JP2020522129A - 両面インプリンティング - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2017年5月25日に出願された米国仮出願第62/511,172号の出願日の利益を主張するものである。米国出願第62/511,172の内容は、それらの全体を参照することにより本明細書中に援用される。
(実施例テンプレートチャッキング方法)
(I.ウェブドームを伴う直接環状テンプレートチャッキング)
(II.ガラスドームを伴う間接テンプレートチャッキング)
(III.テンプレート真空チャッキングおよび空気/真空バーチャッキング)
(IV.基板圧力ドームを伴うガラスドームテンプレートバッキングプレート)
(位置決め参照マークおよびインプリンティング整合の実施例)
(例示的スキージローラ)
(例示的シータ調節およびウェブ角度測定)
(両面インプリンティングの実施例)
(I.1ステップ両面インプリント、基板ニップ送給)
(II.二重ガラスドームを用いた1ステップ両面インプリント)
(III.ロール上の基板)
(整合両面インプリントのための例示的ツール)
(同時両面インプリントのための例示的方式)
(例示的両面インプリンティングプロセス)
Claims (31)
- 両面インプリンティング方法であって、
第1のローラに沿って第1のウェブを延伸し、第2のローラに沿って第2のウェブを延伸することであって、前記第1のウェブは、第1のテンプレートを備え、前記第2のウェブは、第2のテンプレートを備える、ことと、
前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートが相互と整合されるように、前記第1のウェブおよび前記第2のウェブ上の参照マークを整合させることと、
第1の方向へ前記第1のローラに沿って前記第1のウェブを延伸して、前記第1のテンプレートを第1のディスペンサに暴露し、第2の方向へ前記第2のローラに沿って前記第2のウェブを延伸して、前記第2のテンプレートを第2のディスペンサに暴露することと、
前記第1のディスペンサによって前記第1のテンプレート上に第1のレジストを分注し、前記第2のディスペンサによって前記第2のテンプレート上に第2のレジストを分注することと、
前記第1のレジストを伴う前記第1のテンプレートおよび前記第2のレジストを伴う前記第2のテンプレートが相互に面するように、前記第1の方向と逆の方向へ前記第1のローラに沿って前記第1のウェブを延伸し、前記第2の方向と逆の方向へ前記第2のローラに沿って前記第2のウェブを延伸することと、
前記第1のレジストを伴う前記第1のテンプレートと前記第2のレジストを伴う前記第2のテンプレートとの間に基板を挿入することと、
硬化した第1のレジストが、前記基板の第1の側面上の前記第1のテンプレートと関連付けられる第1のインプリントされた特徴を有し、硬化した第2のレジストが、前記基板の第2の側面上の前記第2のテンプレートと関連付けられる第2のインプリントされた特徴を有するように、前記第1のレジストおよび前記第2のレジストを硬化させることと、
前記第1の側面上の前記第1のインプリントされた特徴および前記第2の側面上の前記第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。 - 前記整合させることの後に、圧着された第1のウェブおよび第2のウェブが、相互と整合される前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートを伴って移動されるように、前記参照マークに隣接する場所で前記第1のウェブおよび前記第2のウェブを圧着することと、
前記硬化させることの後に、前記硬化した第1のレジストおよび第2のレジストを伴う前記基板が、前記第1のウェブと前記第2のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、前記第1のウェブおよび前記第2のウェブを圧着解除することと
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1のウェブおよび前記第2のウェブを圧着することは、チャックが前記第1のウェブ上にあり、クランプが前記第2のウェブ上にあるように、前記クランプを用いて前記チャックを作動させることを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記チャックは、真空を用いて前記第1のウェブ上にチャックするように構成される真空チャックを備える、請求項3に記載の方法。
- 前記チャックは、前記第1のローラによって画定される軸と平行なレールに沿って移動可能であるように構成され、
前記チャックおよび前記クランプは、前記圧着後に前記第1のウェブおよび前記第2のウェブとともに移動される、
請求項3に記載の方法。 - 前記チャックは、一対のガイド上に位置付けられ、前記ガイドはそれぞれ、フレームに接続される個別のレール上で移動可能である、請求項5に記載の方法。
- 前記第1のウェブおよび前記第2のウェブ上の参照マークを整合させることは、x、y、またはシータ方向のうちの少なくとも1つに前記個別のレール上の前記ガイドの相対位置を調節することを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記第1のローラおよび前記第2のローラは、前記挿入することの後に、前記基板が、前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートとともに移動され、前記第1のレジストが、前記基板の第1の側面上に押圧され、前記第1のテンプレート上の第1のインプリンティング特徴の中に充填され、前記第2のレジストが、前記基板の第2の側面上に押圧され、前記第2のテンプレート上の第2のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のレジストが前記第1のテンプレート上の第1のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第1のウェブ上で第1のスキージローラを移動させ、前記第1のテンプレートを前記第1のレジストの中に押動させることと、
