JP2020521316A - 焼結磁石の製造方法および焼結磁石 - Google Patents

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Abstract

本発明の一実施例による焼結磁石の製造方法は、還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階、前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階、前記混合物を600℃〜850℃の温度で熱処理する段階、前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階を含み、前記希土類水素化物粉末は、NdH2またはNdH2とPrH2の混合粉末である。

Description

[関連出願との相互引用]
本出願は、2017年11月28日付韓国特許出願第10−2017−0160623号および2018年11月6日付韓国特許出願第10−2018−0135441号に基づいた優先権の利益を主張し、当該韓国特許出願の文献に開示されたすべての内容は本明細書の一部として含まれている。
本発明は、焼結磁石およびその製造方法に関する。より具体的には、還元拡散法により製造したNdFeB系合金粉末に焼結助剤として希土類水素化物を添加後に焼結して製造する焼結磁石の製造方法およびこのような方法により製造されたNdFeB系焼結磁石に関する。
NdFeB系磁石は、希土類元素であるネオジム(Nd)および鉄、ホウ素(B)の化合物であるNdFe14Bの組成を有する永久磁石であり、1983年開発以来30年間汎用永久磁石として使われてきた。このようなNdFeB系磁石は電子情報、自動車工業、医療機器、エネルギー、交通などの多様な分野で使われている。特に最近の軽量、小型化傾向に合わせて工作機器、電子情報機器、家電用電子製品、携帯電話、ロボット用モーター、風力発電機、自動車用小型モーターおよび駆動モーターなどの製品に使われている。
NdFeB系磁石の一般的な製造としては、金属粉末冶金法に基づいたストリップ(Strip)/モールドキャスティング(mold casting)またはメルトスピニング(melt spinning)方法が知られている。先ず、ストリップ(Strip)/モールドキャスティング(mold casting)方法の場合、ネオジム(Nd)、鉄(Fe)、ホウ素(B)等の金属を加熱によって溶融させてインゴットを製造し、結晶粒粒子を粗粉砕し、微細化工程によってマイクロ粒子を製造する工程である。これを繰り返して粉末を収得し、磁場下でのプレッシング(pressing)および焼結(sintering)過程を経て非等方性焼結磁石を製造する。
また、メルトスピニング(melt spinning)方法では、金属元素を溶融させた後、速い速度で回転するホイール(wheel)に注いで急冷し、ジェットミリング粉砕後、高分子にブレンドしてボンド磁石に形成するか、プレッシングして磁石に製造する。
しかし、このような方法では、いずれも粉砕過程が必須に求められ、粉砕過程で時間が長く必要とされ、粉砕後粉末の表面をコートする工程が求められる問題がある。
本発明は、固相還元拡散法により製造したNdFeB系合金粉末と希土類水素化物粉末を混合して熱処理することによって、NdFeB系焼結磁石の主相分解を予防して緻密度が向上したNdFeB系焼結磁石を提供する。
このような課題を解決するために、本発明の実施例による焼結磁石の製造方法は、還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階、前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階、前記混合物を600℃〜850℃の温度で熱処理する段階、前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階を含み、前記希土類水素化物粉末は、NdHまたはNdHとPrHの混合粉末である。
前記NdHとPrHの混合粉末において、NdHとPrH混合重量比は、75:25〜80:20であり得る。前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階は、30分〜4時間行われる。
前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階において、前記希土類水素化物粉末の含有量は、1〜25重量%であり得る。
前記製造された焼結磁石の結晶粒の大きさは、1μm〜10μmであり得る。
前記混合物を600℃〜850℃の温度で熱処理する段階において、希土類水素化物が希土類金属およびH気体に分離され、H気体が除去され得る。
前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階において、Cu粉末がさらに含まれ得る。
