JP2021080141A - 酸化ガリウム単結晶の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、酸化ガリウム融液の分解を抑制しつつ、効率的に酸化ガリウム単結晶を製造できる製造方法、及び、製造装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る酸化ガリウムの製造方法は、底部１１ｂに貫通孔１２ａを有する坩堝１１に収容された酸化ガリウム融液Ｍを前記貫通孔１２ａから連続的に滲出させ、種結晶Ｓを下方に引き下げながら酸化ガリウム単結晶を成長させる成長工程を有する酸化ガリウム単結晶の製造方法であって、前記成長工程は、前記坩堝１１に収容された前記酸化ガリウム融液Ｍの液面に接する前記坩堝１１内の空間を閉鎖空間としながら行うことを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、酸化ガリウム単結晶の製造方法及び製造装置に関する。

酸化ガリウムのバンドギャップは、従来半導体材料として一般的に用いられてきたシリコンのバンドギャップに比べて遥かに大きく、次世代パワーデバイス材料として注目されるシリコンカーバイド（ＳｉＣ）や窒化ガリウム（ＧａＮ）のバンドギャップよりもさらに大きい。これにより、絶縁破壊境界強度に優れ、今後のパワーデバイスの高性能化に向けて注目を集めている。

また、酸化ガリウム単結晶は融液成長法により製造できるため、気相成長法等の方法により製造されるＳｉＣに比べ、低コストで製造できる点も大きな魅力である。従来、シリコン、サファイヤ等の融液成長法の一つとして、回転引き上げ法（チョクラルスキー法、Ｃｚ法）が広く用いられてきた。Ｃｚ法は、坩堝内に溶融させた融液の液面に種結晶を接触させ、種結晶を回転させながら引き上げ、結晶成長させる方法である。

しかしながら、酸化ガリウム融液は、高温で酸素が不足状態となると分解し、分解により生じた異物が液面に浮遊し、異物層を形成してしまう。液面に異物層が形成されると、酸化ガリウム融液と種結晶とが接触できず、正しく結晶成長させることが困難であった。

これに対して、特許文献１、２には、液面よりも高く突出したダイ部を設けることにより結晶成長を可能にしたＥｄｇｅ−ｄｅｆｉｎｅｄ Ｆｉｌｍ−ｆｅｄ Ｇｒｏｗｔｈ法（ＥＦＧ法）により酸化ガリウム単結晶を製造することが提案されている。ＥＦＧ法は、毛細管現象を利用することにより、ダイ部に融液を吸い上げさせ、ダイ部表面で酸化ガリウムを結晶化させる方法である。現在製造される酸化ガリウム単結晶の多くは、ＥＦＧ法を用いて製造されている。

特開２０１５−２１２２１２号公報 特開２０１８−０７６１９３号公報

しかしながら、ＥＦＧ法では、毛細管現象により酸化ガリウム融液を吸い上げるにあたり、一定量の酸化ガリウム融液が坩堝内に残液として残ってしまい、製造効率に劣っていた。また、毛細管現象により酸化ガリウム融液を吸い上げるため、製造時間がかかり、単結晶の大径化も困難であった。

本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、酸化ガリウム融液の分解を抑制しつつ、効率的に酸化ガリウム単結晶を製造できる製造方法、及び、製造装置を提供することを課題とする。

そこで、本発明者は上記課題を解決すべく鋭意研究し、試行錯誤を重ねた結果、坩堝内を閉鎖空間とし、融液を下方に落として結晶成長させることで、酸化ガリウムの分解を抑制しつつ、効率的に酸化ガリウム単結晶を製造できることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明に係る酸化ガリウムの製造方法は、
底部に貫通孔を有する坩堝に収容された酸化ガリウム融液を前記貫通孔から連続的に滲出させ、種結晶を下方に引き下げながら酸化ガリウム単結晶を成長させる成長工程を有する酸化ガリウム単結晶の製造方法であって、
前記成長工程は、前記坩堝に収容された前記酸化ガリウム融液の液面に接する前記坩堝内の空間を閉鎖空間としながら行うことを特徴とする。

