JP2020522129A5

JP2020522129A5 -

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Publication number: JP2020522129A5
Application number: JP2019564789A
Authority: JP
Filing date: 2018-05-25
Publication date: 2021-07-26
Anticipated expiration: 2038-05-25

Description

１つ以上の開示される実装の詳細が、付随する図面および下記の説明に記載される。他の特徴、側面、および利点が、説明、図面、および請求項から明白となるであろう。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
（項目１）
両面インプリンティング方法であって、
第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って第２のウェブを延伸することであって、前記第１のウェブは、第１のテンプレートを備え、前記第２のウェブは、第２のテンプレートを備える、ことと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートが相互と整合されるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることと、
第１の方向へ前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸して、前記第１のテンプレートを第１のディスペンサに暴露し、第２の方向へ前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸して、前記第２のテンプレートを第２のディスペンサに暴露することと、
前記第１のディスペンサによって前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注し、前記第２のディスペンサによって前記第２のテンプレート上に第２のレジストを分注することと、
前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートおよび前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートが相互に面するように、前記第１の方向と逆の方向へ前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、前記第２の方向と逆の方向へ前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸することと、
前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートと前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートとの間に基板を挿入することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
（項目２）
前記整合させることの後に、圧着された第１のウェブおよび第２のウェブが、相互と整合される前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを伴って移動されるように、前記参照マークに隣接する場所で前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着することと、
前記硬化させることの後に、前記硬化した第１のレジストおよび第２のレジストを伴う前記基板が、前記第１のウェブと前記第２のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着解除することと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目３）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着することは、チャックが前記第１のウェブ上にあり、クランプが前記第２のウェブ上にあるように、前記クランプを用いて前記チャックを作動させることを含む、項目２に記載の方法。
（項目４）
前記チャックは、真空を用いて前記第１のウェブ上にチャックするように構成される真空チャックを備える、項目３に記載の方法。
（項目５）
前記チャックは、前記第１のローラによって画定される軸と平行なレールに沿って移動可能であるように構成され、
前記チャックおよび前記クランプは、前記圧着後に前記第１のウェブおよび前記第２のウェブとともに移動される、
項目３に記載の方法。
（項目６）
前記チャックは、一対のガイド上に位置付けられ、前記ガイドはそれぞれ、フレームに接続される個別のレール上で移動可能である、項目５に記載の方法。
（項目７）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに前記個別のレール上の前記ガイドの相対位置を調節することを含む、項目６に記載の方法。
（項目８）
前記第１のローラおよび前記第２のローラは、前記挿入することの後に、前記基板が、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートとともに移動され、前記第１のレジストが、前記基板の第１の側面上に押圧され、前記第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填され、前記第２のレジストが、前記基板の第２の側面上に押圧され、前記第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列される、項目１に記載の方法。
（項目９）
前記第１のレジストが前記第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第１のウェブ上で第１のスキージローラを移動させ、前記第１のテンプレートを前記第１のレジストの中に押動させることと、
前記第２のレジストが前記第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第２のウェブ上で第２のスキージローラを移動させ、前記第２のテンプレートを前記第２のレジストの中に押動させることと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目１０）
前記第１のスキージローラおよび前記第２のスキージローラは、前記第１のスキージおよび前記第２のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられる、項目９に記載の方法。
（項目１１）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、前記第１のウェブ上の第１の参照マークを前記第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させ、前記第１のウェブ上の第３の参照マークを前記第２のウェブ上の第４の参照マークと整合させることを含む、項目１に記載の方法。
（項目１２）
前記第１の参照マークおよび前記第３の参照マークは、前記基板が前記第１のテンプレートを用いてインプリントされるように構成される、範囲を画定する、項目１１に記載の方法。
（項目１３）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに前記第１のローラのうちのｚローラを移動させることを含む、項目１に記載の方法。
（項目１４）
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも１つを使用することによって、前記参照マークの場所を特定することを含む、項目１に記載の方法。
（項目１５）
前記第１のローラは、空気圧によって前記第１のウェブを浮動させるように構成される少なくとも１つのエアターンローラを備える、項目１に記載の方法。
（項目１６）
前記第１のローラは、真空によって前記第１のウェブをチャックするように構成される少なくとも１つのエアターンローラを備える、項目１に記載の方法。
（項目１７）
前記第１の方向は、反時計回り方向であり、前記第２の方向は、時計回り方向である、項目１に記載の方法。
（項目１８）
前記第１のローラは、垂直方向に配列される２つの第１のｚローラを備え、前記第２のローラは、前記垂直方向に配列される２つの第２のｚローラを備える、項目１に記載の方法。
