JPH0947044A - 振動波駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電振動子が固定部材に強固に固定されてい
ると、圧電振動子と接触部材との加圧接触状態を常時維
持できない。 【解決手段】 圧電振動子１と、この圧電振動子の駆動
面に接触する接触部材４と、圧電振動子を支持する支持
手段６と、圧電振動子を接触部材に対して加圧接触させ
る加圧手段３とを有してなる振動波駆動装置において、
支持手段に、駆動方向への圧電振動子の移動を規制する
とともに加圧手段による加圧方向への圧電振動子の移動
案内を行う案内手段６ａ，６ｂを設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子を振動
させて、圧電振動子の駆動面に接触する接触部材を駆動
する振動波駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電振動子に縦振動定在波および屈伸振
動定在波を同時に励起すると、これら定在波の合成によ
り圧電振動子の表面（駆動面）の点が楕円運動する。こ
のため、圧電振動子の駆動面に部材（接触部材）を加圧
接触させることにより、接触部材を上記駆動面に平行な
駆動方向に移動させたり、接触部材に対して圧電振動子
を移動させたりすることができる。このような原理によ
り作動する振動波駆動装置（一般に超音波モータ等と称
される装置）は、例えば、特開昭６３−２９４２７０号
公報や特開平６−２６１５６８号公報において提案され
ている。

【０００３】ところで、これら公報提案の振動波駆動装
置では、圧電振動子は、その振動節部において台等の固
定部材に強固に固定されている。また、例えば、特開昭
５３−５３２９３号公報に提案されているように、圧電
振動子の固定部材に対する固定は、接着剤が用いられる
ことが多い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電振
動子および固定部材の接触部材に対する加圧方向への移
動が規制されているような場合において、圧電振動子が
固定部材に強固に固定されていると、接触部材における
圧電振動子の駆動面との接触面の面精度のばらつきによ
り、圧電振動子と接触部材との加圧接触状態を常時維持
できないという問題がある。

【０００５】また、圧電振動子の駆動面における振動腹
部に相当する位置に駆動子を取り付けて、この駆動子を
介して圧電振動子の駆動面の楕円運動を効率良く接触部
材に伝達できるようにする場合があるが、この場合に
は、駆動子の高さ方向寸法のばらつきにより同様の問題
が生ずる。

【０００６】さらに、圧電振動子が接着剤により固定部
材に固定されていると、装置の使用環境によっては、接
着剤が軟化したり硬化したりして圧電振動子の固有振動
数を変化させてしまい、装置の駆動性能に悪影響を与え
るおそれがある。しかも、駆動装置が受けた衝撃等によ
って接着が外れるおそれもある。

【０００７】そこで、本発明の第１の目的は、接触部材
の面精度や駆動子の高さ方向寸法のばらつきがあって
も、圧電振動子と接触部材との接触状態を維持できるよ
うにした振動波駆動装置を提供することにある。

【０００８】また、本発明の第２の目的は、接着剤を用
いることなく、圧電振動子を支持するようにした振動波
駆動装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本願第１の発明では、圧電振動子と、この圧電振動
子の駆動面に接触する接触部材と、圧電振動子を支持す
る支持手段と、圧電振動子を接触部材に対して加圧接触
させる加圧手段とを有してなる振動波駆動装置におい
て、支持手段に、駆動方向への圧電振動子の移動を規制
するとともに、加圧手段による加圧方向への圧電振動子
の移動案内を行う案内手段を設けている。すなわち、駆
動方向への圧電振動子の移動を規制して圧電振動子が接
触部材と一緒に動かないようにする一方、加圧方向への
圧電振動子の移動案内を行って、接触部材の面精度や圧
電振動子の駆動面に取り付けられた駆動子の高さ方向寸
法のばらつきの有無にかかわらず、圧電振動子と接触部
材との加圧接触状態を維持する。

【００１０】さらに、支持手段は、上記駆動面に平行な
軸回りでの圧電振動子の揺動を許容する揺動許容手段を
備えてもよい。すなわち、圧電振動子の駆動面に平行な
軸（例えば、直交２軸）回りでの揺動を許容して駆動面
を傾動自在とし、より確実に圧電振動子と接触部材との
加圧接触状態を維持するのが望ましい。

