JP2021069176A - 振動波モータ、光学機器及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 電気−機械エネルギー変換素子と弾性体との接合界面に働く応力を低減しつつ、部品点数が低減された振動波モータを提供する。【解決手段】 電気−機械エネルギー変換素子と、電気−機械エネルギー変換素子が固定された弾性体と、を有する振動子と、振動子を保持する保持部材と、振動子と接触し、振動子に対して相対移動する接触体と、接触体を案内する案内部材と、振動子と接触体とが接触するように、保持部材と案内部材とを加圧する加圧部材と、を備え、接触体は、案内部材により、接触体が振動子に対して相対移動する相対移動方向に案内され、保持部材は、案内部材の、相対移動方向への移動を規制しつつ、案内部材の、加圧部材が保持部材と案内部材とを加圧する加圧方向への移動を許容するように、案内部材と係合する、ことを特徴とする振動波モータ。【選択図】 図１

Description

本発明は、振動波モータ、光学機器及び電子機器に関する。

圧電素子などの電気−機械エネルギー変換素子を用いた振動波モータには種々の構成のものが知られている。例えば、被駆動体と、平板状の弾性体の表面に２つの突起部が設けられると共に、弾性体の裏面に圧電素子が接合された振動子と、２つの突起部と接触体とを加圧接触させるための加圧部材を有する振動波モータが知られている。ここで、弾性体の裏面とは、後述する突起部が形成されていない面のことである。また、以下、被駆動体を「接触体」ともいう。

この振動波モータでは、電気−機械エネルギー変換素子に所定の交流電圧（以下、「駆動電圧」ともいう）を印加することによって、２つの突起部を結ぶ方向と突起部の突出方向とを含む面内で、２つの突起部の先端に楕円運動又は円運動を発生させる。これにより、接触体が２つの突起部（振動子）から摩擦駆動力を受けることで、２つの突起部を結ぶ方向に、振動子と接触体とを相対的に移動（以下、「相対移動」ともいう）させることができる。

接触体が振動子から加圧力を効率良く受けるためには、振動子を接触体に対して、前記加圧部材が加圧する方向（以下、「加圧方向」ともいう）に相対移動可能に保持することが重要となる。そこで、振動子の保持機構に関する提案がなされている。

特許文献１に記載された、振動板（以下、「弾性体」ともいう）と圧電素子から構成される振動子の保持機構は、弾性体の接合部に小基台（以下、「保持部材」ともいう）を接合し、保持部材を加圧する。そして、これにより、弾性体を摩擦材（以下、「接触体」ともいう）に対して加圧している。保持部材には穴部及び長穴部が設けられており、穴部及び長穴部に、リング基台に設けられた２つの軸部が嵌合している。こうすることで、接触体が振動子から加圧力を効率良く受けることが可能となる。

特許文献２に記載された、振動体（以下、「弾性体」ともいう）と圧電素子から構成される振動子の保持機構は、振動子に固定された第１の保持部と、第２の保持部の間に転動コロ及びガタ寄せバネを備えることで、加圧方向に移動可能に保持されている。

特開２０１６−１９５５３９号公報 特開２０１９−１４０８６４号公報

しかし、特許文献１に開示された振動波モータでは、振動子の、保持部材との接合部を加圧すると、振動子に加わる曲げ応力が高くなり、弾性体に接合された圧電素子が、弾性体から剥がれる懸念がある。また、特許文献２に開示された振動波モータでは、圧電素子の、弾性体からの剥がれに対しては、振動子の、保持部材との接合部ではなく、振動子の裏面を加圧することで、圧電素子と弾性体との接合界面に働く応力を低減している。ここで、振動子の裏面とは、後述する突起部が形成されていない面のことである。

