JP2018151624A5 - - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 22
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 2
- 238000001712 DNA sequencing Methods 0.000 claims 1
- 201000006623 congenital myasthenic syndrome 10 Diseases 0.000 description 10
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 5
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 3
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920000160 (ribonucleotides)n+m Polymers 0.000 description 1
- 239000000560 biocompatible material Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001808 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 229920003013 deoxyribonucleic acid Polymers 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Description
光源160(例えば、必要に応じ複数のレーザを含むアセンブリ内の励起レーザ)又は他の光源は、光ファイバインタフェース(必要に応じ1つ以上の再結像レンズ、光ファイバマウントを含み得る)を介して試料内の蛍光シーケンシング反応を照明するために含んでよい。図示の例には低ワット数のランプ165、フォーカシングレーザ150及び逆ダイクロイックも示されている。いくつかの実施形態において、フォーカシングレーザ150は撮像中ターンオフすることができる。他の実施形態において、別のフォーカス構成は第2のフォーカシングカメラ(図示せず)を含んでよく、このフォーカシングカメラは、データ収集と同時に表面から反射される散乱光の位置を測定するために、四分割検出器、位置敏感検出器(PSD)又は類似の検出器を含んでよい。
いくつかの実施形態では、LGM182はより速い走査速度に適応するためにより高い出力で作動し得る光源を含むことができる(例えば、LGM182内のレーザは5倍大きい出力で作動し得る)。同様に、レーザモジュールの光源も、ナノメータスケールのフォーカス精度を達成するため及びより速い走査速度に適応するために、より高い出力で作動させる及び/又はより高い解像度の光センサを含むことができる。FTM184の冷却システムは、従来知られている冷却技術を用いて、高出力レーザからの追加の熱出力を吸収するように強化することができる。
各モジュールは、システム180に組み込む前に、予めアライメントされ、予め認定される。例えば、LGM182の組み立て及び設定は、筐体内へのレーザ又はレーザダイオードの結合及びレーザ又はレーザダイオードを作動させる電子機器のインストールを含み得る。その後、完成LGM182を試験台上に載置し、作動させて筐体内のレーザダイオード並びに任意のオプティクス又は他のコンポーネントをアライメントさせることができる。LGM筐体は外部取付け構造、例えばLGM182を試験台に整列させるのみならず、システム180内への取り付け時に精密取付け板190に整列させるように構成された取付けピン、データム、ノッチ、タブ、スロット、リッジ、又は他の突部若しくは凹部など、を含むことができる。いったんLGM182が設定され、試験されると、そのLGM182はシステム180内に取り付けるか、現場取り替え可能ユニット(FRU)としてパッケージ化し貯蔵するか、出荷することができる。
LGM1182は更に、ミラー1002及び1004を含むことができる。光源1650により発生された光ビームは1002で反射し、アパーチャ又はミラー1004の半反射表面を通り、単一のインタフェースポートを通ってEOM1188内へ向けられる。同様に、光源1660により発生された光ビームはミラー1003及びミラー1004で反射し、単一のインタフェースポートを通ってEOM1188内へ向けられる。いくつかの例では、例えば図1Hに示されるように、追加の調整表面を提供するために、追加の調節可能なミラーのセットをミラー1004に隣接して組み込むことができる。
両光ビームはダイクロイックミラー1004を用いて合成することができる。両光ビームはパウエルレンズのようなライン形成オプティクスを通るように向けることができる。ミラー1002及び1004の各々は、光源1650及び1660からの光ビームをアライメントするために、手動又は自動制御を用いて調節するように構成することができる。光ビームはシャッタ素子1006に通してよい。EOM1188は対物レンズ1404と、対物レンズ1404を長手方向にターゲット1192に近づく又は離れるように動かすz台1024を含むことができる。例えば、ターゲット1192は液体層1550と透明カバープレート1504を含むことができ、生物試料はカバープレートの内面と液体層の下に位置する基板層の内面に位置させることができる。z台はその後、光ビームがフローセルの内面上にフォーカスする(例えば、生物試料上にフォーカスされる)ように対物レンズを移動することができる。生物試料は、従来知られているように、光学シーケンシングに応答するDNA、RNA、タンパク質又は他の生物材料とすることができる。いくつかの実施形態では、対物レンズは、フローセルの表面における光ビームのライン幅が拡大するように、フローセルを越えた焦点に光ビームをフォーカスするように設定することができる。