【００１１】また、本願第２の発明では、導電板に圧電
素子を接合してなる圧電振動子の導電板に、駆動面と平
行な方向に張り出す張出し部を形成し、この張出し部を
介して圧電振動子が案内手段により案内されるようにし
ている。すなわち、例えば、張出し部に穴を形成し、こ
の穴に案内軸（案内手段）を通すことにより、簡単な構
成で圧電振動子の加圧方向への移動案内を行う。

【００１２】なお、張出し部にリブを設けたり、張出し
部に圧電素子の一部を重ね合わせたりして張出し部の剛
性を高めるのが望ましい。すなわち、張出し部の剛性を
高めて張出し部の変形を防止し、張出し部の案内手段に
対するスムーズな移動を確保するのが望ましい。

【００１３】さらに、張出し部の根元部分をこの根元部
分より先端側の部分よりも細くするのが望ましい。すな
わち、張出し部が導電板における圧電振動子の振動節部
に相当する位置に設けられた場合に、張出し部の根元部
分をできるだけ幅狭に形成することにより、振動節部か
ら大きく外れた位置まで張出し部の根元部分が存在して
いる場合に比べて、この張出し部の存在による圧電振動
子の振動の乱れを少なくするのが望ましい。

【００１４】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）図１には、本発明の第１実施形態であ
る振動装置を示している。この図において、１は圧電振
動子であり、この圧電振動子１は、りん青銅，黄銅等で
作られた金属薄板１ｃと、この金属薄板１ｃの上下面に
圧接された圧電板１ａ，１ｂとから構成されている。金
属薄板１ｃにおける長手方向中央（すなわち、圧電振動
子１の振動の節部近傍）には、幅方向外方に張り出す張
出し部１ｃ−１，１ｃ−２が形成されており、各張出し
部１ｃ−１，１ｃ−２には、ここを貫通する係合穴１ｃ
−３，１ｃ−４が形成されている。また、圧電板１ａ，
１ｂの長手方向中央には、端子部１ｄが設けられてお
り、これら端子部１ｄには、図示しないリード線が半田
付けされる。

【００１５】２ａ，２ｂはフェノール樹脂，エポキシ樹
脂等によって作られた駆動子であり、これら駆動子２
ａ，２ｂは、圧電板１ａの駆動面（上面）における圧電
振動子１の振動腹部に相当する位置に接着等されてい
る。

【００１６】３はりん青銅等により長手方向に円弧状に
延びるよう形成された加圧ばねである。この加圧ばね３
の長手方向中央近傍には、幅方向外方に張り出す張出し
部３ａ，３ｂが設けられており、各張出し部３ａ，３ｂ
には、ここを貫通する係合穴３ａ−１，３ｂ−１が形成
されている。また、加圧ばね３の長手方向両端部には、
水平方向に延びるよう折り曲げられた折曲げ部３ｃ−
１，３ｃ−２が形成されている。さらに、加圧ばね３の
長手方向中央部には、上側に凸となって幅方向に延びる
凸部３ｄが形成されている。

【００１７】４はステンレス鋼等によってレール状に作
られたスライダである。

【００１８】５はローラであり、このローラ５には、圧
入等、公知の方法により支持棒５ａが取り付けられてい
る。

【００１９】６はプラスチックモールド成形されたケー
スであり、このケース６の内側における幅方向両側に
は、平面視Ｕ字形状でケース６の底面より一段高くなっ
たストッパ６ｃ，６ｄが形成されるとともに、これらス
トッパ６ｃ，６ｄの上面から上方に延びるガイド軸部６
ａ，６ｂが形成されている。ケース６の長手方向両端の
壁部上側には、スライダ４の幅よりも若干大きな幅を有
する案内溝６ｇ，６ｈが形成されており、また、ケース
６の幅方向両側の壁部外面には、上下方向に延びる係合
溝６ｅ，６ｆが形成されている。さらに、ケース６の幅
方向一方の壁部上側には、上述のリード線をケース６の
外部に出すための通し溝６ｉが形成されている。

【００２０】７はプラスチックモールド成形されたキャ
ップであり、このキャップ７の下面には、図示はしない
が、支持棒５ａおよびローラ５を受容保持するための受
容溝と、ケース６のガイド軸部６ａ，６ｂを係合させる
ための係合穴とが形成されている。また、キャップ７の
幅方向両端には、下方に延びて下端部に爪を有する挟持
片７ａ，７ｂ（７ｂは７ａの対向部に設けられている）
が形成されている。

