JP2021024048A - 固定用冶具 - Google Patents
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Abstract
Description
(固定用冶具の構成)
本発明の第1の実施形態に係る固定用冶具の構成について、図1〜図4を参照しながら説明する。
エジェクタ42は、圧縮空気を利用して、吸引口22から空気を吸引するための負圧を発生させる負圧発生部の機能を有する。例えば、エジェクタ42は、内部を通過する圧縮空気の流速を大きくして、吸引口22から空気を吸引する負圧を発生させる。
固定用冶具1を介してワークWを載置台90に固定する際の作業者の作業例について、説明する。
第1の実施形態の固定用冶具1は、支持部20を囲む上スリーブ30と、支持部20の吸引口22から上吸引領域R1の空気を吸引する吸引部40とを有する。吸引部40は、上スリーブ30を弾性変形させながらワークWを支持部20に吸着させる。
これにより、吸引部40がワークWを支持部20に吸着させる際に、上吸引領域R1を囲む上スリーブ30の先端32aが弾性変形してワークWに密着する。これにより、上吸引領域R1の気密性を高めることができる。
比較例では、本実施形態とは異なり、上スリーブ30を設けずにワークWを支持部20に吸着させるものとする。この比較例では、ワークWの吸着面W1の表面粗さが大きいと、吸着面と支持部20の間に隙間が生じてしまい、当該隙間から上吸引領域R1に空気が流入するおそれがある。そして、吸引部40の吸引能力を超える空気が上吸引領域R1に流入すると、吸引力が低下してしまい、ワークWを支持部20に適切に吸着させることができない。
これに対して、本実施形態のように上スリーブ30を設ける場合には、上スリーブ30が弾性変形して吸着面W1に密着することで、上スリーブ30と吸着面W1の間に隙間が発生しないため、上吸引領域R1に空気が流入しない(気密性が高い)。この結果、吸引部40による吸引力の低下を抑制できるので、ワークWを支持部20に適切に吸着できる。
第2の実施形態に係る固定用冶具の構成について、図5及び図6を参照しながら説明する。以下では、主に、第1の実施形態の構成と異なる第2の実施形態の構成について説明する。
第3の実施形態に係る固定用冶具の構成について、図7〜図11を参照しながら説明する。以下では、主に、第1の実施形態及び第2の実施形態の構成と異なる第3の実施形態の構成について説明する。
第4の実施形態に係る固定用冶具の構成について、図12を参照しながら説明する。
第4の実施形態に係る固定用冶具1がワークWを支持する構成は、第3の実施形態と同様である。具体的には、第4の実施形態に係る固定用冶具1も、支持部120を囲む上スリーブ130を有する。
第5の実施形態に係る固定用冶具の構成について、図13及び図14を参照しながら説明する。
第6の実施形態に係る固定用冶具の構成について、図15を参照しながら説明する。
吸引口262から空気が吸引される際に、弾性を有する囲み部272の先端272aが載置台90に押圧されて弾性変形する。弾性変形した下スリーブ270の先端272aは、載置台90に密着する。
10 本体部
20 支持部
22 吸引口
24 凸部
28 吸引路
30 上スリーブ
32 囲み部
34 固定部
40 吸引部
42 エジェクタ
50 凹部
52 下吸引口
90 載置台
124 球体
160 吸着切替部
162 弁体
270 下スリーブ
R1 上吸引領域
R2 下吸引領域
W ワーク
Claims (10)
- ワークを載置台に固定する固定用治具であって、
本体部と、
前記本体部に設けられ、前記ワークを支持する支持部と、
弾性を有し、前記支持部を囲むようにリング状に設けられ先端が前記支持部よりも突出するリング状弾性部と、
前記支持部に設けられた吸引口から、前記支持部、前記リング状弾性部及び前記ワークに囲まれた領域の空気を吸引して、前記リング状弾性部を弾性変形させながら前記ワークを前記支持部に吸着させる吸引部と、
を備える、固定用治具。 - 前記リング状弾性部は、円板状の前記支持部の周面を囲んでおり、先端側が半径方向の外方に位置するようにテーパ状に形成された囲み部を有する、
請求項1に記載の固定用冶具。 - 前記支持部は、前記支持部の前記吸引口が設けられた上面から互いに離れて突出している3つの凸部を有し、
前記リング状弾性部の先端は、前記凸部に形成された前記ワークを支持する凸支持面よりも突出している、
請求項1又は2に記載の固定用冶具。 - 前記支持部は、中心に回動可能に設けられた球体を有し、
前記リング状弾性部の先端は、前記球体に形成された前記ワークを支持する球体支持面よりも突出している、
請求項1から3のいずれか1項に記載の固定用冶具。 - 前記支持部、前記リング状弾性部及び前記球体がそれぞれ設けられた3つの前記本体部を備え、
3つの前記球体に形成された前記球体支持面が、前記ワークを支持する、
請求項4に記載の固定用冶具。 - 前記吸引部は、前記本体部の外周もしくはチューブを介して離隔した位置に設けられ、前記領域の空気を吸引するために負圧を発生させる負圧発生部を有し、
