JP2021060002A - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】大型化を抑えつつ、部品点数及び組み立て工数を削減し、かつ容易に組み立てることができるアクチュエータを提供すること。【解決手段】アクチュエータＡは、固定子１０と、固定子１０と対向し、固定子１０に対し近接、離反自在に設けられた移動子２０と、移動子２０と固定子１０との間に設けられた形状記憶合金よりなるワイヤ３０と、固定子１０に固着され、移動子２０を覆うカバー５０と、移動子２０とカバー５０との間に配設され、移動子２０を固定子１０に向かって付勢する板ばね４０が配設されている。【選択図】図８

Description

この発明は、形状記憶合金の熱による収縮性を利用して振動を発生させるアクチュエータに関する。

例えば、スマートフォンのような携帯端末や、いわゆるＶＲ（仮想現実）のゲーム機器等において使用者に振動を伝達するアクチュエータ（振動装置）が搭載されているものがある。皮膚の触感を利用したユーザインターフェースとしてのこの種のアクチュエータは小型軽量であって、加速度が大きいとユーザに対し強い触感を与えることができるので、大きな加速度が得られることが望ましい。また、各種端末機器の薄型化に伴い、アクチュエータ自体の薄型化が望まれている。

この種のアクチュエータとしては形状記憶合金を用い、移動部材を固定子側から離反、近接させ振動を発生させるものがある。

上記のアクチュエータとしては、例えば特許文献１及び２が存在する。

特許文献１から３は導電性の形状記憶合金からなるワイヤを有し、通電での発熱、非通電での冷却によるワイヤの伸縮作用によって固定子に対し移動子を離反させたり、元の位置に復帰させたりすることにより振動を発生させる。

特許第６０４６９８０号 特開２０１９−２３７３号公報

このようなアクチュエータは、ワイヤの収縮により固定子から離反した移動子を元の位置に復帰させるために、移動子を固定子側に押さえ付ける方向に付勢力を与える。

例えば特許文献１では、移動子の両端部において、段付きネジを固定子に螺着して、段付きネジに挿通される圧縮コイルバネを圧縮することで、移動子を固定子側に押し付ける付勢力を与えている。

また、特許文献２では、固定子が長手方向両端部に移動子（可動子）より長いはみ出し部を備え、はみ出し部において付勢部材（板ばね）の一端を雄ねじ部材により固定し、付勢部材の他端において移動子を押さえることで付勢力を与えている。

しかし、特許文献１や特許文献２では、移動子の片側を押えるために、特許文献１では段付きネジと圧縮コイルバネの２部品を、特許文献２では付勢部材と雄ねじ部材の２部品を、それぞれ必要とする。このため、部品点数が多く、組み立て工数も増加し、部品の取り扱いに伴う工程が複雑化する。また、特許文献１や特許文献２の構成では、段付きネジや雄ねじ部材を取り付けるためのスペースを確保するため、アクチュエータが長手方向や短手方向に大型化する。

本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、大型化を抑え、部品点数及び組み立て工数を削減し、かつ容易に組み立てることができるアクチュエータを提供することにある。

上記した目的を達成するために、本発明に係るアクチュエータでは、固定子と、この固定子と対向し、固定子に対し近接、離反自在に設けられた移動子と、この移動子と前記固定子との間に配置された形状記憶合金からなる収縮可能なワイヤと、前記固定子に固着され、前記移動子を覆うカバーと、前記移動子と前記カバーとの間に配設され、前記移動子を前記固定子に向かって付勢する付勢部材と、を備える。

上記アクチュエータにおいて、前記付勢部材は、中間部が前記移動子と前記カバーとのいずれか一方に圧接し、両側部が前記移動子と前記カバーとのいずれか他方に圧接する板ばねであってもよい。

上記アクチュエータにおいて、前記板ばねは、基部の長手方向両端部から内向きに折り返された内向き折り返し部と、前記内向き折り返し部の内端から外向きに折り返された外向き折り返し部と、を有していてもよい。