【００２１】これらの部品を組み立てるときは、まず、
ケース６のガイド軸部６ａ，６ｂを加圧ばね３の係合穴
３ａ−１，３ｂ−１に挿入係合させる。ここで、係合穴
３ａ−１，３ｂ−１が形成されている張出し部３ａ，３
ｂは上方または下方に若干折り曲げられており、これに
よりガイド軸部６ａ，６ｂと係合穴３ａ−１，３ｂ−１
とのガタつきが防止されている。こうして、ガイド軸部
６ａ，６ｂを係合穴３ａ−１，３ｂ−１に係合させた状
態で、加圧ばね３は、折曲げ部３ｃ−１，３ｃ−２の下
面がケース６の底面に当接するまで下方に押し込まれ
る。完全に押し込まれた加圧ばね３は、張出し部３ａ，
３ｂの下面がケース６のストッパ６ｃ，６ｄの上面に対
して所定の隙間を形成する位置と両者が当接する位置と
の間で上下方向に弾性変形することができる。

【００２２】次に、圧電振動子１の係合穴１ｃ−３，１
ｃ−４にケース６のガイド軸部６ａ，６ｂを挿入係合さ
せる。ここで、係合穴１ｃ−３，１ｃ−４が形成されて
いる張出し部１ｃ−１，１ｃ−２も、加圧ばね３の張出
し部３ａ，３ｂと同様に、上方または下方に若干折り曲
げられており、これによりガイド軸部６ａ，６ｂと係合
穴１ｃ−３，１ｃ−４とのガタつきが防止されている。
こうして、ガイド軸部６ａ，６ｂを係合穴１ｃ−３，１
ｃ−４に係合させた状態で、圧電振動子１は圧電板１ｂ
の下面が加圧ばね３の凸部３ｄに当接するまで下方に押
し込まれる。そして、圧電振動子１は、加圧ばね３の弾
性変形とともにガイド軸部６ａ，６ｂに沿って上下方向
（加圧方向）に移動することができる一方、係合穴１ｃ
−３，１ｃ−４とガイド軸部６ａ，６ｂとの係合によ
り、長手方向（駆動方向）および幅方向への移動が規制
される。

【００２３】一方、キャップ７の受容溝内には、支持棒
５ａおよびローラ５が回転自在に受容保持される。

【００２４】次に、上記のようにケース６側に組み付け
られた圧電振動子１上の駆動子２ａ，２ｂと、キャップ
７に保持されたローラ５との間にスライダ４を挟んだ状
態で、キャップ７の挟持片７ａ，７ｂをケース６の係合
溝６ｅ，６ｆに受容させるとともに、挟持片７ａ，７ｂ
の爪をケース６の下面に係合させる。この際、ケース６
のガイド軸部６ａ，６ｂの上端がキャップ７の下面の係
合穴に嵌合し、ケース６に対するキャップ７の水平方向
の位置決めがなされる。こうして、ケース６とキャップ
７とが一体に結合され、振動波駆動装置が完成する。な
お、スライダ４は、振動波駆動装置の長手方向には自由
に移動することができるが、幅方向および上下方向に
は、案内溝６ｇ，６ｈとキャップ７の下面とによって囲
まれた範囲外への移動が規制される。

【００２５】以上のように組み立てられた振動波駆動装
置では、上記リード線を図示しない交流駆動回路に接続
して圧電振動子１に交流電気信号を入力すると、圧電振
動子１には、等しい周波数で縦振動と屈曲振動とが同時
に励起され、これら２つの振動の合成により圧電振動子
１の駆動面上の点は楕円運動する。そして、この楕円運
動が振動腹部に配設された駆動子２を介して、これに接
触するスライダ４に伝達され、これを長手方向に駆動す
る。

【００２６】ここで、本実施形態の振動波駆動装置で
は、圧電振動子１がガイド軸部６ａ，６ｂに沿って上下
方向（加圧方向）に移動自在である。このため、駆動子
２の高さ方向寸法やスライダ４の面精度のバラつき等が
あっても、加圧ばね３の付勢力により駆動子２をスライ
ダ４に加圧接触させておくことができる。したがって、
圧電振動子１の楕円運動を効率良くスライダ４に伝達す
ることができ、安定した駆動特性を確保することができ
る。

【００２７】また、本実施形態の振動波駆動装置では、
圧電振動子１とケース６とを、係合穴１ｃ−３，１ｃ−
４とガイド軸部６ａ，６ｂとの係合により固定している
ため、これらの固定を接着剤を用いて行った場合のよう
に、接着剤の硬化又は軟化により駆動特性が変化した
り、固定が外れたりすることがない。