しかし、振動子の保持機構には、第１の保持部と、第２の保持部の間に転動コロ及びガタ寄せバネを、振動子の加圧機構には、振動遮断部材を介して第１の伝達部材と第２の伝達部材を使用しているために、部品点数が多いため、装置が大きくなる傾向にあった。また、部品点数が多いため、部品コストや組立コストが上昇する要因ともなっていた。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、電気−機械エネルギー変換素子と弾性体との接合界面に働く応力を低減しつつ、部品点数が低減された振動波モータを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明（振動波モータ）は、電気−機械エネルギー変換素子と、前記電気−機械エネルギー変換素子が固定された弾性体と、を有する振動子と、前記振動子を保持する保持部材と、前記振動子と接触し、前記振動子に対して相対移動する接触体と、前記接触体を案内する案内部材と、前記振動子と前記接触体とが接触するように、前記保持部材と前記案内部材とを加圧する加圧部材と、を備え、前記接触体は、前記案内部材により、前記接触体が前記振動子に対して相対移動する相対移動方向に案内され、前記保持部材は、前記案内部材の、前記相対移動方向への移動を規制しつつ、前記案内部材の、前記加圧部材が前記保持部材と前記案内部材とを加圧する加圧方向への移動を許容するように、前記案内部材と係合する、ことを特徴とする。

電気−機械エネルギー変換素子と弾性体との接合界面に働く応力を低減しつつ、部品点数が低減された振動波モータを提供することができる。

本発明の実施例１における振動波モータの分解斜視図である。 本発明の実施例１における振動波モータの（ａ）斜視図、（ｂ）ＹＺ面の（組立）側面図、（ｃ）ＸＺ面の（組立）断面図である。 本発明の実施例１における振動モード図である。 本発明の実施例１における振動波モータの節位置を表す図である。 本発明の実施例２おける振動波モータの（ａ）（組立）斜視図、（ｂ）ＹＺ面の（組立）側面図、（ｃ）ＸＺ面の（組立）側面図である。 本発明の実施例３における振動波モータの（ａ）分解斜視図、（ｂ）（組立）斜視図である。 本発明の実施例３における振動波モータの駆動状態を表す図である。 本発明の実施例４における振動波モータを用いた撮像装置の概略構成を示す（ａ）上面図と（ｂ）ブロック図である。

（実施例１）
本実施例は、リニア型振動波モータに本発明を適用した例であり、その詳細を図１〜図２を用いて説明する。まず図１は本発明の実施例１における振動波モータ１の分解斜視図であり、図２は組立図である。ここで摩擦部材８（以下、「接触体」ともいう）の相対移動方向をＸ方向、加圧方向をＺ方向、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向と定義する。

弾性体３は、矩形状の本体部３ｃと、本体部３ｃの、Ｘ方向における複数の位置（ここでは、２箇所）からそれぞれ延出する複数（ここでは、２箇所×２つ＝４つ）の延出部３ｂを有する。複数（ここでは、４つ）の延出部３ｂは、本体部３ｃのＸ方向における位置並びにＸ方向及びＺ方向に直交する方向における位置がそれぞれ異なる、本体部３ｃの複数の位置（ここでは、４箇所）からそれぞれ突出する、ともいえる。

弾性体３には、電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子４が接着剤等で固定され、さらに弾性体３との反対面の圧電素子４にフレキシブルプリント基板５が固定され、これらで振動子２を構成している。圧電素子４とフレキシブルプリント基板５の固定方法はＺ方向のみへの通電を可能にする異方性導電ペーストや異方性導電フィルムで行われる。

弾性体３の材料としては、金属やセラミックスなど振動の減衰が小さい材料が好ましい。弾性体３の製造に関しては、プレス成型や切削などで突起部３ａを一体で設けてもよいし、突起部３ａを別に製造して、後から溶接や接着などで固定することも可能である。また突起部３ａは本実施例のように複数設けてもよいし、１つでもよい。

圧電素子４はチタン酸ジルコン酸鉛を用いる。またチタン酸バリウムや、チタン酸ビスマスナトリウムなどの鉛を含有しない圧電材料を主成分としたものでもよい。圧電素子４の両面には不図示の電極パターンが形成されており、フレキシブルプリント基板５からの給電が行われる。

