JP2020505625A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2020505625A5
JP2020505625A5 JP2018566866A JP2018566866A JP2020505625A5 JP 2020505625 A5 JP2020505625 A5 JP 2020505625A5 JP 2018566866 A JP2018566866 A JP 2018566866A JP 2018566866 A JP2018566866 A JP 2018566866A JP 2020505625 A5 JP2020505625 A5 JP 2020505625A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
stage
location
sample location
optical system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018566866A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7050701B2 (ja
JP2020505625A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from GBGB1704770.5A external-priority patent/GB201704770D0/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2020505625A publication Critical patent/JP2020505625A/ja
Publication of JP2020505625A5 publication Critical patent/JP2020505625A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7050701B2 publication Critical patent/JP7050701B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (31)

  1. 撮像システムにおいて、
    複数のサンプル場所があるサンプル容器を支持する表面を有するサンプルステージと、
    対物レンズを有し、前記サンプル場所におけるサンプルを撮像するよう前記サンプルステージに対して位置決め可能な光学系ステージと、
    前記複数のサンプル場所のうちの現サンプル場所を照らし出すための第1光源と、
    前記第1光源が前記現サンプル場所を照らし出している間、前記複数のサンプル場所のうちの次サンプル場所にスポット対を投影するための合焦レーザと、
    前記サンプルステージ及び前記光学系ステージのうち少なくとも一方に物理的に結合し、前記光学系ステージに対して前記サンプルステージを移動させ、前記光学系ステージを現サンプル場所に対して合焦させるアクチュエータと、及び
    画像センサによる前記スポット対の視差測定に応答して前記次サンプル場所に対する焦点セッティングを決定し、また前記光学系ステージを位置決めして前記次サンプル場所におけるサンプルを撮像する前に、駆動信号を前記アクチュエータに供給する駆動回路であって、前記現サンプル場所に対する焦点セッティングと前記次サンプル場所に対する決定した焦点セッティングとの間における差を用いて、前記駆動信号における少なくとも1つのパラメータを決定する、該駆動回路と、
    を備える、撮像システム。
  2. 請求項1記載の撮像システムにおいて、前記アクチュエータは物理的に前記サンプルステージに結合され、前記サンプルステージと前記光学系ステージとの間の差を調整するよう前記サンプルステージを移動させる、撮像システム。
  3. 請求項1記載の撮像システムにおいて、さらに、前記サンプルステージの傾動を調整するよう前記サンプルステージに物理的に結合した複数のアクチュエータを備える、撮像システム。
  4. 請求項1記載の撮像システムにおいて、前記アクチュエータは物理的に前記光学系ステージに結合され、前記サンプルステージと前記光学系ステージとの間の差を調整するよう前記光学系ステージを移動させる、撮像システム。