（項目１９）
前記第１のディスペンサによって前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注することは、前記第１のテンプレートが水平方向にあるときに前記第１のテンプレート上に前記第１のレジストを分注することを含み、
前記第２のディスペンサによって前記第２のテンプレート上に第２のレジストを分注することは、前記第２のテンプレートが前記水平方向にあるときに前記第２のテンプレート上に前記第２のレジストを分注することを含む、
項目１８に記載の方法。
（項目２０）
前記基板を挿入することは、挿入方向に沿って第１のホルダによって前記基板を挿入することを含み、
前記基板を装填解除することは、
前記挿入方向と逆の方向に沿って、前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、前記第１のホルダによって前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること、および
前記挿入方向に沿って前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、第２の異なるホルダによって前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること
のうちの１つを含む、項目１に記載の方法。
（項目２１）
第１の張力センサによって前記第１のウェブの第１の張力を測定することと、
第２の張力センサによって前記第２のウェブの第２の張力を測定することと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２２）
少なくとも前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを包囲するチャンバの温度および清浄度のうちの少なくとも１つを制御することをさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２３）
前記第１のテンプレートをインプリンティング領域の中に延伸する前に、前記第１のウェブが静的であるときに、前記第１のローラのうちの１つの上流に位置付けられる検出システムを使用して、前記第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定することをさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２４）
前記基板上の参照マークを用いて、前記第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定することと、
前記第１のウェブ上の前記第１の参照マークを前記基板上の前記参照マークと整合させることと、
前記整合の後に、前記第１のテンプレートが前記基板のインプリンティング開始位置と同期してインプリンティング開始位置まで移動されるように、前記第１の参照マークを圧着し、前記第１のウェブを移動させることと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２５）
前記第１のウェブの縁上に配列される１つ以上のセンサによって、前記第１のウェブの角度を測定することと、
前記第１のウェブの測定された角度に基づいて、前記基板を再配置することと
をさらに含む、項目１に記載の方法。
（項目２６）
両面インプリンティングのためのシステムであって、
第１のテンプレートを含む第１のウェブを移動させるための第１のローラと、
第２のテンプレートを含む第２のウェブを移動させるための第２のローラと、
整合システムであって、前記整合システムは、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートが相互と整合されるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させるように構成される、整合システムと、
第１のディスペンサであって、前記第１のディスペンサは、前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するように構成される、第１のディスペンサと、
第２のディスペンサであって、前記第２のディスペンサは、前記第２のテンプレート上に第２のレジストを分注するように構成される、第２のディスペンサと、
装填システムであって、前記装填システムは、前記第１のテンプレートと前記第２のテンプレートとの間に基板を挿入するように構成される、装填システムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させるように構成される、光源と
を備え、
動作時、前記第１のウェブは、前記第１のテンプレートを前記第１のディスペンサに暴露するように第１の方向へ前記第１のローラに沿って延伸され、前記第２のウェブは、前記第２のテンプレートを前記第２のディスペンサに暴露するように第２の方向へ前記第２のローラに沿って延伸され、次いで、前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートおよび前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートが相互に面するように、前記第１のウェブは、前記第１の方向と逆の方向へ前記第１のローラに沿って延伸され、前記第２のウェブは、前記第２の方向と逆の方向へ前記第２のローラに沿って延伸される、
システム。
（項目２７）
両面インプリンティング方法であって、
第１のローラに沿って第１のウェブを延伸することであって、前記第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを備える、ことと、
前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注することと、
基板の第１の側面が前記第１のテンプレート上の前記第１のレジストと接触するように、前記第１のテンプレート上に前記基板を装填することと、
前記基板が前記第１のテンプレートとともに移動可能であるように、前記第１のテンプレート上に前記基板を圧着することと、
前記基板の第２の側面上に第２のレジストを分注することと、
第２のインプリンティング特徴が前記第１のインプリンティング特徴と整合されるように、前記第１のウェブ上の第１の参照マークを、前記第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させることと、
前記整合させることの後に、同一の速度で同時に、前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
（項目２８）
両面インプリンティングのためのシステムであって、
第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを含む第１のウェブを移動させるための第１のローラと、
第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む第２のウェブを移動させるための第２のローラと、
第１のディスペンサであって、前記第１のディスペンサは、前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注するように構成される、第１のディスペンサと、
装填システムであって、前記装填システムは、基板の第１の側面が前記第１のテンプレート上の前記第１のレジストと接触するように、前記第１のテンプレート上に前記基板を装填するように構成される、装填システムと、
圧着システムであって、前記圧着システムは、前記基板が前記第１のウェブとともに移動可能であるように、前記第１のウェブ上に前記基板を圧着するように構成される、圧着システムと、
第２のディスペンサであって、前記第２のディスペンサは、前記基板の第２の側面上に第２のレジストを分注するように構成される、第２のディスペンサと、
位置決めシステムであって、前記位置決めシステムは、第１の参照マークを第２の参照マークと整合させるために、前記第２のウェブ上に前記第２の参照マークを伴って、前記第１のウェブ上の第１の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させるように構成される、光源と、
装填解除システムであって、前記装填解除システムは、前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除するように構成される、装填解除システムと