前記第2のレジストが前記第2のテンプレート上の第2のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第2のウェブ上で第2のスキージローラを移動させ、前記第2のテンプレートを前記第2のレジストの中に押動させることと
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1のスキージローラおよび前記第2のスキージローラは、前記第1のスキージおよび前記第2のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられる、請求項9に記載の方法。
- 前記第1のウェブおよび前記第2のウェブ上の参照マークを整合させることは、前記第1のウェブ上の第1の参照マークを前記第2のウェブ上の第2の参照マークと整合させ、前記第1のウェブ上の第3の参照マークを前記第2のウェブ上の第4の参照マークと整合させることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の参照マークおよび前記第3の参照マークは、前記基板が前記第1のテンプレートを用いてインプリントされるように構成される、範囲を画定する、請求項11に記載の方法。
- 前記第1のウェブおよび前記第2のウェブ上の参照マークを整合させることは、x、y、またはシータ方向のうちの少なくとも1つに前記第1のローラのうちのzローラを移動させることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のウェブおよび前記第2のウェブ上の参照マークを整合させることは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも1つを使用することによって、前記参照マークの場所を特定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のローラは、空気圧によって前記第1のウェブを浮動させるように構成される少なくとも1つのエアターンローラを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のローラは、真空によって前記第1のウェブをチャックするように構成される少なくとも1つのエアターンローラを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の方向は、反時計回り方向であり、前記第2の方向は、時計回り方向である、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のローラは、垂直方向に配列される2つの第1のzローラを備え、前記第2のローラは、前記垂直方向に配列される2つの第2のzローラを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のディスペンサによって前記第1のテンプレート上に第1のレジストを分注することは、前記第1のテンプレートが水平方向にあるときに前記第1のテンプレート上に前記第1のレジストを分注することを含み、
前記第2のディスペンサによって前記第2のテンプレート上に第2のレジストを分注することは、前記第2のテンプレートが前記水平方向にあるときに前記第2のテンプレート上に前記第2のレジストを分注することを含む、
請求項18に記載の方法。 - 前記基板を挿入することは、挿入方向に沿って第1のホルダによって前記基板を挿入することを含み、
前記基板を装填解除することは、
前記挿入方向と逆の方向に沿って、前記第1および第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、前記第1のホルダによって前記第1および第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること、および
前記挿入方向に沿って前記第1および第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を移動させ、第2の異なるホルダによって前記第1および第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除すること
のうちの1つを含む、請求項1に記載の方法。 - 第1の張力センサによって前記第1のウェブの第1の張力を測定することと、
第2の張力センサによって前記第2のウェブの第2の張力を測定することと
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 少なくとも前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートを包囲するチャンバの温度および清浄度のうちの少なくとも1つを制御することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のテンプレートをインプリンティング領域の中に延伸する前に、前記第1のウェブが静的であるときに、前記第1のローラのうちの1つの上流に位置付けられる検出システムを使用して、前記第1のウェブ上の第1の参照マークの場所を特定することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記基板上の参照マークを用いて、前記第1のウェブ上の第1の参照マークの場所を特定することと、
前記第1のウェブ上の前記第1の参照マークを前記基板上の前記参照マークと整合させることと、
前記整合の後に、前記第1のテンプレートが前記基板のインプリンティング開始位置と同期してインプリンティング開始位置まで移動されるように、前記第1の参照マークを圧着し、前記第1のウェブを移動させることと
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1のウェブの縁上に配列される1つ以上のセンサによって、前記第1のウェブの角度を測定することと、