  5. 請求項1記載の撮像システムにおいて、前記アクチュエータは、圧電デバイス、音声コイル、及び駆動モータのうち少なくとも1個を有する、撮像システム。
  6. 請求項1記載の撮像システムにおいて、前記次サンプル場所に対する前記焦点セッティングは、前記複数のサンプル場所各々に対する所定焦点セッティングを含んでいる履歴ファイルを用いて決定する、撮像システム。
  7. 請求項6記載の撮像システムにおいて、前記履歴ファイルは、先行の撮像操作中に前記複数のサンプル場所各々に対して焦点距離を測定することによって作成する、撮像システム。
  8. 請求項1記載の撮像システムにおいて、前記合焦レーザは、前記次サンプル場所における前記サンプルを撮像するよう前記光学系ステージ及び前記サンプルステージのうち少なくとも一方が位置決めされる前に、光ビームを放出して前記次サンプル場所を照射させる軸外焦点系の一部である、撮像システム。
  9. 請求項8記載の撮像システムにおいて前記軸外焦点系は、さらに軸外結像のため前記合焦レーザから放出された光を分割する示差分割窓有する、撮像システム。
  10. 請求項8記載の撮像システムにおいて、さらに、前記軸外焦点系は、さらに前記光を前記スポット対に分割するための前記合焦レーザから放出された光の光路に位置決めされたピンホールマスクと軸外結像のため前記光源から放出された光を分割する示差分割窓と、を有する、撮像システム。
  11. 請求項8記載の撮像システムにおいて、さらに、前記軸外焦点系は、前記複数のサンプル場所のうちの前記次サンプル場所上のスポット対と、前記複数のサンプル場所のうちの前記現サンプル場所上のスポット対と、を有する、複数のスポット対を発生する、撮像システム。
  12. 請求項11記載の撮像システムにおいて、さらに、前記複数のスポット対の反射を画像センサにおける所望エリア内に再指向させる示差減少ウェッジを備える、撮像システム。
  13. 請求項1記載の撮像システムにおいて、前記サンプル容器はフローセル又はスライドを有する、撮像システム。
  14. 請求項1記載の撮像システムにおいて、前記駆動信号における少なくとも1つのパラメータは、電流、電圧、又はデューティサイクルのうち少なくとも1つを含む、撮像システム。
  15. 焦点トラッキングの方法において、
    サンプル容器上の走査している現サンプル場所に対するサンプルステージの第1焦点位置を決定するステップと、
    第1光源を用いて前記現サンプル場所を照らし出すステップと、
    前記第1光源が前記現サンプル場所を照らし出している間、第2光源を用いて前記次サンプル場所に投影するためにスポット対を発生させるステップと、
    前記次サンプル場所に投影された前記スポット対を用いて、走査すべき次サンプル場所に対する前記ステージの第2焦点位置を決定するステップと、
    前記第1焦点位置と前記第2焦点位置との間における差を計算するステップと、及び
    前記次サンプル場所における撮像を行うよう前記ステージを位置決めする前の時点tで、前記サンプルステージを光学系ステージに対して前記第1焦点位置から前記第2焦点位置に移動させるよう、ステージアクチュエータに駆動信号を送信する送信ステップであり、前記駆動信号における少なくとも1つのパラメータは、前記第1焦点位置と前記第2焦点位置との間の差を用いて決定する、該送信ステップと、
    を備える、方法。
  16. 請求項15記載の方法、前記サンプル容器における複数の座標セット各々に対する所定焦点セッティングを含んでいる履歴ファイルに問い合わせを行うことによって、前記ステージの第3焦点位置を決定するステップを含む、方法。
  17. 請求項16記載の方法において、前記履歴ファイルは、先行の撮像操作中に前記サンプル容器における前記座標セット各々に対して焦点距離を測定することによって作成する、方法。
  18. 請求項15記載の方法において、さらに、前記第1焦点位置と前記第2焦点位置との間の差に基づいて前記サンプル容器の傾斜を計算するステップを備え、前記駆動信号の前記パラメータは、前記傾斜を用いて決定される、方法。
  19. 請求項18記載の方法において、さらに、先に走査したサンプル場所に対する前記ステージの第3焦点位置を決定するステップを備える、方法。
  20. 請求項19記載の方法において、前記サンプル容器の前記傾斜は、前記第1、第2及び第3の焦点位置を用いて決定する、方法。
