JP2020513986A - クリーンルーム用ワイパー及びその作製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、その全内容が参照により本明細書に援用される2017年3月23日に出願された仮特許出願第62/475,523号の優先権を主張するものである。
本発明は、クリーンルーム環境中、又は他の類似の制御された環境中において使用するための、揮発性有機化合物(VOC)を使用することなく設備及び作業面からの汚染物質の効果的な除去を可能とし、かつ、低い発塵レベルを呈する含浸ワイパー全般に関する。含浸ワイパーは、シールドエッジ(sealed edges)を有する独特の織パターンが組み込まれ、超純水(UPW)のみで含浸された織布から作製される。含浸ワイパーは、ある面を湿潤状態のままとすることなく、その面から汚染物質を除去するのに充分なUPWを保持している。VOCを使用することがないため、それに伴う健康及び安全性のリスクもなく、重要面を清浄かつ乾燥した状態とする。
水である。超純水は、半導体産業において、水が、有機及び無機化合物、溶解した物質及び粒子状物質、揮発性物質及び不揮発性物質、反応性物質及び不活性物質、親水性物質及び疎水性物質、並びに溶解したガスを含むあらゆる種類の汚染物質に対して最高レベルの純度まで処理されていることを強調するために、一般的に用いられる用語である。本発明のワイパーは、クリーンルーム技術者が100%VOCフリーの拭き取りを実現することを可能とし、かつ、IPAを含む引火性溶剤を、クリーンルームの拭き取り手順から完全に排除する。本発明のワイパーは、オペレータが汚染物質を移動させ、取り込み、除去することを可能とすると同時に、UPWのみを用いて面を清浄及び乾燥状態のままとする、独特の織パターンを有するマイクロファイバー布から構築される。ワイパーの織り方及びシールドエッジは、使用中に粉塵及びファイバーが発生することを低減する目的で、摩耗及び裂けに対する耐性を提供する。
断、シールすることによってワイパーを形成する工程、並びにパッケージし、超純水で含浸する工程、を含む。この方法はまた、確実に無菌状態とするためにガンマ線照射によって後処理する工程、及び清浄度を保障するためのロット検査を行う工程も含んでよい。
である。プラントでは、設備の価値が、10000ドル/時間を超えるものであることから、このようなポンプによるダウンタイムは許容されない。しかし、水と共に使用するためのワイパーが、IPAと共に用いられるワイパーのように機能するように、すなわち、洗浄はするが、洗浄された後の面を湿潤状態のままとしないように機能するように製造することができれば、それがIPAに伴う安全性及び健康のリスクを有しないことから、半導体製造プラントでは、それを使用することを容易に選定することができる。
ロピルアルコールへの曝露を排除すること、が挙げられる。
W含浸ワイパーのこれらの特性を示すいくつかの初期データを以下の表1に示す。表1のデータは、含浸から7日後のワイパーの典型的な分析を表している(乾燥状態)。測定単位は、標準試験法IEST−RP−CC004.3で用いられる標準単位を表す。
Claims (17)
- 少なくとも2つの異なるマイクロファイバー材料を有する織布を含み、前記織布は、超純水のみで含浸されている、クリーンルーム用ワイパー。
- 前記織布が、シールドエッジ(sealed edges)を含む、請求項1に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記少なくとも2つのマイクロファイバー材料のうちの1つが、ナイロン/ポリエステル複合体を含む、請求項1に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- ナイロン/ポリエステル複合体を含む前記マイクロファイバー材料が、25〜30%のナイロン及び70〜75%のポリエステルを含む、請求項3に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記少なくとも2つのマイクロファイバー材料のうちの第二の材料が、ポリエステルを含む、請求項4に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記織布が、シールドエッジを含む、請求項5に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記織布が、6本の縦糸及び18本の横糸を有する繰り返しパターンを用いて織られた第一のマイクロファイバー材料及び第二のマイクロファイバー材料を含む、請求項1に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記第一のマイクロファイバー材料が、前記繰り返しパターンにおける前記18本の横糸に用いられるナイロン/ポリエステル複合体を含む、請求項7に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記第二のマイクロファイバー材料が、前記繰り返しパターンにおける前記6本の縦糸に用いられるポリエステルを含む、請求項8に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記織布が、シールドエッジを含む、請求項9に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記少なくとも2つの異なるマイクロファイバー材料を織って、前記マイクロファイバー材料のうちの1つがナイロン/ポリマー複合体を含む織布を作製する工程;
高温、高圧、及び少なくとも1つの界面活性剤を用いて前記織布を処理する工程;
前記織布を、無菌超純水を用いて洗浄する工程;
前記織布を乾燥する工程;
前記織布を切断し、前記織布のエッジをシールして、個々のワイパーを作製する工程;及び、
前記ワイパーをパッケージし、前記超純水で含浸する工程、
を含む方法によって作製された、請求項1に記載のクリーンルーム用ワイパー。 - 前記織る工程が、6本の縦糸及び18本の横糸を有する繰り返しパターンを用いて、前記ナイロン/ポリマー複合体材料を、第二のマイクロファイバー材料と共に織ることを含む、請求項11に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記ナイロン/ポリマー複合体材料が、前記18本の横糸に用いられ、前記第二のマイクロファイバー材料が、前記6本の縦糸に用いられる、請求項12に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記織布の前記織られたマイクロファイバーが、前記織布を処理する工程の前に弛緩される、請求項11に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記織布を洗浄する工程が、前記織布を、洗剤を用いて洗浄し、続いて無菌純水を用いて前記織布を繰り返しリンスすることを含む、請求項14に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記織布を切断し、前記織布の前記エッジをシールする工程が、切断及びシールを同時に行うことを含む、請求項15に記載のクリーンルーム用ワイパー。
- 前記パッケージされた含浸ワイパーを滅菌する工程をさらに含む、請求項11に記載のクリーンルーム用ワイパー。
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