JPH11294631A

JPH11294631A - 流量コントローラ

Info

Publication number: JPH11294631A
Application number: JP9922998A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Hayashimoto; 茂林本; Kenichi Goshima; 憲一五島
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1998-04-10
Filing date: 1998-04-10
Publication date: 1999-10-29
Anticipated expiration: 2018-04-10
Also published as: JP3890138B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成でノズルの目づまりを検出し、そ
の目づまり状態に応じてガス流量を適正に制御するこ
と。【解決手段】流量コントローラは、音速ノズル１、バ
ルブ２、圧力センサ３、コントローラ５及び制御装置６
を備える。ノズル１は供給されるガス圧力に応じた流量
のガスを流出させる。バルブ２は、ノズル１に供給され
るガス圧力を調整し、ノズル１に対するガス流を遮断す
る。圧力センサ３は、ノズル１に供給されるガス圧力を
測定する。コントローラ５は、ノズル１からのガス流量
を制御するために、圧力センサ３の測定結果に基づきバ
ルブ２を制御し、ノズル１に対するガス圧力を制御す
る。コントローラ５は、ノズル１に対するガス流をバル
ブ２で遮断させたときに圧力センサ３で測定される圧力
降下に基づき、ノズル２の目づまりを判定する。コント
ローラ５及び制御装置６は、その目づまりの判定結果に
基づき、バルブ２の制御を補正し、ノズル１に供給され
るガス圧力を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、半導体
製造工程においてプロセスガス、パージガス等のガス流
量を制御するために使用される流量コントローラに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば半導体製造工程では、
プロセスガス、パージガスの流量を制御するのにマスフ
ローコントローラ（以下［ＭＦＣ］という）が一般に使
用されてきた。ここで、ＭＦＣは、ガス流量を測定する
熱式センサを備え、そのセンサが８０〜１２０℃に加熱
されてガスに直接晒されるセンサ部を有する。従って、
ＭＦＣの場合、熱分解し易いオゾン等のガスを制御対象
にすることができない。一方、イオン・インプランテー
ション（注入器）等においてガス流量を制御するには、
２ＣＣＭ程度の微少流量で制御する必要があるが、ＭＦ
Ｃでは、このような微少流量の制御が困難であった。

【０００３】そこで、上記のような流量制御を行うに
は、加熱部がなく、微少流量に対応可能なデバイスを使
用する必要があり、それに好適な音速ノズルを使用した
流量コントローラが近年提案されている。

【０００４】図１６に示すように、この音速ノズル式の
流量コントローラは、音速ノズル３１と呼ばれ、校正さ
れた細孔を有するノズルと、ガス圧力を制御するための
電子レギュレータ３２と、ガス圧力を測定するための圧
力センサ３３と、ガス温度を測定するための温度センサ
３４と、各センサ３３，３４の測定結果に基づいて電子
レギュレータ３２を制御するためのコントローラ３５と
を備える。音速ノズル３１は、例えば、５０〜２００Ｃ
ＣＭ、直径約０．１ミリ、２０ＬＭで約１．２ミリ、５
０ＬＭで約２．４ミリの細孔を有するものである。ここ
で、音速ノズル３１と同様の機能を有する可変ノズルを
代用することもできる。この流量コントローラは、ガス
圧力を電子レギュレータ３２を使用して所定値に設定す
ることにより、音速ノズル３１から噴出されるガス流量
を所定値に制御するようにしたものである。この流量コ
ントローラは、電子レギュレータ３２及び音速ノズル３
１というシンプルな基本構成を有するものであることか
ら、信頼性が高く、ガス系の配管をシンプルなものにす
ることができ、装置全体のコスト低減を図る上でメリッ
トが大きいものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
音速ノズル式の流量コントローラでは、音速ノズル３１
の細孔が極めて細いことから、目づまりを起こすおそれ
があり、目づまりが起きた場合には、制御されるガス流
量に誤差が生じるおそれがある。特に、プロセスガスラ
インでは、酸化物等のパーティクル（微少なゴミ）が発
生するおそれがあり、そのパーティクルが音速ノズル３
１に詰まるというおそれがある。又、この流量コントロ
ーラでは、ガス圧力を制御することによりガス流量を制
御するというオープンループ制御が採用されており、ガ
ス流量を直接測定してその流量を制御するといったフィ
ードバック制御は採用されていない。従って、音速ノズ
ル３１のの目づまりによりガス流量に誤差が生じても、
それを検出することができず、作業者が誤差の発生を知
って直ちに対策を講じることができない。更に、オープ
ンループ制御では、流量コントローラ自体でガス流量を
自己補正することも困難である。このため、流量コント
ローラの信頼性を上げるために、その外部にマスフロー
メータや流量モニタリングシステム等の流量検定手段を
別途に設けてガス流量を検定する必要が生じる。この結
果、装置の全体構成が複雑化したり、そのメンテナンス
性が悪化したり、コストアップしたりするという問題が
あった。

【０００６】この発明は上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、その第１の目的は、ノズルを用いた流量コ
ントローラにおいて、簡単な構成でノズルの目づまりを
検出可能にすることにある。この発明の第２の目的は、
第１の目的に加え、ノズルの目づまり状態に応じてガス
流量を適正に制御可能にすることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、請求項１に記載の発明は、その上流側に供給
されるガス圧力に応じた流量のガスをその下流側へ流出
させるノズルと、ノズルの上流側に供給されるガス圧力
を調整するための圧力調整手段と、ノズルの上流側に供
給されるガス圧力を所定値に調整することによりノズル
の下流側へ流出するガス流量を目標値に制御するため
に、圧力調整手段を制御するための圧力制御手段とを備
えた流量コントローラにおいて、圧力調整手段とノズル
との間のガス流を遮断するためのガス流遮断手段と、そ
のガス流遮断手段により圧力調整手段とノズルとの間の
ガス流が遮断されたときに、ガス流遮断手段とノズルと
の間のガス圧力の降下を検出するための圧力降下検出手
段と、その検出されるガス圧力の降下の状態に基づいて
ノズルの目づまり状態を判定するための目づまり判定手
段とを備えたことを趣旨とする。

【０００８】上記の発明の構成によれば、通常の使用時
には、圧力制御手段が圧力調整手段を制御する。これに
より、ノズルの上流側に供給されるガス圧力が所定値に
調整され、ノズルの下流側に流出するガス流量が目標値
に制御される。ここで、ノズルに目づまりがなければ、
ノズルからのガス流量がノズルの上流側に供給されるガ
ス圧力に応じた目標値に適正に制御されることになる。
しかし、ノズルに目づまりがあると、ノズルからのガス
流量がノズルの上流側に供給されるガス圧力に応じた目
標値に制御されなくなり、ガス流量に誤差を生じること
になる。そこで、通常の使用時に先立ってノズルの目づ
まりを検出するために、ガス流量遮断手段を動作させ、
圧力調整手段とズルとの間のガス流を遮断する。このと
き、圧力調整手段とズルとの間に残留するガス圧力は、
そのガスがノズルから徐々に流出することにより、経時
的に降下することになる。従って、このときにガス流遮
断手段とノズルとの間のガス圧力の降下を圧力降下検出
手段により検出し、その検出されるガス圧力の降下の状
態に基づいて目づまり判定手段が判定を行うことによ
り、外部に流量検定手段を別途に設けることなく、ノズ
ルの目づまり状態が判定される。

【０００９】上記第２の目的を達成するために、請求項
２に記載の発明は、請求項１の発明の構成において、ノ
ズルの下流側へ流出するガス流量が目標値となるよう
に、圧力調整手段によるガス圧力の調整を、判定される
目づまり状態に基づいて補正するための圧力補正手段を
備えたことを趣旨とする。

【００１０】上記の発明の構成によれば、請求項１の発
明の作用に加え、圧力補正手段を動作させることによ
り、上記判定される目づまり状態に基づいて圧力調整手
段によるガス圧力の調整が補正され、ノズルの下流側へ
流出するガス流量が補正される。

【００１１】上記第２の目的を達成するために、請求項
３に記載の発明は、請求項２の発明の構成において、圧
力補正手段は、判定される目づまり状態に基づいてガス
流量の誤差を算出し、その算出される誤差に基づいて圧
力調整手段によるガス圧力の調整を自動補正するための
自動補正手段を含むことを趣旨とする。

【００１２】上記の発明の構成によれば、請求項２の発
明の圧力補正手段の動作が、自動補正手段の動作により
具体化される。即ち、判定される目づまり状態に基づい
て自動補正手段によりガス流量の誤差が算出される。更
に、その算出される誤差に基づいて圧力調整手段による
ガス圧力の調整が自動補正手段により補正されることに
より、ガス流量の誤差が自動的に補正される。

【００１３】上記第２の目的を達成するために、請求項
４に記載の発明は、請求項２の発明の構成において、圧
力補正手段は、判定される目づまり状態に基づいてガス
流量の誤差を算出するための誤差算出手段と、その算出
されるガス流量の誤差を表示するための表示手段と、表
示されるガス流量の誤差に基づいて圧力調整手段による
ガス圧力の調整を作業者が人為補正するための人為補正
手段とを含むことを趣旨とする。

【００１４】上記の発明の構成によれば、請求項２の発
明の圧力補正手段の動作が、誤差算出手段、表示手段及
び人為補正手段の動作により具体化される。即ち、判定
される目づまり状態に基づいて誤差算出手段によりガス
流量の誤差が算出される。更に、その算出されるガス流
量の誤差が表示手段に表示される。そして、その表示さ
れるガス流量の誤差に基づいて作業者が人為補正手段を
操作して圧力調整手段によるガス圧力の調整を人為補正
することにより、ガス流量の誤差が適宜に補正される。