坩堝を閉鎖空間とすることにより、坩堝内の空間を外部から隔離し、坩堝内のガスの流れを停滞させることができ、酸化ガリウム融液の分解を抑制することができる。また、酸化ガリウム融液の液面からの熱の放出を抑制することができ、酸化ガリウム融液の温度を制御しやすくなる。一方、酸化ガリウム融液を下方に滲出させて結晶成長させることにより、異物層を除いたすべての融液を結晶化することができ、製造効率に優れる。さらに、重力を利用して、酸化ガリウム融液を下方に流すことにより、従来のＣｚ法やＥＦＧ法等の引き上げ法に比べて、製造時間を短縮することができる。

第１の実施形態の製造装置を示す断面図である。 第１の実施形態の製造方法を示すフローチャート図である。 第２の実施形態の製造装置を示す断面図である。

（第１の実施形態）
（酸化ガリウム単結晶の製造装置）
以下、本発明の第１の実施形態に係る酸化ガリウム単結晶の製造装置１について、図１を参照して説明する。本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造装置１は、坩堝１１を備え、坩堝１１内に収容された酸化ガリウム融液Ｍを連続的に滲出させて酸化ガリウム単結晶を成長させる。

坩堝１１は、上方が開口する円筒状の筒部１１ａと、筒部１１ａの下方に接続された底部１１ｂとを有し、筒部１１ａと底部１１ｂは一体に形成されている。底部１１ｂの中央には、複数の貫通孔１２ａを有するダイ部１２が設けられている。底部１１ｂは、外周縁からダイ部１２に向かって傾斜する傾斜底面１１ｃを有する。底部１１ｂが傾斜底面１１ｃを有することにより、収容した酸化ガリウム融液Ｍの全量を排出しやすく、原料のロスを削減することができ、製造効率に優れる。坩堝１１及びダイ部１２は、酸化ガリウムの溶融温度に耐え得る材料からなり、例えば、イリジウムにより形成することができる。

ダイ部１２は、底部１１ｂの一部として一体に形成されてもよいし、別の部材として形成され、底部１１ｂに設けられた貫通孔に接続されてもよい。ダイ部１２を別部材とすると、使用によりダイ部１２が摩耗した際や、酸化ガリウム単結晶の製造条件を変更する際等に容易に交換することができる。ダイ部１２は、その一部又は全部が底部１１ｂの下端よりも下方に突出した凸部を形成することが好ましい。ダイ部１２の下方には平坦面１２ｂが形成されており、滲出した酸化ガリウム融液Ｍは、ダイ部１２の下方の平坦面１２ｂに沿って濡れ広がる。ダイ部１２が下方に突出すると、ダイ部１２の形状や大きさに応じた酸化ガリウム単結晶を製造することができる。

製造される酸化ガリウム単結晶の断面形状や大きさは、ダイ部１２の形状や大きさにより決定される。本発明の酸化ガリウム単結晶の製造装置１は、酸化ガリウム単結晶の大径化が容易であり、例えば、種結晶Ｓに対向するダイ部１２の形状は、直径２５〜２１０ｍｍの円形が好ましく、直径７７〜１０３ｍｍの円形がより好ましい。

ダイ部１２は、貫通孔１２ａである細孔を有し、酸化ガリウム融液Ｍを上方から下方に滲出させる。ダイ部１２の貫通孔１２ａは、酸化ガリウム融液Ｍが適切な速度で滲出するように、製造条件や酸化ガリウムと坩堝材料との濡れ性等に応じて貫通孔１２ａの孔径や配置等を適宜決定すればよい。坩堝１１をイリジウムにより形成した場合、酸化ガリウムとイリジウムは非常に濡れやすいので貫通孔１２ａからの出は良く、貫通孔１２ａは比較的小さめが良い。貫通孔１２ａの孔径として、例えば、直径０．４〜０．５ｍｍが例示できる。

筒部１１ａは上部に開口部を有し、開口部には、着脱可能な蓋体１３が設けられる。蓋体１３を有することにより、酸化ガリウム融液Ｍに接する坩堝１１内の空間が閉鎖空間となる。閉鎖空間とは、完全な密閉状態であることが好ましいが、坩堝１１の外部とのガスの流通がある程度制限される状態であれば足りる。蓋体１３としては、筒部１１ａの開口部を閉鎖することのできるものであればよい。蓋体１３としては、開口部を密閉できることが好ましい。蓋体１３は、例えば、円板状の平板状とすることができる。蓋体１３は、坩堝１１と同様に、酸化ガリウムの溶融温度に耐え得る材料からなり、例えば、イリジウムにより形成することができる。