前記本体部は、内部に形成され前記吸引口と前記負圧発生部を結ぶ吸引路を有する、
請求項1から5のいずれか1項に記載の固定用冶具。 - 前記吸引口は、第1吸引口であり、
前記本体部は、前記載置台に対向する対向部を有し、
前記吸引部は、前記対向部に設けられた第2吸引口から前記対向部と前記載置台の間の空気を吸引して前記本体部を前記載置台に吸着させる、
請求項1から6のいずれか1項に記載の固定用冶具。 - 前記リング状弾性部は、第1リング状弾性部であり、
弾性を有し、前記対向部を囲むようにリング状に設けられ先端が前記対向部よりも突出する第2リング状弾性部を更に備え、
前記吸引部は、前記第2吸引口から、前記対向部、前記第2リング状弾性部及び前記載置台に囲まれた領域の空気を吸引して、前記第2リング状弾性部を弾性変形させながら前記本体部を前記載置台に吸着させる、
請求項7に記載の固定用冶具。 - 前記ワークが前記支持部に支持されていない状態では、前記第2吸引口から空気を吸引して前記本体部を前記載置台に吸着させる第1吸着状態にし、前記ワークが前記支持部に支持されると、前記第1吸引口及び前記第2吸引口から空気を吸引して前記本体部を前記載置台に吸着させると共に前記ワークを前記支持部に吸着させる第2吸着状態にする吸着切替部を更に備える、
請求項7又は8に記載の固定用冶具。 - 前記本体部は、内部に形成され、前記第1吸引口、前記第2吸引口及び前記吸引部の間を結ぶ吸引路を有し、
前記吸着切替部は、前記吸引路内に先端側が前記第1吸引口から突出するように付勢された弁体を有し、
前記弁体は、
前記ワークが前記支持部に支持されていない状態では、前記吸引路の前記第1吸引口側を閉塞する閉塞位置に位置し、
前記ワークが前記支持部に支持されると、前記ワークによって押されて下方に移動して閉塞状態を開放する開放位置に位置する、
請求項9に記載の固定用冶具。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5453369U (ja) * | 1977-09-20 | 1979-04-13 | ||
JPS556589U (ja) * | 1978-06-27 | 1980-01-17 | ||
JPH04300168A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-23 | Fujitsu Ltd | 真空吸着装置 |
JPH0584682A (ja) * | 1991-03-29 | 1993-04-06 | Hitachi Ltd | 真空チヤツク装置 |
JPH07204961A (ja) * | 1994-01-21 | 1995-08-08 | Myotoku Kk | 真空チャック |
KR101347397B1 (ko) * | 2013-08-19 | 2014-01-06 | 마이다스시스템주식회사 | 마스크 얼라이너용 에어부양식 진공척 레벨링장치 |
JP2014184502A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 吸着パッド及びワーク加工装置 |
JP2017220483A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 真空チャック及び真空チャックの製造方法 |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5453369U (ja) * | 1977-09-20 | 1979-04-13 | ||
JPS556589U (ja) * | 1978-06-27 | 1980-01-17 | ||
JPH04300168A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-23 | Fujitsu Ltd | 真空吸着装置 |
JPH0584682A (ja) * | 1991-03-29 | 1993-04-06 | Hitachi Ltd | 真空チヤツク装置 |
JPH07204961A (ja) * | 1994-01-21 | 1995-08-08 | Myotoku Kk | 真空チャック |
JP2014184502A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 吸着パッド及びワーク加工装置 |
KR101347397B1 (ko) * | 2013-08-19 | 2014-01-06 | 마이다스시스템주식회사 | 마스크 얼라이너용 에어부양식 진공척 레벨링장치 |
JP2017220483A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 真空チャック及び真空チャックの製造方法 |
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