LGMアライメントシステムは、LGM内のレンズ、レーザ又は他のコンポーネント又はオプティクスのみならず、ミラー1002及び1004の相対位置を調整又は操作するための制御表面を含むことができる。例えば、これらの調整は制御ノブ、ネジ、又は他のコンポーネントの手動操作によって行うことができる。他の実施形態では、1つ以上の光学コンポーネントは自動的に調整又は操作され得る。自動制御装置は電動並進台、作動装置、1つ以上の圧電台、並びに/又は1つ以上の自動スイッチ及びフリップミラー及びレンズを含み得る。すべての装置、試験システム、キャリブレーション、および試験プロシージャを制御するためにソフトウェアインタフェースを使用することができる。アライメントシステムは、ビームプロファイラ(例えば、2Dイメージセンサ)、撮像レンズ(交換用EOM対物レンズ)、減衰器、及び/又はアライメントターゲットを含む。ソフトウェアインタフェースは品質制御及び製品評価のための報告を出力するためにも使用することができる。例えば、報告は、ビームプロファイラにより発生される、LGMの光学コンポーネントの各アライメント設定に対するビーム強度及びプロファイルに関するデータを含むことができる。
本明細書において、「コンピュータプログラム媒体」及び「コンピュータ可用媒体」という用語は、例えば、メモリ908、記憶装置922、媒体914、及びチャネル928などの媒体を総称するために使用される。これらの及び他の様々な形態のコンピュータプログラム媒体又はコンピュータ可用媒体は、1つ以上の命令の1つ以上のシーケンスを実行のためにプロセシング装置へ搬送する処理に従事することができる。媒体に具体化されたこのような命令は一般に「コンピュータプログラムコード」又は「コンピュータプログラムプロダクト」と呼ばれている(これは、コンピュータプログラムの形で又は他の形でグループ化することもできる)。実行時に、これらの命令は本明細書で述べたように開示の技術の特徴又は機能を実行するようにコンピューティングエンジン900をイネーブルすることができる。
Claims (20)
- ライン発生モジュールと対物レンズとを備え、
前記ライン発生モジュールは、
第1の光ビームを第1の波長で放射するための第1の光源と、
第2の光ビームを第2の波長で放射するための第2の光源と、
前記第1の光源により放射された光ビームをラインに成形し、前記第2の光源により放射された光ビームをラインに成形するための1つ以上のライン形成オプティクスと、
を備え、前記対物レンズは、前記第1の光ビーム及び前記第2の光ビームを試料構造体の試料の外に位置する焦点にフォーカスする、撮像システム。 - 前記試料構造体は、カバープレートと、基板と、前記カバープレートと前記基板との間の液体通路とを備え、前記液体通路は上部内面と底部内面を含み、前記試料は前記液体通路の前記上部内面又は前記底部内面に置かれている、請求項1記載の撮像システム。
- 前記焦点は、前記試料構造体の前記上部内面における前記第1の光ビームのライン幅及び第2のラインビームのライン幅を増大するために前記液体通路の前記底部内面の下方に位置する、請求項2記載の撮像システム。
- 前記焦点は、前記試料構造体の前記上部内面における前記第1の光ビームのライン幅及び第2のラインビームのライン幅を増大するために前記液体通路の前記底部内面の上方に位置する、請求項2記載の撮像システム。
- 前記焦点は、前記試料構造体の前記底部内面より約50μm〜約150μm下方に位置する、請求項3記載の撮像システム。
- 前記焦点は、前記試料構造体の前記底部内面より約50μm〜約150μm上方に位置する、請求項4記載の撮像システム。
- 前記試料からの蛍光放射を検出するために時間遅延積分センサを更に備え、前記時間遅延積分センサは約5μm〜約15μmの画素サイズ、約0.4mm〜約0.8mmのセンサ幅、及び約16mm〜約48mmのセンサ長を有する、請求項2記載の撮像システム。
- 前記第1の光ビームのライン幅及び前記第2の光ビームのライン幅は約10μm〜30μmである、請求項2記載の撮像システム。
- 前記第1の光ビームのライン長及び前記第2の光ビームのライン長は約1mm〜1.5mmである、請求項5記載の撮像システム。
- 前記第1の光ビームのライン長及び前記第2の光ビームのライン長は約1mm〜1.5mmである、請求項6記載の撮像システム。
- 前記第1の光ビームのライン幅を拡大するとともに前記第2の光ビームのライン幅を拡大する、1つ以上のライン拡幅オプティクスを更に備える、請求項2記載の撮像システム。
- 前記1つ以上のライン拡幅オプティクスは、デフォーカスレンズ、プリズム又はディフューザを備える、請求項11記載の撮像システム。
- 前記1つ以上の拡幅オプティクスは、前記第1の光源及び前記第2の光源から前記対物レンズまでの光路内にデフォーカスレンズの後に配置されたパウエルレンズを備える、請求項11記載の撮像システム。
- 前記第1の光ビームのライン幅は、前記試料の表面上の前記第1の光ビームのパワー密度が前記試料上の第1の染料の光飽和閾値より低くなるように、前記試料の表面上の前記第1の光ビームの総合パワー密度が低下するように増大され、且つ前記第2の光ビームのライン幅は、前記試料の表面上の前記第2の光ビームのパワー密度が前記試料上の第2の染料の光飽和閾値より低くなるように、前記試料の表面上の前記第2の光ビームの総合パワー密度が低下するように増大される、請求項2記載の撮像システム。
- 前記第1の光ビームのライン幅及び前記第2の光ビームのライン幅を調整するために前記対物レンズを調節するz台を更に備える、請求項7記載の撮像システム。
- プロセッサと、コンピュータ実行可能命令が格納された非トランジトリコンピュータ可読媒体とを更に備え、前記コンピュータ実行可能命令は、前記撮像システムに、
前記時間遅延積分センサからの信号の品質を決定すること、及び
