JP2016092316A - マスク吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスク吸着装置は、ウエハを載置するホルダと、磁性を有するマスクを保持する保持部と、保持部をホルダ上に載置されたウエハに近接離間させる移動機構と、マスクの周縁部以外の部分をウエハに対して凸とするようにマスクに対して磁力を発生させる磁力発生部と、を備える。
【選択図】図3
Description
図1は、第1実施形態としてのマスク吸着装置1の概略構成を示す説明図である。図2は、図1におけるX矢視図である。マスク吸着装置1は、搬送ロボット10と磁力発生部20とウエハホルダ30とを備えている。ウエハホルダ30は、その上面に載置されたウエハ40を保持する。搬送ロボット10は、ウエハ40の鉛直上方に配置されてマスク50を保持する。磁力発生部20は、ウエハ40の鉛直下方に配置されて磁力によってウエハ40を介してマスク50をウエハ40に吸着させる。
図8は、第2実施形態としてのマスク吸着装置1aの概略構成を示す説明図である。第1実施形態と異なる点のみ記載する。第2実施形態において、磁力発生部20aは一体であり複数の磁石202を備えている。複数の磁石202は、磁力発生部20aを上方から見たときにマスク50の中央部に対応する位置に近いほど密に配置されており、マスク50の周縁部に対応する位置に近いほど疎に配置されている。そのため、磁力発生部20aは、マスク50の周縁部よりもマスク50の中央部を引き寄せる力が強くなっている。従って、第2実施形態によれば、磁力発生部20aをウエハホルダ30に近づけるだけで、マスク50の中央部をマスクに対して凸とするようにマスクに対して磁力を発生させることができる。そのため、マスク50の中央部から周縁部へ向かってマスク50をしだいにウエハ40に吸着させることができ、ウエハ40に吸着後のマスク50に大きな歪みが残ることを抑制することができる。
図9は、第3実施形態としてのマスク吸着装置1bの概略構成を示す説明図である。第1実施形態と異なる点のみ記載する。第3実施形態において、磁力発生部20bは一体であり、複数の一対の磁石200、201が水平方向に均等に配置されている。搬送ロボット10bは本体11およびノズル12に加え、本体11に備えられた支持部70を備えている。本体11を上方から見たときに、支持部70は本体11におけるマスク50の中央部に対応する位置に配置されている。支持部70は、本体11の下面からウエハ40に向かって伸びており、ノズル12の先端部よりも支持部70の先端部はウエハ40に近い。これにより、マスク50の中央部をウエハに対して凸とするように、マスクに対して磁力を発生させて、マスク50の周縁部より先にウエハ40に近づけることができる。そのため、マスク50の中央部からマスク50の周縁部に向かってマスク50をウエハ40に吸着させることができ、ウエハ40に吸着後のマスク50に大きな歪みが残ることを抑制することができる。なお、支持部70はノズル12と同様に先端部に吸引孔を設けて、マスク50を保持する構造であってもよい。
図10は、第4実施形態としてのマスク吸着装置1cの概略構成を示す説明図である。第1実施形態と異なる点のみ記載する。第4実施形態において、磁力発生部20bは第3実施形態と同様である。搬送ロボット10cは、本体11と、本体11に備えられた第1ノズル13および第2ノズル14を備える。本体11を上方から見たときに、第1ノズル13および第2ノズル14は、マスク50の周縁部に対応する位置に配置される。第1ノズル13および第2ノズル14は、本体11の下面からウエハ40に向かって伸びており、第1ノズル13の先端部は第2ノズル14の先端部よりもウエハ40に近い。この時に、磁力発生部20bがマスク50に対して磁力を発生させると、マスク50は周縁部同士を結んだ直線に対してマスク50の一部がウエハ40に対して凸となるようにできる。これにより、マスク50の周縁部以外の部分マスク50の周縁部よりウエハ40に近づけることができるので、マスク50の大きな歪みを周縁部以外の部分から周縁部に逃がしつつマスク50をウエハ40に吸着させることができる。そのため、第4実施形態によってもウエハ40に吸着後のマスク50に大きな歪みが残ることを抑制することができる。
<変形例1>
上記実施形態では、ノズル12の数は8個であったが、ノズル12の数は8個に限られず、2個以上好ましくは3個以上であってもよい。
上記実施形態では、搬送ロボット10がマスク50の位置合わせを行ったが、ウエハホルダ30がマスク50の位置合わせを行ってもよい。
上記実施形態では、搬送ロボット10がウエハホルダ30に接近することでマスク50をウエハ40に相対的に接近させたが、ウエハホルダ30が搬送ロボット10に接近してもよい。
第1実施形態では、マスク50をウエハ40に対して点あるいは局所的な面で接触させたが、第1磁石ユニット21をウエハ40の直径方向に延伸した構造とすることにより、マスク50をウエハ40に対して線状に接触させてもよい。
第1実施形態から第3実施形態では、ウエハに対して凸とするマスク50の部分は、マスク50の中央部であったが、ウエハに対して凸とするマスク50の部分をマスク50の中央部以外の部分としてもよい。
10、10b、10c…搬送ロボット
11…本体
12…ノズル
13…第1ノズル
14…第2ノズル
20、20a、20b…磁力発生部
21…第1磁石ユニット
22…第2磁石ユニット
30…ウエハホルダ
31…凹部
40…ウエハ
50…マスク
51…孔
60…スパッタ膜
70…支持部
200、201、202…磁石
A…磁力線
B…狙い幅
Claims (1)
- ウエハを載置するホルダと、
磁性を有するマスクを保持する保持部と、
前記保持部を前記ホルダ上に載置された前記ウエハに近接離間させる移動機構と、
前記マスクの周縁部以外の部分を前記ウエハに対して凸とするように前記マスクに対して磁力を発生させる磁力発生部と、
を備えることを特徴とするマスク吸着装置。
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