前記第1のウェブの測定された角度に基づいて、前記基板を再配置することと
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 両面インプリンティングのためのシステムであって、
第1のテンプレートを含む第1のウェブを移動させるための第1のローラと、
第2のテンプレートを含む第2のウェブを移動させるための第2のローラと、
整合システムであって、前記整合システムは、前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートが相互と整合されるように、前記第1のウェブおよび前記第2のウェブ上の参照マークを整合させるように構成される、整合システムと、
第1のディスペンサであって、前記第1のディスペンサは、前記第1のテンプレート上に第1のレジストを分注するように構成される、第1のディスペンサと、
第2のディスペンサであって、前記第2のディスペンサは、前記第2のテンプレート上に第2のレジストを分注するように構成される、第2のディスペンサと、
装填システムであって、前記装填システムは、前記第1のテンプレートと前記第2のテンプレートとの間に基板を挿入するように構成される、装填システムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第1のレジストが、前記基板の第1の側面上の前記第1のテンプレートと関連付けられる第1のインプリントされた特徴を有し、硬化した第2のレジストが、前記基板の第2の側面上の前記第2のテンプレートと関連付けられる第2のインプリントされた特徴を有するように、前記第1のレジストおよび前記第2のレジストを硬化させるように構成される、光源と
を備え、
動作時、前記第1のウェブは、前記第1のテンプレートを前記第1のディスペンサに暴露するように第1の方向へ前記第1のローラに沿って延伸され、前記第2のウェブは、前記第2のテンプレートを前記第2のディスペンサに暴露するように第2の方向へ前記第2のローラに沿って延伸され、次いで、前記第1のレジストを伴う前記第1のテンプレートおよび前記第2のレジストを伴う前記第2のテンプレートが相互に面するように、前記第1のウェブは、前記第1の方向と逆の方向へ前記第1のローラに沿って延伸され、前記第2のウェブは、前記第2の方向と逆の方向へ前記第2のローラに沿って延伸される、
システム。 - 両面インプリンティング方法であって、
第1のローラに沿って第1のウェブを延伸することであって、前記第1のウェブは、第1のインプリンティング特徴を有する第1のテンプレートを備える、ことと、
前記第1のテンプレート上に第1のレジストを分注することと、
基板の第1の側面が前記第1のテンプレート上の前記第1のレジストと接触するように、前記第1のテンプレート上に前記基板を装填することと、
前記基板が前記第1のテンプレートとともに移動可能であるように、前記第1のテンプレート上に前記基板を圧着することと、
前記基板の第2の側面上に第2のレジストを分注することと、
第2のインプリンティング特徴が前記第1のインプリンティング特徴と整合されるように、前記第1のウェブ上の第1の参照マークを、前記第2のインプリンティング特徴を有する第2のテンプレートを含む第2のウェブ上の第2の参照マークと整合させることと、
前記整合させることの後に、同一の速度で同時に、前記第1のローラに沿って前記第1のウェブを延伸し、第2のローラに沿って前記第2のウェブを延伸することと、
硬化した第1のレジストが、前記基板の第1の側面上の前記第1のインプリンティング特徴に対応する第1のインプリントされた特徴を有し、硬化した第2のレジストが、前記基板の第2の側面上の前記第2のインプリンティング特徴に対応する第2のインプリントされた特徴を有するように、前記第1のレジストおよび前記第2のレジストを硬化させることと、
前記第1の側面上の前記第1のインプリントされた特徴および前記第2の側面上の前記第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。 - 両面インプリンティングのためのシステムであって、
第1のインプリンティング特徴を有する第1のテンプレートを含む第1のウェブを移動させるための第1のローラと、
第2のインプリンティング特徴を有する第2のテンプレートを含む第2のウェブを移動させるための第2のローラと、
第1のディスペンサであって、前記第1のディスペンサは、前記第1のテンプレート上に第1のレジストを分注するように構成される、第1のディスペンサと、
装填システムであって、前記装填システムは、基板の第1の側面が前記第1のテンプレート上の前記第1のレジストと接触するように、前記第1のテンプレート上に前記基板を装填するように構成される、装填システムと、
圧着システムであって、前記圧着システムは、前記基板が前記第1のウェブとともに移動可能であるように、前記第1のウェブ上に前記基板を圧着するように構成される、圧着システムと、
第2のディスペンサであって、前記第2のディスペンサは、前記基板の第2の側面上に第2のレジストを分注するように構成される、第2のディスペンサと、
位置決めシステムであって、前記位置決めシステムは、第1の参照マークを第2の参照マークと整合させるために、前記第2のウェブ上に前記第2の参照マークを伴って、前記第1のウェブ上の第1の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第1のレジストが、前記基板の第1の側面上の前記第1のインプリンティング特徴に対応する第1のインプリントされた特徴を有し、硬化した第2のレジストが、前記基板の第2の側面上の前記第2のインプリンティング特徴に対応する第2のインプリントされた特徴を有するように、前記第1のレジストおよび前記第2のレジストを硬化させるように構成される、光源と、
装填解除システムであって、前記装填解除システムは、前記第1の側面上の前記第1のインプリントされた特徴および前記第2の側面上の前記第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除するように構成される、装填解除システムと
