路７２において、第１流路７２ａと第２流路７２ｂとを減圧弁８１を迂回して接続している。バイパス流路８２は、第１バイパス形成流路８２ａ、第２バイパス形成流路８２ｂ、及び逆止弁室８２ｃを有している。第１バイパス形成流路８２ａの一端は、逆止弁室８２ｃに連通している。第１バイパス形成流路８２ａの他端は、第２検出流路７２の第１流路７２ａに連通している。第２バイパス形成流路８２ｂの一端は、逆止弁室８２ｃに連通している。第２バイパス形成流路８２ｂの他端は、第２検出流路７２の第２流路７２ｂに連通している。

逆止弁室８２ｃは、スペーサ６０の一部である円筒状の逆止弁室内壁８２１ｃと、逆止弁室内壁８２１ｃの軸線方向の両側にそれぞれ位置する第１端面８２２ｃ及び第２端面８２３ｃとにより形成されている。第１バイパス形成流路８２ａにおける逆止弁室８２ｃ側の端部は、第１端面８２２ｃに開口している。第２バイパス形成流路８２ｂにおける逆止弁室８２ｃ側の端部は、第２端面８２３ｃに開口している。したがって、第１バイパス形成流路８２ａにおける逆止弁室８２ｃに対する開口部位と、第２バイパス形成流路８２ｂにおける逆止弁室８２ｃに対する開口部位とは、逆止弁室内壁８２１ｃの軸線方向で互いに対向している。

逆止弁室８２ｃは、逆止弁８３を収容する。したがって、逆止弁８３は、バイパス流路８２に設けられている。そして、逆止弁８３は、弁室７３から第２検出流路７２の第１流路７２ａ、バイパス流路８２の第１バイパス形成流路８２ａを介して逆止弁室８２ｃに流入した流体の流れを許容する。一方で、逆止弁８３は、第２検出流路７２の第２流路７２ｂからバイパス流路８２の第２バイパス形成流路８２ｂを介して逆止弁室８２ｃに流入した流体の流れを遮断する。したがって、逆止弁８３は、弁室７３からの流体の流れを許容するとともに第２検出流路７２における減圧弁８１よりも弁室７３とは反対側の部位から弁室７３に向けた流体の流れを遮断する。

次に、第２の実施形態の作用について説明する。
スプール弁１７が第２切換位置から第１切換位置に切り換えられると、センサ室７５に導入されている流体が、連通流路７６、弁室７３、第２検出流路７２の第１流路７２ａ、及びバイパス流路８２の第１バイパス形成流路８２ａを介して逆止弁室８２ｃに流れ込む。逆止弁室８２ｃに流れ込んだ流体は、逆止弁８３によって流れが許容されて、逆止弁室８２ｃを通過し、第２バイパス形成流路８２ｂ、第２検出流路７２の第２流路７２ｂ、及び第２出力連通流路６３を流れて第２出力ポートＢの流体と共に第２排出ポートＲ２、第２排出連通流路６５、及び第２排出流路５５を介して大気へ徐々に排出されていく。これにより、圧力センサ７０により検出される圧力が、予め定められた所定の圧力Ｐｘから徐々に下降していく。

そして、供給ポートＰに供給されて第１出力ポートＡから出力される流体の一部が、第１出力連通流路６２、第１検出流路７１を介して弁室７３に供給される。これにより、シャトル弁７４が、弁室７３内を第１端面７３ｂに当接するまで移動し、第１シャトル弁切換位置に切り換えられる。その結果、第１出力ポートＡからの流体の一部が、第１出力連通流路６２、第１検出流路７１、弁室７３、及び連通流路７６を介してセンサ室７５に導入され、圧力センサ７０により検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘから零まで下降する前に再び上昇していく。

一方、スプール弁１７が第１切換位置から第２切換位置に切り換えられると、センサ室７５に導入されている流体が、連通流路７６、弁室７３、第１検出流路７１、及び第１出力連通流路６２を流れて第１出力ポートＡの流体と共に第１排出ポートＲ１、第１排出連通流路６４、及び第１排出流路５４を介して大気へ徐々に排出されていく。これにより、圧力センサ７０により検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘから徐々に下降していく。

そして、供給ポートＰに供給されて第２出力ポートＢから出力される流体の一部が、第２出力連通流路６３及び第２検出流路７２の第２流路７２ｂを介して減圧弁室７２ｃに供給される。また、第２検出流路７２の第２流路７２ｂを流れる流体の一部は、第２バイパス形成流路８２ｂを介して逆止弁室８２ｃに供給される。逆止弁８３は、逆止弁室８２ｃに供給された流体における弁室７３に向けた流れを遮断する。