【００２８】なお、本実施形態では、ガイド軸部６ａ，
６ｂを、張出し部１ｃ−１，１ｃ−２および張出し部３
ａ，３ｂにそれぞれ形成した係合穴に係合させて、圧電
振動子１および加圧ばね３を上下方向に移動可能で、か
つ長手方向および幅方向に移動できないようにケース６
に組み付けたが、図２に示すように、ケース１６におけ
るストッパ１６ｃ，１６ｄの上面に、平面視Ｖ字形状で
上下方向に延びるガイド突起１６ａ，１６ｂを設けると
ともに、張出し部１ｃ−１，１ｃ−２および張出し部３
ａ，３ｂに、それぞれ平面視Ｖ字形状の溝１１ａ−１，
１１ｂ−１，１３ａ−１，１３ｂ−１を設け、これら溝
とガイド突起１６ａ，１６ｂとを係合させることによ
り、圧電振動子１および加圧ばね３を上下方向に移動が
可能で、かつ長手方向および幅方向に移動できないよう
にケース１６に組み付けてもよい。また、上記のような
突起を張出し部１ｃ−１，１ｃ−２に設け、溝をケース
１６に設けるようにしてもよい。

【００２９】また、上記実施形態では、固定された圧電
振動子１に対してスライダ４を移動させる場合について
説明したが、固定されたスライダ（レール）４に対して
圧電振動子１を移動させる場合には、圧電振動子１およ
び加圧ばね３が取り付けられる移動部材（図示せず）に
ケース６，１６と同様の構造を一体に形成して、ケース
６，１６を省略してもよい。

【００３０】（第２実施形態）図３は、本発明の第２実
施形態である振動装置を示している。この図において、
図１に示した部品と同じものは図１と同符号を付して説
明に代える。

【００３１】２５はプラスチックモールド成形された連
結部材であり、圧電振動子１の幅方向に長く延びるよう
配設される。この連結部材２５の上面２５ｃは、長手方
向に延びる山形に形成されている。この山形上面２５ｃ
の長手方向２箇所には、上方に延びる係合突起２５ｂ−
１，２５ｂ−２が形成されている。また、連結部材２５
の長手方向両端面２５ｅ−１，２５ｅ−２は、長手方向
外方に向かって凸となる曲面状に形成されており、これ
ら両端面２５ｅ−１，２５ｅ−２には、長手方向外方に
向かって延びる係合軸部２５ａ−１，２５ａ−２が形成
されている。さらに、連結部材２５の下面における長手
方向中央近傍の２箇所には、係合突起２５ｄ−１，２５
ｄ−２が形成されている。

【００３２】２３はりん青銅等により長手方向（連結部
材２５の長手方向と直交する方向）に円弧状に延びるよ
う形成された加圧ばねである。この加圧バネ２３の長手
方向中央近傍には、下方に凹で幅方向に延びる凹部２３
ａが形成されており、この凹部２３ａの幅方向２箇所に
は、係合穴２３ｂ−１，２３ｂ−２が形成されている。
また、加圧ばね２３の長手方向両端部には、水平方向に
延びるよう折り曲げられた折曲げ部２３ｃ−１，２３ｃ
−２が形成されている。

【００３３】２６はプラスチックモールド成形されたケ
ースであり、このケース２６の底面２６ｃは、上方に向
かって凸となり長手方向に延びる曲面状に形成されてい
る。また、ケース２６の幅方向両側の壁部には、上下方
向に延びて上端が開口するガイド溝２６ａ，２６ｂが形
成されており、長手方向両端の壁部上側には、スライダ
４の幅よりも若干大きな幅を有する案内溝２６ｈ，２６
ｉが形成されている。また、長手方向両端の壁部外面に
は、上下方向に延びる係合溝２６ｄ，２６ｅ，２６ｆ，
２６ｇが、片側２本ずつ形成されている。さらに、ケー
ス２６の幅方向一方の壁部上側には、圧電振動子１の端
子部１ｄに半田付けされたリード線（図示せず）をケー
ス２６の外部に通すための通し溝２６ｌが形成されてい
る。また、ケース２６の壁部上面における対角関係にあ
る一対の角部には、上方に延びる位置決め突起２６ｊ，
２６ｋが形成されている。