を備え、
前記第１の参照マークおよび前記第２の参照マークが相互と整合された後に、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブは、同一の速度で同時に延伸される、
システム。
（項目２９）
両面インプリンティング方法であって、
第１のウェブの第１のテンプレートおよび第２のウェブの第２のテンプレートが、インプリンティングゾーンの中にともに運ばれるまで、第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸することと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートのための参照マークを整合させることと、
基板の第１の側面上に第１のレジストを分注し、前記基板の第２の側面上に第２のレジストを分注することと、
前記第１のテンプレートと前記第２のテンプレートとの間の前記インプリンティングゾーンの中に前記基板を送給することと、
前記第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のテンプレートの第１のインプリンティング特徴の中に充填し、前記第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のテンプレートの第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記基板上に前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを押圧することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
（項目３０）
両面インプリンティング方法であって、
第１のローラおよび第２のローラに沿って、第１のウェブを延伸することであって、前記第１のウェブは、第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを備える、ことと、
第３のローラおよび第４のローラに沿って、第２のウェブを延伸することであって、前記第２のウェブは、第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを備え、前記第１のローラおよび前記第３のローラは、相互の反対に位置付けられ、ニップを画定する、ことと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートのための参照マークを整合させることと、
基板の第１の側面および前記第１のテンプレートのうちの１つの上に第１のレジストを分注することと、
前記基板の第２の側面および前記第２のテンプレートのうちの１つの上に第２のレジストを分注することと、
前記第１のレジストが、前記第１のローラによって、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴の中に圧入され、前記第２のレジストが、前記第３のローラによって、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴の中に圧入されるように、同時に、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを前記ニップの中に延伸し、前記基板の第１の側面に面する前記第１のインプリンティング特徴および前記基板の第２の側面に面する前記第２のインプリンティング特徴を伴って、前記ニップの中に前記基板を送給することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
（項目３１）
両面インプリンティングのためのシステムであって、
第１のローラであって、前記第１のローラは、第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを含む第１のウェブを移動させるように構成される、第１のローラと、
第２のローラであって、前記第２のローラは、第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む第２のウェブを移動させるように構成される、第２のローラと、
レジストを分注するように構成される１つ以上のディスペンサと、
位置決めシステムであって、前記位置決めシステムは、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを整合させるための前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記レジストを硬化させるように構成される、光源と、
移動システムであって、前記移動システムは、前記第１のテンプレートと前記第２のテンプレートとの間に前記基板を送給し、前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除するように構成される、移動システムと
を備える、システム。

Claims

両面インプリンティング方法であって、
第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って第２のウェブを延伸することであって、前記第１のウェブは、第１のテンプレートを備え、前記第２のウェブは、第２のテンプレートを備える、ことと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートが相互と整合されるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることと、
第１の方向へ前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸して、前記第１のテンプレートを第１のディスペンサに暴露し、第２の方向へ前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸して、前記第２のテンプレートを第２のディスペンサに暴露することと、
前記第１のディスペンサによって前記第１のテンプレート上に第１のレジストを分注し、前記第２のディスペンサによって前記第２のテンプレート上に第２のレジストを分注することと、
前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートおよび前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートが相互に面するように、前記第１の方向と逆の方向へ前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、前記第２の方向と逆の方向へ前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸することと、
前記第１のレジストを伴う前記第１のテンプレートと前記第２のレジストを伴う前記第２のテンプレートとの間に基板を挿入することと、
硬化した第１のレジストが、前記基板の第１の側面上の前記第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の第２の側面上の前記第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させることと、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。
前記整合させることの後に、圧着された第１のウェブおよび第２のウェブが、相互と整合される前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを伴って移動されるように、前記参照マークに隣接する場所で前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着することと、
前記硬化させることの後に、前記硬化した第１のレジストおよび第２のレジストを伴う前記基板が、前記第１のウェブと前記第２のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着解除することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブを圧着することは、チャックが前記第１のウェブ上にチャックされ、クランプが前記第２のウェブ上に圧着されるように、前記クランプを用いて前記チャックを作動させることを含む、請求項２に記載の方法。
前記チャックは、真空を用いて前記第１のウェブ上にチャックするように構成される真空チャックを備える、請求項３に記載の方法。