前記希土類水素化物と前記Cu粉末の含有量比は、7:3重量比であり得る。
前記還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階は、酸化ネオジム、ホウ素、鉄を混合して1次混合物を製造する段階、前記1次混合物にカルシウムを添加および混合して2次混合物を製造する段階、前記2次混合物を800℃〜1100℃の温度で加熱する段階を含み得る。
本発明の実施例による焼結磁石は、還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階、前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階、前記混合物を600℃〜850℃の温度で熱処理する段階、前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階により製造され得る。
本発明の実施例による焼結磁石は、NdFe14Bを含み、結晶粒の大きさが1μm〜10μmであり、添加する希土類水素化物の含有量が1重量%〜25重量%であり得る。
以上のように、本実施例による焼結磁石の製造方法は、固相還元拡散法により製造したNdFeB系合金粉末と希土類水素化物粉末を混合して熱処理することによってNdFeB系合金粉末の主相分解を予防し、緻密度が向上したNdFeB系焼結磁石を製造することができる。
実施例3で製造した焼結磁石(オレンジ線、NdH重量比12.5%)と比較例1で製造した焼結磁石(黒線)のXRDパターンを示す図である。 実施例3で製造した焼結磁石の走査電子顕微鏡イメージである。 NdFeB系磁石粉末とNdH粉末の含有量比を異にして測定したXRDパターンおよび走査電子顕微鏡イメージである。 NdFeB系磁石粉末とNdH粉末の含有量比を異にして測定したXRDパターンおよび走査電子顕微鏡イメージである。 NdHの含有量比を10重量%にして焼結磁石を製造し、保磁力、残留磁化およびBH maxを測定した結果である。 実施例4および実施例5で製造した焼結磁石のB−H測定結果である。 実施例4により製造した焼結磁石のXRD結果である。 実施例5で製造した焼結磁石のXRD結果である。 実施例6で製造した焼結磁石のB−H測定結果である。 実施例7で製造した焼結磁石のB−H測定結果である。 実施例6により製造した焼結磁石のXRD結果である。 実施例7により製造した焼結磁石のXRD結果である。
以下、本発明の実施例による焼結磁石の製造方法について詳細に説明する。本実施例による焼結磁石の製造方法は、NdFe14B焼結磁石の製造方法であり得る。すなわち、本実施例による焼結磁石の製造方法は、NdFe14B系焼結磁石の製造方法であり得る。NdFe14B焼結磁石は、永久磁石でありネオジム磁石ともいう。
本発明による焼結磁石の製造方法は、還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階、前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階、前記混合物を600℃〜850℃の温度で熱処理する段階、前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階を含む。
前記希土類水素化物粉末は、NdHまたはNdHとPrHの混合粉末であり得る。
この時、前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階は、30分〜4時間行われる。
本発明による焼結磁石の製造方法において、NdFeB系粉末は還元拡散法によって形成される。したがって、別途の粗粉砕、水素破砕、ジェットミルのような粉砕工程や表面処理工程が求められない。また、還元拡散法によって製造されたNdFeB系粉末を希土類水素化物粉末(NdH粉末またはNdHとPrHの混合粉末)と混合して熱処理および焼結することによって、NdFeB系粉末の粒界または主相粒の粒界にNd−rich領域およびNdO相(Phase)を形成する。この時、xは1〜4であり得る。したがって、本実施例により磁石粉末を焼結して焼結磁石を製造する場合、焼結工程中の主相粒子の分解を抑制することができる。
以下、各段階別により詳細に説明する。
先に、還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階について説明する。前記還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階は、酸化ネオジム、ホウ素、鉄を混合して1次混合物を製造する段階、前記1次混合物にカルシウムを添加および混合して2次混合物を製造する段階、前記2次混合物を800℃〜1100℃の温度で加熱する段階を含む。