【００３４】２７はプラスチックモールド成形されたキ
ャップであり、このキャップ２７の下面には、図示はし
ないが、支持棒５ａおよびローラ５を受容保持するため
の受容溝と、位置決め突起２６ｊ，２６ｋを係合させる
ための係合穴とが形成されている。また、キャップ２７
の幅方向両端には、下方に延びて下端部に爪を有する挟
持片２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ（２７ｃは２７ａ
の対向部に設けられている）が、片側２本ずつ形成され
ている。

【００３５】これらの部品を組み立てるときは、まず、
連結部材２５の山形上面２５ｃの上に圧電振動子１を載
せる。この際、連結部材２５の係合突起２５ｂ−１，２
５ｂ−２を圧電振動子１の係合穴１ｃ−１，１ｃ−２に
挿入係合させる。

【００３６】次に、連結部材２５の下部を、加圧ばね２
３の凹部２３ａ内に受容させる。この際、連結部材２５
の係合突起２５ｄ−１，２５ｄ−２を加圧ばね２３の係
合穴２３ｂ−１，２３ｂ−２に挿入係合させる。こうし
て圧電振動子１と連結部材２５とが取り付けられた加圧
ばね２３を、折曲げ部２３ｃ−１，２３ｃ−２をケース
２６の底面２６ｃに当接させることにより、底面２６ｃ
上に載置する。この際、連結部材２５の係合軸部２５ａ
−１，２５ａ−２をケース２６のガイド溝２６ａ，２６
ｂ内に受容係合させる。

【００３７】係合軸部２５ａ−１，２５ａ−２はガイド
溝２６ａ，２６ｂ内で上下方向に移動可能であるため、
圧電振動子１は、加圧ばね２３の弾性変形に伴って上下
方向に移動することができるとともに、加圧ばね２３の
折曲げ部２３ｃ−１，２３ｃ−２が平面状に形成されて
いるのに対してケース２６の底面２６ｃが曲面状に形成
されているため、圧電振動子１は、駆動面に平行な長手
方向軸回りで加圧ばね２３とともに幅方向（左右方向）
に揺動することができる。なお、圧電振動子１とともに
連結部材２５も揺動することになるが、連結部材２５の
両端面２５ｅ−１，２５ｅ−２が曲面状に形成されてい
るため、これら両端面２５ｅ−１，２５ｅ−２がケース
２６の壁部内面に干渉して、この揺動を妨げることはな
い。

【００３８】さらに、係合軸部２５ａ−１，２５ａ−２
はガイド溝２６ａ，２６ｂ内で回転が許容されているた
め、圧電振動子１は、係合軸部２５ａ−１，２５ａ−２
を中心として（駆動面に平行な幅方向軸回りで）加圧ば
ね２３の弾性変形に伴って長手方向（前後方向）に揺動
することができる。

【００３９】すなわち、圧電振動子１は、上下（加圧方
向）に移動自在であるとともに、前後左右に揺動自在に
支持されることになる。但し、係合軸部２５ａ−１，２
５ａ−２とガイド溝２６ａ，２６ｂとの係合により、圧
電振動子１の長手方向（駆動方向）への水平移動は規制
される。また、連結部材２５の両端面２５ｅ−１，２５
ｅ−２とケース２６の壁部内面との当接により、圧電振
動子１の幅方向への水平移動は規制される。

【００４０】一方、キャップ２７の受容溝内には、支持
棒５ａおよびローラ５が回転自在に受容保持される。

【００４１】次に、上記のようにケース２６側に組み付
けられた圧電振動子１上の駆動子２ａ，２ｂと、キャッ
プ２７に保持されたローラ５との間にスライダ４を挟ん
だ状態で、キャップ２７の挟持片２７ａ，２７ｂ，２７
ｃ，２７ｄをケース２６の係合溝２６ｄ，２６ｅ，２６
ｆ，２６ｇに受容させるとともに、挟持片２７ａ，２７
ｂ，２７ｃ，２７ｄの爪をケース２６の下面に係合させ
る。この際、ケース２６の位置決め突起２１ｊ，２６ｋ
がキャップ２７の下面の係合穴に嵌合し、ケース２６に
対するキャップ２７の水平方向の位置決めがなされる。
こうして、ケース２６とキャップ２７とが一体に結合さ
れ、振動波駆動装置が完成する。