前記焦点を調整し、前記時間遅延積分センサからの信号の品質を最適にするために前記対物レンズをz軸方向に調節すること、
を実行させるように構成されている、請求項15記載の撮像システム。 - ライン発生モジュールと対物レンズとを備え、
前記ライン発生モジュールは、
各々光ビームを放射する複数の光源と、
各光ビームをラインに成形する1つ以上のライン形成オプティクスと、
を備え、前記対物レンズ又は前記1つ以上のライン形成オプティクスは、フローセルの第1の表面又は第2の表面における各ラインの幅を拡大する、DNAシーケンシングシステム。 - 前記対物レンズは、前記フローセルの前記第1の表面又は前記第2の表面における各ラインの幅を拡大するために、各光ビームを前記フローセルの内面の外に位置する焦点にフォーカスする、請求項17記載のシステム。
- 前記焦点は前記フローセルの上部内面の上方又は前記フローセルの底部内面の下方に位置する、請求項18記載のシステム。
- 前記焦点は、前記フローセルの前記底部内面より約50μm〜約150μm下方に又は前記フローセルの前記上部内面より約50μm〜約150μm上方に位置する、請求項19記載の撮像システム。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762468883P | 2017-03-08 | 2017-03-08 | |
US62/468,883 | 2017-03-08 | ||
NL2018855A NL2018855B1 (en) | 2017-05-05 | 2017-05-05 | Laser line illuminator for high throughput sequencing |
NLN2018855 | 2017-05-05 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020081101A Division JP2020170165A (ja) | 2017-03-08 | 2020-05-01 | 高スループットシーケンシング用のレーザライン照明装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018151624A JP2018151624A (ja) | 2018-09-27 |
JP2018151624A5 true JP2018151624A5 (ja) | 2019-03-22 |
JP6782268B2 JP6782268B2 (ja) | 2020-11-11 |
Family
ID=59974829
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018033475A Active JP6782268B2 (ja) | 2017-03-08 | 2018-02-27 | 高スループットシーケンシング用のレーザライン照明装置 |
JP2020081101A Pending JP2020170165A (ja) | 2017-03-08 | 2020-05-01 | 高スループットシーケンシング用のレーザライン照明装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020081101A Pending JP2020170165A (ja) | 2017-03-08 | 2020-05-01 | 高スループットシーケンシング用のレーザライン照明装置 |
Country Status (14)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10774371B2 (ja) |
EP (1) | EP3373062A1 (ja) |
JP (2) | JP6782268B2 (ja) |
KR (2) | KR20180103014A (ja) |
CN (2) | CN108572439B (ja) |
AU (1) | AU2018201388B2 (ja) |
CA (1) | CA2996788C (ja) |
IL (1) | IL257830B2 (ja) |
MY (1) | MY196535A (ja) |
NL (1) | NL2018855B1 (ja) |
NZ (1) | NZ740257A (ja) |
SA (1) | SA118390415B1 (ja) |
SG (1) | SG10201801707XA (ja) |
TW (1) | TWI721250B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB201704771D0 (en) * | 2017-01-05 | 2017-05-10 | Illumina Inc | Modular optical analytic systems and methods |
NL2018855B1 (en) * | 2017-05-05 | 2018-11-14 | Illumina Inc | Laser line illuminator for high throughput sequencing |
CN111308680B (zh) * | 2018-12-11 | 2022-09-30 | 深圳华大生命科学研究院 | 线状照明装置和基因测序仪 |
CN109370900A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-02-22 | 深圳麦芽加速器科技有限公司 | 一种基因测序仪 |
US11499924B2 (en) * | 2019-06-03 | 2022-11-15 | KLA Corp. | Determining one or more characteristics of light in an optical system |