前記製造方法は、酸化ネオジム、ホウ素、鉄のような原材料を混合し、800℃〜1100℃の温度での原材料の還元および拡散によってNdFe14B合金粉末を形成する方法である。具体的には、酸化ネオジム、ホウ素、鉄の混合物において酸化ネオジム、ホウ素および鉄のモル比は、1:14:1〜1.5:14:1の間であり得る。酸化ネオジム、ホウ素および鉄はNdFe14B金属粉末を製造するための原材料であり、前記モル比を満足したとき高い収率でNdFe14B合金粉末を製造することができる。仮に、モル比が1:14:1以下である場合、NdFe14B主相の組成歪みが生じる、およびNd−richな粒界相が形成されない問題があり、前記モル比が1.5:14:1以上である場合、Nd量の過多によって還元されたNdが残存し、後段処理過程で残ったNdがNd(OH)やNdHに変わる問題があり得る。
前記混合物を800℃〜1100℃の温度で加熱する段階は、不活性ガスの雰囲気下で、10分〜6時間行われ得る。加熱時間が10分以下である場合、金属粉末が十分に合成されず、加熱時間が6時間以上である場合、金属粉末の大きさが粗大になり、1次粒子同士が固まる問題があり得る。
このように製造される金属粉末は、NdFe14Bであり得る。また、製造された金属粉末の大きさは0.5μm〜10μmであり得る。また、一実施例により製造された金属粉末の大きさは0.5μm〜5μmであり得る。
すなわち、800℃〜1100℃の温度での原材料の加熱によってNdFe14B合金粉末が形成され、NdFe14B合金粉末はネオジム磁石であり、優れた磁性特性を示す。通常、NdFe14B合金粉末を形成するためには、原材料を1500℃〜2000℃の高温で溶融させた後急冷させて原材料の固まりを形成し、このような固まりに対して粗粉砕および水素破砕などを行い、NdFe14B合金粉末を収得する。
しかし、このような方法の場合、原材料を溶融するための高温の温度が必要であり、これを再び冷却後に粉砕しなければならない工程が求められ、工程時間が長くかつ複雑である。また、このように組粉砕したNdFe14B合金粉末に対して、耐腐食性を強化して電気抵抗性などを向上させるために、別途の表面処理過程が求められる。
しかし、本実施例のように還元拡散法によってNdFeB系粉末を製造する場合、800℃〜1100℃の温度での原材料の還元および拡散によってNdFe14B合金粉末を形成する。この段階で、合金粉末の大きさが数マイクロメーター単位で形成されるので、別途の粉砕工程は必要ない。より具体的には、本実施例により製造される金属粉末の大きさは0.5μm〜10μmであり得る。特に、原材料として使われる鉄粉末の大きさを調節して、製造される合金粉末の大きさを調節することができる。
ただし、このような還元拡散法により磁石粉末を製造する場合、前記製造過程で生成される副産物である酸化カルシウムが形成され、これを除去する工程が求められる。これを除去するために、製造された磁石粉末を蒸留水または塩基性水溶液などを用いて洗浄する。このような洗浄過程で製造した磁石粉末粒子が水溶液内の酸素に露出され、水溶液内に残存する酸素によって製造された磁石粉末粒子の表面酸化が行われ、表面に酸化物被膜が形成される。
このような酸化物被膜は、磁石粉末の焼結を難しくする。また、高い酸素含有量は、磁性粒子主相の分解を促進して永久磁石の物性を低下させる要因になる。したがって、高い酸素含有量を有する還元−拡散磁石粉末を用いて焼結磁石を製造することは難しい。
しかし、本発明の一実施例による製造方法は、還元拡散法により製造したNdFeB系粉末に、希土類水素化物粉末を混合して熱処理および焼結し、焼結磁石内部の粒界部または焼結磁性主相粒の粒界部領域にNd−rich領域およびNdO相を形成することによって、製造される焼結磁石の焼結性を改善して主相分解を抑制する。すなわち、Nd−richな粒界相を有する高密度の焼結永久磁石を製造することができる。
次に、前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する。前記段階において、前記希土類水素化物粉末の含有量は1〜25重量%であり得る。
前記希土類水素化物は、単一粉末を含み得、または互いに異なる粉末の混合であり得る。一例として、希土類水素化物はNdH単独であり得る。または希土類水素化物は、NdHとPrHの混合粉末であり得る。希土類水素化物がNdHとPrHの混合粉末である場合、NdHとPrHの混合重量比は75:25〜80:20であり得る。
希土類水素化物粉末の含有量が1重量%未満の場合、液状焼結補助剤として粒子間に十分なぬれ性(wetting)を付与できないため、焼結がうまく行われず、NdFeB主相分解を抑制する役割を十分に果たせない問題があり得る。また、希土類水素化物粉末の含有量が25重量%超である場合、焼結磁石でNdFeB主相の体積比が減少して残留磁化値が減少し、液相焼結によって粒子が過度に成長する問題があり得る。粒子の過成長によって結晶粒の大きさが大きくなる場合、磁化反転に弱いため、保磁力が減少する。