  21. 請求項15記載の方法において、前記スポット対を発生するステップは、前記次サンプル場所における前記サンプルの撮像を行うよう前記光学系ステージ及び前記サンプルステージのうち少なくとも一方を位置決めする前に、前記スポット対を放出して前記次サンプル場所を照射させる軸外焦点系を用いるステップを含む、方法。
  22. 請求項15記載の方法において、前記サンプルステージを光学系ステージに対して前記第1焦点位置から前記第2焦点位置に移動させるステップは、前記サンプルと前記光学系ステージとの間の距離を調整するよう前記サンプルステージを移動するステップを含む、方法。
  23. 請求項15記載の方法において、前記サンプルステージを光学系ステージに対して前記第1焦点位置から前記第2焦点位置に移動させるステップは、前記サンプルと前記光学系ステージとの間の距離を調整するよう前記光学系ステージを移動するステップを含む、方法。
  24. 請求項15記載の方法において、前記時点tは、前記第1焦点位置と前記第2焦点位置との間の差を用いて決定する、方法。
  25. 請求項15記載の方法において、前記ステージアクチュエータは、音声コイルを有し、また前記方法は、さらに、前記音声コイルに印加することができる駆動出力の最大量を決定するステップと、及び前記駆動出力の前記最大量を用いて前記駆動信号の現在量を制限するステップとを備える、方法。
  26. 請求項15記載の方法において、前記駆動信号における前記少なくとも1つのパラメータは、電流、電圧、又はデューティサイクルのうち少なくとも1つを含む、方法。
  27. 焦点トラッキングの方法において、
    サンプル容器上の走査している現サンプル場所に対するサンプルステージの第1焦点位置を決定するステップと、
    第1光源を用いて前記現サンプル場所を照らし出すステップと、
    前記第1光源が前記現サンプル場所を照らし出している間、第2光源を用いて前記次サンプル場所に投影するためにスポット対を発生させるステップと、
    前記次サンプル場所に投影された前記スポット対を用いて、走査すべき次サンプル場所に対する前記ステージの第2焦点位置を決定するステップと、
    前記第1焦点位置及び前記第2焦点位置を用いて前記サンプル容器の傾斜を計算するステップと、及び
    前記サンプルステージを光学系ステージに対して移動させるよう、ステージアクチュエータに駆動信号を送信する送信ステップであり、前記駆動信号は、前記サンプル容器の傾斜を用いて生成される、該送信ステップと、
    を備える、方法。
  28. 請求項27記載の方法において、さらに、先に走査したサンプル場所に対する前記ステージの第3焦点位置を決定するステップを備え、また前記傾斜は、前記第1、第2及び第3のサンプル場所を用いて計算される、方法。
  29. 請求項27記載の方法は、さらに、前記サンプル容器における複数の座標セット各々に対する所定焦点セッティングを含んでいる履歴ファイルに問い合わせを行うことによって、第3焦点位置を決定するステップを含む、方法。
  30. 請求項29記載の方法において、前記履歴ファイルは、先行の撮像操作中に前記サンプル容器における前記座標セット各々に対して焦点距離を測定することによって作成する、方法。
  31. 請求項27記載の方法において、前記スポット対を発生するステップは、前記次サンプル場所における前記サンプルの撮像を行うよう前記光学系ステージ及び前記サンプルステージのうち少なくとも一方を位置決めする前に、前記スポット対を放出して前記次サンプル場所を照射させる軸外焦点系を用いるステップを含む、方法。
JP2018566866A 2017-01-05 2017-12-22 予測焦点トラッキング装置及び方法 Active JP7050701B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201762442947P 2017-01-05 2017-01-05
US62/442,947 2017-01-05
GB1704770.5 2017-03-24
GBGB1704770.5A GB201704770D0 (en) 2017-01-05 2017-03-24 Predictive focus tracking apparatus and methods
PCT/IB2017/058383 WO2018127769A1 (en) 2017-01-05 2017-12-22 Predictive focus tracking apparatus and methods