そして、減圧弁体８１ａは、第２検出流路７２の第２流路７２ｂから減圧弁室７２ｃに供給される流体の圧力が付勢ばね８１ｂの付勢力に抗することで、第２端面７２３ｃから離間する。これにより、減圧弁８１が開弁状態となる。そして、減圧弁室７２ｃに供給された流体は、減圧弁室７２ｃを通過し、第２検出流路７２の第１流路７２ａを介して弁室７３に供給される。これにより、シャトル弁７４が、弁室７３内を第２端面７３ｃに当接するまで移動し、第２シャトル弁切換位置に切り換えられる。その結果、第２出力ポートＢからの流体の一部が、第２出力連通流路６３、第２検出流路７２、弁室７３、及び連通流路７６を介してセンサ室７５に導入され、圧力センサ７０により検出される圧力が、所定の圧力Ｐｘから零まで下降する前に再び上昇していく。

ここで、センサ室７５に導入される流体の圧力は、減圧弁８１の付勢ばね８１ｂの付勢力分だけ減圧されている。したがって、圧力センサ７０により検出される圧力は、予め定められた所定の圧力Ｐｘよりも小さい値まで上昇する。このように、圧力センサ７０により検出される圧力は、スプール弁１７が第１切換位置に切り換わったときの圧力と、スプール弁１７が第２切換位置に切り換わったときの圧力とで異なる。

したがって、第２の実施形態では、第１の実施形態の効果（１−１）、（１−２）、（１−３）、及び（１−４）と同様の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
（２−１）圧力センサ７０により検出される圧力が、スプール弁１７が第１切換位置に切り換わったときの圧力と、スプール弁１７が第２切換位置に切り換わったときの圧力とで異なる。したがって、圧力センサ７０により検出される圧力によって、第１出力ポートＡから流体が出力されているか、それとも、第２出力ポートＢから流体が出力されているかを識別することができる。

なお、上記各実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記各実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

・ 上記各実施形態において、バルブケーシング１２とマニホールドベース５０との間にスペーサ６０が介在されていなくてもよい。そして、例えば、第１検出流路７１、第２検出流路７２、弁室７３、センサ室７５、及び連通流路７６が、バルブケーシング１２に形成されていたり、あるいは、マニホールドベース５０に形成されていたりしてもよい。例えば、第１検出流路７１、第２検出流路７２、弁室７３、センサ室７５、及び連通流路７６が、バルブケーシング１２に形成されている場合、第１検出流路７１は、第１出力ポートＡに接続されるとともに、第２検出流路７２は、第２出力ポートＢに接続される。また、例えば、第１検出流路７１、第２検出流路７２、弁室７３、センサ室７５、及び連通流路７６が、マニホールドベース５０に形成されている場合、第１検出流路７１は、第１出力流路５２に接続されるとともに、第２検出流路７２は、第２出力流路５３に接続される。

・ 上記各実施形態において、弁室７３を形成する内壁７３ａに、連通流路７６に連通する溝がさらに形成されていてもよい。
・ 上記各実施形態において、シャトル弁７４に溝７４ｂが形成されておらず、弁室７３を形成する内壁７３ａに、連通流路７６に連通する溝が形成されていてもよい。

・ 上記各実施形態において、シャトル弁７４は円柱状でなくてもよく、例えば、四角柱状であってもよい。また、シャトル弁７４は、柱状でなくてもよく、例えば、球状であってもよく、シャトル弁７４の形状は特に限定されるものではない。

・ 第２の実施形態において、減圧弁８１が、第２検出流路７２に設けられているのではなく、第１検出流路７１に設けられていてもよい。そして、バイパス流路８２が、第１検出流路７１において、減圧弁８１よりも弁室７３側の部位と減圧弁８１よりも弁室７３とは反対側の部位とを減圧弁８１を迂回して接続されていればよい。要は、減圧弁８１は、第１検出流路７１及び第２検出流路７２の一方に設けられていればよい。そして、バイパス流路８２が、第１検出流路７１及び第２検出流路７２の一方において、減圧弁８１よりも弁室７３側の部位と減圧弁８１よりも弁室７３とは反対側の部位とを減圧弁８１を迂回して接続されていればよい。

・ 上記各実施形態において、電磁弁１１は、例えば、第２排出ポートＲ２を省略した４ポート電磁弁であってもよい。要は、電磁弁１１は、少なくとも一つの排出ポートを有している構成であればよい。

