JP2021025083A - 軟磁性粉末、この軟磁性粉末によって構成された圧粉磁心、軟磁性粉末の製造方法及び圧粉磁心の製造方法。 - Google Patents

Abstract

【課題】ヒステリシス損失、ひいては鉄損の低減を図ることができる軟磁性粉末、この軟磁性粉末によって構成された圧粉磁心、軟磁性粉末の製造方法及び圧粉磁心の製造方法の提供。【解決手段】ＦｅＳｉＡｌ合金粉末から成る軟磁性粉末であって、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造には、結晶構造が不規則な構造となる不規則構造が含まれ、結晶構造に占める前記不規則構造の割合は、５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下であることを特徴とする軟磁性粉末。【選択図】図１

Description

本発明は、軟磁性粉末、この軟磁性粉末によって構成された圧粉磁心、軟磁性粉末の製造方法及び圧粉磁心の製造方法に関する。

リアクトルは、ハイブリッド自動車、電気自動車や燃料電池車の駆動システム等をはじめ、種々の用途で使用されている。このリアクトルのコアとして、例えば、圧粉磁心が使用される。圧粉磁心は、軟磁性粉末とこの軟磁性粉末を覆う絶縁被膜とを加圧成形することにより形成される。

圧粉磁心は、エネルギー交換効率の向上や低発熱などの要求から、エネルギー損失が小さいという磁気特性が求められる。エネルギー損失に関する磁気特性とは、具体的には鉄損（Ｐｃｖ）である。鉄損（Ｐｃｖ）は、ヒステリシス損失（Ｐｈ）と、渦電流損失（Ｐｅ）の和で表される。

特開２００９−１４７２５２号公報

一般的に、軟磁性粉末の結晶構造に占める不規則構造を減らし、規則的な構造であるＤＯ_３構造を増やすことで、ヒステリシス損失、ひいては鉄損を低減できるといわれている。そして、粉末を熱処理する温度を高温にすると、粉末の結晶構造に占める不規則構造の割合が減少し、ＤＯ_３構造が増加することが知られている。そのため、例えば９００℃といった高温で粉末の熱処理を行い、ヒステリシス損失の低減を図っていた。

しかし、本発明者は、鋭意研究の結果、上記技術常識とは異なり、粉末熱処理によって一定程度不規則構造を残すことで、不規則構造を残す割合が少ない場合よりも、ヒステリシス損失、ひいては鉄損の低減を図ることができるという知見を得た。

本発明の軟磁性粉末は、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末から成る軟磁性粉末であって、前記ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造には、前記結晶構造が不規則な構造となる不規則構造が含まれ、前記結晶構造に占める前記不規則構造の割合は、５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下であること、を特徴とする。

また、本発明の軟磁性粉末の製造方法は、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末から成る軟磁性粉末を５００℃以上７００℃以下で熱処理する粉末熱処理工程を有し、前記粉末熱処理工程を経たＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造において、前記結晶構造が不規則な構造となる不規則構造が含まれ、前記結晶構造に占める前記不規則構造の割合は、５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下であること、を特徴とする。

また、上記軟磁性粉末によって構成された圧粉磁心、当該圧粉磁心の製造方法も本発明の一態様である。

本発明によれば、ヒステリシス損失、ひいては鉄損の低減を図ることができる軟磁性粉末、この軟磁性粉末によって構成された圧粉磁心、軟磁性粉末の製造方法及び圧粉磁心の製造方法を提供することにある。

本実施形態の圧粉磁心の製造工程を示すフローチャートである。 粉末熱処理温度とＤＯ_３構造、Ｂ２構造及び不規則構造の割合を示すグラフである。 不規則構造の割合と鉄損Ｐｃｖの関係を示すグラフである。 不規則構造の割合とヒステリシス損失Ｐｈの関係を示すグラフである。 保磁力Ｈｃと鉄損Ｐｃｖの関係を示すグラフである。