【００１５】上記第２の目的を達成するために、請求項
５に記載の発明は、請求項１の発明の構成において、ノ
ズルを、その開度を変更可能にした可変ノズルとし、可
変ノズルの下流側へ流出するガス流量が目標値となるよ
うに、判定される目づまり状態に基づいて可変ノズルの
開度を補正するための開度補正手段を備えたことを趣旨
とする。

【００１６】上記の発明の構成によれば、請求項１の発
明の作用に加え、開度補正手段を動作させることによ
り、上記判定される目づまり状態に基づいて可変ノズル
の開度が補正される。これにより、可変ノズルの下流側
へ流出するガス流量が、目づまりの状態に応じて目標値
に補正される。

【００１７】上記第２の目的を達成するために、請求項
６に記載の発明は、請求項５の発明の構成において、開
度補正手段は、判定される目づまり状態を所定の基準値
と比較することにより可変ノズルの開度を自動補正する
ための自動補正手段を含むことを趣旨とする。

【００１８】上記の構成によれば、請求項５の発明の開
度補正手段の動作が、自動補正手段の動作により具体化
される。即ち、自動補正手段が、判定される目づまり状
態を所定の基準値と比較することにより、可変ノズルの
開度が自動補正される。これにより、ガス流量の誤差が
自動的に補正される。

【００１９】上記第２の目的を達成するために、請求項
７に記載の発明は、請求項５の発明の構成において、開
度補正手段は、判定される目づまり状態及びそれと比較
されるべき所定の基準値を表示するための表示手段と、
それら表示される目づまり状態及び所定の基準値に基づ
いて可変ノズルの開度を作業者が人為補正するための人
為補正手段とを含むことを趣旨とする。

【００２０】上記の発明の構成によれば、請求項５の発
明の開度補正手段の動作が、表示手段及び人為補正手段
の動作により具体化される。即ち、判定される目づまり
状態及び所定の基準値が表示手段に表示される。そし
て、その表示される目づまり状態及び所定の基準値に基
づいて作業者が人為補正手段を操作して可変ノズルの開
度を人為補正することにより、ガス流量の誤差が適宜に
補正される。

【００２１】上記第２の目的を達成するために、請求項
８に記載の発明は、請求項１乃至請求項７の何れか一つ
の発明の構成において、判定される目づまり状態が所定
の許容状態を超えたときに、ノズルが異常であるものと
してその異常を報知するための異常報知手段を備えたこ
とを趣旨とする。

【００２２】上記の発明の構成によれば、請求項１乃至
請求項７の何れか一つの発明の作用に加え、判定される
目づまり状態が所定の許容状態を超えてノズルが異常と
なったときに、異常報知手段によりそのことが報知され
る。従って、作業者はこの報知を受けてノズルの異常を
認識し、ノズルを正常なものと交換することができるよ
うになる。

【００２３】

【発明の実施の形態】［第１の実施の形態］以下、本発
明の流量コントローラを具体化した第１の実施の形態を
図面を参照して詳細に説明する。

【００２４】図１に本実施の形態に係る音速ノズル式の
流量コントローラの概略構成図を示す。この流量コント
ローラは、半導体製造装置において、プロセスガスの流
量を制御するために使用される。この流量コントローラ
は、音速ノズル１、エアオペレート式のバルブ２、圧力
センサ３、温度センサ４及びコントローラ５を備える。
音速ノズル１は、校正された細孔を有するものであり、
その上流側に供給されるガス圧力に応じた流量のガスを
その下流側へ流出させるものである。バルブ２は、音速
ノズル１の上流側に供給されるガス圧力を調整（制御）
する機能を有するものであり、本発明の圧力調整手段に
相当する。圧力センサ３は、音速ノズル１に供給される
ガス圧力を測定する機能を有するものである。温度セン
サ４は、音速ノズル１に供給されるガス温度を測定する
機能を有するものである。コントローラ５は、圧力セン
サ３及び温度センサ４の測定結果に基づいてバルブ２を
制御する機能を有するものである。コントローラ５は、
本発明の圧力制御手段、目づまり判定手段及び圧力補正
手段を構成する。このコントローラ５は、中央処理装置
（ＣＰＵ）、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダム
アクセスメモリ（ＲＡＭ）、バックアップＲＡＭ及び入
出力回路等の周知の構成を備えたものである。ＲＯＭは
流量制御を含む各種制御に係る制御プログラムを予め記
憶している。コントローラ（そのＣＰＵ）５は、これら
の制御プログラムに従って各種制御を実行する。

【００２５】コントローラ５は、圧力制御システムを含
む。このシステムは、音速ノズル１に供給されるガス圧
力を、所定の設定圧力に調整するために、圧力センサ３
からの圧力信号に基づいてバルブ２に圧力設定信号を出
力することにより、バルブ２の開度を連続的変化をもっ
て制御するものである。このシステムは、圧力センサ３
とバルブ２との間の入出力回路、ＣＰＵ及び各種メモリ
等よりなるハード構成と、バルブ２を制御するためのＲ
ＯＭに格納された制御プログラムとを含むものである。
このシステムは、音速ノズル１の上流側に供給されるガ
ス圧力を所定値に調整することにより、音速ノズル１の
下流側へ流出するガス流量を所定の目標値に制御するた
めに、バルブ２の開度を制御するものである。

【００２６】コントローラ５は、更に、温度チェックシ
ステムを含む。このシステムは、音速ノズル１に供給さ
れるガス温度を測定し、チェックするためのものであ
る。このシステムは、温度センサ４との間の入出力回
路、ＣＰＵ及び各種メモリ等よりなるハード構成と、温
度の測定結果を圧力制御システム及び後述する流量変化
チェックシステムの制御へ反映させるためのＲＯＭに格
納された制御プログラムを含むものである。

【００２７】これらの構成は、流量コントローラの基本
構成であり、従来の流量コントローラのそれと同等であ
る。但し、従来の流量コントローラでは、バルブ２の代
わりに電子レギュレータ３２が使用されている。流量コ
ントローラは、音速ノズル１の上流側に供給されるガス
圧力を所定値に設定することにより、音速ノズル１の下
流側へ流出するガス流量を所定の目標値に制御するよう
にしたものである。この音速ノズル１は、「ノズル下流
側を真空に近い低圧状態にし、ノズル１を通して、ノズ
ル上流側のガスを流出させた場合、ノズル下流側の気体
の温度、圧力が一定で、ノズル前後の圧力差がある限界
圧力差以上のときは、ノズル下流側の圧力が変わっても
常に臨界流量として一定流量が保たれる。」という基本
原理を利用したものである。

【００２８】図２に音速ノズル１の圧力流量特性のグラ
フを示す。このグラフにおいて、「圧力」はノズル上流
側に供給されるガス圧力であり、「流量」はノズル下流
側へのガス流量を意味する。グラフに示す「音速領域」
では、流量は圧力に対してほぼ直線性をもって変化し、
「音速領域」以外の低圧域では、若干曲線性をもって変
化することが分かる。ノズル上流側の圧力とノズル下流
側の圧力との比をある値にしたとき、ノズルを通るガス
の流速は音速を超える。このとき、ノズル下流側の圧力
変化はノズル上流側へ伝わるスピードを超えることがで
きず、ノズル下流側の圧力が変化しても、ノズル上流側
の圧力のみでガス流量が決まる。「音速領域」とは、こ
のような関係が得られる圧力領域を意味するものであ
る。

【００２９】流量コントローラは、上記のように基本構
成がシンプルであることから、信頼性が高く、ガス系の
配管をシンプルなものにすることができ、装置全体のコ
スト低減に寄与する。

【００３０】以上が流量コントローラの通常動作、即
ち、音速ノズル１から流出するガス流量を目標値に制御
する動作を実現するための基本構成である。この基本構
成に加え、この流量コントローラは、音速ノズル１の目
づまりを検出するための構成と、その目づまり状態に応
じて、同ノズル１に供給されるガス圧力を補正し、同ノ
ズル１からのガス流量を補正・制御するための構成を備
える。

【００３１】即ち、この実施の形態では、バルブ２に対
し、音速ノズル１に供給されるガス流れを遮断するため
の機能を与え、本発明のガス流遮断手段を構成してい
る。つまり、ガス流れを遮断するために、バルブ２を全
閉可能な構成としている。この構成自体は、エアーオペ
レート式のバルブ２が持つ本来の構成により得られるも
のである。この実施の形態では、圧力制御機能とガス遮
断機能を併せ持つバルブとして、エアーオペレート式の
バルブ２を使用しているが、その他に、電磁ソレノイド
式、ピエゾ式等のバルブを代わりに使用することもでき
る。

【００３２】この実施の形態では、更に、圧力センサ３
に、バルブ２により同バルブ２と音速ノズル１との間の
ガス流が遮断されたときに、バルブ２と音速ノズル１と
の間のガス圧力の降下を検出するための機能を与え、本
発明の圧力降下検出手段としている。つまり、音速ノズ
ル１が目づまりすると、その下流側へのガス流量が変化
することから、圧力降下によって流量変化を検出するた
めの機能を、圧力センサ３に与えているのである。