本実施形態の坩堝１１は、蓋体１３を備えることにより、酸化ガリウム融液Ｍの液面に接する坩堝１１内の空間を閉鎖空間とすることができ、外部から隔離することができる。酸化ガリウム融液Ｍが分解されると、分解された際に発生する分解ガスが坩堝１１内の閉鎖空間内に充満し、閉鎖空間内が平衡状態となる。これにより、酸化ガリウム融液Ｍの分解を抑制することができる。また、坩堝１１の外側への熱の放出を抑制することができ、酸化ガリウム融液Ｍの温度を制御しやすくなる。

従来、融液を下方に落とし、種結晶を引き下げながら結晶成長を行う方法の一つとして、μ引き下げ法（μＰＤ法）が、小規模の試験材料の製造等に用いられてきた。μＰＤ法は、小規模の製造を前提とした方法であり、融液の液面の揮発、分解、放熱等が問題となることはなく、μＰＤ法に一般的に用いられる装置では、坩堝に蓋体を備えていなかった。本発明では、大型化に伴う酸化ガリウム融液Ｍの温度制御の問題と、酸化ガリウム融液の分解の問題とを、蓋体１３を備えることにより、解決することが可能である。

坩堝１１の下方には、種結晶台２０が設けられる。種結晶台２０は、上下方向に移動可能であり、種結晶Ｓを支持する。種結晶台２０は、図示しないモーター等の駆動装置に接続され、酸化ガリウム単結晶の成長に合わせて連続的に引き下げられる。

種結晶台２０に支持される種結晶Ｓは、あらかじめ結晶化された酸化ガリウム単結晶片である。ダイ部１２の平坦面１２ｂの面積と同じ断面形状を有する種結晶Ｓを用いると、円柱状又は角柱状の酸化ガリウム単結晶を製造でき、ダイ部１２の平坦面１２ｂの面積よりも小さい断面積を有する種結晶Ｓを用いると、端部が円錐状又は角錐状の酸化ガリウム単結晶を製造できる。端部が円錐状又は角錐状とすると、種結晶Ｓを小さくすることができ、コストを削減することができる。

坩堝１１の下方には、筒部１１ａから延出するように、アフターヒーター１４が設けられる。アフターヒーター１４は、ダイ部１２から滲出した酸化ガリウム融液Ｍが結晶化する結晶化領域を覆い、結晶化領域の温度を適切な範囲に制御する。結晶化領域の温度を適切な範囲に制御することにより、酸化ガリウム単結晶を均一に結晶化させることができる。アフターヒーター１４は、坩堝１１と同じ材料により形成されることが好ましい。

坩堝１１及びアフターヒーター１４の周囲には、ジルコニア、アルミナ等のセラミックス製の外装材４０を設けることが好ましい。外装材４０を設けることにより、坩堝１１の内部及びアフターヒーター１４の内側の結晶化領域の温度が安定する。また、外装材４０を設けることにより、外部への熱の放出を抑制することができ、加熱効率に優れる。また、外装材４０には、ガス注入口が設けられ、外装材４０の内側の空間を、調整された雰囲気ガスで満たすことができる。

外装材４０の外側には、坩堝１１及びアフターヒーター１４を覆うように、ヒーターである高周波コイル３０が設けられる。高周波コイル３０は、坩堝１１及びアフターヒーター１４を高周波により誘電加熱し、坩堝１１の内部及びアフターヒーター１４の内側の結晶化領域の温度を上昇させる。坩堝１１の内部及びアフターヒーター１４の内側の結晶化領域の温度は、高周波コイル３０の出力、坩堝１１又はアフターヒーター１４と高周波コイル３０との距離等により調節することができる。坩堝１１内の温度は、少なくとも酸化ガリウムの溶融温度以上の温度になるように設定すればよい。酸化ガリウムの溶融温度以上とは、例えば、１７４０℃以上、１８３０℃以上、１９００℃以上を例示することができる。アフターヒーター１４の内側の結晶化領域の温度は、酸化ガリウム融液Ｍの滲出速度や、製造する酸化ガリウム単結晶の径等に応じて、結晶化に適切な温度範囲で適宜設定すればよく、坩堝１１内の温度よりも低い温度で適切な温度勾配を有するように設定することが好ましい。アフターヒーター１４の内側の結晶化領域の温度勾配は、アフターヒーター１４の長さや高周波コイル３０とダイ部１２の下端面との位置関係により調節することができる。ヒーターとしては、高周波コイル３０に代えて、それ自体が熱を発する熱源を用いることもできる。