（実施形態）
本実施形態の圧粉磁心は、所定の温度で熱処理をした軟磁性粉末を加圧成形することで所定の形状のコアとして形成される。圧粉磁心は、リアクトルの磁性体として使用される。この圧粉磁心の製造方法について図面を参照しつつ説明する。図１は、本実施形態の圧粉磁心の製造工程を示すフローチャートである。図１に示すように、本実施形態の圧粉磁心の製造方法は、（１）粉末熱処理工程、（２）絶縁処理工程、（３）潤滑剤混合工程、（４）成形工程、（５）焼鈍工程を有する。

（１）粉末熱処理工程（ステップＳ０１）
粉末熱処理工程は、軟磁性粉末を熱処理する工程である。軟磁性粉末は、ＦｅＳｉＡｌ合金から成る。このＦｅＳｉＡｌ合金粉末を熱処理することで、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造を変化させる。

具体的には、粉末熱処理を行う前のＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造は、規則的な構造であるＤＯ_３構造及びＢ２構造と、不規則的な構造である不規則構造とを有する。そして、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末を熱処理することで、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造に占める不規則構造の割合は、５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下にする。この不規則構造の割合は、リートベルト解析法によるＸ線回折によって算出する。具体的には、Ｘ線回折により算出された格子定数によって判断する。格子定数が２．８〜２．９程度の場合には不規則構造と、５．７程度である場合にはＢ２構造及びＤＯ_３構造と判断する。このように、格子定数の違いから不規則構造を検出し、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造全体に占める不規則構造の割合を算出することができる。

また、不規則構造の割合は、Ｘ線回折によって検出される結晶構造の配置位置から算出することも可能である。即ち、不規則構造は、体心立方格子構造（「ｂｃｃ構造」ともいう）において、Ｆｅ原子、Ｓｉ原子及びＡｌ原子が不規則に配置されている。一方、ＤＯ_３構造は、ｂｃｃ構造において立方体形の単位格子の頂点及び体心の位置には、Ｆｅ原子のみが配置され、その他の位置にＳｉ原子及びＡｌ原子が不規則に配置されるのに対し、Ｂ２構造は、単位格子の頂点にはＦｅ原子のみが配置され、体心位置及びその他の位置に、Ｆｅ原子、Ｓｉ原子及びＡｌ原子が不規則に配置される。このように結晶構造の違いから、不規則構造、Ｂ２構造及びＤＯ_３構造の各構造を検出することができ、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造全体に占める不規則構造の割合を算出することができる。

粉末熱処理工程では、例えば、真空雰囲気や不活性ガス雰囲気である非酸化雰囲気又は大気雰囲気中で１〜６時間加熱する。不活性ガスとしては、Ｈ_２やＮ_２が挙げられる。熱処理温度としては、５００℃以上７００℃以下が好ましい。熱処理温度をこの範囲にすることで、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造に占める不規則構造の割合を、５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下にすることができ、鉄損の低減を図ることができる。

ＦｅＳｉＡｌ合金粉末は、ガスアトマイズ粉末であることが好ましい。ガスアトマイズ粉末を用いることで、ヒステリシス損失を効果的に低減できる。また、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の保磁力Ｈｃは、０．４３Ａ／ｃｍ以上１．８１Ａ／ｃｍ以下であることが好ましい。保磁力をこの範囲にすると、ヒステリシス損失の低減を図ることができる。

（２）絶縁処理工程（ステップＳ０２）
絶縁処理工程は、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の表面に絶縁被膜を形成する工程である。絶縁被膜としては、シランカップリング剤、シリコーンオリゴマー、シリコーンレジンなどを用いることができる。本実施形態の絶縁処理工程では、（ａ）シランカップリング剤混合工程、（ｂ）シリコーンレジン混合工程の２つの工程を有する。

（ａ）シランカップリング剤混合工程
シランカップリング剤混合工程では、シランカップリング剤を混合して、熱処理を行ったＦｅＳｉＡｌ合金粉末の表面を被覆する工程である。シランカップリング剤の種類としては、アミノシラン系、エポキシシラン系、イソシアヌレート系のシランカップリング剤を使用することができ、特に、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、トリス−（３−トリメトキシシリルプロピル）イソシアヌレートが良い。