【００３３】上記各機能構成に合わせて、コントローラ
５の中の圧力制御システムは、流量変化チェックシステ
ムを兼用している。この流量変化チェックシステムは、
音速ノズル１からのガス流量の変化をチェックするため
に、上記のように検出されるガス圧力の降下状態に基づ
いて音速ノズル１の目づまり状態を判定するためのもの
である。このシステムは、圧力制御システムのために兼
用されるハード構成と、目づまり状態を判定し、その判
定結果を出力するためのＲＯＭに格納された制御プログ
ラム等とを含むものである。

【００３４】この実施の形態では、図１に示すように音
速ノズル１、バルブ２、圧力センサ３、温度センサ４及
びコントローラ５等の部材が一つのケーシングに収容さ
れることによりユニット化され、コントロールユニット
２９が構成されている。

【００３５】加えて、この実施の形態では、コントロー
ラ５に接続された制御装置６及びその付属機器としての
キーボード７、ディスプレイ装置８及びアラームランプ
９を備える。制御装置６は、中央処理装置（ＣＰＵ）、
読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモ
リ（ＲＡＭ）、バックアップＲＡＭ及び入出力回路等の
周知の構成を備えたものである。ＲＯＭは各種制御に係
る制御プログラムを予め記憶している。制御装置（その
ＣＰＵ）６は、これらの制御プログラムに従って各種制
御を実行する。制御装置６は、音速ノズル１からのガス
流量が所定の目標値となるように、音速ノズル１の上流
側に供給されるガス圧力を、音速ノズル１の目づまり状
態に基づいて補正するための機能を有するものである。
制御装置６は、コントローラ５と共に本発明の圧力補正
手段を構成する。キーボード７は、音速ノズル１のガス
流量に係る流量設定値（目標値）を任意に入力したり、
その設定流量を補正するための補正値を任意に入力した
りするために作業者に操作されるものである。ディスプ
レイ装置８は、流量コントローラの運転状態に係るデー
タ、即ち流量設定値及び補正値等に係るデータを表示す
るためのものである。

【００３６】この実施の形態では、上記圧力補正のため
の機能として、自動補正機能と人為補正機能とを兼ね備
える。即ち、自動補正機能は、制御装置６及びコントロ
ーラ５によって発揮されるものである。コントローラ５
の流量変化チェックシステムは、判定される音速ノズル
１の目づまり状態に基づいてガス流量の誤差を算出す
る。同システムは、更に、その誤差を補正するための目
づまり補正値を算出し、その算出結果を目づまり補正値
信号として制御装置５へ出力する。制御装置５は、予め
設定された流量設定値を、入力された目づまり補正値に
より補正することにより、補正後の流量設定値を決定
し、流量設定値信号としてコントローラ５へ出力する。
コントローラ５の圧力制御システムは、流量コントロー
ラを通常の動作で使用する時に、音速ノズル１からのガ
ス流量を補正するために、上記補正後の流量設定値に基
づいてバルブ２の開度を制御することにより、同ノズル
１の上流側に供給されるガス圧力の調整を自動的に補正
する。この実施の形態において、コントローラ５及び制
御装置６は、本発明の自動補正手段を構成する。

【００３７】一方、人為補正機能は、コントローラ５及
び制御装置６に加え、キーボード７及びディスプレイ装
置８によって発揮される。ここで、コントローラ５の流
量変化チェックシステムは、判定される音速ノズル１の
目づまり状態に基づいてガス流量の誤差（これに相当す
る要素を含む。）を算出する。同システムは、その誤差
を補正するための目づまり補正値を算出し、その算出結
果を目づまり補正値信号として制御装置６へ出力する。
制御装置６は、その目づまり補正値をガス流量の誤差と
してディスプレイ装置８に表示させる。作業者は、ディ
スプレイ装置８に表示される目づまり補正値（これに相
当する値を含む。）に基づいてバルブ２によるガス圧力
の調整を人為により補正するために、キーボード７を任
意に操作する。即ち、予め設定された流量設定値に対し
て必要な補正値をキーボード７で入力することにより、
補正後の流量設定値を任意決定して流量設定値信号とし
てコントローラ５へ出力するのである。コントローラ５
の圧力制御システムは、流量コントローラの通常使用時
において、音速ノズル１からのガス流量を補正するため
に、上記補正後の流量設定値に基づいてバルブ２の開度
を制御する。このようにして、音速ノズル１の上流側に
供給されるガス圧力の調整を作業者が人為補正するので
ある。この実施の形態において、コントローラ５は、本
発明の誤差算出手段に相当し、ディスプレイ装置８は、
本発明の表示手段に相当する。更に、キーボード７及び
制御装置６は、本発明の人為補正手段を構成する。

【００３８】上記各種機能に加え、この実施の形態の流
量コントローラは、音速ノズル１の目づまりが異常であ
る場合に、そのことを報知するための機能を有する。即
ち、アラームランプ９は、音速ノズル１の目づまり状態
が異常である場合に、そのことを作業者に報知するため
に動作するものである。制御装置６は必要に応じてアラ
ームランプ９を動作させる。コントローラ５は目づまり
状態を反映した目づまり補正値を所定の限界値と比較
し、目づまり補正値がその限界値を超えた許容範囲外の
ものと判断したときに、音速ノズル１の目づまりが異常
であるものとしてアラーム信号を制御装置６へ出力す
る。制御装置６は、そのアラーム信号を受けて異常を報
知するためにアラームランプ９等を動作させる。この実
施の形態では、コントローラ５、制御装置６及びアラー
ムランプ９が、本発明の異常報知手段を構成する。

【００３９】次に、上記各種機能に対応した制御プログ
ラムの内容を詳しく説明する。図３は音速ノズル１の目
づまりの測定と、その目づまり補正値の算出を行うため
のプログラムの内容を示すフローチャートである。コン
トローラ５は、このプログラムのルーチンを、半導体製
造装置の起動時に初期動作の一つとして、所定の期間だ
け周期的に実行する。作業者は、キーボード７により
「流量チェックモード」を設定入力することにより、こ
のプログラムの実行を任意に選択することができるもの
とする。

【００４０】処理がこのルーチンへ移行すると、ステッ
プ１００において、コントローラ５は流量チェックモー
ドが設定されているか否かを判断する。流量チェックモ
ードでない場合、コントローラ５は、そのまま処理を終
了する。流量チェックモードである場合、コントローラ
５は、ステップ１１０において、音速ノズル１の上流側
に供給されるガス流を一旦遮断するために、バルブ２を
全閉に制御する。

【００４１】ステップ１２０において、コントローラ５
は、ガス流が遮断されたときに圧力センサ３により測定
される圧力降下信号に基づき、所定時間だけ圧力降下波
形を測定する。図４はその圧力降下波形に対応する音速
ノズルの圧力降下曲線を示す。このグラフからも分かる
ように、ガス流が遮断された後、圧力は経時的に徐々に
降下する。このグラフにおいて、Ｑ１は、音速ノズル１
に目づまりがない正常な場合の圧力降下曲線を示す。Ｑ
２は、音速ノズル１に目づまりがある場合の圧力降下曲
線を示す。両曲線Ｑ１，Ｑ２の比較からも明らかなよう
に、音速ノズル１に目づまりがある場合には、ノズル１
から圧力が抜け難くなることから、圧力降下の様子が若
干緩やかになることが分かる。コントローラ５は、本ス
テップ１２０において、上記のような圧力降下波形を測
定するのである。

【００４２】ステップ１３０において、コントローラ５
は、音速ノズル１の上流側に供給されるガス流の遮断を
解除するために、バルブ２を開放に制御する。

【００４３】ステップ１４０において、コントローラ５
は、上記測定された圧力降下波形から、音速ノズル１の
細孔の有効断面積を算出し、メモリに一旦記憶する。こ
の有効断面積の大きさは、ノズル１の目づまりを反映し
たものであり、ノズル１に目づまりがある場合には、そ
の有効断面積も当然に相対的に小さくなる。従って、こ
の有効断面積を算出することは、ノズル１の目づまりを
測定することにもなる。この有効断面積を算出する方法
として、例えば、図４に示すように、圧力が所定値Ｐ１
（例えば「３．０ kgf／cm2」）から別の所定値Ｐ２
（例えば「２．０kgf／cm2」）に降下するのに要する時
間ｔ１，ｔ２を有効断面積に相当する値として測定する
ものがある。この値の測定を、音速ノズル１に目づまり
がない状態のときに予め行い、その測定結果を初期値と
してメモリに格納しておく。そして、その後の測定値を
初期値と比較することにより、流量の変化率、つまり
は、ノズル１の目づまりの程度を算出することができ
る。有効断面積を算出するその他の方法として、上記の
ように圧力降下に要する時間を測定するのに対して、あ
る時点から一定時間が経過するまでに降下した圧力降下
値を測定する方法、或いは、圧力降下の理論式に最小二
乗方等により相関させて行う方法が考えられる。加え
て、温度センサ４からの温度信号に基づいて有効断面積
の算出を補正することにより、温度により変わりうるガ
ス圧力の違いを有効断面積の算出に反映させることもで
きる。

【００４４】ステップ１５０において、コントローラ５
は、ステップ１１０〜１４０の処理を３回繰り返すのを
待って、処理をステップ１６０へ移行する。即ち、１回
の測定だけでは測定精度が不十分であることを考慮して
３回繰り返すこととしたものである。この実施の形態で
は、上記の繰り返し回数を３回としたが、この回数は３
回に限られるものではなく、３回より多くても、３回よ
り少なくてもよい。１回で十分な精度が得られる場合に
は、１回のみ行うものとすることもできる。