上記アクチュエータにおいて、前記板ばねに係合孔が設けられ、前記移動子に前記係合孔と係合する位置決め用の突起部が設けられていてもよい。

上記アクチュエータにおいて、前記カバーは、前記固定子と前記移動子との対向部分を覆っていてもよい。

上記アクチュエータにおいて、前記カバーは前記移動子の短手方向の移動を制限してもよい。

上記アクチュエータにおいて、前記カバーは、前記固定子側が開放した形状であってもよい。

上記アクチュエータにおいて、前記カバーはプレス成形品であってもよい。

本発明によれば、アクチュエータの大型化を抑え、部品点数及び組み立て工数を削減し、且つ容易に組み立てることができる。

本発明の動作原理であって形状記憶合金からなるワイヤが冷えた状態を示す説明図である。 同本発明の動作原理であってワイヤが熱により縮み移動子を押し上げた状態を示す説明図である。 同本発明の動作原理であってワイヤが冷却され移動子に働く付勢力により移動子が元の位置に戻った状態を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係るアクチュエータの正面図である。 本発明の一実施形態に係るアクチュエータの正面図であり、カバーを外した状態である。 本発明の一実施形態に係るアクチュエータの分解斜視図である。 図４のVII−VII線に沿う縦断側面図である。 図７のVIII−VIII線に沿う縦断正面図である。

まず本発明の実施形態に先立ち、図１〜図３に添って本実施形態に用いられるアクチュエータの動作原理について説明する。

図１において、１はアクチュエータを構成する主要部材の一つである固定子、２は移動子である。３は形状記憶合金からなる線状のワイヤであり、固定子１と移動子２との間に配置される。４は形状記憶合金からなるワイヤ３に接続された電線、５は電源、６はオン、オフ用の電源スイッチで、オンすれば形状記憶合金からなるワイヤ３は通電される。図１はスイッチ６がオフとなっており、移動子２が固定子１側に近接している状態を示す。

図２ではスイッチ６がオンされワイヤ３が通電された状態を示す。ワイヤ３に電流が流れてワイヤ３が発熱することでワイヤ３は縮み、白抜き矢印で示すように、移動子２を固定子１から離反させる方向の推力が発生し、移動子２が固定子１から離れる方向に移動する。

スイッチ６をオフにすればワイヤ３に電流が流れなくなりワイヤ３が冷却される。図３に示すように、移動子２には白抜き矢印の方向に付勢力が働いているのでワイヤ３が伸び、再び移動子２は固定子１側に移動し、図１に示す元の状態となる。これらの一連の動作を繰り返すことにより振動が発生する。

以下、本発明の一実施形態について説明する。図４は本発明の一実施形態に係るアクチュエータＡの正面図、図５はカバーを外した状態の正面図、図６はアクチュエータＡの分解斜視図、図７は図４のVII−VII線に沿う縦断側面図、図８は図７のVIII−VIII線に沿う縦断正面図である。これら図４〜図８を参照して一実施形態のアクチュエータＡの全体構成を説明する。なお、図６に示すように、アクチュエータＡの短手方向である前後方向をＸ方向、同じく長手方向である左右方向をＹ方向、上下方向をＺ方向とする。

図中の１０は固定子、２０は図示の状態において固定子１０の上方に対向配置された移動子であり、その間に形状記憶合金からなるワイヤ３０が設けられている。これは図１〜図３に示した固定子１、移動子２、ワイヤ３に対応している。４０は移動子２０を固定子１０に向かって付勢する付勢部材である板ばね、５０は固定子１０、移動子２０、ワイヤ３０及び板ばね４０のほぼ全体を覆うカバーである。これらを組み立てた状態を図４に、そこからカバー５０を外した状態を図５に示してある。

固定子１０は、絶縁性のある合成樹脂材料よりなるベース部材１１に、放熱性の高い合成樹脂材料よりなる固定子本体１２をモールド成型したものよりなっている。ベース部材１１は、一対の取付片１１ａを長手方向（Ｙ方向）を向く板状の連結片１１ｂ（図７参照）をもって連結したものよりなり、連結片１１ｂと取付片１１ａとの前後両面には、固定子本体１２との結合力を増すための複数の突起１１ｃが適宜の間隔をもって突設されている。一対の取付片１１ａには、図４に示すように、カバー５０を固定子１０に取り付けた際にカバー５０の下端より下方に突出する部分に、アクチュエータＡ全体を使用機器（図示略）に取り付けるための取付孔１１ｄが設けられている。また、一対の取付片１１ａにおける取付孔１１ｄより上方の部分には、ワイヤ３０を固定子１０に取り付けるための端子１３が、リベット１４をもって固着されている。さらに、一対の取付片１１ａにおけるリベット１４の取付部より内側の部分において、カバー５０がリベット１５をもって固着されている。