シランカップリング剤の添加量としては、軟磁性粉末に対して、０．２５ｗｔ％〜１．０ｗｔ％が好ましい。シランカップリング剤の添加量をこの範囲にすることで、成形された圧粉磁心の密度の標準偏差、磁気特性、強度特性を向上させることができる。

シランカップリング剤の乾燥温度は、２５℃〜２００℃である。乾燥温度が２５℃より低いと、溶剤が残留し被膜が不完全となる場合があるためである。一方、乾燥温度が２００℃より高いと、分解が進み被膜として形成されなくなる場合があるためである。乾燥時間は、２時間程度である。

（ｂ）シリコーンレジン混合工程
シリコーンレジン混合工程では、シランカップリング剤によって被覆されたＦｅＳｉＡｌ合金粉末に対して、シリコーンレジンを所定量添加し、大気雰囲気中、所定の温度で乾燥させる工程である。シリコーンレジン混合工程により、シランカップリング剤による被膜の外側にシリコーンレジン層が形成される。

シリコーンレジンはシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ）を主骨格に持つ樹脂である。シリコーンレジンを用いることで可撓性に優れた被膜を形成することができる。シリコーンレジンは、メチル系、メチルフェニル系、プロピルフェニル系、エポキシ樹脂変性系、アルキッド樹脂変性系、ポリエステル樹脂変性系、ゴム系等を用いることができる。この中でも特に、メチルフェニル系のシリコーンレジンを用いた場合、加熱減量が少なく、耐熱性に優れたシリコーンレジン層を形成することができる。

シリコーンレジンの添加量は、軟磁性粉末に対して、１．０〜３．０ｗｔ％であることが好ましい。添加量が１．０ｗｔ％より少ないと絶縁被膜として機能せず、渦電流損失が増加することにより磁気特性が低下する場合があるためである。添加量が３．０ｗｔ％より多いとコアが膨張することにより成形体の密度が低下し、透磁率が低下する場合があるためである。

シリコーンレジンの乾燥温度は、１００℃〜２００℃が好ましい。乾燥温度が１００℃より小さいと膜の形成が不完全となり、渦電流損失が高くなる場合があるためである。一方、乾燥温度２００℃より大きいと粉末が無機物となりバインダとしての役割を果たさず、保形成が悪くなり、成形体の密度及び透磁率が低下する場合があるためである。乾燥時間は、２時間程度である。

（３）潤滑剤混合工程（ステップＳ０３）
潤滑剤混合工程は、絶縁処理されたＦｅＳｉＡｌ合金粉末に対して、潤滑剤を添加し、混合する工程である。本工程を経ることで、シリコーンレジン層の表面に潤滑剤が被覆される。潤滑剤としては、ステアリン酸及びその金属塩並びにエチレンビスステアルアミド、エチレンビスステアラマイド、エチレンビスステアレートアミドなどのワックスが使用できる。潤滑剤を混合することにより、粉末同士の滑りをよくすることができるので、成形密度を高くすることができる。さらに、成形時の上パンチの抜き圧低減、金型と粉末の接触によるコア壁面の縦筋の発生を防止することが可能である。潤滑剤の添加量は、軟磁性粉末に対して、０．１ｗｔ％〜０．６ｗｔ％程度であることが好ましい。

（４）成形工程（ステップＳ０４）
成形工程では、表面に絶縁被膜が形成された軟磁性粉末を加圧成形することにより、成形体を形成する。成形時の圧力は１０〜２０ｔｏｎ／ｃｍ^２であり、平均で１５ｔｏｎ／ｃｍ^２程度が好ましい。

（５）焼鈍工程（ステップＳ０５）
焼鈍工程では、成形工程を経た成形体に対して、Ｎ_２ガス中又はＮ_２＋Ｈ_２ガス非酸化性雰囲気中、大気中にて、６００℃以上且つ軟磁性粉末に被覆した絶縁被膜が破壊される温度（例えば、８００℃とする）以下で、熱処理を行う。この焼鈍工程を経ることで圧粉磁心が作製される。