【００４５】ステップ１６０において、コントローラ５
は、上記のように算出された有効断面積に係る複数（３
つ）の値から、ノズル１の目づまり補正値を算出する。
この補正値の算出方法として、例えば、有効断面積に係
る算出値に基づきノズル１の目づまりの程度を評価し、
その評価された目づまりの程度に応じてガス流量の減少
を補うことのできる目づまり補正値を算出する方法があ
る。

【００４６】ステップ１７０において、コントローラ５
は、上記算出された目づまり補正値がその限界値よりも
大きいか否かを判断する。ここで、限界値とは、ノズル
１の目づまりを補正できる許容限界を意味する。補正値
が限界値よりも大きくない場合、コントローラ５は、処
理をそのままステップ１９０へ移行し、算出された目づ
まり補正値を制御装置６へ出力し、その後の処理を一旦
終了する。補正値が限界値よりも大きい場合、コントロ
ーラ５は、ステップ１８０において、ノズル１の目づま
りが異常であることを示すアラーム信号を制御装置６へ
出力する。次いで、ステップ１９０において、コントロ
ーラ５は、算出された目づまり補正値を制御装置６へ出
力し、その後の処理を一旦する。

【００４７】上記のように、コントローラ５は、目づま
りの測定と、目づまり補正値の算出とを実行する。

【００４８】次に、上記目づまり補正値等を受けて制御
装置６が実行する制御内容を詳しく説明する。図５は流
量設定値の補正等を行うためのプログラムの内容を示す
フローチャートである。制御装置６は、コントローラ５
と同じく、半導体製造装置の起動時に、所定の期間だけ
実行する。

【００４９】ステップ２００において、制御装置６は、
コントローラ５からのアラーム信号が有るか否かを判断
する。アラーム信号が有った場合、制御装置６は、ステ
ップ２１０において、音速ノズル１に目づまり異常があ
るものとして、そのことをディスプレイ装置８に表示さ
せる。次いで、ステップ２１５において、制御装置６
は、ノズル１の異常を作業者に報知するために、アラー
ムランプ９を点滅させ、その後の処理を一旦終了する。

【００５０】ステップ２００でアラーム信号が無かった
場合、制御装置６は、ステップ２２０において、自動補
正モードであるか否かを判断する。ここで、「自動補正
モード」とは、制御装置６が流量設定値を自動的に補正
するためのモードであり、作業者が任意に流量設定値を
人為で補正するための「人為補正モード」とは異なるも
のである。この実施の形態では、作業者が、キーボード
７を使用して、予め自動補正モード又は人為補正モード
を任意に選択可能になっている。従って、自動補正モー
ドであるか否かは、作業者の選択によって決定される。

【００５１】ここで、作業者の設定が自動補正モードで
ある場合、制御装置６はステップ２３０において、予め
作業者により入力された流量設定値を読み込む。この値
は、音速ノズル１から流出するガス流量として、作業者
が要求する目標値であり、キーボード７により予め制御
装置６に入力されたものである。

【００５２】ステップ２３１において、制御装置６は、
コントローラ５から送られた目づまり補正値を読み込
む。

【００５３】ステップ２３２において、制御装置６は、
その目づまり補正値に基づいて流量設定値を補正し、補
正後の流量設定値を算出する。

【００５４】ステップ２３３において、制御装置６は、
算出された補正後の流量設定値をコントローラ５へ出力
し、その後の処理を一旦終了する。

【００５５】一方、ステップ２２０において、自動補正
モードの設定ではなく、人為補正モードの設定である場
合、制御装置６は、ステップ２４０において、目づまり
補正値をディスプレイ装置８に表示させる。作業者はこ
れを視認することにより、音速ノズル１の目詰まりの程
度を知ることができる。経験を積んだ作業者であれば、
その目づまりの程度とその他の作業条件から、自身の経
験・ノウハウに基づき、流量設定値の補正に必要な補正
値を任意に選択することができる。

【００５６】そこで、ステップ２４１において、制御装
置６は、作業者によりキーボード７で入力される補正値
等に基づいて流量設定値の補正のための計算を行う。

【００５７】そして、ステップ２４２において、制御装
置６は、作業者によりキーボード７で入力される指令に
基づいて、補正後の流量設定値をコントローラ５へ出力
し、その後の処理を一旦終了する。上記のように、制御
装置６は流量設定値の補正等を実行する。

【００５８】次に、上記補正後の流量設定値を受けてコ
ントローラ５が実行する制御内容を詳しく説明する。図
６はコントローラ５が通常の流量制御を行うためのプロ
グラムの内容を示すフローチャートである。コントロー
ラ５は、半導体製造装置の起動完了後に、このルーチン
を周期的に実行する。作業者は、キーボード７により
「通常モード」を設定入力することにより、このプログ
ラムの実行を任意に選択することができるものとする。

【００５９】処理がこのルーチンへ移行すると、ステッ
プ３００において、コントローラ５は通常モードが設定
されているか否かを判断する。通常モードでない場合、
コントローラ５は、そのまま処理を終了する。通常モー
ドである場合、コントローラ５は、ステップ３１０にお
いて、流量設定値をメモリから読み込む。この流量設定
値は、流量チェックモードにおいて補正により得られた
ものであり、制御装置６から送られてメモリに一旦格納
されたものである。

【００６０】ステップ３２０において、コントローラ５
は、読み込まれた補正後の流量設定値に応じた圧力設定
値を算出する。コントローラ５は、この算出を、流量設
定値と圧力設定値をパラメータとして予め設定された関
数データに基づいて行う。

【００６１】ステップ３３０において、コントローラ５
は、圧力センサ３からの圧力信号を読み込む。そして、
ステップ３４０において、コントローラ５は、測定され
た圧力信号値が、算出された圧力設定値となるように圧
力設定信号をバルブ２へ出力することにより、バルブ２
の開度を制御し、その後の処理を一旦終了する。このバ
ルブ２の開度制御により、音速ノズル１の上流側に供給
されるガス圧力が調整され、同ノズル１の下流側へ流出
するガス流量が補正後の設定流量値に制御される。この
ように通常モードの流量制御が実行される。

【００６２】以上説明したように、この実施の形態の流
量コントローラによれば、通常の流量制御を行う通常モ
ードが設定されたときは、コントローラ５がバルブ２の
開度を制御する。これにより、音速ノズル１の上流側に
供給されるガス圧力が所定の圧力設定値に調整され、同
ノズル１の下流側に流出するガス流量が目標の流量設定
値に制御される。

【００６３】ここで、音速ノズル１に目づまりがなけれ
ば、同ノズル１からのガス流量は、同ノズル１の上流側
に供給されるガス圧力の設定値に応じた流量設定値とな
るように適正に制御されることになる。しかし、音速ノ
ズル１に目づまりがあると、同ノズル１からのガス流量
が同ノズル１の上流側に供給されるガス圧力に応じた目
標の流量設定値に制御されなくなり、ガス流量に誤差が
生じることになる。そこで、通常モードの設定に先立っ
て流量変化チェックモードを設定することにより、音速
ノズル１の目づまりを検出するために、コントローラ５
がバルブ２と音速ズル１との間のガス流を遮断させる。
このときバルブ２と音速ノズル１との間に残留するガス
圧力は、そのガスが音速ノズル１から徐々に抜けること
により、経時的に降下することになる。従って、このと
きにバルブ２と音速ノズル１との間のガス圧力の降下を
圧力センサ３により測定し、その測定される圧力降下波
形に基づいて、コントローラ５が音速ノズル１の目づま
り程度を判定する。これにより、流量コントローラの信
頼性を上げるために、その外部にマスフローメータや流
量モニタリングシステム等の特別な流量検定手段を別途
に設けることなく、音速ノズル１の目づまり状態が判定
される。特に、音速ノズル１の目づまり程度を判定する
のに、圧力降下波形をガス温度に応じて補正することに
より、更に正確な判定を行うことができるようになる。
このため、音速ノズル１を用いた流量コントローラにお
いて、比較的簡単な構成で音速ノズル１の目づまりを検
出することができる。この意味で、半導体製造装置の全
体構成が複雑化したり、そのメンテナンス性が悪化した
り、装置がコストアップしたりすることがない。

【００６４】この実施の形態の流量コントローラによれ
ば、上記のように音速ノズル１につき検出される目づま
り状態に基づいて、バルブ２によるガス圧力の調整が補
正され、音速ノズル１の下流側へ流出するガス流量が補
正される。このため、音速ノズル１に多少の目づまりが
生じても、その目づまりの状態に応じて、ガス流量を適
正に制御することができる。

【００６５】特に、この実施の形態の流量コントローラ
では、ガス流量を自動補正するための自動補正モードの
ための構成と、人為補正するための人為補正モードのた
めの構成とを備える。

【００６６】ここで、自動補正モードにおいては、上記
検出される目づまり状態に基づき、コントローラ５によ
りガス流量の誤差に相当する目づまり補正値が算出され
る。そして、算出される目づまり補正値に基づき、制御
装置６により流量設定値が補正される。更に、その補正
後の流量設定値に基づき、コントローラ５によりバルブ
２の開度が制御されて、音速ノズル１に供給されるガス
圧力の調整が補正され、同ノズル１からのガス流量の誤
差が自動的に補正される。このため、音速ノズル１に多
少の目づまりが生じても、その目づまりの状態に応じ
て、ガス流量を適正に自動的に制御することができる。