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2020505625A JP2020505625A (ja) 2020-02-20
JP2020505625A5 true JP2020505625A5 (ja) 2021-02-04
JP7050701B2 JP7050701B2 (ja) 2022-04-08

Family

ID=58687922

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018566866A Active JP7050701B2 (ja) 2017-01-05 2017-12-22 予測焦点トラッキング装置及び方法

Country Status (17)

Country Link
US (2) US11054624B2 (ja)
EP (1) EP3566088B1 (ja)
JP (1) JP7050701B2 (ja)
KR (1) KR102551459B1 (ja)
CN (1) CN109313329B (ja)
AU (1) AU2017390821B2 (ja)
BR (1) BR112018076996B1 (ja)
CA (1) CA3022894C (ja)
GB (1) GB201704770D0 (ja)
IL (2) IL262707B2 (ja)
MX (1) MX2019007874A (ja)
MY (1) MY195238A (ja)
RU (1) RU2710004C1 (ja)
SA (1) SA518400567B1 (ja)
SG (1) SG11201811328PA (ja)
TW (1) TWI772348B (ja)
WO (1) WO2018127769A1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB201704770D0 (en) * 2017-01-05 2017-05-10 Illumina Inc Predictive focus tracking apparatus and methods
WO2019133756A1 (en) 2017-12-29 2019-07-04 Clear Labs, Inc. Automated priming and library loading device
NL2020618B1 (en) * 2018-01-12 2019-07-18 Illumina Inc Real time controller switching
JP6960352B2 (ja) * 2018-02-20 2021-11-05 株式会社日立ハイテク ステージ装置、及び荷電粒子線装置
US20230088338A1 (en) 2021-09-10 2023-03-23 Illumina, Inc. Sequencer focus quality metrics and focus tracking for periodically patterned surfaces
CN115086563B (zh) * 2022-07-27 2022-11-15 南方科技大学 基于SerialEM的单颗粒数据收集方法和装置
CN115576075B (zh) * 2022-11-21 2023-03-14 上海隐冠半导体技术有限公司 一种自动对焦系统和方法
WO2024119480A1 (zh) * 2022-12-09 2024-06-13 深圳华大智造科技股份有限公司 对焦控制方法及相关设备

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2696044B2 (ja) 1992-07-14 1998-01-14 株式会社ミツトヨ 合焦検出方法、これを用いた非接触変位測定方法及び装置
DE10101624A1 (de) 2001-01-16 2002-07-18 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Scharfeinstellung für Mikroskope
KR100863850B1 (ko) * 2001-01-30 2008-10-15 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 가변형 미러와 당해 가변형 미러를 구비한 정보 장치 및 보상 광학 장치
DE10127284A1 (de) 2001-06-05 2002-12-12 Zeiss Carl Jena Gmbh Autofokussiereinrichtung für ein optisches Gerät
US6924929B2 (en) * 2002-03-29 2005-08-02 National Institute Of Radiological Sciences Microscope apparatus
JP3990177B2 (ja) 2002-03-29 2007-10-10 独立行政法人放射線医学総合研究所 顕微鏡装置
US7725018B2 (en) * 2006-08-01 2010-05-25 Canon Kabushiki Kaisha Focus control apparatus, image sensing apparatus and focus control method
US8878923B2 (en) * 2007-08-23 2014-11-04 General Electric Company System and method for enhanced predictive autofocusing
JP5621259B2 (ja) * 2007-09-03 2014-11-12 株式会社ニコン 顕微鏡装置
US8084969B2 (en) * 2007-10-01 2011-12-27 Allegro Microsystems, Inc. Hall-effect based linear motor controller
DE102008018864B4 (de) 2008-04-15 2022-01-05 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop mit Haltefokus-Steuerung
JP5228878B2 (ja) * 2008-12-17 2013-07-03 株式会社リコー カップリングレンズ、照明装置、及び電子機器
CN102639989B (zh) * 2009-11-06 2014-12-10 赛博光学公司 具有自适应聚焦的高速光学检查系统
EP2383600B1 (en) 2010-04-30 2013-02-20 CellaVision AB Method, apparatus, and computer program product for focus prediction
DE102011082756A1 (de) * 2011-09-15 2013-03-21 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Autofokussierverfahren und -einrichtung für ein Mikroskop
US9575308B2 (en) * 2012-03-23 2017-02-21 Huron Technologies International Inc. Slide scanner with dynamic focus and specimen tilt and method of operation
ES2953897T3 (es) 2012-05-02 2023-11-16 Leica Biosystems Imaging Inc Enfoque en tiempo real en imagenología de exploración lineal
EP2947489A4 (en) * 2013-01-17 2016-10-05 Hamamatsu Photonics Kk IMAGE-DEFINITION APPARATUS AND METHOD FOR FOCUSING AN IMAGE-DEFINITION DEVICE
AU2014292179B2 (en) 2013-07-18 2017-12-07 Ventana Medical Systems, Inc. Auto-focus methods and systems for multi-spectral imaging
US9134523B2 (en) * 2013-07-19 2015-09-15 Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited Predictive focusing for image scanning systems
CN103399397B (zh) * 2013-07-19 2015-11-18 香港应用科技研究院有限公司 用于图像扫描系统的预测聚焦
US8809809B1 (en) * 2013-09-27 2014-08-19 Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited Apparatus and method for focusing in fluorescence microscope
US9444995B2 (en) 2013-10-11 2016-09-13 Mitutoyo Corporation System and method for controlling a tracking autofocus (TAF) sensor in a machine vision inspection system
CN103592754B (zh) * 2013-11-07 2016-03-09 麦克奥迪实业集团有限公司 一种数字切片实时扫描自动聚焦跟踪方法
US9798130B2 (en) * 2014-01-09 2017-10-24 Zygo Corporation Measuring topography of aspheric and other non-flat surfaces
US9546962B2 (en) * 2014-02-12 2017-01-17 Kla-Tencor Corporation Multi-spot scanning collection optics
US9804029B2 (en) * 2014-03-05 2017-10-31 Hitachi High-Technologies Corporation Microspectroscopy device
JP6031731B2 (ja) 2014-07-18 2016-11-24 レーザーテック株式会社 検査装置及びオートフォーカス方法
US10455137B2 (en) * 2014-07-28 2019-10-22 Orbotech Ltd. Auto-focus system
US10025084B2 (en) 2014-10-08 2018-07-17 Biotek Instruments, Inc. Autofocus algorithm for microscopy system based on cross-correlation
JP2016156950A (ja) 2015-02-24 2016-09-01 キヤノン株式会社 自動焦点調節装置およびその制御方法
AU2016282996A1 (en) * 2015-06-25 2018-01-18 Ascus Biosciences, Inc. Methods, apparatuses, and systems for analyzing microorganism strains from complex heterogeneous communities, predicting and identifying functional relationships and interactions thereof, and selecting and synthesizing microbial ensembles based thereon
GB201704770D0 (en) * 2017-01-05 2017-05-10 Illumina Inc Predictive focus tracking apparatus and methods