Ａ…第１出力ポート、Ｂ…第２出力ポート、Ｐ…供給ポート、Ｒ１…排出ポートである第１排出ポート、Ｒ２…排出ポートである第２排出ポート、１０…電磁弁マニホールド、１１…電磁弁、１２…バルブケーシング、１６…弁孔、１７…スプール弁、５０…マニホールドベース、５１…供給流路、５２…第１出力流路、５３…第２出力流路、５４…排出流路である第１排出流路、５５…排出流路である第２排出流路、６０…スペーサ、６１…供給連通流路、６２…第１出力連通流路、６３…第２出力連通流路、６４…排出連通流路である第１排出連通流路、６５…排出連通流路である第２排出連通流路、７０…圧力センサ、７１…第１検出流路、７２…第２検出流路、７３…弁室、７３ａ…内壁、７４…シャトル弁、７４ａ…ガイド面、７４ｂ…溝、７５…センサ室、７６…連通流路、８０…マイコン、８１…減圧弁、８２…バイパス流路、８３…逆止弁。

Claims (5)

1. バルブケーシングと、
   前記バルブケーシングに形成された弁孔と、
   前記弁孔に往復動可能に収容されるスプール弁と、
   前記バルブケーシングに形成されるとともに前記弁孔にそれぞれ連通する供給ポート、第１出力ポート、第２出力ポート、及び排出ポートと、を有する電磁弁と、
   前記スプール弁の動作状態を検出すべく流体の圧力を検出可能な圧力センサと、を備え、
   前記スプール弁は、前記弁孔を往復動することにより、前記供給ポートと前記第１出力ポートとを連通し、且つ前記第２出力ポートと前記排出ポートとを連通する第１切換位置と、前記供給ポートと前記第２出力ポートとを連通し、且つ前記第１出力ポートと前記排出ポートとを連通する第２切換位置と、に切換可能になっている電磁弁マニホールドであって、
   前記第１出力ポートに連通する第１検出流路と、
   前記第２出力ポートに連通する第２検出流路と、
   前記第１検出流路及び前記第２検出流路に連通する弁室と、
   前記弁室に収容されるシャトル弁と、
   前記圧力センサが収容されるセンサ室と、
   前記弁室と前記センサ室とを連通する連通流路と、を備え、
   前記シャトル弁は、前記スプール弁が前記第１切換位置に切り換えられて前記第１出力ポートから前記第１検出流路を介して前記弁室に供給される流体の圧力によって、前記第１検出流路と前記連通流路との連通を許容し、且つ前記第２検出流路と前記連通流路との連通を遮断する第１シャトル弁切換位置に切り換えられるとともに、前記スプール弁が前記第２切換位置に切り換えられて前記第２出力ポートから前記第２検出流路を介して前記弁室に供給される流体の圧力によって、前記第１検出流路と前記連通流路との連通を遮断し、且つ前記第２検出流路と前記連通流路との連通を許容する第２シャトル弁切換位置に切り換えられることを特徴とする電磁弁マニホールド。
2. 供給流路、第１出力流路、第２出力流路、及び排出流路が形成されたマニホールドベースと、
   前記バルブケーシングと前記マニホールドベースとの間に介在されるスペーサと、をさらに備え、
   前記スペーサは、
   前記供給ポートと前記供給流路とを連通する供給連通流路、前記第１出力ポートと前記第１出力流路とを連通する第１出力連通流路、前記第２出力ポートと前記第２出力流路とを連通する第２出力連通流路、及び前記排出ポートと前記排出流路とを連通する排出連通流路を有し、
   前記第１検出流路、前記第２検出流路、前記弁室、前記センサ室、及び前記連通流路は、前記スペーサに形成されており、
   前記第１検出流路は、前記第１出力連通流路を介して前記第１出力ポートに連通しており、
   前記第２検出流路は、前記第２出力連通流路を介して前記第２出力ポートに連通していることを特徴とする請求項１に記載の電磁弁マニホールド。
3. 前記第１検出流路及び前記第２検出流路の一方に設けられる減圧弁と、
   前記第１検出流路及び前記第２検出流路の一方において、前記減圧弁よりも前記弁室側の部位と前記減圧弁よりも前記弁室とは反対側の部位とを前記減圧弁を迂回して接続するバイパス流路と、
   前記バイパス流路に設けられるとともに前記弁室からの流体の流れを許容するとともに前記第１検出流路及び前記第２検出流路の一方における前記減圧弁よりも前記弁室とは反対側の部位から前記弁室に向けた流体の流れを遮断する逆止弁と、をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電磁弁マニホールド。
4. 前記シャトル弁は、柱状であり、
   前記シャトル弁の外周面は、
   前記弁室を形成する内壁に摺動するとともに、前記弁室内での前記シャトル弁における前記第１シャトル弁切換位置と前記第２シャトル弁切換位置との間での移動をガイドするガイド面と、
   前記ガイド面よりも凹む溝と、を有していることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の電磁弁マニホールド。
5. 前記圧力センサにより検出される圧力が出力されるマイコンをさらに備え、
   前記マイコンは、前記圧力センサにより検出される圧力が下降するタイミングが、予め定められたタイミングよりも遅い場合に、前記スプール弁の動作不良と判定することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の電磁弁マニホールド。

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