（実施例）
本発明の実施例を表１及び図２〜図５を参照しつつ説明する。実施例１−５及び比較例１−４は、下記（１）の粉末熱処理温度のみを変えて、その他は同一の条件で作製した。
（１）平均粒子径１９．８μｍ（メジアン径（Ｄ５０））のＦｅＳｉＡｌ合金粉末を用いた。このＦｅＳｉＡｌ合金粉末を熱処理なし及び４００℃〜１０００℃の異なる熱処理温度で熱処理を行った。熱処理の条件としては、窒素雰囲気中で２時間熱処理を行った。
（２）熱処理したＦｅＳｉＡｌ合金粉末に対して、シランカップリング剤を１．０ｗｔ％添加し、２００℃で２時間乾燥した。その後、塊を解砕するため目開き２５０μｍで篩通しを行った。
（３）シランカップリング剤を添加したＦｅＳｉＡｌ合金粉末に対して、シリコーンレジン（メチルフェニル系）を１．５ｗｔ％添加し、１５０℃で２時間乾燥した。その後、塊を解砕するため目開き２５０μｍで篩通しを行った。
（４）上記のように作製されたＦｅＳｉＡｌ合金粉末に、潤滑剤としてエチレンビスステアルアミド（Ａｃｒａｗａｘ（登録商標））を０．５ｗｔ％添加した。そして、これらを外径１６．５ｍｍ、内径１１．０ｍｍ、高さ５．０ｍｍのトロイダル形状の容器に充填し、成形圧力１５ｔｏｎ／ｃｍ^２で成形体を作製した。
（５）最後に、上記のように作製した成形体を７５０℃の温度で２時間、大気雰囲気で焼鈍処理を行い、圧粉磁心を作製した。

（測定項目）
以上のように作製した実施例１−５及び比較例１−４について、結晶構造に占めるＤＯ_３構造、Ｂ２構造及び不規則構造の割合、格子定数、保磁力Ｈｃ及び鉄損Ｐｃｖ（ヒステリシス損失Ｐｈ及び渦電流損失Ｐｅ）を測定した。結晶構造に占めるＤＯ_３構造、Ｂ２構造及び不規則構造の各割合、格子定数、保磁力は、上記（１）の各温度で粉末熱処理を経たＦｅＳｉＡｌ合金粉末を測定して算出した。

結晶構造に占めるＤＯ_３構造、Ｂ２構造及び不規則構造の各割合及び格子定数は、Ｘ線回折によって、ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造評価を行って、格子定数、ＤＯ_３構造、Ｂ２構造及び不規則構造の割合を算出した。Ｘ線回折装置は、ブルカー社製の装置（ＢＲＵＫＥＲ Ｄ２ ＰＨＡＳＥＲ ２ｎｄ Ｇｅｎ、Ｘ線：Ｃｕ−Ｋα線）を使用した。また、保磁力は、ＨＣメーター（東北特殊鋼株式会社製、Ｋ−ＨＣ１０００）により測定した。

一方、鉄損Ｐｃｖは、上記（１）〜（５）の工程を経た後、作製した圧粉磁心にφ０．５ｍｍの銅線で１次巻線１６ターン、２次巻線８ターンの巻線を巻回し、磁気計測機器であるＢＨアナライザ（岩通計測株式会社：ＳＹ−８２１９）を用いて測定した。測定条件は、周波数１００ｋＨｚ、最大磁束密度Ｂｍ＝１００ｍＴの条件下で行い、ヒステリシス損失（Ｐｈ）と渦電流損失（Ｐｅ）を算出した。この算出は、損失の周波数曲線を次の（１）〜（３）式で最小２乗法により、ヒステリシス損係数（Ｋｈ）、渦電流損係数（Ｋｅ）を算出することで行った。

Ｐｃｖ ＝Ｋｈ×ｆ＋Ｋｅ×ｆ^２・・（１）
Ｐｈ ＝Ｋｈ×ｆ・・（２）
Ｐｅ ＝Ｋｅ×ｆ^２・・（３）
Ｐｃｖ：鉄損
Ｋｈ ：ヒステリシス損失係数
Ｋｅ ：渦電流損失係数
ｆ ：周波数
Ｐｈ ：ヒステリシス損失
Ｐｅ ：渦電流損失