好ましくは希土類水素化物粉末の含有量は、3重量%〜10重量%であり得る。
次に、前記混合物を600℃〜850℃の温度で熱処理する。本段階において、希土類水素化物が希土類金属および水素気体に分離され、水素気体が除去される。すなわち、一例として希土類水素化物粉末がNdHである場合、NdHがNdおよびH気体に分離され、H気体が除去される。すなわち、600℃〜850℃での熱処理は、混合物における水素を除去する工程である。この時、熱処理は真空の雰囲気で行われ得る。
次に、前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する。この時、前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階は、30分〜4時間行われる。このような焼結工程も真空の雰囲気で行われ得る。本焼結段階において、Ndによる液状焼結が誘導される。すなわち、従来の還元拡散法により製造したNdFeB系粉末と添加された希土類水素化物(NdH)粉末との間でNdによる液状焼結が起き、焼結磁石内部の粒界部または焼結磁性主相粒の粒界部の領域にNd−rich領域およびNdO相が形成される。このように形成されたNd−rich領域やNdO相は、焼結磁石製造のための焼結工程で主相粒子の分解を防ぐ。したがって、安定的に焼結磁石を製造することができる。
製造された焼結磁石は、高密度を有し、結晶粒の大きさは1μm〜10μmであり得る。
以上のように、本発明の一実施例による焼結磁石は、還元拡散法により製造されたNdFeB系粉末を希土類水素化物粉末と混合して熱処理および焼結することによって、NdFeB系粉末の粒界部または主相粒の粒界部にNd−rich領域およびNdO相を形成する。このようなNd−rich領域およびNdO相の形成により磁石粉末の焼結性を改善し、焼結工程中の主相粒子の分解を抑制することができる。
また、製造された焼結磁石の結晶粒の大きさは、1μm〜10μmであり得る。このような焼結磁石では、粉末の粒界部または主相粒の粒界部にNd−rich領域またはNdO相が形成されている。したがって、磁石粉末を焼結して磁石を製造する場合、焼結磁石の内部で主相分解を予防することができる。
以下、本発明の一実施例による焼結磁石の製造方法について具体的な実施例により説明する。
実施例1:NdFeB系磁石粉末の形成
Nd 3.2679g、B 0.1000g、Fe 7.2316g、Ca 1.75159gを、粒子の粒度および大きさ制御のための金属フッ化物(CaF,CuF)と均一に混合する。これを任意の形のステンレススチール容器に入れて圧搾した後、混合物を不活性ガス(Ar,He)雰囲気、950℃で0.5〜6時間チューブ電気炉の中で反応させる。
次に、前記反応物をモルタルで粉砕して粒子分離過程を経て微細粉末にした後、還元副産物であるCa、CaOを除去するために洗浄過程を行う。非水系洗浄のために、NHNO 6.5g〜7.0gを合成された粉末と均一に混ぜた後、〜200mlのメタノールに漬ける。効果的な洗浄のために、均質化および超音波洗浄を交互に1回あるいは2回繰り返し行う。残留CaOとNHNOの反応産物であるCa(NO)を除去するために、同じ量のメタノールで前記洗浄過程を2回程度繰り返す。洗浄過程は、きれいなメタノールを得るまで繰り返す。最後にアセトンで洗浄した後、真空乾燥して洗浄を終えて単一相NdFe14B粉末粒子を得る。
実施例2:NdH との混合および焼結
実施例1で提示した方法により製造したNdFeB系粉末粒子(NdFe14B)8gに、質量比10〜25%のNdH粉末を混合する。潤滑剤としてブタノールを添加して磁場成形後、真空焼結炉で脱脂工程を150℃で1時間、300℃で1時間行った。次に、脱水素工程として650℃で1時間熱処理過程を行い、1050℃で1時間焼結した。
実施例3:12.5重量%のNdH を焼結補助剤として使用
前記実施例2でNdHを12.5%重量比で添加して焼結磁石を製造した。
比較例1:焼結補助剤を使わない
前記実施例1で製造したNdFeB系磁性粉末にNdHを混合せず、潤滑剤としてブタノールを添加して磁場成形後、脱脂工程を150℃で1時間、300℃で1時間行った。次に、真空焼結炉において650℃で1時間熱処理過程を行い、1050℃で1時間焼結した。
実施例4:NdH とPrH の混合粉末を用いた混合および焼結
Nd2.0Fe13BGa0.01,0.05Al0.05Cu0.05を製造するために、Nd 33.24g、B 1.04g、AlF 0.40g、CuCl 0.65g、GaF 0.12gをナルゲンボトルに入れてペイントシェーカーで30分混合した後、ここにFe 69.96gを入れてペイントシェーカーで30分混合し、最後にCa 16.65gを入れて管状ミキサーで1時間混合する。