【００６７】一方、人為補正モードにおいては、上記検
出される目づまり状態に基づいき、コントローラ５によ
りガス流量の誤差に相当する目づまり補正値が算出され
る。更に、算出される目づまり補正値がディスプレイ装
置８に表示される。そして、表示される目づまり補正値
に基づいて作業者がキーボード７を操作することによ
り、制御装置６により流量設定値の補正演算を任意に行
わせる。そして、その補正後の流量設定値に基づいてコ
ントローラ５にガス圧力の調整を人為補正することによ
り、音速ノズル１からのガス流量の誤差が、作業者の経
験を反映して適宜に補正される。このため、音速ノズル
１に多少の目づまりが生じても、その目づまりの状態に
応じて、ガス流量を人為的に適正に制御することができ
る。

【００６８】この実施の形態の流量コントローラによれ
ば、検出される目づまり状態が所定の限界値を超えるほ
どに音速ノズル１が異常であるとコントローラ５が判断
したとき、その異常がディスプレイ装置８に表示され、
アラームランプ９の点滅により作業者に報知される。従
って、作業者はこの報知を受けて音速ノズル１の異常を
認識し、その異常なノズル１を正常なものと交換する等
の処置をとることができる。この際、交換後の音速ノズ
ル１の流量特性につき、上記流量チェックモードにより
検定及び補正を行い、交換後の音速ノズル１の流量特性
値を、交換前のそれに合わせ込むことにより、ノズル１
の交換の前後で流量特性の再現性を確保することができ
る。この意味で、流量コントローラの信頼性を更に高め
ることができる。しかも、上記再現性の確保を、外部の
流量検定手段を何ら用いることなく、比較的簡単に行う
ことができるようになる。

【００６９】［第２の実施の形態］次に、本発明の流量
コントローラを具体化した第２の実施の形態を図面に従
って説明する。尚、この実施の形態を含む以下の各実施
の形態においては、第１の実施の形態に係る流量コント
ローラの構成と同じ部材等については同一符号を付して
説明を省略し、他と異なる点を中心に説明するものとす
る。

【００７０】図７に本実施の形態に係る音速ノズル式の
流量コントローラの概略構成図を示す。第１の実施の形
態では、ガス圧力を制御する機能と、ガス流を遮断する
機能とを一つのバルブ２に兼用させたのを、この実施の
形態では、二つの部材に機能分担させた点で異なる。即
ち、前者の機能を電子レギュレータ１０に分担させ、後
者の機能を、電子レギュレータ１０と音速ノズル１との
間に設けられたバルブ２に分担させる。更に、上記の機
能分担に合わせて、コントローラ５の中の流量変化チェ
ックシステムと、圧力制御システムとを個別に設けてい
る。

【００７１】従って、この実施の形態においても、前記
第１の実施の形態と同様の作用及び効果を得ることがで
きる。

【００７２】［第３の実施の形態］次に、本発明の流量
コントローラを具体化した第３の実施の形態を図面に従
って説明する。

【００７３】図８に本実施の形態に係る音速ノズル式の
流量コントローラの概略構成図を示す。第２の実施の形
態では、通常の圧力を測定する機能と、流量チェックモ
ードにおいて降下圧力を測定する機能とを一つの圧力セ
ンサ３に兼用させたのを、この実施形態では、二つの圧
力センサに機能分担させた点で異なる。即ち、前者の機
能をレギュレータ１０とバルブ２との間に配置された新
たな圧力センサ１１に分担させ、後者の機能を、バルブ
２と音速ノズル１との間に設けられた圧力センサ３に分
担させる。

【００７４】従って、この実施の形態においても、前記
第１及び第２の実施の形態と同様の作用及び効果を得る
ことができる。

【００７５】［第４の実施の形態］次に、本発明の流量
コントローラを具体化した第４の実施の形態を図面に従
って説明する。

【００７６】図９に本実施の形態に係る可変ノズル式の
流量コントローラの概略構成図を示す。前記第１の実施
の形態では、音速ノズル１を使用し、同ノズル１に供給
されるガス圧力を補正することにより、同ノズル１から
のガス流量を補正するようにした。これに対し、この実
施の形態では、音速ノズル１に代わって可変ノズル１２
を使用し、同ノズル１２からのガス流量を補正するため
に、同ノズル１２の開度を補正するようにした点で異な
る。更に、可変ノズル１２にしたことに合わせて、コン
トローラ５に、ノズル開度制御システムを追加して設け
ている。

【００７７】ここで、第１の実施の形態の流量コントロ
ーラでは、開度が固定された音速ノズル１に目づまりが
発生すると、同ノズル１の有効断面積が目づまり程度を
示す値として算出される。そして、その目づまり程度の
分だけ同ノズル１に供給されるガス圧力の設定値を補正
して、初期のガス流量を維持するようにしていた。これ
に対し、本実施の形態の流量コントローラでは、開度を
変更可能にした可変ノズル１２に目づまりが発生する
と、同ノズル１２の有効断面積が目づまり程度を示す値
として算出される。そして、その目づまり程度の分だ
け、同ノズル１２自体の開度を増大させることにより、
結果的にそのノズル１２に供給されるガス圧力の設定値
を補正し、所望のガス流量を維持するようにしている。
この可変ノズル式の流量コントローラでは、一定のノズ
ル開度における初期流量とノズル有効断面積等の特性値
とを、製品出荷段階で予め校正しておく。そして、その
後の流量検定で、ノズル１２に目づまりが検出されたと
き、計算から求められる所定の開度まで可変ノズル１２
を開けて初期の特性値が得られるように補正する。その
処理後に、再び流量検定を行い、初期の特性値からのズ
レがあれば、上記と同様にして特性値を初期の値に補正
する。これを適宜に繰り返すことにより、流量コントロ
ーラの特性値を、出荷段階の状態に合わせ込み、その調
整が完了した後に、通常の流量制御のために使用するの
である。ここで、可変ノズル１２としては開度可変なバ
ルブが想定される。そのバルブとしては、止め弁、ボー
ルバルブ及びニードルバルブ等の流量調節できるバルブ
であれば種類は問わない。そのアクチュエータとして
は、電磁ソレノイド、ピエゾアクチュエータ及びびモー
タ等、電気的に弁体の変移を調整できるものであればよ
い。

【００７８】この実施の形態で、コントローラ５は、温
度チェックシステム、圧力制御システム及び流量変化チ
ェックシステムに加えて「ノズル開度制御システム」を
含む。このシステムは、可変ノズル１２の開度を制御す
るために、同ノズル１２へ開度設定信号を出力すること
により、ノズル１２の開度を連続的変化をもって制御す
るものである。このシステムは、可変ノズル１２等との
間の入出力回路、ＣＰＵ及び各種メモリ等よりなるハー
ド構成と、ノズル１２を制御するためのＲＯＭに格納さ
れた制御プログラムとを含むものである。このシステム
は、可変ノズル１２の下流側へ流出するガス流量が所定
の設定流量（目標値）となるように、流量変化チェック
システムにより判定される同ノズル１２の目づまり状態
に基づいて、可変ノズル１２の開度を補正するものであ
る。この実施の形態において、コントローラ５及び制御
装置６は、本発明の開度補正手段を構成する。

【００７９】この実施の形態では、上記開度補正のため
の機能として、自動補正機能と人為補正機能とを兼ね備
える。即ち、自動補正機能は、コントローラ５により発
揮されるものである。コントローラ５の流量変化チェッ
クシステムは、判定される可変ノズル１２の目づまり状
態を所定の基準値と比較することにより、可変ノズル１
２の開度を自動補正する。これにより、同ノズル１２の
下流側に流出するガス流量が自動的に補正される。この
実施の形態において、コントローラ５６は、本発明の自
動補正手段を構成する。

【００８０】一方、人為補正機能は、コントローラ５及
び制御装置６に加え、キーボード７及びディスプレイ装
置８によって発揮される。ここで、コントローラ５の流
量変化チェックシステムは、判定される可変ノズル１２
の目づまり状態及びそれと比較されるべき所定の基準値
を信号として制御装置６へ出力する。制御装置６は、そ
の目づまり状態及び所定の基準値をそれぞれディスプレ
イ装置８に表示させる。作業者は、ディスプレイ装置８
に表示される目づまり状態及び所定の基準値に基づいて
可変ノズル１２の開度を人為的に補正するために、キー
ボード７を任意に操作する。即ち、予め設定された開度
設定値に対して必要な補正値をキーボード７で入力する
ことにより、補正後の開度設定値を任意に決定して開度
設定値信号としてコントローラ５へ出力するのである。
コントローラ５のノズル開度制御システムは、可変ノズ
ル１２からのガス流量を補正するために、上記補正後の
開度設定値に基づいてノズル１２の開度を制御する。こ
のようにして、可変ノズル１２の上流側に供給されるガ
ス圧力の調整を作業者が人為的に補正するのである。こ
の実施の形態において、ディスプレイ装置８は、本発明
の表示手段に相当する。更に、キーボード７及び制御装
置６は、本発明の人為補正手段を構成する。

【００８１】上記各種機能に加え、この実施の形態の流
量コントローラは、可変ノズル１２の目づまりが異常で
ある場合に、そのことを報知するための機能を有する。
この実施の形態では、コントローラ５、制御装置６及び
アラームランプ９が、本発明の異常報知手段を構成す
る。

【００８２】次に、上記各種機能に対応した制御プログ
ラムの内容を詳しく説明する。図１０は可変ノズル１２
の目づまりの測定と、同ノズル１２の開度設定値等を行
うためのプログラムの内容を示すフローチャートであ
る。コントローラ５は、このプログラムのルーチンを、
半導体製造装置の起動時に初期動作の一つとして、所定
の期間だけ周期的に実行する。作業者は、キーボード７
により「流量チェックモード」を設定入力することによ
り、このプログラムの実行を任意に選択することができ
るものとする。

