JP2020513986A5

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Info

Publication number: JP2020513986A5
Application number: JP2019552505A
Authority: JP
Filing date: 2018-03-23
Publication date: 2021-04-30
Anticipated expiration: 2038-03-23

Description

本発明のＵＰＷ含浸ワイパーは、ＩＳＯクラス３及びそれ以上のクリーンルームで使用することができる。ＵＰＷ含浸ワイパーは、フラットパネルディスプレイ及びウェハ製造（water fabs）における高吸引（hi-vac）プロセスチャンバー及びロボティクスの洗浄、リソグラフィ、化学蒸着、及び計量モジュールにおける揮発性有機化合物（ＶＯＣ）に敏感なプロセス設備の洗浄、並びにリソグラフィトラックからの焼成したレジスト及び現像剤の洗浄除去に特に有用である。ＵＰＷ含浸ワイパーはまた、設備のフロントエンドモジュール、静電チャック、ＶＡＴバルブ、及びガス分散プレートなどの敏感なコンポーネントの最終拭き取りにも用いられ得る。ＵＰＷ含浸ワイパーはまた、設備の予防メンテナンス時に、並びにＶＯＣ及び引火性溶剤の排除が必要とされる場合のウェット洗浄にも、特に有用である。クリーンルーム中の水平面、ステンレススチールカート、及び作業面も、本発明のＵＰＷ含浸ワイパーを使用するのに理想的な場所である。

図１は、本発明のクリーンルーム用ＵＰＷ含浸ワイパーの例示的な作製方法１０における工程を示すフローチャートである。まず、工程１２において、ワイパーの作製に用いられることになる織布作製のためのファイバーが選択される。ファイバーは、ナイロン／ポリエステル複合体である第一のマイクロファイバー、及びポリエステルである第二のマイクロファイバーを含む。本発明のワイパーの１つの例示的な実施形態を作製するために用いられる織布の作製に用いることができる第一のマイクロファイバーの写真を、図２に示す。第一のマイクロファイバー材料は、柔らかく、光沢があり、非常にかさ高い。それはまた、非常に優れた水分透過性及び通気性も備える。ナイロン／ポリエステル複合体は、２５〜３０％のナイロン及び７０〜７５％のポリエステルから構成されていてよい。１つの特定の例示的な実施形態では、ナイロン／ポリエステル複合体は、７２％のポリエステル及び２８％のナイロンを含んでよい。本発明のワイパーの例示的な実施形態を作製するために用いられる織布の作製に用いることができる第二のマイクロファイバーの写真を、図３に示す。第二のマイクロファイバー材料は、柔らかく、高密度であり、耐水性、水分透過性であり、高い引張強度を有する。

Claims

少なくとも２つの異なるマイクロファイバー材料を有する織布を含み、前記織布は、超純水のみで含浸されている、クリーンルーム用ワイパー。
前記織布が、シールドエッジ（sealed edges）を含む、請求項１に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記少なくとも２つのマイクロファイバー材料のうちの１つが、ナイロン／ポリエステル複合体を含む、請求項１又は２に記載のクリーンルーム用ワイパー。
ナイロン／ポリエステル複合体を含む前記マイクロファイバー材料が、２５〜３０％のナイロン及び７０〜７５％のポリエステルを含む、請求項３に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記少なくとも２つのマイクロファイバー材料のうちの第二の材料が、ポリエステルを含む、請求項４に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記織布が、６本の縦糸及び１８本の横糸を有する繰り返しパターンを用いて織られた第一のマイクロファイバー材料及び第二のマイクロファイバー材料を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記第一のマイクロファイバー材料が、前記繰り返しパターンにおける前記１８本の横糸に用いられるナイロン／ポリエステル複合体を含む、請求項６に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記第二のマイクロファイバー材料が、前記繰り返しパターンにおける前記６本の縦糸に用いられるポリエステルを含む、請求項６又は７に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記少なくとも２つの異なるマイクロファイバー材料を織って、前記マイクロファイバー材料のうちの１つがナイロン／ポリマー複合体を含む織布を作製する工程；
高温、高圧、及び少なくとも１つの界面活性剤を用いて前記織布を処理する工程；
前記織布を、無菌超純水を用いて洗浄する工程；
前記織布を乾燥する工程；
前記織布を切断し、前記織布のエッジをシールして、個々のワイパーを作製する工程；及び、
前記ワイパーをパッケージし、前記超純水で含浸する工程、
を含む方法によって作製された、請求項１〜８のいずれか一項に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記織布を作製する工程が、６本の縦糸及び１８本の横糸を有する繰り返しパターンを用いて、前記ナイロン／ポリマー複合体材料を、第二のマイクロファイバー材料と共に織ることを含む、請求項９に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記ナイロン／ポリマー複合体材料が、前記１８本の横糸に用いられ、前記第二のマイクロファイバー材料が、前記６本の縦糸に用いられる、請求項１０に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記織布の織られたマイクロファイバーが、前記織布を処理する工程の前に弛緩される、請求項９〜１１のいずれか一項に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記織布を洗浄する工程が、前記織布を、洗剤を用いて洗浄し、続いて無菌純水を用いて前記織布を繰り返しリンスすることを含む、請求項９〜１２のいずれか一項に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記織布を切断し、前記織布の前記エッジをシールする工程が、切断及びシールを同時に行うことを含む、請求項９〜１３のいずれか一項に記載のクリーンルーム用ワイパー。
前記方法が、前記パッケージされた含浸ワイパーを滅菌する工程をさらに含む、請求項９〜１４のいずれか一項に記載のクリーンルーム用ワイパー。