固定子本体１２及び移動子２０は絶縁性熱伝導体であり、絶縁性のある合成樹脂材料等からなる。固定子本体１２及び移動子２０を構成する材料は、絶縁性及び放熱性の高い材料を用いるのが好ましい。固定子本体１２及び移動子２０には、特に耐熱性が高く耐摩耗性、寸法安定性に優れた熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイド（以下、ＰＰＳという）が好適である。さらに、ＰＰＳを固定子１０や移動子２０に用いる場合は、ＰＰＳに熱伝導性を高める熱伝導性フィラーの微粒子を分散させて使用すると、ワイヤ３０の放熱性が向上しアクチュエータＡの繰り返し反応速度の向上に効果的である。なお、固定子１０及び移動子２０を構成する材料として、放熱性の良いアルミニウムなどの金属材料に絶縁処理を施したものを用いてもよい。合成樹脂材料としては、前記ＰＰＳの他にポリアミド系合成樹脂を使用してもよい。

固定子１０は、Ｙ方向に細長い略直方体の形状をなしている。また、固定子１０の上面（移動子２０と対向する面）には、固定子側窪み部１６と固定子側突起部１７とがＹ方向に交互に形成された波状部分を有している。なお、本実施形態では固定子側窪み部１６が６つ、固定子側突起部１７が５つ形成されているが、固定子側窪み部１６及び固定子側突起部１７の数はこれに限られるものではない。

図６に示すように、固定子側窪み部１６の底面１６ａは、固定子１０のＹ方向に第１の曲率で湾曲した凹弧状に形成されている。さらに固定子側窪み部１６には、Ｙ方向に直交するＸ方向（短手方向）の中央部に、底面１６ａから突出した固定子側突出片１６ｂが形成されている。この固定子側突出片１６ｂの頂面は、固定子１０のＹ方向に底面１６ａと同じ第１の曲率で湾曲した凹弧状をなしている。

また、固定子側突起部１７の頂面１７ａは、固定子１０のＹ方向に第１の曲率よりも大きい（即ち、曲率半径が小さい）第２の曲率で湾曲した凸弧状に形成されている。さらに固定子側突起部１７には、Ｘ方向の中央部に、頂面１７ａから窪んだ固定子側溝部１７ｂが形成されている。この固定子側溝部１７ｂの底面は、固定子１０の長手方向に頂面１７ａと同じ第２の曲率で湾曲した凸弧状をなしている。

このように固定子１０の波状部分には、Ｘ方向中央部に固定子側突出片１６ｂと固定子側溝部１７ｂとが交互に形成され、Ｘ方向両側部の底面１６ａと頂面１７ａとが形成する波形状よりも高低差の小さい波形状が形成されている。なお、固定子側突出片１６ｂ及び固定子側溝部１７ｂの各角部分はＲ面取り加工及びＲ溝加工が施されている。

固定子１０の波状部分のＹ方向両端側、左右の最も外側の固定子側窪み部１６の外側には、波状部分の端部から端子１３にかけてワイヤ３０を挿通、案内する-のワイヤガイド部１８が設けられている。ワイヤガイド部１８はＹ方向に湾曲する凸弧状に形成されている。

移動子２０もまた、固定子１０と同様にＹ方向に細長い略直方体の形状をなしている。また、移動子２０の下面（固定子１０と対向する面）には、移動子側窪み部２１及び移動子側突起部２２とがＹ方向に交互に形成された波状部分を有している。なお、本実施形態では移動子側窪み部２１が５つ、移動子側突起部２２が６つ形成されているが、移動子側窪み部２１及び移動子側突起部２２の数はこれに限られるものではない。

また、移動子側窪み部２１の底面２１ａは、固定子側窪み部１６の底面１６ａと同様（上下対称）に、固定子１０の底面１６ａと同じ第１の曲率でＹ方向に湾曲した凹弧状に形成されている。さらに移動子側窪み部２１には、Ｘ方向の中央部に、底面２１ａから突出した移動子側突出片２１ｂ（図８参照）が形成されている。この移動子側突出片２１ｂの頂面は、移動子２０のＹ方向に底面２１ａと同じ第１の曲率で湾曲した凹弧状をなしている。