【００８３】処理がこのルーチンへ移行すると、コント
ローラ５は、ステップ４００から処理を開始する。ここ
では、ステップ４００〜ステップ４５０の処理内容は、
前記第１の実施の形態における図３に示すステップ１０
０〜ステップ１５０の処理内容と同じであることから、
その説明を省略する。

【００８４】そして、ステップ４５０から移行してテッ
プ４６０において、コントローラ５は、算出されたノズ
ル有効断面積の値が、メモリに記憶された前回又は初期
のノズル有効断面積の値（検定基準値）よりも小さいか
否か、即ち、可変ノズル１２が目づまり状態にあるか否
かを判断する。ここで、可変ノズル１２に目づまりが起
きていると判断した場合、コントローラ５は処理をテッ
プ４６５へ移行する。

【００８５】ステップ４６５において、コントローラ５
は算出されたノズル有効断面積の値とその初期値とに基
づき、可変ノズル１２の開度設定値を算出する。コント
ローラ５は、初期の開度設定値を所定値だけ増大させる
補正を行うことにより、この開度設定値の算出を行う。

【００８６】ステップ４６６において、コントローラ５
は、可変ノズル１２の開度を前回よりも所定量だけ大き
くするために、算出された開度設定値を可変ノズル１２
へ出力する。その後、コントローラ５は、処理をステッ
プ４１０へ戻し、同ステップ４１０からの処理を繰り返
す。そして、ステップ４６０において、可変ノズル１２
が目づまり状態にないと判断した場合、コントローラ５
は処理をステップ４６９へ移行する。ステップ４６９に
おいて、コントローラ５は、今回算出された開度設定値
を補正後の開度設定値としてメモリに記憶させる。

【００８７】その後、ステップ４７０において、コント
ローラ５は、上記補正後の開度設定値がその限界値より
も大きいか否かを判断する。ここで、限界値とは、ノズ
ル１の目づまりを補正することのできる許容限界を意味
する。補正後の開度設定値が限界値よりも大きくない場
合、コントローラ５は、処理をそのままステップ４９０
へ移行し、補正後の開度設定値を制御装置６へ出力し、
その後の処理を一旦終了する。補正後の開度設定値が限
界値よりも大きい場合、コントローラ５は、ステップ４
８０において、可変ノズル１２の目づまりが異常である
ことを示すアラーム信号を制御装置６へ出力する。次い
で、ステップ４９０において、コントローラ５は、上記
算出されたノズル有効断面積の値及び初期のノズル有効
断面積の値をそれぞれ制御装置６へ出力し、その後の処
理を一旦する。

【００８８】上記のように、コントローラ５は、目づま
りの測定及び開度設定値の算出等を実行する。

【００８９】次に、上記ノズル有効断面積値等を受けて
制御装置６が実行する制御内容を詳しく説明する。図１
１は開度設定値の補正等を行うためのプログラムの内容
を示すフローチャートである。制御装置６は、コントロ
ーラ５と同じく、半導体製造装置の起動時に、所定の期
間だけ実行する。

【００９０】ステップ５００において、制御装置６は、
コントローラ５からのアラーム信号が有るか否かを判断
する。アラーム信号が有った場合、制御装置６は、ステ
ップ５１０において、可変ノズル１２に目づまり異常が
あるものとして、そのことをディスプレイ装置８に表示
させる。次いで、ステップ５１５において、制御装置６
は、ノズル１２の異常を作業者に報知するために、アラ
ームランプ９を点滅させ、その後の処理を一旦終了す
る。

【００９１】ステップ５００でアラーム信号が無かった
場合、制御装置６は、ステップ５２０において、人為補
正モードであるか否かを判断する。この実施の形態で
も、作業者が、キーボード７を使用して、予め人為補正
モード又は自動補正モードを任意に選択するようになっ
ている。

【００９２】ここで、作業者の設定が自動補正モードで
ある場合、制御装置６はステップ５３０において、作業
者により入力された流量設定値を読み込む。この値は、
可変ノズル１から流出するガス流量として、作業者が要
求する目標値であり、キーボード７により予め制御装置
６に入力されたものである。

【００９３】ステップ５３５において、制御装置６は、
読み込まれた流量設定値をコントローラ５へ出力し、そ
の後の処理を一旦終了する。

【００９４】一方、ステップ５２０において、自動補正
モードの設定ではなく、人為補正モードの設定である場
合、制御装置６は、ステップ５４０において、コントロ
ーラ５から出力されたノズル有効断面積値及び初期のノ
ズル有効断面積値をディスプレイ装置８に表示させる。
作業者はこれらの値を視認することにより、可変ノズル
１の目づまりの程度を知ることができる。経験を積んだ
作業者であれば、その目づまりの程度とその他の作業条
件から、自身の経験・ノウハウに基づき、可変ノズル１
２の開度設定値の補正に必要な補正値を任意に選択する
ことができる。

【００９５】そこで、ステップ５４１において、制御装
置６は、作業者によりキーボード７で入力される補正値
等に基づいて開度設定値の補正のための計算を行う。

【００９６】そして、ステップ５４２において、制御装
置６は、作業者によりキーボード７で入力される指令に
基づいて、補正後の開度設定値をコントローラ５へ出力
し、その後の処理を一旦終了する。上記のように、制御
装置６は開度設定値の補正等を実行する。

【００９７】次に、上記補正後の開度設定値等を受けて
コントローラ５が実行する制御内容を詳しく説明する。
図１２はコントローラ５が通常の流量制御を行うための
プログラムの内容を示すフローチャートである。コント
ローラ５は、半導体製造装置の起動完了後に、このルー
チンを周期的に実行する。作業者は、キーボード７によ
り「通常モード」を設定入力することにより、このプロ
グラムの実行を任意に選択することができる。

【００９８】処理がこのルーチンへ移行すると、ステッ
プ６００において、コントローラ５は通常モードが設定
されているか否かを判断する。通常モードでない場合、
コントローラ５は、そのまま処理を終了する。通常モー
ドである場合、コントローラ５は、ステップ６１０にお
いて、流量設定値及び開度設定値をメモリから読み込
む。ここで、流量設定値は、前述したように作業者によ
り任意に入力され、メモリに一旦格納されたものであ
る。開度設定値は、流量チェックモードにおいて自動補
正又は人為補正により得られたものであり、メモリに一
旦格納されたものである。

【００９９】ステップ６１５において、コントローラ５
は、補正後の開度設定値に係る開度設定信号を可変ノズ
ル１２へ出力することにより、同ノズル１２の開度を制
御する。

【０１００】その後、コントローラ５は、ステップ６２
０〜ステップ６４０の処理を実行する。ここでは、ステ
ップ６２０〜ステップ６４０における処理内容が、第１
の実施の形態の図６のフローチャートに示すステップ３
２０〜ステップ３４０の処理内容と同じであることか
ら、説明を省略する。

【０１０１】上記のようなバルブ２の開度制御と、可変
ノズル１２の開度制御により、可変ノズル１２の上流側
に供給されるガス圧力が調整され、同ノズル１２の下流
側へ流出するガス流量が初期の設定流量値に制御され
る。このように通常モードの流量制御が実行される。

【０１０２】以上説明したように、この実施の形態の流
量コントローラによれば、通常の流量制御を行う通常モ
ードが設定されたときは、コントローラ５がバルブ２及
び可変ノズル１２の開度を制御する。これにより、可変
ノズル１２の下流側に流出するガス流量が目標の流量設
定値に制御される。

【０１０３】ここで、可変ノズル１２に目づまりがある
と、同ノズル１２からのガス流量が同ノズル１２の上流
側に供給されるガス圧力に応じた目標の流量設定値に制
御されなくなり、ガス流量に誤差が生じることになる。

【０１０４】そこで、この実施の形態においても、通常
モードの設定に先立って流量変化チェックモードを設定
することにより、可変ノズル１２の目づまりを検出する
ために、コントローラ５がバルブ２と可変ノズル１２と
の間のガス流を遮断させる。このとき、バルブ２と可変
ノズル１２との間で圧力センサ３により測定される圧力
降下波形に基づいて、コントローラ５が可変ノズル１の
目づまり程度を判定する。これにより、外部に特別な流
量検定手段を別途に設けることなく、可変ノズル１２の
目づまり状態が判定される。その圧力降下波形をガス温
度に応じて補正すれば、更に正確な判定を行うことがで
きるようになる。このため、可変ノズル１２を用いた流
量コントローラにおいて、比較的簡単な構成で可変ノズ
ル１２の目づまりを検出することができる。この意味
で、半導体製造装置の全体構成が複雑化したり、そのメ
ンテナンス性が悪化したり、装置がコストアップしたり
することがない。

【０１０５】この実施の形態の流量コントローラによれ
ば、上記のように可変ノズル１２について検出（算出）
されるノズル有効断面積値に基づき、同ノズル１２の開
度を制御することにより、同ノズル１２の開度が適正値
に補正され、同ノズル１２の下流側へ流出するガス流量
が補正される。このため、可変ノズル１２に多少の目づ
まりが生じても、その目づまりの状態に応じて、ガス流
量を適正に制御することができる。