（酸化ガリウム単結晶の製造方法）
本実施形態に係る酸化ガリウム単結晶の製造方法について、図１、図２を参照して説明する。本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造方法は、酸化ガリウム単結晶の製造装置１を用いることを特徴とし、酸化ガリウム融液Ｍをダイ部１２から連続的に滲出させ、酸化ガリウム単結晶を成長させる成長工程を備える。

本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造方法は、準備段階として、溶融工程を有する。溶融工程は、まず、坩堝１１内に、原料となる酸化ガリウム及び必要に応じて添加される公知の添加元素を収容する。その後、坩堝１１内を減圧脱気した後、充填気体で満たし、坩堝１１内に新たなガスが流入しないように、蓋体１３で密閉する。充填気体は、例えば、アルゴン等の不活性ガスに３ｍｏｌ％程度の酸素を混合した混合気体、二酸化炭素等が好ましい。坩堝１１の周囲に外装材４０を設け、ガス注入口より充填気体を注入し、坩堝１１の外側の空間も、充填気体で満たしておくことが好ましい。坩堝１１内の空間が完全に密封状態でない場合、坩堝１１の外側の空間も充填気体で満たしておくと、蓋体１３の隙間から外気が侵入した際にも、坩堝１１内の雰囲気を一定に保つことができる。

上記のように蓋体１３により坩堝１１内の空間を閉鎖空間とした後、充填気体雰囲気下で高周波コイル３０により、坩堝１１内の温度を酸化ガリウムの溶融温度以上とし、酸化ガリウムを溶融させる坩堝１１内の酸化ガリウム融液Ｍは、熱対流し、略均一に保たれる。

酸化ガリウムが溶融すると、酸化ガリウム融液Ｍがダイ部１２に設けられた貫通孔１２ａから連続的に滲出する。ダイ部１２の下方には、種結晶台２０に支持された種結晶Ｓが配される。種結晶Ｓは、ダイ部１２に当接する位置から、下方に引き下げられ、滲出した酸化ガリウム融液Ｍは、ダイ部１２と種結晶Ｓとの間を埋めるように、種結晶Ｓの上面に濡れ広がる。

種結晶Ｓの上面に濡れ広がった酸化ガリウム融液Ｍは、冷却され、結晶化する。成長工程では、充填気体と同様の気体を流入させるとともに、ダイ部１２より下方側を覆うアフターヒーター１４によって加熱されることで、結晶化領域の温度が調節され、酸化ガリウムの結晶成長が進行する。

成長工程は、種結晶台２０に支持された種結晶Ｓを下方に引き下げながら連続的に繰り返される。これにより、種結晶Ｓの上部に結晶化した酸化ガリウム単結晶が形成される。種結晶Ｓの引き下げ速度は、滲出速度及び結晶化速度に合わせて設定される。引き下げ速度の下限値の目安としては、生産性の観点から、０．１ｍｍ／ｍｉｎ以上が好ましく、０．２ｍｍ／ｍｉｎ以上がより好ましい。引き下げ速度の上限値の目安としては、酸化ガリウム単結晶の品質の観点から、０．５ｍｍ／ｍｉｎ未満が好ましく、０．４ｍｍ／ｍｉｎ以下がより好ましい。引き下げ速度が速すぎると、クラックや気泡が発生する場合がある。酸化ガリウム融液Ｍには重力が作用するため、Ｃｚ法やＥＦＧ法等の引き上げ法に比べて成長工程を速く行うことができる。

本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造方法によれば、坩堝１１が蓋体１３を備えることにより、酸化ガリウム融液Ｍに接する坩堝１１内の空間を閉鎖空間とすることができる。すなわち、坩堝１１内の空間を外部から隔離し、坩堝１１内のガスの流れを停滞させることができる。酸化ガリウム融液Ｍが分解されると、分解された際に発生する分解ガスが坩堝１１内の閉鎖空間内に充満し、閉鎖空間内が平衡状態となる。これにより、酸化ガリウム融液Ｍの分解を抑制することができる。また、坩堝１１の外側への熱の放出を抑制することができ、酸化ガリウム融液Ｍの温度を制御しやすくなる。