を備え、
前記第1の参照マークおよび前記第2の参照マークが相互と整合された後に、前記第1のウェブおよび前記第2のウェブは、同一の速度で同時に延伸される、
システム。 - 両面インプリンティング方法であって、
第1のウェブの第1のテンプレートおよび第2のウェブの第2のテンプレートが、インプリンティングゾーンの中にともに運ばれるまで、第1のローラに沿って前記第1のウェブを延伸し、第2のローラに沿って前記第2のウェブを延伸することと、
前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートのための参照マークを整合させることと、
基板の第1の側面上に第1のレジストを分注し、前記基板の第2の側面上に第2のレジストを分注することと、
前記第1のテンプレートと前記第2のテンプレートとの間の前記インプリンティングゾーンの中に前記基板を送給することと、
前記第1のレジストが、前記基板の第1の側面上の前記第1のテンプレートの第1のインプリンティング特徴の中に充填し、前記第2のレジストが、前記基板の第2の側面上の前記第2のテンプレートの第2のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記基板上に前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートを押圧することと、
硬化した第1のレジストが、前記基板の第1の側面上の前記第1のインプリンティング特徴に対応する第1のインプリントされた特徴を有し、硬化した第2のレジストが、前記基板の第2の側面上の前記第2のインプリンティング特徴に対応する第2のインプリントされた特徴を有するように、前記第1のレジストおよび前記第2のレジストを硬化させることと、
前記第1の側面上の前記第1のインプリントされた特徴および前記第2の側面上の前記第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。 - 両面インプリンティング方法であって、
第1のローラおよび第2のローラに沿って、第1のウェブを延伸することであって、前記第1のウェブは、第1のインプリンティング特徴を有する第1のテンプレートを備える、ことと、
第3のローラおよび第4のローラに沿って、第2のウェブを延伸することであって、前記第2のウェブは、第2のインプリンティング特徴を有する第2のテンプレートを備え、前記第1のローラおよび前記第3のローラは、相互の反対に位置付けられ、ニップを画定する、ことと、
前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートのための参照マークを整合させることと、
基板の第1の側面および前記第1のテンプレートのうちの1つの上に第1のレジストを分注することと、
前記基板の第2の側面および前記第2のテンプレートのうちの1つの上に第2のレジストを分注することと、
前記第1のレジストが、前記第1のローラによって、前記基板の第1の側面上の前記第1のインプリンティング特徴の中に圧入され、前記第2のレジストが、前記第3のローラによって、前記基板の第2の側面上の前記第2のインプリンティング特徴の中に圧入されるように、同時に、前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートを前記ニップの中に延伸し、前記基板の第1の側面に面する前記第1のインプリンティング特徴および前記基板の第2の側面に面する前記第2のインプリンティング特徴を伴って、前記ニップの中に前記基板を送給することと、
硬化した第1のレジストが、前記基板の第1の側面上の前記第1のインプリンティング特徴に対応する第1のインプリントされた特徴を有し、硬化した第2のレジストが、前記基板の第2の側面上の前記第2のインプリンティング特徴に対応する第2のインプリントされた特徴を有するように、前記第1のレジストおよび前記第2のレジストを硬化させることと、
前記第1の側面上の前記第1のインプリントされた特徴および前記第2の側面上の前記第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除することと
を含む、方法。 - 両面インプリンティングのためのシステムであって、
第1のローラであって、前記第1のローラは、第1のインプリンティング特徴を有する第1のテンプレートを含む第1のウェブを移動させるように構成される、第1のローラと、
第2のローラであって、前記第2のローラは、第2のインプリンティング特徴を有する第2のテンプレートを含む第2のウェブを移動させるように構成される、第2のローラと、
レジストを分注するように構成される1つ以上のディスペンサと、
位置決めシステムであって、前記位置決めシステムは、前記第1のテンプレートおよび前記第2のテンプレートを整合させるための前記第1のウェブおよび前記第2のウェブ上の参照マークの場所を特定するように構成される、位置決めシステムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第1のレジストが、基板の第1の側面上の前記第1のインプリンティング特徴に対応する第1のインプリントされた特徴を有し、硬化した第2のレジストが、前記基板の第2の側面上の前記第2のインプリンティング特徴に対応する第2のインプリントされた特徴を有するように、前記レジストを硬化させるように構成される、光源と、
移動システムであって、前記移動システムは、前記第1のテンプレートと前記第2のテンプレートとの間に前記基板を送給し、前記第1の側面上の前記第1のインプリントされた特徴および前記第2の側面上の前記第2のインプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除するように構成される、移動システムと
を備える、システム。
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