移動子側突起部２２の頂面２２ａは、移動子２０のＹ方向に固定子１０の頂面１２ａと同じ第２の曲率で湾曲した凸弧状に形成されている。さらに、移動子側突起部２２には、Ｘ方向の中央部に、頂面２２ａから窪んだ移動子側溝部２２ｂが形成されている。この移動子側溝部２２ｂの底面は、移動子２０のＹ方向に頂面２２ａと同じ第２の曲率で湾曲した凹弧状をなしている。

このように移動子２０の波状部分には、Ｘ方向中央部に移動子側突出片２１ｂと移動子側溝部２２ｂとが交互に形成され、Ｘ方向両端部の底面２１ａと頂面２２ａとが形成する波形状よりも高低差の小さい波形状が形成されている。なお、移動子側突出片２１ｂ及び移動子側溝部２２ｂの各角部分はＲ面取り加工及びＲ溝加工が施されている。

固定子１０の波状部分と移動子２０の波状部分はワイヤ３０を間に挟持して互いに係合可能である。具体的には図５に示すように、固定子側窪み部１６に移動子側突起部２２が係合し、移動子側窪み部２１に固定子側突起部１７が係合する。こうして、ワイヤ３０は、固定子側窪み部１６の固定子側突出片１６ｂと移動子側突起部２２の移動子側溝部２２ｂとの間、及び、移動子側窪み部２１の移動子側突出片２１ｂと固定子側突起部１７の固定子側溝部１７ｂとの間に収容される。また、このように固定子側窪み部１６と移動子側突起部２２、及び移動子側窪み部２１と固定子側突起部１７が係合することで、固定子１０と移動子２０との間のＹ方向及びＸ方向の動きが制限され、固定子１０に対する移動子２０のＺ方向の移動が円滑に案内される。

固定子側突出片１６ｂの頂面、固定子側溝部１７ｂの底面、移動子側突出片２１ｂの頂面、及び移動子側溝部２２ｂの底面の曲率は、いずれもそれらが設けられている固定子側窪み部１６の底面１６ａ、固定子側突起部１７の頂面１７ａ、移動子側窪み部２１の底面２１ａ、及び移動子側突起部２２の頂面２２ａの曲率とほぼ同一としてあるが、前者を後者より小として、それらによって挾まれるワイヤ３０の波形状の変形をより滑らかとすることもある。

ワイヤ３０はニッケル・チタン合金やニッケル・チタン・銅合金のような形状記憶合金からなる。ワイヤ３０は、固定子１０及び移動子２０の各突出片１６ｂ及び各溝部１７ｂ、２２ｂの間に位置するように配置され、固定子１０と移動子２０とに挟持されることにより、非通電状態において、これらの波形状に対応した波形状となる（図８参照）。

ワイヤ３０の両端部は、固定子１０における一対の取付片１１ａに端子１３を介して取り付けられる。端子１３は導体で形成され、リベット１４をもって固定子１０に固着される。１３ａは端子１３の一端側に設けられたワイヤ取付部である。このワイヤ取付部１３ａにはワイヤ３０を挿通して固定する溝１３ｂが形成されている。ワイヤ取付部１３ａは、ワイヤ３０を溝１３ｂに挿通した状態でクランク状にカシメることによってワイヤ３０を固定しており、このクランク状の形状によりワイヤ３０が伸縮動作する際のゆるみを防止する。

端子１３の他端側には、電線（図示せず）を接続するための電線接続片１３ｃが形成されている。

移動子２０の上面両側部には、カバー５０を取り付けた際にカバー５０の上端より上方に突出する取付片２３が突設されている。各取付片２３には、他部品（図示略）を取り付けるための取付孔２４が設けられている。この取付孔２４には、合成樹脂材料製のグロメット２４ａが嵌着されている。

移動子２０の上面の中間部には、板ばね４０を収容するための凹部２５が形成されており、その中央には、板ばね４０を位置決めするための突起部２６が設けられている。

カバー５０は、移動子２０の上面を覆う上片５１と、この上片５１の前後の縁から垂下する前後一対の側片５２とを有し、Ｚ方向の下端とＹ方向の両端とが開放された形状とされる。上片５１のＹ方向の両端部には、移動子２０の左右の取付片２３が上方に挿通するための切欠き５３が設けられている。このカバー５０は、固定子１０、ワイヤ３０、移動子２０、ばね部材４０を組み付けた組立体の上方から被せられ、図４に示すように、リベット１５をもって固定子１０の取付片１１ａに固着されている。