振動子２の下方には、振動子２を加圧及び保持する保持部材６が設けられている。保持部材６とボールレール１２（以下、「第１の案内部」ともいう）の間に、引張ばね等からなる加圧部材７を設けることによって、Ｚ方向に加圧力が付与される。なお、引張ばねはコイルばねあるが、コイル形状は簡略化して図示している。なお、「保持部材６と第１の案内部の間」とは、相対移動方向（Ｘ方向）、又は、相対移動方向及び加圧方向（Ｚ方向）に直交する方向（Ｙ方向）から見たときの状態を表している。

振動子２の上方には接触体８が設けられ、前述した加圧部材７の加圧力によって弾性体３の突起部３ａと加圧接触している。接触体８は摩擦部材ホルダ１０（以下、「第２の案内部」ともいう）に固定され、一体となってＸ方向に駆動される。接触体８と第２の案内部１０の間に振動減衰のためのゴム９が設けられている。接触体８と第２の案内部１０及びゴム９の固定方法は接着、ビス止めでも構わないし、ゴム９の摩擦力で固定することも可能である。接触体８は耐摩耗性の高い金属やセラミック、樹脂、またはその複合材で構成される。特にＳＵＳ４２０Ｊ２などのステンレスを窒化した材料が耐摩耗性や量産性の観点から好ましい。

案内部材１３が、第２の案内部１０及びボール１１、第１の案内部１２で構成されている。第２の案内部１０及び第１の案内部１２に設けられた複数（ここでは、３つ）のレール１２ｃ（以下、「軌道部」ともいう）で複数（ここでは、３つ）のボール１１を挟み込んでいる。そうすることで、接触体８とゴム９及び第２の案内部１０が、その他の部品に対して、Ｘ方向にスムーズに移動できるようにしている。軌道部１２ｃは、ボールを誘導することができればよい。そのため、図１の軌道部１２ｃのように、第１の案内部１２をＺ方向に貫通しても、後述する図６（ａ）の軌道部１２ｄのように、第１の案内部１２をＺ方向に貫通していなくてもよい。

振動波モータ１は、第２の案内部１０に設けられた出力伝達部である出力ピン１０ａ（以下、「貫通部」ともいう）によって、外部に出力を伝達する。第１の案内部１２には、Ｚ方向に貫通する第１の貫通穴１２ｅが形成されている。貫通部１０ａは、第１の貫通穴１２ｅを貫通しているが、第１の貫通穴１２ｅは、貫通部１０ａがＸ方向に移動可能に形成されているので、外部に出力を伝達することができる。

本実施例では、ねじ穴６ａを固定することによって、保持部材６及び振動子２を固定し、接触体８が移動する例を示しているが、逆に、接触体８または第２の案内部１０を固定し、振動子２を移動させることも可能である。

次に、図３を用いて、振動子２に励起される振動モードについて説明する。本実施例では、圧電素子３にフレキシブルプリント基板５を通じて交流電圧を印加して、振動子２に、互いに位相が異なる定在波（面外曲げ振動）を励振し、これらの面外曲げ振動を合成した振動を生じさせる。

第１の振動モードであるモードＡは、振動子２の長手方向であるＸ方向に平行に２つの節が現れる一次の面外曲げ振動モードである。モードＡの振動により、２箇所の突起部３ａが加圧方向であるＺ方向に変位する。第２の振動モードであるモードＢは、振動子２の短手方向であるＹ方向におおよそ平行な３つの節が現れる二次の面外曲げ振動モードである。モードＢの振動によって、２箇所の突起部３ａがＸ方向に変位する。

これらのモードＡ，Ｂの振動を合成することによって、２箇所の突起部３ａがＸＺ面内で楕円運動あるいは円運動を行う。この突起部３ａに接触体８を加圧接触させることによって、Ｘ方向に摩擦力が発生し、振動子２と接触体８とを相対的に移動させる駆動力（推力）が発生する。本実施例では、振動子２が後述の手法で保持されているため、接触体８がＸ方向に移動する。