【００４２】なお、スライダ４は、振動波駆動装置の長
手方向には自由に移動することができるが、幅方向およ
び上下方向には、案内溝２６ｈ，２６ｉとキャップ２７
の下面とによって囲まれた範囲外への移動が規制され
る。

【００４３】以上のように組み立てられた振動波駆動装
置では、第１実施形態にて説明したのと同様の原理でス
ライダ４が長手方向に駆動される。

【００４４】ここで、本実施形態の振動波駆動装置で
は、前述のように上下に移動自在であるとともに、前後
左右に揺動自在である。このため、駆動子２の高さ方向
寸法やスライダ４の面精度のバラつき等によりスライダ
４の接触面が前後左右に傾斜しても、駆動子２の上面全
体をスライダ４の下面に接触させることができ、さらに
加圧ばね３の付勢力により駆動子２をスライダ４に加圧
することができる。したがって、圧電振動子１の楕円運
動を効率良くスライダ４に伝達することができ、安定し
た駆動特性を確保することができる。

【００４５】また、圧電振動子１とケース２６とを接着
剤を用いて接合していないため、接着剤の硬化又は軟化
により駆動特性が変化したり、固定が外れたりすること
がない点は、第１実施形態と同様である。

【００４６】なお、本実施形態では、係合軸部２５ａ−
１，２５ａ−２を、ガイド溝２６ａ，２６ｂ内に受容さ
せて、連結部材２５および圧電振動子１を、上下方向に
移動可能でかつ長手方向および幅方向に水平移動できな
いようにケース２６に組み付けたが、図４に示すよう
に、ケース３６の幅方向両側の壁部内面に上下方向に延
びるガイド突起３６ａ，３６ｂを設ける一方、連結部材
２５の両端に溝３５ａ−１，３５ａ−２を設け、これら
ガイド突起３６ａ，３６ｂと溝３５ａ−１，３５ａ−２
とを係合させることにより、圧電振動子１および加圧ば
ね３を上下方向に移動が可能で、かつ長手方向および幅
方向に水平移動できないようにケース１６に組み付けて
もよい。但し、この場合、溝３５ａ−１，３５ａ−２の
前後内面を、溝の内方に向かって凸となる山形形状と
し、この山形面の頂部をガイド突起３６ａ，３６ｂの前
後面に線接触させて、圧電振動子１を前後の揺動自在と
する必要がある。

【００４７】なお、上記実施形態では、ケース２６の底
面２６ｃを曲面とし、加圧ばね２３の折曲げ部２３ｃ−
１，２３ｃ−２を平面とすることによって、加圧ばね２
３および圧電振動子１の幅方向への揺動を可能とした
が、図５に示すように、ケース４６の底面４６ａを平面
とし、加圧ばね４３の折曲げ部４３ａ−１，４３ａ−２
を下方に向かって凸となる曲面状に形成しても、加圧ば
ね２３および圧電振動子１の幅方向への揺動を可能とす
ることができる。

【００４８】また、上記実施形態では、固定された圧電
振動子１に対してスライダ４を移動させる場合について
説明したが、固定されたスライダ（レール）４に対して
圧電振動子１を移動させる場合には、圧電振動子１およ
び加圧ばね２３が取り付けられる移動部材（図示せず）
にケース２６，３６，４６と同様の構造を一体に形成し
て、ケース２６，３６，４６を省略してもよい。

【００４９】（第３実施形態）上述した第１実施形態で
は、圧電振動子１の金属薄板１ｃに張出し部１ｃ−１，
１ｃ−２を設け、この張出し部１ｃ−１，１ｃ−２に形
成された係合穴１ｃ−３，１ｃ−４にケース６のガイド
軸部６ａ，６ｂに係合させて圧電振動子１を支持するよ
うに構成したが、金属薄板１ｃは、実際には、１ｍｍ以
下の非常に薄い厚さを有するに過ぎないため、剛性が不
十分となる場合がある。この場合、振動波駆動装置の駆
動時の負荷によって張出し部１ｃ−１，１ｃ−２が折れ
曲がり、圧電振動子１のガイド軸部６ａ，６ｂに沿った
上下動がスムーズに行えなくなるおそれがある。

【００５０】そこで、図６に示すように、金属薄板５１
ｃの張出し部５１ｃ−１における係合穴５１ｃ−３の周
囲に、プレス加工等によってリブ５１ｃ−２を形成する
のが望ましい。さらには、圧電板５１ａにおける張出し
部５１ｃ−１の根元近傍部分を切り欠いて、リブ５１ｃ
−２を張出し部５１ｃ−１から金属薄板５１ｃの本体部
分の内側まで延ばすようにするのが望ましい。