US20210187503A1 (en) * | 2019-12-19 | 2021-06-24 | Personal Genomics Taiwan, Inc. | Apparatus and system for single-molecule nucleic acids detection |
CN113155826B (zh) * | 2020-01-07 | 2024-08-27 | 深圳华大智造科技股份有限公司 | 检测装置 |
EP4166642A4 (en) * | 2020-06-10 | 2024-03-13 | BGI Shenzhen | IMAGE COLLECTION DEVICE FOR BIOLOGICAL SAMPLES AND GENE SEQUENCER |
CN116194565A (zh) * | 2020-11-04 | 2023-05-30 | 深圳华大智造科技股份有限公司 | 检测系统 |
US20220365000A1 (en) * | 2021-05-17 | 2022-11-17 | Brookhaven Science Associates, Llc | Dark-Field Microscopy Imaging Apparatus |
KR20240107114A (ko) * | 2021-11-10 | 2024-07-08 | 일루미나, 인코포레이티드 | 해상도 향상을 위해 라인스캔 시퀀싱 시스템에서 대물렌즈의 가열을 제어하기 위한 장치 및 방법 |
WO2024006234A1 (en) * | 2022-06-30 | 2024-01-04 | Illumina, Inc. | Apparatus for reduction of signal variation in sequencing system |
US11723556B1 (en) | 2022-07-21 | 2023-08-15 | University Of Houston System | Instructional technologies for positioning a lower limb during muscular activity and detecting and tracking performance of a muscular activity |
AU2023353465A1 (en) * | 2022-09-29 | 2024-10-03 | Illumina, Inc. | Dynamic optical system calibration |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5736410A (en) * | 1992-09-14 | 1998-04-07 | Sri International | Up-converting reporters for biological and other assays using laser excitation techniques |
US6361495B1 (en) * | 2000-02-07 | 2002-03-26 | Leica Microsystems Inc. | Hand-held non-contact tonometer |
DE10227119A1 (de) * | 2002-06-15 | 2004-01-15 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Optische Anordnung zur Gewinnung von Informationen von einer Probe oder einem Beobachtungsobjekt |
US7441703B2 (en) * | 2002-08-20 | 2008-10-28 | Illumina, Inc. | Optical reader for diffraction grating-based encoded optical identification elements |
JP4762593B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2011-08-31 | オリンパス株式会社 | 外部レーザ導入装置 |
US7791013B2 (en) * | 2006-11-21 | 2010-09-07 | Illumina, Inc. | Biological microarray line scanning method and system |
US9382585B2 (en) | 2007-10-30 | 2016-07-05 | Complete Genomics, Inc. | Apparatus for high throughput sequencing of nucleic acids |
WO2009108795A1 (en) | 2008-02-26 | 2009-09-03 | Battelle Memorial Institute | Biological and chemical microscopic targeting |
US10114213B2 (en) * | 2008-04-04 | 2018-10-30 | Cvi Laser, Llc | Laser systems and optical devices for manipulating laser beams |
US8834797B2 (en) | 2008-04-04 | 2014-09-16 | Life Technologies Corporation | Scanning system and method for imaging and sequencing |