本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造方法では、従来の方法に比べ、酸化ガリウム融液Ｍの分解を抑制することができるものの、坩堝１１内において、酸化ガリウム融液Ｍの一部は分解し、異物として液面に浮遊する。しかしながら、坩堝１１の下部に設けられた貫通孔１２ａより酸化ガリウム融液Ｍを滲出させることにより、浮遊する異物層を除いてすべての酸化ガリウム融液Ｍを滲出、結晶化することができる。従来のＥＦＧ法の方法では、酸化ガリウム融液Ｍを毛細管現象により吸い上げるために、一定量の酸化ガリウム融液Ｍが坩堝１１内に残ってしまう。本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造方法によれば、坩堝１１中に残液が残らないため、製造効率に優れる。また、残液が残らないことから、残液へのイリジウムの溶け出し等による酸化ガリウム単結晶の純度の低下を抑制することができる。

さらに、酸化ガリウムに添加元素を加えた場合、従来のＥＦＧ法等の方法では、毛細管現象により酸化ガリウム融液Ｍが吸い上げられる際に、引き上げ速度の違いから、添加元素が分離し、添加元素濃度が不均一になってしまう場合があった。本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造方法では、熱対流により坩堝１１内の酸化ガリウム融液Ｍに添加元素を均一分散させるとともに、坩堝１１の下方から酸化ガリウム融液Ｍを滲出させることにより、添加元素の分離、不均一化を抑制することができる。

（第２の実施形態）
以下、第２の実施形態に係る酸化ガリウム単結晶の製造装置について、図３を参照して説明する。なお、先の第１の実施形態と同様の構成は、同じ符号を付し、説明を省略する。

本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造装置１０は、蓋体１３に代えて、坩堝１１の開口部を閉鎖する外蓋１３０と、酸化ガリウム融液Ｍの液面を覆う内蓋１３１とを備える。内蓋１３１は、略中央部に棒状の内蓋軸１３２が接続される。内蓋軸１３２は、外蓋１３０に設けられた貫通孔に挿通される。外蓋１３０の貫通孔と内蓋軸１３２とは、摺動部材等を介して、摺動可能に密着することが好ましい。

内蓋１３１は、酸化ガリウム融液Ｍの液面の全体を覆うことが好ましいが、坩堝１１の筒部１１ａとの間に間隙があってもよい。具体的には、内蓋１３１の外径と、筒部１１ａの内径との差が、０．１〜０．５ｍｍの範囲内であることが好ましい。

本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造装置１０は、外蓋１３０を備えることにより、酸化ガリウム融液Ｍに接する坩堝１１内の空間を閉鎖空間とすることができる。さらに、内蓋１３１を備えることにより、坩堝１１内の気体と酸化ガリウム融液Ｍの液面との接触を阻止することができる。これにより、酸化ガリウム融液Ｍの液面の分解を抑制することができる。また、酸化ガリウム融液Ｍの液面からの熱の放出を抑制することができ、酸化ガリウム融液Ｍの温度を制御しやすくなる。

また、本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造装置は１０、内蓋軸１３２を備える。内蓋軸１３２は、一方の端部が内蓋１３１に接続され、他端は坩堝１１の外側に突出する。内蓋軸１３２の突出部を図示しない付勢装置に接続することにより、内蓋軸１３２及び内蓋１３１を介して、酸化ガリウム融液Ｍの液面をわずかに加圧することが可能である。酸化ガリウム融液Ｍを加圧することにより、酸化ガリウム融液Ｍの滲出速度を制御しやすく、成長工程における結晶化を均一に制御しやすくなる。

外径５０ｍｍ、高さ５０ｍｍ、肉厚１．５ｍｍのイリジウム製坩堝を準備した。坩堝の底部には、外径２６ｍｍの円板状のイリジウム製ダイ部を設けた。ダイ部の厚さは２ｍｍ、細孔は直径０．４ｍｍの貫通孔を７個とした。酸化ガリウム粉末を坩堝内に収容し、坩堝内を１０Ｐａ以下に減圧した後、アルゴン：酸素のモル比を９６：４に調整した混合気体で充填した。坩堝の上部を、外径５２ｍｍ、肉厚２ｍｍのイリジウム製蓋体で坩堝内を密閉した。坩堝の下方に外径５０ｍｍ、高さ３０ｍｍ、肉厚１．５ｍｍのイリジウム製アフターヒーターを接続した。坩堝及びアフターヒーターの周囲をジルコニア及びアルミナ製の外装材で覆い、その外側に、円筒状の石英管を設け、さらに外側に、高周波コイルを設けた。