【００５１】このようにリブ５１ｃ−２を設けることに
より、張出し部５１ｃ−１の剛性が高くなるため、駆動
時の負荷によって張出し部５１ｃ−１が折れ曲がること
がなくなり、圧電振動子１のスムーズな上下動、ひいて
は振動波駆動装置の安定した駆動性能を得ることができ
る。

【００５２】（第４実施形態）第３実施形態では、金属
薄板１ｃの張出し部にリブを設けて剛性を高くしたが、
図７に示すように、圧電板６１ａ，６１ｂにおける振動
節部近傍に、金属薄板１ｃの張出し部１ｃ−１とほぼ同
形状の張出し部６１ａ−１，６１ｂ−１を設け、これら
張出し部１ｃ−１，６１ａ−１，６１ｂ−１を厚さ方向
に重ねて接合するようにして張出し部１ｃ−１の剛性を
高めてもよい。

【００５３】この場合、圧電板６１ａ，６１ｂの張出し
部６１ａ−１，６１ｂ−１には、金属薄板１ｃの張出し
部１ｃ−１の係合穴１ｃ−２に重なる穴６１ａ−２，６
１ｂ−２を形成する必要があるが、ガイド軸部６ａに対
するスムーズな上下動を確保するため、図８に示すよう
に、穴６１ａ−２，６１ｂ−２の径を係合穴１ｃ−２の
径よりも大きくしておくのが望ましい。

【００５４】（第５実施形態）また、第１〜第４実施形
態においては、金属薄板１ｃの張出し部１ｃ−１にある
程度の幅（圧電振動子１の長手方向における幅）を設け
たが、本来圧電振動子１の振動節部は、圧電振動子１の
長手方向の一点に過ぎないので、張出し部１ｃ−１の上
記幅が大きいと、圧電振動子１の振動を乱すおそれがで
てくる。

【００５５】そこで、図９に示すように、金属薄板７１
ｃの張出し部７１ｃ−１の根元部分７１ｃ−４の幅を小
さくするのがよい。なお、幅を小さくした根元部分７１
ｃ−４の剛性を確保するため、この部分にリブ７１ｃ−
２を設け、さらに、圧電素子７１ａにおける張出し部７
１ｃ−１の根元部分近傍を切り欠いて、リブ７１ｃ−２
を金属薄板７１ｃの本体部分の内方まで延ばすのが望ま
しい。

【００５６】このように張出し部７１ｃ−１の根元部分
７１ｃ−４の幅を小さくすることにより、張出し部７１
ｃ−１の存在による圧電振動子１の振動の乱れを少なく
することができ、ひいては振動波駆動装置の本来の駆動
性能を得ることができる。

【００５７】なお、本発明は、以上の実施形態および変
形例、またはそれら技術要素を必要に応じて組み合わせ
て用いてもよい。

【００５８】（実施形態と請求の範囲との関係）上記実
施形態におけるケース６，１６，２６，３６，４６およ
び連結部材２５，３５は、請求の範囲にいう支持手段を
構成し、上記実施形態における加圧ばね３，１３，２
３，４３は、請求の範囲にいう加圧手段に相当する。ま
た、上記実施形態におけるガイド軸部６ａ，６ｂ、ガイ
ド突起１６ａ，１６ｂ、ガイド溝２６ａ，２６ｂおよび
ガイド突起３６ａ，３６ｂは、請求の範囲にいう案内手
段に相当する。さらに、上記実施形態におけるスライダ
４は、請求の範囲にいう接触部材に相当する。また、上
記実施形態における金属薄板１ｃ，５１ｃ，７１ｃは、
請求の範囲にいう導電板に相当する。

【００５９】なお、以上が本発明の各構成と実施形態の
各構成の対応関係であるが、本発明はこれら実施形態の
構成に限られるものではなく、請求項に示した機構また
は実施形態の構成が持つ機能が達成できる構成であれば
どのようなものであってもよい。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように、本願第１の発明で
は、駆動方向への圧電振動子の移動を規制するととも
に、加圧方向への圧電振動子の移動を許容（案内）し、
圧電振動子に加圧力を付与するように支持手段を構成し
ている。このため、接触部材における圧電振動子との接
触面の面精度や圧電振動子の振動腹部に取り付けられた
駆動子の高さ方向寸法にばらつきがあっても、圧電振動
子が加圧方向に適宜移動して圧電振動子と接触部材との
加圧接触状態を維持することができる。したがって、圧
電振動子の楕円運動を効率良く接触部材に伝達すること
ができ、安定した駆動性能を確保することができる。ま
た、このような支持手段を用いれば、圧電振動子を固定
するための接着剤を使う余地がなくなり、接着剤の軟化
・硬化若しくははがれによる駆動性能の悪化を確実に防
止することができる。