前記チャックは、移動可能であり、
前記チャックおよび前記クランプは、前記圧着後に前記第１のウェブおよび前記第２のウェブとともに移動される、
請求項３に記載の方法。
前記チャックは、一対のガイド上に位置付けられ、前記一対のガイドの各ガイドは、フレームに接続される個別のレール上で移動可能である、請求項５に記載の方法。
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の前記参照マークを整合させることは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに前記個別のレール上の前記一対のガイドの相対位置を調節することを含む、請求項６に記載の方法。
前記第１のローラおよび前記第２のローラは、前記挿入することの後に、前記基板が、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートとともに移動され、前記第１のレジストが、前記基板の第１の側面上に押圧され、前記第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填され、前記第２のレジストが、前記基板の第２の側面上に押圧され、前記第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列され、
前記基板の前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴は、前記第１のテンプレート上の前記第１のインプリンティング特徴に対応し、前記基板の前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴は、前記第２のテンプレート上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する、請求項１に記載の方法。
前記第１のレジストが前記第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第１のウェブ上で第１のスキージローラを移動させ、前記第１のテンプレートを前記第１のレジストの中に押動させることと、
前記第２のレジストが前記第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第２のウェブ上で第２のスキージローラを移動させ、前記第２のテンプレートを前記第２のレジストの中に押動させることと
をさらに含み、
前記基板の前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴は、前記第１のテンプレート上の前記第１のインプリンティング特徴に対応し、前記基板の前記第２の側面上の前記第２のインプリントされた特徴は、前記第２のテンプレート上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する、請求項１に記載の方法。
前記第１のスキージローラおよび前記第２のスキージローラは、前記第１のスキージおよび前記第２のスキージがともに移動されるとき、相互と反対に位置付けられる、請求項９に記載の方法。
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の参照マークを整合させることは、前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの第１のものを前記第２のウェブ上の前記参照マークのうちの第２のものと整合させ、前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの第３のものを前記第２のウェブ上の前記参照マークのうちの第４のものと整合させることを含む、請求項１に記載の方法。
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の前記参照マークが整合させられた後、前記参照マークのうちの前記第１のものおよび前記参照マークのうちの前記第３のものによって画定される前記第１のテンプレートの範囲を用いて前記基板をインプリントすることをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の前記参照マークを整合させることは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに前記第１のローラのうちのｚローラを移動させることを含む、請求項１に記載の方法。
前記第１のウェブおよび前記第２のウェブ上の前記参照マークを整合させることは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも１つを使用することによって、前記参照マークの場所を特定することを含む、請求項１に記載の方法。
前記第１のローラは、空気圧を用いて前記第１のウェブを浮動させる少なくとも１つのエアターンローラを備える、請求項１に記載の方法。
前記第１のローラは、真空を用いて前記第１のウェブをチャックする少なくとも１つのエアターンローラを備える、請求項１に記載の方法。
前記第１の方向は、反時計回り方向であり、前記第２の方向は、時計回り方向である、請求項１に記載の方法。
前記第１のローラは、垂直方向に配列される２つの第１のｚローラを備え、前記第２のローラは、前記垂直方向に配列される２つの第２のｚローラを備える、請求項１に記載の方法。
前記第１のディスペンサによって前記第１のテンプレート上に前記第１のレジストを分注することは、前記第１のテンプレートが水平方向にあるときに前記第１のテンプレート上に前記第１のレジストを分注することを含み、
前記第２のディスペンサによって前記第２のテンプレート上に前記第２のレジストを分注することは、前記第２のテンプレートが前記水平方向にあるときに前記第２のテンプレート上に前記第２のレジストを分注することを含む、
請求項１８に記載の方法。
前記基板を挿入することは、挿入方向に沿って第１のホルダによって前記基板を挿入することを含み、
前記基板を装填解除することは、
前記挿入方向と逆の方向に沿って、前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、前記第１のホルダによって前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること、および
前記挿入方向に沿って前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、第２の異なるホルダによって前記第１および第２のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること
のうちの１つを含む、請求項１に記載の方法。
第１の張力センサによって前記第１のウェブの第１の張力を測定することと、
第２の張力センサによって前記第２のウェブの第２の張力を測定することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
少なくとも前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを包囲するチャンバの温度を制御することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記第１のローラのうちの１つの前に位置付けられる検出システムを使用して、前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの第１のものの場所を特定することをさらに含み、前記検出システムは、少なくともカメラシステムまたはレーザシステムを備える、請求項１に記載の方法。
前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの第１のものと、前記基板上の参照マークとの場所を特定することと、
前記第１のウェブ上の前記参照マークのうちの前記第１のものを前記基板上の前記参照マークと整合させることと、
そして、前記第１のテンプレートが前記基板の上に移動されるように、前記第１のウェブを圧着し、前記第１のウェブを移動させることと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記第１のウェブの縁上に配列される１つ以上のセンサによって、前記第１のウェブの角度を測定することと、
前記第１のウェブの測定された角度に基づいて、前記基板を再配置することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。