振動波モータ１を効率よく駆動するためには、振動子２に励振させる２つの振動モードの振動（変位）を阻害することなく振動子２を支持することが必要となり、このためには、これら２つの振動モードの節近傍を支持することが望ましい。このような理由から、振動子２に励振される２つの振動モードの共通の節を加圧・保持するために、保持部材６に２つの凸部６ｂを設けている。図４にその接触位置と各振動モードにおける節位置を示す。なお簡略化のために、フレキシブルプリント基板５は省略している。

図４において、黒色に塗りつぶされた部分は節近傍を示している。具体的には各振動モードの最大変位の３５％以下の変位の個所を黒く表示している。ここではこの最大変位の３５％以下の変位の個所を節近傍と定義する。モードＡ、Ｂを重ね合わせると黒い部分が重なる場所、つまり共通の節近傍が６個出現（丸印４箇所と星印２箇所）する。このうち星印で表す２箇所が、振動子２をより効率的に支持する以下２つの観点で好ましい。まず他４箇所よりも変位がより小さいこと、次にＸＺ断面で見るとＸ方向には１点で加圧されているために突起部３ａと接触体８とのＹ軸回りのイコライズ機能をもたせ、接触を均一化させることが可能だからである。このような理由から、図４の星印部を、凸部６ｂと接触させることで、より効率的に振動子２を加圧している。

さらに凸部６ｂは振動子２を加圧するだけでなく、摩擦力によってＸ方向及びＹ方向に振動子２を保持している。接触体８を駆動する際に振動子が受ける反力よりも、凸部６ｂと振動子２間の静止摩擦力の最大値のほうが常に大きくなっているため、振動子２が保持部材６に対して移動することはない。これにより、精密な駆動を行うことが可能となる。

一方、保持部材６には４つの遊嵌部６ｃ（以下、「突出部」ともいう）が設けられている。４つの突出部６ｃは、本体部３ｃに接すると共に、４つの延出部３ｂにそれぞれ接する。これにより、４つの突出部６ｃは、振動子２の外周面に対して、がたを有した状態で支持（遊嵌）している。この突出部６ｃは振動子２の組立時の位置決めとしての機能を果たす。

また、保持部材６には２箇所の凹部６ｄ（以下、「第１の係合部」ともいう）が設けられている。２箇所の第１の係合部６ｄは、第１の案内部１２の凸部１２ａ（以下、「第２の係合部」ともいう）と係合することで、第１の案内部１２の、保持部材６に対するＸ方向及びＹ方向の移動を規制しつつ、Ｚ方向への移動を許容し、スムーズに加圧することができる。

本実施例では、図２（ｂ）に示すように、振動子２の側面よりも内側に加圧部材７、第１の係合部６ｄ及び第２の係合部１２ａを配置している。これにより振動波モータ１のＹ方向のサイズを最小化することが可能となっている。

これまで述べてきたとおり、本実施例では、保持部材６は、加圧部材７によって直接付勢される。また、保持部材６は、第１の案内部１２（第２の係合部１２ａ）のＸ方向及びＹ方向の移動を規制しつつ、第１の案内部１２（第２の係合部１２ａ）のＺ方向の移動を許容する第１の係合部６ｄを有する。さらに、保持部材６は、振動子２を加圧しつつ摩擦力で保持している。つまり、保持部材６は振動子２の保持及び加圧、加圧部材７の取り付け、第１の案内部１２のＸ方向及びＹ方向の移動の規制・Ｚ方向の移動の許容の４つの機能が統合されている。そのため、従来よりも部品点数の削減による小型化、低コスト化が可能となる。さらに、上述の通り、振動の節位置で振動子２を支持しているため、従来の支持方法よりもモータ性能は向上する。

以上より、本発明により、電気−機械エネルギー変換素子と弾性体との接合界面に働く応力を低減しつつ、部品点数が低減された振動波モータを提供することができる。

なお、本発明のリニア型の振動波モータにおいて、接触面に楕円運動または円運動を生成する方法は上記方法に限られない。例えば、上記とは異なる曲げ振動モードの振動同士を組み合わせてもよいし、弾性体を長手方向に伸縮させる縦の振動モードの振動と曲げ振動モードの振動とを組み合わせてもよい。