【００６１】さらに、本発明において、圧電振動子を駆
動面に平行な軸回りで揺動可能とすれば、接触部材の接
触面の傾斜等にも対応して圧電振動子が揺動することが
でき、圧電振動子と接触部材との加圧接触状態をより確
実に維持することができる。また、本願第２の発明で
は、導電板に駆動面と平行な方向に張り出す張出し部を
形成し、この張出し部を介して圧電振動子が案内手段に
より案内されるようにしている。これによれば、簡単な
構成で圧電振動子を加圧方向に移動可能に支持すること
ができる。

【００６２】なお、本発明において、張出し部の剛性を
高めるために、張出し部にリブを設けたり、圧電素子の
一部を張出し部に重ね合わせたりすれば、張出し部が変
形等して圧電振動子の移動が妨げられることを防止でき
る。

【００６３】さらに、本発明において、張出し部の根元
部分をこの根元部分より先端側の部分よりも細くすれ
ば、例えば、張出し部が圧電振動子の振動節部に設けら
れている場合において、振動節部から大きく外れた位置
にまで張出し部の根元部分が存在している場合に比べ
て、この張出し部の存在が圧電振動子の振動を乱すおそ
れを少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態である振動波駆動装置の
分解斜視図である。

【図２】上記第１実施形態の細部の変形例を示す分解斜
視図である。

【図３】本発明の第２実施形態である振動波駆動装置の
分解斜視図である。

【図４】上記第２実施形態の細部の変形例を示す分解斜
視図である。

【図５】上記第２実施形態の細部の変形例を示す分解斜
視図である。

【図６】本発明の第３実施形態である振動波駆動装置の
部分斜視図である。

【図７】本発明の第４実施形態である振動波駆動装置の
部分斜視図である。

【図８】上記第４実施形態の部分断面図である。

【図９】本発明の第５実施形態である振動波駆動装置の
部分斜視図である。

【符号の説明】

１，１１ 圧電振動子 １ａ，１ｂ，５１ａ，６１ａ，６１ｂ，７１ａ，７１ｂ
圧電板 １ｃ，５１ｃ，７１ｃ 金属薄板 ２ 駆動子 ３，１３，２３，４３ 加圧ばね ４ スライダ ５ ローラ ６，１６，２６，３６，４６ ケース ７，２７ キャップ ２５，３５ 連結部材

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電振動子と、この圧電振動子の駆動面
   に接触する接触部材と、前記圧電振動子を支持する支持
   手段と、前記圧電振動子を前記接触部材に対して加圧接
   触させる加圧手段とを有してなる振動波駆動装置におい
   て、 前記支持手段は、駆動方向への前記圧電振動子の移動を
   規制するとともに、前記加圧手段による加圧方向への前
   記圧電振動子の移動案内を行う案内手段を有しているこ
   とを特徴とする振動波駆動装置。
2. 【請求項２】 前記支持手段は、前記駆動面に平行な軸
   回りでの前記圧電振動子の揺動を許容することを特徴と
   する請求項１に記載の振動波駆動装置。
3. 【請求項３】 導電板に圧電素子を接合してなる前記圧
   電振動子の前記導電板に、前記駆動面と平行な方向に張
   り出す張出し部を形成し、この張出し部を介して前記圧
   電振動子が前記案内手段により案内されるように構成し
   たことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波駆動
   装置。
4. 【請求項４】 前記張出し部にリブを設けたことを特徴
   とする請求項３に記載の振動波駆動装置。
5. 【請求項５】 前記張出し部に前記圧電素子の一部を重
   ね合わせたことを特徴とする請求項３に記載の振動波駆
   動装置。
6. 【請求項６】 前記張出し部の根元部分を、この根元部
   分より先端側の部分よりも幅狭に形成したことを特徴と
   する請求項３から５のいずれかに記載の振動波駆動装
   置。