EP2335111A4 (en) | 2008-10-09 | 2013-12-25 | Ge Healthcare Bio Sciences | SYSTEM AND METHOD FOR ADJUSTING A BEAM DILATOR IN AN IMAGING SYSTEM |
US20100157086A1 (en) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Illumina, Inc | Dynamic autofocus method and system for assay imager |
US8639012B2 (en) * | 2009-03-20 | 2014-01-28 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Serial-line-scan-encoded multi-color fluorescence microscopy and imaging flow cytometry |
US8481903B2 (en) * | 2010-03-06 | 2013-07-09 | Alexander Triener | Systems, methods, and apparatuses including a moveable optical component for detecting optical signals from a sample |
CN103782141B (zh) | 2011-09-08 | 2017-05-17 | 热电科学仪器有限公司 | 发射和透射光谱仪 |
US9885662B2 (en) * | 2012-07-06 | 2018-02-06 | Bt Imaging Pty Ltd | Methods for inspecting semiconductor wafers |
JP6053138B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2016-12-27 | 株式会社日立エルジーデータストレージ | 光断層観察装置及び光断層観察方法 |
US9439568B2 (en) * | 2014-07-03 | 2016-09-13 | Align Technology, Inc. | Apparatus and method for measuring surface topography optically |
JP6583602B2 (ja) * | 2014-09-19 | 2019-10-02 | コニカミノルタ株式会社 | 細胞内の核酸の解析方法ならびにそのためのシステムおよびキット |
US20160139032A1 (en) * | 2014-11-19 | 2016-05-19 | Kla-Tencor Corporation | Inspection system and method using an off-axis unobscured objective lens |
TW201629456A (zh) | 2015-01-06 | 2016-08-16 | 鴻海精密工業股份有限公司 | 抗衝擊性能測試裝置 |
NL2018855B1 (en) * | 2017-05-05 | 2018-11-14 | Illumina Inc | Laser line illuminator for high throughput sequencing |
JP2018169502A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
-
2017
- 2017-05-05 NL NL2018855A patent/NL2018855B1/en active
-
2018
- 2018-02-26 AU AU2018201388A patent/AU2018201388B2/en active Active
- 2018-02-26 NZ NZ740257A patent/NZ740257A/en unknown
- 2018-02-27 JP JP2018033475A patent/JP6782268B2/ja active Active
- 2018-02-27 CA CA2996788A patent/CA2996788C/en active Active
- 2018-02-27 TW TW107106623A patent/TWI721250B/zh active
- 2018-03-01 MY MYPI2018000308A patent/MY196535A/en unknown
- 2018-03-02 SG SG10201801707XA patent/SG10201801707XA/en unknown
- 2018-03-02 IL IL257830A patent/IL257830B2/en unknown
- 2018-03-06 EP EP18160332.5A patent/EP3373062A1/en active Pending
- 2018-03-06 US US15/913,420 patent/US10774371B2/en active Active
- 2018-03-07 SA SA118390415A patent/SA118390415B1/ar unknown
- 2018-03-07 KR KR1020180027087A patent/KR20180103014A/ko active Application Filing
- 2018-03-08 CN CN201810191355.1A patent/CN108572439B/zh active Active
- 2018-03-08 CN CN201820319958.0U patent/CN208705562U/zh not_active Expired - Fee Related
-
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