以上の測定結果を表１及び図２−図５に示す。図２は、粉末熱処理温度とＤＯ_３構造、Ｂ２構造と不規則構造の割合を示すグラフである。図３は、不規則構造の割合と鉄損Ｐｃｖの関係を示すグラフである。図４は、不規則構造の割合とヒステリシス損失Ｐｈの関係を示すグラフである。図５は、保磁力Ｈｃと鉄損Ｐｃｖの関係を示すグラフである。

（不規則構造と鉄損の関係）
表１及び図２に示すように、４００℃で粉末熱処理を行った比較例２の粉末の結晶構造に占める不規則構造の割合は、４０．１３ｗｔ％で最大となり、ここから熱処理温度を高温にするにつれて、不規則構造の割合は減少している。そして、１０００℃で粉末熱処理を行うと、比較例４に示すように、不規則構造の割合は、２．０３ｗｔ％となり、粉末に占める不規則構造はほとんどなくなることが分かる。

従来においては、粉末の結晶構造に占める不規則構造をなくし、規則的な構造であるＤＯ_３構造を増やすことで鉄損Ｐｃｖを低減できると考えられていた。そのため、粉末熱処理温度は、例えば、９００℃以上といった高温で行い、粉末の結晶構造に占める不規則構造を除去していた。

しかし、表１及び図３、４に示すように、鉄損Ｐｃｖは、粉末熱処理を行っていない比較例１の３３０（ｋＷ／ｍ^３）と比べると、熱処理温度を上げるにつれて減少する傾向にあるが、８５０℃以上（比較例３及び４）で粉末熱処理を行うと３４３（ｋＷ／ｍ^３）以上となり、比較例１より鉄損が増加する。一方、５００℃〜７００℃の範囲で粉末熱処理を行った実施例１−５の鉄損は、比較例１−４の鉄損よりも低減している。即ち、不規則構造の割合を５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下にした場合に、鉄損Ｐｃｖが低減する。これは、表１及び図４に示すように、実施例１−５は、渦電流損失Ｐｅは良好な数値を維持しつつ、比較例１−４と比較してヒステリシス損失Ｐｈが低減していることに起因する。

このように、本発明者らは、鋭意研究の結果、粉末の熱処理工程において、敢えて粉末の結晶構造に不規則構造を残すことで、鉄損Ｐｃｖを低減できるという従来の考えとは真逆の知見を得た。そして、上記のとおり、不規則構造の割合を５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下すると、不規則構造の割合を５．７０ｗｔ％よりも少なくした場合に比べて、鉄損Ｐｃｖが低減する。

これは、敢えて粉末の結晶構造に不規則構造を残すことで、圧粉磁心を作製する焼鈍工程時に、原子が結晶内を動きやすくなり、焼鈍することで、結晶構造が規則的な構造であるＤＯ_３構造になりやすいためと推察する。一般的に、圧粉磁心を作製する場合、加圧して成形体を得るため、その加圧によって粉末の結晶構造に歪が生じ、不規則な構造となる。その後、成形体を焼鈍することで、この歪を除去して、粉末の結晶構造を規則的な構造であるＤＯ_３構造に戻すことで、鉄損Ｐｃｖの低減を図っている。

従来のように、粉末熱処理工程の段階で、規則的な構造であるＤＯ_３構造の割合を多くすると、加圧する方向は一方向なので、歪も加圧方向に沿って一方向に生じやすい。そのため、成形体を焼鈍する際に、原子は一方向にしか移動できず、多方向に移動できず、規則的な構造に配列しづらくなる。よって、焼鈍後の圧粉磁心の結晶構造においては、完全なＤＯ_３構造にはなりにくく、鉄損の低減には限界がある。

一方、本発明のように、粉末熱処理後の時点において、敢えて不規則構造を上記の数値範囲を残すことで、成形体には加圧の際に生じる歪も多方向に生じやすい。それに加えて、不規則構造も残しているので、原子は多方向に移動することができる。そのため、焼鈍工程において成形体を焼鈍すると、原子は多方向に移動し、規則的な構造に配列しやすい。即ち、焼鈍工程を経て作製された圧粉磁心は、規則的な構造であるＤＯ_３構造になりやすい。よって、ヒステリシス損失、ひいては鉄損の低減を図ることができると推察する。