上記の装置を炉内に収容し、炉内を１０Ｐａ以下に減圧した後、アルゴン：酸素のモル比を９６：４に調整した混合気体で充填した。混合気体雰囲気下で、高周波コイルにより坩堝を加熱し、酸化ガリウム粉末を溶融させた。坩堝上部の蓋体表面が１８３０℃程度となると、ダイ部の細孔から酸化ガリウム融液の滲出が確認された。酸化ガリウム粉末が溶融したのを確認し、６×６×３０ｍｍ、結晶方位（１００）の種結晶を酸化ガリウム融液に当接させ、種結晶上面に酸化ガリウム融液をなじませた。結晶径がφ２６ｍｍになるまで、種結晶を０．１ｍｍ／ｍｉｎ以下の低速で引き下げながら結晶成長させた。その後、種結晶の引き下げ速度を０．１〜０．４ｍｍ／ｍｉｎまで、０．１ｍｍ／ｍｉｎおきに変えながら結晶成長させた。φ２６×５０ｍｍの無色透明な酸化ガリウム単結晶を得た。

引き下げ速度０．４ｍｍ／ｍｉｎでは、わずかにクラックがみられたが、気泡の発生がなく、許容範囲といえる。引き下げ速度０．１ｍｍ／ｍｉｎ、０．２ｍｍ／ｍｉｎ、及び、０．３ｍｍ／ｍｉｎでは、クラックも気泡もなく、特に高品質な酸化ガリウム単結晶を得た。

１、１０：酸化ガリウム単結晶の製造装置、 １１：坩堝、 １１ａ：筒部、 １１ｂ：底部、 １２：ダイ部、 １３：蓋体、 １４：アフターヒーター、 ２０：種結晶台、 ３０：高周波コイル、 ４０：外装材、 １３０：外蓋、 １３１：内蓋、 １３２：内蓋軸、 Ｍ：融液、 Ｓ：種結晶

Claims (6)

1. 底部に貫通孔を有する坩堝に収容された酸化ガリウム融液を前記貫通孔から連続的に滲出させ、種結晶を下方に引き下げながら酸化ガリウム単結晶を成長させる成長工程を有する酸化ガリウム単結晶の製造方法であって、
   前記成長工程は、前記坩堝に収容された前記酸化ガリウム融液の液面に接する前記坩堝内の空間を閉鎖空間としながら行うことを特徴とする酸化ガリウム単結晶の製造方法。
2. 前記成長工程は、前記酸化ガリウム融液の前記液面と前記閉鎖空間内の気体との接触を阻止しながら行う請求項１に記載の酸化ガリウム単結晶の製造方法。
3. 前記底部は、前記貫通孔が設けられたダイ部を有し、前記ダイ部は、前記種結晶に対向する下面の形状が直径２５〜２１０ｍｍの円形である請求項１又は２に記載の酸化ガリウム単結晶の製造方法。
4. 前記酸化ガリウム融液は、酸化ガリウムと添加元素を有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の酸化ガリウム単結晶の製造方法。
5. 底部に貫通孔を有する坩堝に収容された酸化ガリウム融液を前記貫通孔から連続的に滲出させ、種結晶を下方に引き下げながら酸化ガリウム単結晶を成長させる酸化ガリウム単結晶の製造装置であって、
   上方が開口する前記坩堝と、
   前記坩堝の前記開口を閉鎖する外蓋と、
   前記坩堝に収容された前記酸化ガリウム融液の液面に当接して、前記液面を覆う内蓋と、
   を備えることを特徴とする酸化ガリウム単結晶の製造装置。
6. 前記底部は、前記貫通孔が設けられたダイ部を有し、前記ダイ部は、前記種結晶に対向する下面の形状が直径２５〜２１０ｍｍの円形である請求項５に記載の酸化ガリウム単結晶の製造装置。

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