移動子２０のＸ方向の両側面には、カバー５０の側片５２の内面との接触面積を減少させる複数のガイド用のリブ２７が設けられている。各リブ２７は、移動子２０の移動方向であるＺ方向に沿った細長い形状とされている。リブ２７とカバー５０とが接触することにより、移動子２０がＺ方向に移動する際の移動子２０とカバー５０との間の摩擦を低減できる。そして、移動子２０をカバー５０の両側片５２に沿って円滑に案内でき、固定子１０に対して移動子２０を円滑に近接、離反移動することができる。リブ２７の数は任意である。また、このリブ２７は、カバー５０の側片５２の内面に設けることもできるし、カバー５０と移動子２０の両方に設けることもできる。

板ばね４０は、Ｙ方向に長く形成された基部４１と、その両端部から上方内向きに折り返された内向き折り返し部４２と、それらの内端から円弧状の湾曲部４３を介して上方外向きに折り返された外向き折り返し部４４とからなっている。基部４１の中央部には、移動子２０の突起部２６と係合し、板ばね４０を移動子２０に位置決めするための係合孔４５が設けられている。

板ばね４０は、移動子２０の凹部２５に収容される。また、板ばね４０は、係合孔４５が移動子２０の突起部２６と係合し、かつ基部４１の下面が移動子２０の凹部２５の底面、すなわち移動子２０の上面２０１（移動子側ばね受け面）に圧接するようにして配置される。板ばね４０の外向き折り返し部４４は、図８に示すようにカバー５０を組立体、具体的には固定子１０に取り付けたとき、移動子２０の上面２０１と対向するカバー５０の上片５１の下面５０１（カバー側ばね受け面）に圧接する。このように、板ばね４０の基部４１が移動子２０の上面２０１に圧接し、かつ左右の外向き折り返し部４４がカバー５０の上片５１の下面５０１に圧接することにより、移動子２０は、板ばね４０によって下向きに、すなわち固定子１０に向かって付勢される。板ばね４０は、その係合孔４５と移動子４０の突起部２６との係合により、移動子２０の振動時においても定位置に保持されるので、移動子２０に安定した付勢力を付加できる。図５及び図６においては、板ばね４０の外向き折り返し部４４がカバー５０の上片５１の下面５０１に圧接しているときの状態を実線で示し、またカバー５０を組立体に装着する前の無負荷のときの状態を二点鎖線で示してある。

図４〜図８はワイヤ３０が無通電の状態を示しており、この状態では、板ばね４０の付勢力により移動子２０が固定子１０に向かって押圧されることでワイヤ３０が伸長し、ワイヤ３０は固定子１０の上面と移動子２０の下面との波形状に倣うように波形に変形している。ワイヤ３０が通電されると、発熱によりワイヤ３０が収縮するので、移動子２０は板ばね４０の付勢力に抗して上方に押し上げられる。その後、ワイヤ３０への通電を停止すると、ワイヤ３０は冷却され、図８に示す状態に戻る。ワイヤ３０への通電、無通電を繰り返すことにより、移動子２０は上下に振動させられる。

以上のように本発明の実施形態に係るアクチュエータＡによれば、移動子２０とカバー５０との間に板ばね４０を配置することによりアクチュエータＡに保持でき、板ばね４０を専用の取付部品を設けることなく、容易に組み立てることができる。また、アクチュエータＡでは、１個の板ばね４０により移動子２０を押圧できるので、複数個の板ばねを必要としない。したがって、アクチュエータＡの大型化を抑えることができ、部品点数及び組み立て工数の削減を図ることができる。

また、カバー５０は板金のプレス成形等により容易に形成することができる。カバー５０を金属のプレス成形品とすることで、樹脂部品で形成した場合と比べて薄型に形成でき、アクチュエータＡを小型化できる。また、アクチュエータＡでは、板ばね４０がカバー５０や移動子２０から独立して設けられているので、板ばね４０の厚みや形状を変更することで板ばね４０による付勢力の強さを調整可能である。