接触面を接触体の移動方向に変位させる振動モードと、接触面を加圧方向に変位させる振動モードとの組み合わせにより、接触面に楕円運動と円運動を生成する方式であり、加圧及び保持のための共通の節を有していれば、どのような駆動方式を用いても良い。

（実施例２）
図５は実施例２における振動波モータの（ａ）組立で斜視図及び（ｂ）組立側面図（ＹＺ面）、（ｃ）組立側面図（ＸＺ面）である。モータの駆動原理及び構成部品は実施例１と同様のため、説明を省略する。本実施例の特徴は、ＹＺ面（Ｘ方向）から見たときに、振動子の側面よりも外側に（振動子と重ならないように）、加圧部材及び第２の係合部１２ａと第１の係合部６ｄが配置されている。一方、ＸＺ面（Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向）から見たときに、接触体８は加圧部材７及び第２の係合部１２ａが重なるように配置されている。

この配置により、振動波モータのＸ方向のサイズを小さくすることが可能となる。

（実施例３）
本実施例について、図６，７を用いて説明する。まず、図６（ａ）は本発明の実施例３における振動波モータの分解斜視図であり、（ｂ）は（組立）斜視図である。また、図７は本発明の実施例３における振動波モータの駆動状態を表す側面図である。図７では分かりやすく説明するため、加圧部材の図示を省略している。

本実施例は、実施例１及び２とは異なり、第２の案内部１０（及び接触体８、ゴム９）、を固定し、振動子２が自走するタイプの振動波モータである。第２の案内部１０の固定は、２つの固定穴１０ｂをビス止めすることで行う。また、軌道部１２ｄは、前述の図１の軌道部１２ｃとは異なり、第１の案内部１２をＺ方向に貫通していない。

実施例１，２と同様に、振動子２は保持部材６に摩擦力により保持されている一方、保持部材６と第１の案内部１２は一部で係合しているため、これらの部品は一体となってＸ方向に移動する。出力の伝達は保持部材６のＺ方向の下方に設けられた出力伝達部６ｅで行う。

図７（ａ）は、振動子２がＸ方向の中央にある場合、図７（ｂ）は、左側のメカ端部にある場合、図７（ｃ）は、右側のメカ端部にある場合を示したものである。図６に示すように、第１の案内部１２の両サイドには空間部１２ｂ（第２の貫通穴）が設けられており、第１の案内部１２と振動子２とが一体にＸ方向に移動する際、空間部１２ｂ（第２の貫通穴）を、接触体８、ゴム９、第２の案内部１０が通過する。このような構成により第１の案内部１２の第２の係合部１２ａの厚み分、振動波モータのＸ方向のサイズを小さくすることが可能となる。

（実施例４）
振動波モータは、例えば、撮像装置（光学機器、電子機器）のレンズ駆動用途等に用いることができる。そこで、一例として、レンズ鏡筒に配置されたレンズの駆動に振動波モータを用いた撮像装置について説明する。

図８（ａ）は、撮像装置７００の概略構成を示す上面図である。撮像装置７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体７３０を備える。また、撮像装置７００は、第１レンズ群（不図示）、第２レンズ群３２０、第３レンズ群（不図示）、第４レンズ群３４０、振動型駆動装置６２０，６４０を有するレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとして取り換え可能であり、撮影対象に合わせて適したレンズ鏡筒７４０をカメラ本体７３０に取り付けることができる。撮像装置７００では、２つの振動型駆動装置６２０，６４０によってそれぞれ、第２レンズ群３２０，第４レンズ群３４０の駆動が行われる。

振動型駆動装置６２０の詳細な構成は不図示であるが、振動型駆動装置６２０は、振動波モータと、振動波モータの駆動回路を有する。ロータ２１１は、ラジアル方向が光軸と略直交するように、レンズ鏡筒７４０内に配置される。振動型駆動装置６２０では、ロータ２１１を光軸回りに回転させ、不図示のギア等を介して接触体の回転出力を光軸方向での直進運動に変換することによって、第２レンズ群３２０を光軸方向に移動させる。振動型駆動装置６４０は、振動型駆動装置６２０と同様の構成を有することにより、第４レンズ群３４０を光軸方向に移動させる。