【０１０６】この実施の形態において、自動補正モード
では、コントローラ５により、上記検出（算出）される
ノズル有効断面積値が所定の検定基準値と比較されるこ
とにより、可変ノズル１２の開度が補正される。更に、
その補正の繰り返し動作により、適正なノズル有効断面
積の確認が行われる。このため、可変ノズル１２に多少
の目づまりが生じても、その目づまりの状態に応じて、
ガス流量を適正に自動的に制御することができる。

【０１０７】この実施の形態において、人為補正モード
では、上記検出（算出）されるノズル有効断面積値及び
それに比較されるべき検定基準値等がディスプレイ装置
８に表示される。そして、その表示されるノズル有効断
面積値及び検定基準値に基づいて作業者がキーボード７
を操作することにより、制御装置６により開度設定値の
補正演算を任意に行わせる。そして、その補正後の開度
設定値に基づいて可変ノズル１２の開度を補正すること
により、可変ノズル１２からのガス流量の誤差が、作業
者の経験を反映して適宜に補正される。このため、可変
ノズル１２に多少の目づまりが生じても、その目づまり
の状態に応じて、ガス流量を人為的に適正に制御するこ
とができる。

【０１０８】この実施の形態においても、補正後の開度
設定値が所定の限界値を超えるほどに可変ノズル１２が
異常であるとコントローラ５が判断したとき、その異常
がディスプレイ装置８に表示され、アラームランプ９の
点滅により作業者に報知される。従って、作業者はこの
報知を受けて可変ノズル１２の異常を認識し、その異常
なノズル１２を正常なものと交換する等の処置をとるこ
とができる。この際、第１の実施の形態と同様、流量チ
ェックモードにより、交換後の可変ノズル１２の流量特
性値を交換前のそれに合わせ込むことができ、同ノズル
１２の交換の前後で流量特性の再現性を確保することが
できる。この意味で、流量コントローラの信頼性を更に
高めることができ、上記再現性の確保を、外部の流量検
定手段を用いることなく、比較的簡単に行うことができ
るようになる。

【０１０９】［第５の実施の形態］次に、本発明の流量
コントローラを具体化した第５の実施の形態を図面に従
って説明する。

【０１１０】図１３に本実施の形態に係るオリフィス式
の流量コントローラの概略構成図を示す。第１の実施の
形態では、前述した「音速領域」に適した音速ノズル１
を使用した。これに対し、本実施の形態では、音速ノズ
ル１に代わり、ノズルの一種でもあり、「亜音速領域」
に適したオリフィス１３を使用し、そのオリフィス１３
の下流側に設けられた別の圧力センサ１４に２次側（下
流側）の圧力測定を行わせる。そして、コントローラ５
の中の圧力制御システムに、圧力センサ３からの圧力信
号及び別の圧力センサ１４からの２次側圧力信号に基づ
いて、通常モードにおける流量制御を行わせる。

【０１１１】従って、この実施の形態でも、前記第１の
実施の形態と同様の作用及び効果を得ることができる。
そして、通常モードにおいては、「亜音速領域」を使用
してガス流量を好適に制御することができる。

【０１１２】［第６の実施の形態］次に、本発明の流量
コントローラを具体化した第６の実施の形態を図面に従
って説明する。

【０１１３】図１４に本実施の形態に係る音速ノズル式
の流量コントローラを半導体製造装置に適用した概略構
成図を示す。この構成では、チャンバ１５に対して複数
のプロセスガスを供給するための複数のガスライン１
６，１７，１８に対応して二つの音速ノズル１と一つの
マスフローコントローラ（ＭＦＣ）１９を設ける。各ガ
スライン１６〜１８の上流に、各プロセスガスの圧力を
調整するための電子レギュレータ２０をそれぞれ設け
る。各音速ノズル１及びＭＦＣ１９の上流側及び下流側
に、開閉用バルブ２１，２２をそれぞれ設ける。各音速
ノズル１及びＭＦＣ１９の上流側に、パージガス（窒素
ガス）を供給するためのパージライン２３を、対応する
分岐ライン２４を介して接続する。各分岐ライン２４
に、開閉用バルブ２５をそれぞれ設ける。パージライン
２３の上流に、本発明の圧力調整手段及びガス流遮断手
段を構成する一つのバルブ２と、本発明の圧力降下検出
手段を構成する一つの圧力センサ３を設ける。バルブ２
及び圧力センサ３に対応するコントローラ５及び制御装
置６を設ける。コントローラ５及び制御装置６は、本発
明の圧力制御手段、目づまり判定手段及び圧力補正手段
を構成する。

【０１１４】この実施の形態では、各電子レギュレータ
２０を閉じ、そのガスライン１６〜１８に対応して設け
られた開閉用バルブ２５を選択的に開くことにより、各
音速ノズル１又はＭＦＣ１９にパージガスを供給するこ
とができる。ここで、例えば、一つの音速ノズル１にパ
ージガスを供給する状態から、バルブ２を一旦閉じてそ
の音速ノズル２に供給されるパージガスの供給を遮断す
ることにより、圧力センサ３により同ノズル１に供給さ
れるガス圧力の降下を測定することができる。そして、
コントローラ５は、そのガス圧力の降下状態に基づき、
音速ノズル１の目づまり状態を判定することができる。

【０１１５】この実施の形態では、音速ノズル１とバル
ブ２との間にパージライン２３を設けることから、目づ
まり状態の判定時に圧力降下に関わる配管容積が増え、
圧力降下に要する時間が他の実施の形態のそれに比べて
長くなる。この結果、圧力降下波形を、より正確に測定
することができるようになる。

【０１１６】この実施の形態では、音速ノズル１を使用
した複数のガスライン１６，１７と、ＭＦＣ１９を設け
たガスライン１８の両方に対し、目づまり状態を判定す
るための一組の構成、即ちバルブ２、圧力センサ３、コ
ントローラ５及び制御装置６を共用することができる。

【０１１７】［第７の実施の形態］次に、本発明の流量
コントローラを具体化した第７の実施の形態を図面に従
って説明する。

【０１１８】図１５に本実施の形態に係る音速ノズル式
の流量コントローラを半導体製造装置に適用した概略構
成図を示す。この構成では、前記第６の実施の形態とは
異なり、チャンバ１５に対して複数のプロセスガスを供
給するための各ガスライン１６〜１８に対応して、コン
トロールユニット２９がそれぞれ設けられる。各コント
ロールユニット２９は、音速ノズル１と、本発明の圧力
調整手段及びガス流遮断手段を構成するバルブ２と、本
発明の圧力降下検出手段を構成する圧力センサ３と、本
発明の圧力制御手段、目づまり判定手段及び圧力補正手
段を構成するコントローラ５とを備える。各ガスライン
１６〜１８の上流に、各プロセスガスの流量を調整する
ためのバルブ２６をそれぞれ設ける。各コントロールユ
ニット２９の上流側における開閉用バルブ２１を省略
し、それら下流側にのみ開閉用バルブ２２を設ける。各
コントロールユニット２９の上流側に、パージガス（窒
素ガス）を供給するためのパージライン２３を、対応す
る分岐ライン２４を介して接続する。各分岐ライン２４
に、開閉用バルブ２５をそれぞれ設ける。パージライン
２３の上流に、バルブ２７及び電子レギュレータ２０を
設ける。

【０１１９】この実施の形態では、各バルブ２６を閉
じ、それらガスライン１６〜１８に対応して設けられた
開閉用バルブ２５を選択的に開くと共に、パージライン
２３に設けられたバルブ２７及びレギュレータ２０を開
くことにより、各コントロールユニット２９に対してパ
ージガスを供給することができる。ここで、パージガス
が供給されるコントロールユニット２９において、バル
ブ２を一旦閉じてその音速ノズル１に供給されるパージ
ガスの供給を遮断することにより、圧力センサ３により
同ノズル１に供給されるガス圧力の降下を測定すること
ができる。そして、コントローラ５は、そのガス圧力の
降下状態に基づき、音速ノズル１の目づまり状態を判定
することができる。

【０１２０】一方、パージライン２３に関わる各バルブ
２５，２７及びレギュレータ２０を閉じ、個々のガスラ
イン１６〜１８に対応して設けられた開閉用バルブ２６
を開くことにより、各コントロールユニット２９に対し
てプロセスガスを供給することができる。ここで、プロ
セスガスが供給されるコントロールユニット２９を上記
と同様に動作させることにより、音速ノズル１の目づま
り状態を判定することができる。

【０１２１】この実施の形態の構成によれば、個々のコ
ントロールユニット２９において音速ノズル１における
目づまりを自己補正できることから、ＭＦＣ等のモニタ
リングシステムを設ける必要がないことは言うまでもな
い。

【０１２２】この実施の形態では、従来とは異なり、図
中の矢印Ａで示される部分に設けられたバルブを省略す
ることができるようになる。更には、前記第６の実施の
形態とは異なり、パージガスを使用する場合及びプロセ
スガスを使用する場合のそれぞれの場合において、音速
ノズル１の目づまり状態の判定を行うことができる。

【０１２３】尚、この発明は前記各実施の形態に限定さ
れるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範
囲で以下のように実施することもできる。以下の各実施
の形態においても、前記各実施の形態と同様の作用及び
効果を得ることができる。

【０１２４】（１）前記各実施の形態では、本発明を自
動補正機能と人為補正機能を両方兼ね備えた流量コント
ローラに具体化したが、自動補正機能又は人為補正機能
のいずれか一方を備えた流量コントローラに具体化する
こともできる。

【０１２５】（２）前記各実施の形態では、音速ノズル
１又は可変ノズル１２が目づまり異常であることを報知
するための構成を備えた流量コントローラに具体化した
が、その報知のための構成を省略することもできる。