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020505625A5 (ja)
KR101845187B1 (ko) 레이저 다이싱 장치 및 다이싱 방법
TWI827841B (zh) 自動顯微鏡聚焦系統、裝置及方法
US10775598B2 (en) Scanning microscope
JP2018151624A5 (ja)
KR101825923B1 (ko) 레이저 가공장치 및 레이저 가공방법
EP3202525A1 (en) Three-dimensional object generating apparatus and method for calibrating thereof
CN107340584B (zh) 显微镜
JP2008146060A (ja) オートフォーカス装置及びその方法
US9297994B2 (en) Grating-assisted autofocus device and autofocusing method for an imaging device
KR101279578B1 (ko) 레이저 가공용 오토포커싱 장치 및 이를 이용한 오토포커싱 방법
JP2016139726A (ja) レーザーダイシング装置
TWI574072B (zh) 自動對焦系統及其對焦方法
JP2007271979A (ja) 生物顕微鏡
JPH06265773A (ja) 顕微鏡自動焦点装置
JP4614907B2 (ja) 顕微鏡
KR101816221B1 (ko) 광영상 및 레이저 가공을 위한 초점 거리 조절 장치 및 방법
JP4877588B2 (ja) 合焦補正方法
JP7394299B2 (ja) オートフォーカス光学系及び加工光学装置
JP6653454B2 (ja) レーザーダイシング装置
JP4974062B2 (ja) 創薬スクリーニング方法
KR101688612B1 (ko) 포커스 측정 기능을 가지는 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법
JP6459559B2 (ja) レーザーダイシング装置
JP6476897B2 (ja) 光硬化樹脂の硬度分布計測装置及び硬度分布計測方法
TW201620657A (zh) 可根據光束靈敏度聚焦的自動聚焦系統與方法