図８（ｂ）は、撮像装置７００の概略構成を示すブロック図である。第１レンズ群３ａ０、第２レンズ群３２０、第３レンズ群３３０、第４レンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０が、レンズ鏡筒７４０内部の光軸上の所定位置に配置される。第１レンズ群３ａ０〜第４レンズ群３４０と光量調節ユニット３５０とを通過した光は、撮像素子７１０に結像する。撮像素子７１０は、光学像を電気信号に変換して出力し、その出力は、カメラ処理回路７５０へ送られる。

カメラ処理回路７５０は、撮像素子７１０からの出力信号に対して増幅やガンマ補正等を施す。カメラ処理回路７５０は、ＡＥゲート７５５を介してＣＰＵ７９０に接続されると共に、ＡＦゲート７６０とＡＦ信号処理回路７６５とを介してＣＰＵ７９０に接続されている。カメラ処理回路７５０において所定の処理が施された映像信号は、ＡＥゲート７５５と、ＡＦゲート７６０及びＡＦ信号処理回路７６５を通じてＣＰＵ７９０へ送られる。なお、ＡＦ信号処理回路７６５は、映像信号の高周波成分を抽出して、オートフォーカス（ＡＦ）のための評価値信号を生成し、生成した評価値をＣＰＵ７９０へ供給する。

ＣＰＵ７９０は、撮像装置７００の全体的な動作を制御する制御回路であり、取得した映像信号から、露出決定やピント合わせのための制御信号を生成する。ＣＰＵ７９０は、決定した露出と適切なフォーカス状態が得られるように、振動型駆動装置６２０，６４０及びメータ６３０の駆動を制御することによって、第２レンズ群３２０、第４レンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０の光軸方向位置を調整する。ＣＰＵ７９０による制御下において、振動型駆動装置６２０は第２レンズ群３２０を光軸方向に移動させ、振動型駆動装置６４０は第４レンズ群３４０を光軸方向に移動させ、光量調節ユニット３５０はメータ６３０により駆動制御される。

振動型駆動装置６２０により駆動される第２レンズ群３２０の光軸方向位置は第１リニアエンコーダ７７０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型駆動装置６２０の駆動にフィードバックされる。同様に、振動型駆動装置６４０により駆動される第４レンズ群３４０の光軸方向位置は第２リニアエンコーダ７７５により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型駆動装置６４０の駆動にフィードバックされる。光量調節ユニット３５０の光軸方向位置は、絞りエンコーダ７８０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０へ通知されることで、メータ６３０の駆動にフィードバックされる。

１ 振動波モータ
２ 振動子
３ 弾性体
４ 電気−機械エネルギー変換素子（圧電素子）
６ 保持部材
７ 加圧部材（引張ばね）
８ 接触体（摩擦部材）
１３ 案内部材

Claims (16)