（不規則構造と保磁力の関係）
表１及び図５に示すように、粉末の熱処理温度を上げると、保磁力Ｈｃは低減する。従来は、粉末内の不規則構造の割合を減らし、保磁力Ｈｃを減少させることで、ヒステリシス損失Ｐｈは低減すると考えられてきた。

たしかに、保磁力Ｈｃの数値が一番高い比較例１の３．８９から実施例４の０．５３（Ａ／ｃｍ）までは、鉄損は減少傾向にある。しかし、保磁力Ｈｃが０．４３（Ａ／ｃｍ）に至ると、鉄損Ｐｃｖは増加傾向が見られ、寧ろ、保磁力Ｈｃが低い比較例３及び４の保磁力Ｈｃは、保磁力が最も高い比較例１よりも鉄損が増加している。

このことから、保磁力Ｈｃを減少させるだけでは、鉄損Ｐｃｖの低減を図ることに限界があることが分かる。そして、本実施例では、保磁力Ｈｃを０．４３（Ａ／ｃｍ）以上１．８１（Ａ／ｃｍ）以下とすることで、特に、鉄損Ｐｃｖの低減を図ることできることが示されている。

（他の実施形態）
本明細書においては、本発明に係る実施形態を説明したが、この実施形態は例として提示したものであって、発明の範囲を限定することを意図していない。上記のような実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

本実施形態では、絶縁処理工程は、（ａ）シランカップリング剤混合工程を有し、（ａ）シランカップリング剤混合工程においてシランカップリング剤を混合させたが、これに限定されない。例えば、シランカップリング剤に代えてシリコーンオリゴマーを混合させてもよい。シリコーンオリゴマーとしては、アルコキシシリル基を有し、反応性官能基を有さないメチル系、メチルフェニル系のものや、アルコキシシリル基及び反応性官能基を有するエポキシ系、エポキシメチル系、メルカプト系、メルカプトメチル系、アクリルメチル系、メタクリルメチル系、ビニルフェニル系のもの、アルコキシシリル基を有さずに、反応性官能基を有する脂環式エポキシ系のもの等を用いることができる。

Claims (6)

1. ＦｅＳｉＡｌ合金粉末から成る軟磁性粉末であって、
   前記ＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造には、前記結晶構造が不規則な構造となる不規則構造が含まれ、
   前記結晶構造に占める前記不規則構造の割合は、５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下であること、
   を特徴とする軟磁性粉末。
2. 前記ＦｅＳｉＡｌ合金粉末がガスアトマイズ粉末であること、
   を特徴とする請求項１に記載の軟磁性粉末。
3. 保磁力が、０．４３Ａ／ｃｍ以上１．８１Ａ／ｃｍ以下であること、
   を特徴とする請求項１又は２に記載の軟磁性粉末。
4. 前記１乃至３の何れかに記載された軟磁性粉末によって構成された圧粉磁心。
5. ＦｅＳｉＡｌ合金粉末から成る軟磁性粉末を５００℃以上７００℃以下で熱処理する粉末熱処理工程を有し、
   前記粉末熱処理工程を経たＦｅＳｉＡｌ合金粉末の結晶構造において、前記結晶構造が不規則な構造となる不規則構造が含まれ、
   前記結晶構造に占める前記不規則構造の割合は、５．７０ｗｔ％以上３１．７４ｗｔ％以下であること、
   を特徴とする軟磁性粉末の製造方法。
6. 前記請求項５記載の前記軟磁性粉末によって構成された圧粉磁心の製造方法であって、
   前記粉末熱処理工程を経た前記軟磁性粉末を加圧成形して成形体を作製する成形工程と、
   前記成形体を６００℃以上８００℃以下で焼鈍する焼鈍工程と、
   を有すること、
   を特徴とする圧粉磁心の製造方法。
   

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