【０１２６】（３）前記第４の実施の形態では、第１の
実施の形態に係る音速ノズル式の流量コントローラに対
する変形例のひとつとして、可変ノズル式の流量コント
ローラを構成した。これに対し、前記第２及び第３の実
施の形態に係る音速ノズル式流量コントローラに対する
変形例としての可変ノズル式の流量コントローラを構成
することもできる。

【０１２７】（４）前記第４の実施の形態では、可変ノ
ズル１２の下流側に流出するガス流量を補正するため
に、可変ノズル１２の開度を補正するようにした。これ
に対して、可変ノズル１２の下流側に流出するガス流量
を補正するために、可変ノズル１２の開度を補正すると
共に、同ノズル１２の上流側に供給されるガス圧をバル
ブ２により調整するようにしてもよい。

【０１２８】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ノズル
を用いた流量コントローラにおいて、ノズル上流側のガ
ス圧力の降下を検出し、そのガス圧力の降下の状態に基
づいて目づまりの判定を行うことにより、外部に流量検
定手段を別途に設けることなく、ノズルの目づまり状態
が判定される。このため、比較的簡単な構成でノズルの
目づまりを検出することができるという効果を発揮す
る。

【０１２９】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
の発明の作用及び効果に加え、判定される目づまり状態
に基づいてガス圧力の調整が補正され、ノズル下流側へ
流出するガス流量が補正される。このため、ノズルに目
づまりが生じても、その目づまり状態に応じて、ガス流
量を適正に制御することができるという効果を発揮す
る。

【０１３０】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
の発明の構成において、判定される目づまり状態に基づ
いてガス流量の誤差が算出され、その算出される誤差に
基づいてガス圧力の調整が補正されることにより、ガス
流量の誤差が自動的に補正される。このため、ノズルに
多少の目づまりが生じても、その目づまりの状態に応じ
て、ガス流量を適正に自動的に制御することができると
いう効果を発揮する。

【０１３１】請求項４に記載の発明によれば、請求項２
の発明の構成において、判定される目づまり状態に基づ
いてガス流量の誤差が算出され、そのガス流量の誤差が
表示される。その表示される誤差に基づいて作業者がガ
ス圧力の調整を人為補正することにより、ガス流量の誤
差が適宜に補正される。このため、ノズルに多少の目づ
まりが生じても、その目づまりの状態に応じて、ガス流
量を適正に人為的に制御することができるという効果を
発揮する。

【０１３２】請求項５に記載の発明によれば、請求項１
の発明の作用に加え、判定される目づまり状態に基づい
て可変ノズルの開度が補正され、可変ノズルの下流側へ
流出するガス流量が、目づまりの状態に応じて目標値に
補正される。このため、可変ノズルに目づまりが生じて
も、その目づまり状態に応じて、ガス流量を適正に制御
することができるという効果を発揮する。

【０１３３】請求項６に記載の発明によれば、請求項５
の発明の構成において、判定される目づまり状態を所定
の基準値と比較することにより、可変ノズルの開度が自
動補正され、ガス流量の誤差が自動的に補正される。こ
のため、可変ノズルに多少の目づまりが生じても、その
目づまりの状態に応じて、ガス流量を適正に自動的に制
御することができるという効果を発揮する。

【０１３４】請求項７の発明の構成によれば、請求項５
の発明の構成において、判定される目づまり状態及び所
定の基準値が表示手段に表示される。その表示される目
づまり状態及び所定の基準値に基づいて作業者が人為補
正手段を操作して可変ノズルの開度を人為補正すること
により、ガス流量の誤差が適宜に補正される。このた
め、可変ノズルに多少の目づまりが生じても、その目づ
まりの状態に応じて、ガス流量を適正に人為的に制御す
ることができるという効果を発揮する。

【０１３５】請求項８の発明の構成によれば、請求項１
乃至請求項７の何れか一つの発明の作用及び効果に加
え、判定される目づまり状態が所定の許容状態を超えて
ノズルが異常となったときに、そのことが報知される。
従って、作業者はこの報知を受けてノズルの異常を認識
し、ノズルを正常なものと交換することができるように
なる。この意味で、流量コントローラの信頼性を更に高
めることができるという効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係り、流量コントローラを
示す概略構成図である。

【図２】同じく、音速ノズルの圧力流量特性を示すグラ
フである。

【図３】同じく、音速ノズルの目づまりの測定等を行う
ためのフローチャートである。

【図４】同じく、音速ノズルの圧力降下曲線を示すグラ
フである。

【図５】同じく、流量設定値の補正等を行うためのフロ
ーチャートである。

【図６】同じく、通常の流量制御を行うためのフローチ
ャートである。

【図７】第２の実施の形態に係り、流量コントローラを
示す概略構成図である。

【図８】第３の実施の形態に係り、流量コントローラを
示す概略構成図である。

【図９】第４の実施の形態に係り、流量コントローラを
示す概略構成図である。

【図１０】同じく、可変ノズルの目づまりの測定等を行
うためのフローチャートである。

【図１１】同じく、流量設定値の補正等を行うためのフ
ローチャートである。

【図１２】同じく、通常の流量制御を行うためのフロー
チャートである。

【図１３】第５の実施の形態に係り、流量コントローラ
を示す概略構成図である。

【図１４】第６の実施の形態に係り、流量コントローラ
を適用した製造装置を示す概略構成図である。

【図１５】第７の実施の形態に係り、流量コントローラ
を適用した製造装置を示す概略構成図である。

【図１６】従来技術に係り、流量コントローラを示す概
略構成図である。

【符号の説明】

１音速ノズル２バルブ（圧力調整手段、ガス流遮断手段）３圧力センサ（圧力降下検出手段）５コントローラ（圧力制御手段、目づまり判定手
段、開度補正手段、誤差算出手段）６制御装置（５，６：圧力補正手段、自動補正手段
及び人為補正手段）７キーボード（６，７：人為補正手段）８ディスプレイ装置（６，８：表示手段）９アラーム（５，６，９：異常報知手段）１０電子レギュレータ（圧力調整手段）１１圧力センサ（圧力降下検出手段）１２可変ノズル１３オリフィス（ノズル）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】その上流側に供給されるガス圧力に応じ
た流量のガスをその下流側へ流出させるノズルと、前記ノズルの上流側に供給されるガス圧力を調整するた
めの圧力調整手段と、前記ノズルの上流側に供給されるガス圧力を所定値に調
整することにより前記ノズルの下流側へ流出するガス流
量を目標値に制御するために、前記圧力調整手段を制御
するための圧力制御手段とを備えた流量コントローラに
おいて、前記圧力調整手段と前記ノズルとの間のガス流を遮断す
るためのガス流遮断手段と、前記ガス流遮断手段により前記圧力調整手段と前記ノズ
ルとの間のガス流が遮断されたときに、前記ガス流遮断
手段と前記ノズルとの間のガス圧力の降下を検出するた
めの圧力降下検出手段と、前記検出されるガス圧力の降下の状態に基づいて前記ノ
ズルの目づまり状態を判定するための目づまり判定手段
とを備えたことを特徴とする流量コントローラ。
【請求項２】請求項１に記載の流量コントローラにお
いて、前記ノズルの下流側へ流出するガス流量が前記目標値と
なるように、前記圧力調整手段による前記ガス圧力の調
整を、前記判定される目づまり状態に基づいて補正する
ための圧力補正手段を備えたことを特徴とする流量コン
トローラ。
【請求項３】請求項２に記載の流量コントローラにお
いて、前記圧力補正手段は、前記判定される目づまり状態に基
づいてガス流量の誤差を算出し、その算出される誤差に
基づいて前記圧力調整手段による前記ガス圧力の調整を
自動補正するための自動補正手段を含むことを特徴とす
る流量コントローラ。
【請求項４】請求項２に記載の流量コントローラにお
いて、前記圧力補正手段は、前記判定される目づまり状態に基づいてガス流量の誤差
を算出するための誤差算出手段と、前記算出されるガス流量の誤差を表示するための表示手
段と、前記表示されるガス流量の誤差に基づいて前記圧力調整
手段による前記ガス圧力の調整を作業者が人為補正する
ための人為補正手段とを含むことを特徴とする流量コン
トローラ。
【請求項５】請求項１に記載の流量コントローラにお
いて、前記ノズルを、その開度を変更可能にした可変ノズルと
し、前記可変ノズルの下流側へ流出するガス流量が前記
目標値となるように、前記判定される目づまり状態に基
づいて前記可変ノズルの開度を補正するための開度補正
手段を備えたことを特徴とする流量コントローラ。
【請求項６】請求項５に記載の流量コントローラにお
いて、前記開度補正手段は、前記判定される目づまり状態を所
定の基準値と比較することにより前記可変ノズルの開度
を自動補正するための自動補正手段を含むことを特徴と
する流量コントローラ。
【請求項７】請求項５に記載の流量コントローラにお
いて、前記開度補正手段は、前記判定される目づまり状態及びそれと比較されるべき
所定の基準値を表示するための表示手段と、前記表示される目づまり状態及び前記所定の基準値に基
づいて前記可変ノズルの開度を作業者が人為補正するた
めの人為補正手段とを含むことを特徴とする流量コント
ローラ。
【請求項８】請求項１乃至請求項７の何れか一つに記
載の流量コントローラにおいて、前記判定される目づまり状態が所定の許容状態を超えた
ときに、前記ノズルが異常であるものとしてその異常を
報知するための異常報知手段を備えたことを特徴とする
流量コントローラ。