次に、内部がカーボンシートで囲まれたSUSチューブに切り刻んで入れて、不活性ガス(Ar,He)雰囲気、950℃で10分間チューブ電気炉の中で反応させる。硝酸アンモニウムが溶けているエタノールに粉末を入れてホモジナイザーを用いて10〜30分間洗浄した後、ナルゲンボトルに洗浄した粉末とエタノール、ジルコニアボール(粉末に対して6倍の重量比)、硝酸アンモニウムを(初期洗浄時に使用した量に対して1/10)を入れて2時間管状ミキサーで粉末粒子を粉砕した後、アセトンで洗浄して乾燥する。
前記方法で準備したNd系粉末8gに重量比10〜12wt%の(Nd+Pr)H粉末(乾式またはヘキサンの雰囲気で粉砕したNdHとPrHが75:25または80:20で混合された粉末)を添加し、潤滑剤としてブタノール(またはステアリン酸亜鉛(Zn stearate))を添加して磁場成形後に、真空焼結炉において1030℃で2時間焼結する。
実施例5:NdH の単一粉末を用いた混合および焼結
実施例4と同様の方法により準備したNd系粉末8gに質量比10%〜25%のNdH粉末を混合し、潤滑剤としてブタノールを添加して磁場成形後、真空焼結炉において1050℃で1時間焼結する。
実施例6:NdH の含有量を異にして混合および焼結(3%)
Nd2.5Fe13.31.1Cu0.05Al0.15を製造するために、Nd 37.48g、B 1.06g、Cu 0.28g、Al 0.36gをナルゲンボトルに入れてペイントシェーカーで30分混合した後、ここにFe 66.17gを入れてペイントシェーカーで30分混合し、最後にCa 20.08gを入れて管状ミキサーで1時間混合する。
次に、内部がカーボンシートで囲まれたSUSチューブに切り刻んで入れて、不活性ガス(Ar,He)雰囲気、950℃で10分間チューブ電気炉の中で反応させる。硝酸アンモニウムが溶けているエタノールに粉末を入れてホモジナイザーを用いて10〜30分間洗浄した後、ナルゲンボトルに洗浄した粉末とエタノール、ジルコニアボール(粉末に対して6倍の重量比)、硝酸アンモニウムを(初期洗浄時に使用した量に対して1/10)を入れて2時間管状ミキサーで粉末粒子を粉砕した後、アセトンで洗浄して乾燥する。
前記方法で準備したNd系粉末8gに重量比3%のNdH粉末を添加し、潤滑剤としてブタノールを添加して磁場成形後に、真空焼結炉において1030℃で2時間焼結する。
実施例7:NdH の含有量を異にして混合および焼結(5%)
実施例6と同様の方法によりNd系粉末8gを準備する。前記方法で準備したNd系粉末8gに重量比5%のNdH粉末を添加し、潤滑剤としてブタノールを添加して磁場成形後に、真空焼結炉において1030℃で2時間焼結する。
評価例1
実施例3で製造した焼結磁石(オレンジ線)と、比較例1で製造した焼結磁石(黒線)のXRDパターンを図1に示した。また、前記実施例3で製造した焼結磁石の走査電子顕微鏡イメージを図2に示した。
図1を参照すると、NdHを添加していない比較例1の場合(黒線)、NdFeB主相の分解によるα−Feピークが示された。しかし、NdHが添加された実施例3の場合(オレンジ線)、主相の分解によるα−Feピークは示されなかった。すなわち、NdH添加によって、製造された焼結磁石のNdFeB相分解が抑制されたことが分かる。
図2を参照すると、実施例3によって製造された焼結磁石は、均一で高い密度で焼結されたことを確認することができる。
前記実施例2と比較例1により、一定含有量のNdHの添加がNdFeB主相の分解を抑制して焼結性を付与して緻密度を向上させる効果を示すことがわかる。
評価例2
NdFeB系磁石粉末とNdH粉末の含有量比を異にし、XRDパターンおよび走査電子顕微鏡イメージを測定し、これを図3および図4に示した。
図3はNdHが25%含まれた場合のXRDパターンおよび走査電子顕微鏡イメージである。図3を参照すると、NdHが25%含まれた場合、α−Feピークが観測されないため主相の分解が抑制されることを確認することができ、走査電子顕微鏡イメージでも緻密な焼結磁石を形成することが分かる。
図4はNdHの代わりにNdHとCuが7:3で混合した粉末を用いた結果である。図4を参照すると、この場合にも図1および図3と同様にα−Feピークが観測されないことを確認することができる。すなわち、主相の分解が抑制されることを確認することができた。走査電子顕微鏡イメージから、NdH粉末を単独で用いる場合より結晶粒の大きさが大きく観察されることを確認することができ、これはNd−Cu共融溶融合金を作りながらNdFeB粒子の焼結を促進することによって結晶粒粗大化が行われたと考えられる。
評価例2の結果により、本発明に記載の範囲内でNdHの含有量を異にするかCuと混合して用いる場合にも、主相の分解を抑制して焼結性が改善することを確認することができた。
評価例3
実施例2で製造した焼結磁石の保磁力、残留磁化およびBH maxを測定し、これを図5に示した。