1. 電気−機械エネルギー変換素子と、前記電気−機械エネルギー変換素子が固定された弾性体と、を有する振動子と、
   前記振動子を保持する保持部材と、
   前記振動子と接触し、前記振動子に対して相対移動する接触体と、
   前記接触体を案内する案内部材と、
   前記振動子と前記接触体とが接触するように、前記保持部材と前記案内部材とを加圧する加圧部材と、を備え、
   前記接触体は、前記案内部材により、前記接触体が前記振動子に対して相対移動する相対移動方向に案内され、
   前記保持部材は、前記案内部材の、前記相対移動方向への移動を規制しつつ、前記案内部材の、前記加圧部材が前記保持部材と前記案内部材とを加圧する加圧方向への移動を許容するように、前記案内部材と係合する、ことを特徴とする振動波モータ。
2. 前記弾性体は、前記電気−機械エネルギー変換素子が固定された本体部と、前記本体部の、前記相対移動方向における複数の位置からそれぞれ延出する複数の延出部と、を有し、
   前記保持部材は、前記相対移動方向における複数の位置からそれぞれ突出する複数の突出部を有し、
   前記複数の突出部は、前記本体部に接すると共に、前記複数の延出部にそれぞれ接する、ことを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記本体部は、矩形状であり、
   前記複数の延出部は、前記本体部の前記相対移動方向における位置並びに前記相対移動方向及び前記加圧方向に直交する方向における位置がそれぞれ異なる複数の位置からそれぞれ延出し、
   前記複数の突出部は、前記複数の延出部にそれぞれ接すると共に、前記本体部を遊嵌して保持する、ことを特徴とする請求項２に記載の振動波モータ。
4. 前記加圧部材は、前記相対移動方向、又は、前記相対移動方向及び前記加圧方向に直交する方向から見たときに、前記案内部材と前記保持部材との間に設けられている、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波モータ。
5. 前記保持部材は、前記案内部材と係合する第１の係合部を有し、
   前記案内部材は、前記第１の係合部と係合する第２の係合部を有し、
   前記相対移動方向から見たときに、前記第２の係合部及び前記加圧部材が、前記振動子と重なるように設けられ、且つ、
   前記相対移動方向及び前記加圧方向に直交する方向から見たときに、前記第２の係合部及び前記加圧部材が、前記振動子と重ならないように設けられている、ことを特徴とする請求項４に記載の振動波モータ。
6. 前記保持部材は、前記案内部材と係合する第１の係合部を有し、
   前記案内部材は、前記第１の係合部と係合する第２の係合部を有し、
   前記相対移動方向から見たときに、前記第２の係合部及び前記加圧部材が、前記振動子と重ならないように設けられ、且つ、
   前記相対移動方向及び前記加圧方向に直交する方向から見たときに、前記加圧部材が、前記振動子と重なるように設けられている、ことを特徴とする請求項４に記載の振動波モータ。
7. 前記保持部材は、前記案内部材の、前記相対移動方向及び前記加圧方向に直交する方向への移動を規制するように係合する、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波モータ。
8. 前記電気−機械エネルギー変換素子に対する駆動電圧の印加により、互いに位相が異なる複数の定在波を発生させ、前記複数の定在波の合成によって、前記弾性体に楕円運動を発生させ、前記楕円運動によって、前記振動子と接触する接触体を、前記振動子に対して相対移動させる、ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
9. 前記保持部材は、前記互いに位相が異なる複数の定在波に共通する節に重なる位置で、前記振動子を保持する、ことを特徴とする請求項８に記載の振動波モータ。
10. 前記保持部材と前記振動子との間の静止摩擦力の最大値が、前記振動子から発生する推力よりも、大きいことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動波モータ。
11. 前記案内部材は、前記軌道部と前記第２の係合部とを有する第１の案内部と、前記接触体が固定された第２の案内部と、前記第１の案内部と前記第２の案内部との間に設けられた、前記軌道部により誘導されるボールと、を有する、ことと特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動波モータ。
12. 前記第１の案内部には、前記加圧方向に貫通する第１の貫通穴が形成され、
    前記第２の案内部は、前記第１の貫通穴を貫通する貫通部を有し、
    前記第１の貫通穴は、前記貫通部が、前記相対移動方向に移動可能に形成されている、ことを特徴とする請求項１１に記載の振動波モータ。
13. 前記第１の案内部には、前記相対移動方向に貫通する第２の貫通穴が形成され、
    前記第２の貫通穴は、前記接触体及び第２の案内部が、前記相対移動方向に移動可能に形成されている、ことを特徴とする請求項１１に記載の振動波モータ。
14. レンズと、
    請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動波モータと、を備え、
    前記振動波モータにより前記レンズが駆動される、ことを特徴とする光学機器。
15. 撮像素子と、
    請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動波モータと、を備え、
    前記振動波モータにより前記撮像素子が駆動される、ことを特徴とする光学機器。
16. 部材と、
    請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動波モータと、を備え、
    前記振動波モータにより前記部材が駆動される、ことを特徴とする電子機器。

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