JP2021012916A - 処理液除去方法、および、処理液除去装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本実施の形態に関する処理液除去方法、および、処理液除去装置について説明する。
図1は、本実施の形態に関する基板処理装置100の構成の例を概略的に示す図である。なお、構成を理解しやすくする観点から、当該図面においては、一部の構成要素が省略、または、簡略化されて示される場合がある。
次に、図3から図7を参照しつつ、本実施の形態に関する基板処理装置100の動作を説明する。
本実施の形態に関する処理液除去方法、および、処理液除去装置について説明する。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成要素と同様の構成要素については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
本実施の形態に関する基板処理装置100は、第1の実施の形態に示されたものと同様の構成であるため、詳細な説明は省略する。ただし、本実施の形態においては、裏面遮断板170が備えられていなくてもよい。
次に、図8を参照しつつ、本実施の形態に関する基板処理装置100の動作を説明する。
本実施の形態に関する処理液除去方法、および、処理液除去装置について説明する。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成要素と同様の構成要素については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図9は、本実施の形態に関する基板処理装置100Bの構成の例を概略的に示す図である。なお、構成を理解しやすくする観点から、当該図面においては、一部の構成要素が省略、または、簡略化されて示される場合がある。
次に、図10を参照しつつ、本実施の形態に関する基板処理装置100Bの動作を説明する。
次に、以上に記載された実施の形態によって生じる効果の例を示す。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態に例が示された具体的な構成に基づいて当該効果が記載されるが、同様の効果が生じる範囲で、本願明細書に例が示される他の具体的な構成と置き換えられてもよい。
以上に記載された実施の形態において、洗浄処理および乾燥処理は、複数枚分の基板Wに対する薬液処理が終了した後で、まとめて行われてもよい。
Claims (21)
- 第1の面を有し、かつ、前記第1の面の法線方向を回転軸として回転可能な回転部と、前記第1の面に対向する第2の面を有する対向部とを備える処理装置を用いる処理液除去方法であり、
少なくとも、前記第1の面と前記第2の面との間の領域である隙間領域に処理液を供給する工程と、
前記第1の面と前記第2の面とを近接させた状態で前記回転部を回転させることによって、前記第2の面に付着している前記処理液を除去する工程とを備える、
処理液除去方法。 - 請求項1に記載の処理液除去方法であり、
前記対向部は、回転しない、
処理液除去方法。 - 請求項1または2に記載の処理液除去方法であり、
前記処理液を除去する工程では、前記第2の面に付着している前記処理液が前記第1の面に接触している状態で前記回転部を回転させる、
処理液除去方法。 - 請求項1から3のうちのいずれか1つに記載の処理液除去方法であり、
前記処理液が前記隙間領域に供給されている間は、前記処理液を除去する工程よりも、前記第1の面と前記第2の面とを離間させる、
処理液除去方法。 - 請求項4に記載の処理液除去方法であり、
前記処理液が前記隙間領域に供給されている間前記第1の面と前記第2の面とを離間させた後、前記処理液を除去する工程において前記第1の面と前記第2の面とを近接させる、
処理液除去方法。 - 請求項4に記載の処理液除去方法であり、
前記処理液を除去する工程の後、前記処理液が前記隙間領域に供給されている間前記第1の面と前記第2の面とを離間させる、
処理液除去方法。 - 請求項1から6のうちのいずれか1つに記載の処理液除去方法であり、
前記対向部における前記第2の面は、前記第1の面に沿う面において移動可能なノズルにおける前記第1の面に対向する端面であり、
前記処理液を除去する工程では、前記ノズルを前記回転部の中心よりも外縁側に位置させる、
処理液除去方法。 - 請求項1から7のうちのいずれか1つに記載の処理液除去方法であり、
前記処理液を除去する工程では、前記隙間領域に気体を供給する、
処理液除去方法。 - 請求項1から8のうちのいずれか1つに記載の処理液除去方法であり、
前記回転部は、あらかじめ定められた形状の基板であるダミー基板である、
処理液除去方法。 - 請求項1から9のうちのいずれか1つに記載の処理液除去方法であり、
前記処理液を除去する工程では、前記第2の面を加熱する、
処理液除去方法。 - 請求項1から10のうちのいずれか1つに記載の処理液除去方法であり、
前記処理液は、前記回転部を処理するための薬液、または、前記回転部または前記対向部のうちの少なくとも一方を洗浄するための洗浄液である、
処理液除去方法。 - 第1の面を有し、かつ、前記第1の面の法線方向を回転軸として回転可能な回転部と、
前記第1の面に対向する第2の面を有する対向部と、
少なくとも、前記第1の面と前記第2の面との間の領域である隙間領域に処理液を供給するための処理液供給部と、
前記第1の面と前記第2の面とを近接させた状態で前記回転部を回転させることによって、前記第2の面に付着している前記処理液を除去するための制御部とを備える、
処理液除去装置。 - 請求項12に記載の処理液除去装置であり、
前記対向部は、回転しない、
処理液除去装置。 - 請求項12または13に記載の処理液除去装置であり、
前記制御部は、前記第2の面に付着している前記処理液が前記第1の面に接触している状態で前記回転部を回転させる、
処理液除去装置。 - 請求項12から14のうちのいずれか1つに記載の処理液除去装置であり、
前記回転部または前記対向部のうちの少なくとも一方を、他方に対して接近または離間させるための移動部をさらに備え、
前記制御部は、前記移動部によって前記第1の面と前記第2の面とを近接させた状態で前記回転部を回転させる、
処理液除去装置。 - 請求項15に記載の処理液除去装置であり、
前記制御部は、前記処理液供給部によって前記処理液が前記隙間領域に供給されている間は、前記移動部によって前記第1の面と前記第2の面とを離間させ、かつ、前記第2の面に付着している前記処理液を除去する際は、前記移動部によって前記第1の面と前記第2の面とを近接させる、
処理液除去装置。 - 請求項12から16のうちのいずれか1つに記載の処理液除去装置であり、
前記対向部における前記第2の面は、前記第1の面に沿う面において移動可能なノズルにおける前記第1の面に対向する端面であり、
前記制御部は、前記第2の面に付着している前記処理液を除去する際、前記ノズルを前記回転部の中心よりも外縁側に位置させる、
処理液除去装置。 - 請求項12から17のうちのいずれか1つに記載の処理液除去装置であり、
少なくとも、前記第2の面に付着している前記処理液を除去する際に、前記隙間領域に気体を供給する気体供給部をさらに備える、
処理液除去装置。 - 請求項12から18のうちのいずれか1つに記載の処理液除去装置であり、
前記回転部は、あらかじめ定められた形状の基板であるダミー基板である、
処理液除去装置。 - 請求項12から19のうちのいずれか1つに記載の処理液除去装置であり、
前記第2の面を加熱する加熱部をさらに備える、
処理液除去装置。 - 請求項12から20のうちのいずれか1つに記載の処理液除去装置であり、
前記処理液は、前記回転部を処理するための薬液、または、前記回転部または前記対向部のうちの少なくとも一方を洗浄するための洗浄液である、
処理液除去装置。
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