NdFeB系磁性粉末に10重量%NdHを添加して焼結熱処理し、残留磁化値は12.11kG(キロガウス)、保磁力は10.81kOe(キロエルステッド)、BHmax値は35.48MGOe(メガガウスエルステッド)を示した。
評価例4
実施例4および実施例5で製造した焼結磁石のB−Hを測定し、これを下記表1および図6に示した。また、実施例4および実施例5により製造した焼結磁石のXRD結果を図7および図8に示した。図7は実施例4により製造した焼結磁石のXRD結果であり、図8は実施例5により製造した焼結磁石のXRD結果である。
評価例5
実施例6および7により製造した焼結磁石のB−Hを測定し、これを下記表2および図9、10に示した。図9は実施例6に該当し、図10は実施例7に該当する。また、実施例6および実施例7により製造した焼結磁石のXRD結果を図11および図12に示した。図11は実施例6により製造した焼結磁石のXRD結果であり、図12は実施例7により製造した焼結磁石のXRD結果である。
これにより、本発明に記載の範囲内でNdHの含有量を異にする場合にも優れた効果を有することを確認できた。
以上のように、本発明による焼結磁石の製造方法は、還元拡散法により製造されたNdFeB系粉末をNdH粉末と混合して熱処理および焼結することによって、製造される磁石粉末の焼結性を改善し、焼結工程中の主相粒子の分解を抑制した。したがって、磁石粉末を焼結して磁石を製造する場合、磁石粉末の内部で主相分解を予防することができる。
以上、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明の権利範囲は、これに限定されるものではなく、次の特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を用いた当業者の多様な変形および改良形態も本発明の権利範囲に属する。

Claims (11)

  1. 還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階;
    前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階;
    前記混合物を600℃〜850℃の温度で熱処理する段階;
    前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階を含み、
    前記希土類水素化物粉末は、NdHまたはNdHとPrHの混合粉末である、焼結磁石の製造方法。
  2. 前記NdHとPrHの混合粉末において、NdHとPrHの混合重量比は75:25〜80:20である、請求項1に記載の焼結磁石の製造方法。
  3. 前記熱処理した混合物を1000℃〜1100℃の温度で焼結する段階は、30分〜4時間行われる、請求項1または2に記載の焼結磁石の製造方法。
  4. 前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階において、
    前記希土類水素化物粉末の含有量は、1〜25重量%である、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の焼結磁石の製造方法。
  5. 前記製造された焼結磁石の結晶粒の大きさは、1μm〜10μmである、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の焼結磁石の製造方法。
  6. 前記混合物を600℃〜850℃の温度で熱処理する段階において、
    希土類水素化物が希土類金属とH気体に分離され、H気体が除去される、請求項1ないし5のいずれか一項に記載の焼結磁石の製造方法。
  7. 前記NdFeB系粉末と希土類水素化物粉末を混合する段階において、
    Cu粉末がさらに含まれる、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の焼結磁石の製造方法。
  8. 前記希土類水素化物粉末と前記Cu粉末の含有量比は、7:3重量比である、請求項7に記載の焼結磁石の製造方法。
  9. 前記還元拡散法によりNdFeB系粉末を製造する段階は、
    酸化ネオジム、ホウ素、鉄を混合して1次混合物を製造する段階:
    前記1次混合物にカルシウムを添加および混合して2次混合物を製造する段階;
    前記2次混合物を800℃〜1100℃の温度で加熱する段階を含む、請求項1ないし8のいずれか一項に記載の焼結磁石の製造方法。
  10. 請求項1ないし9のいずれか一項に記載の製造方法で製造した焼結磁石。
  11. NdFe14Bを含み、
    結晶粒の大きさが1μm〜10μmであり、
    添加する希土類水素化物の含有量が10重量%〜25重量%である、焼結磁石。
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