アクチュエータＡにおいては、カバー５０によって、固定子１０と移動子の対向部分、即ちワイヤ３０が介在する固定子１０の波状部分と移動子２０の波状部分との間の隙間を覆っている。これにより、組立体からのワイヤ３０の脱落や、隙間への外部からの異物の侵入を防ぐことができる。また、内部の部品（固定子、移動子、ワイヤ３０等）がカバー５０で保護されているので、外部からの内部の部品への接触を防止でき、アクチュエータＡの取扱性が向上する。さらに、カバー５０で組立体の両側面が覆われているので、固定子１０と移動子２０との間のＸ方向の動きを制限でき、固定子１０に対する移動子２０のＺ方向への移動を円滑に案内できる。したがって、アクチュエータＡの製品の信頼性、すなわち長期使用安定性を向上させることができる。

アクチュエータＡにおいては、付勢部材を、中間部の基部４１が移動子２０の上面２０１に圧接し、かつ両端部の外向き折り返し部４４が上面２０１に対向するカバー５０の下面５０１に圧接する板ばね４０としたので、付勢部材の構成を簡素化することができ、容易に製造することができる。

以上で本発明の一実施形態の説明を終えるが、本発明の態様はこの実施形態に限定されるものではない。

例えば本発明の範囲を逸脱することなく、次のような変形が可能である。
（１）付勢部材を、板ばね４０だけでなく、圧縮コイルばねや捩りコイルばね、密封袋体に気体または液体を封入した空気ばねまたは液体ばね、ゴム等の弾性体とする。
（２）ワイヤ３０に代えて、帯板状その他の形状の形状記憶合金とする。
（３）カバー５０の左右の端面を閉塞し、カバー５０を下端のみが開放された箱状とする。これにより、カバー５０内への異物の侵入をより確実に防止できる。
（４）板ばね４０を、中間部がカバー５０の上片５１の下面に圧接し、かつ両側部が移動子２０の上面に圧接する板ばねとする。
（５）上記（４）において、カバー５０の上片５１と板ばねの中間部とのいずれか一方に位置決め用の突起部を設け、同じく他方に上記突起部に係合する位置決め用の係合孔を設ける。
（６）板ばね４０の中間部に下向きの突起部を設け、かつ移動子２０における凹部の底面に上記突起部が係合する位置決め用の係合凹部を設ける。

Ａ アクチュエータ
１、１０ 固定子
２、２０ 移動子
３、３０ ワイヤ
１１ ベース部材
１１ａ 取付片
１２ 固定子本体
１４、１５ リベット
１６ 固定子側窪み部
１６ａ 底面
１６ｂ 固定子側突出片
１７ 固定子側突起部
１７ａ 頂面
１７ｂ 固定子側溝部
２１ 移動子側窪み部
２１ａ 底面
２１ｂ 移動子側突出片
２２ 移動子側突起部
２２ａ 頂面
２２ｂ 移動子側溝部
２５ 凹部
２６ 突起部
２７ リブ
４０ 板ばね（付勢部材）
４１ 基部
４２ 内向き折り返し部
４３ 湾曲部
４４ 外向き折り返し部
４５ 係合孔
５０ カバー
５１ 上片
５２ 側片

Claims (8)

1. 固定子と、
   この固定子と対向し、固定子に対し近接、離反自在に設けられた移動子と、
   この移動子と前記固定子との間に配置された形状記憶合金からなる収縮可能なワイヤと、
   前記固定子に固着され、前記移動子を覆うカバーと、
   前記移動子と前記カバーとの間に配設され、前記移動子を前記固定子に向かって付勢する付勢部材と、
   を備えることを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記付勢部材は、中間部が前記移動子と前記カバーとのいずれか一方に圧接し、両側部が前記移動子と前記カバーとのいずれか他方に圧接する板ばねである請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記板ばねは、
   基部の長手方向両端部から内向きに折り返された内向き折り返し部と、
   前記内向き折り返し部の内端から外向きに折り返された外向き折り返し部と、
   を有している請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記板ばねに係合孔が設けられ、前記移動子に前記係合孔と係合する位置決め用の突起部が設けられている請求項２又は３に記載のアクチュエータ。
5. 前記カバーは、前記固定子と前記移動子との対向部分を覆っている請求項１から４のいずれかに記載のアクチュエータ。
6. 前記カバーは、前記移動子の短手方向の移動を制限する請求項１から５のいずれかに記載のアクチュエータ。
7. 前記カバーは、前記固定子側が開放した形状である請求項１から６のいずれかに記載のアクチュエータ。
8. 前記カバーはプレス成形品である請求項１から７のいずれかに記載のアクチュエータ。
   

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