JP2020504842A - 残留圧縮応力を有する光学コーティングを備えた被覆物品 - Google Patents
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Abstract
Description
被覆物品において、
主面を有する基板と、
その基板の主面上に配置され、空気側の表面を形成する光学コーティングであって、堆積材料の1つ以上の層を含む光学コーティングと、
を備え、
その光学コーティングの少なくとも一部は、約50MPa超の残留圧縮応力を有し、
その光学コーティングは、リング・オン・リング引張試験手順で測定して約0.4%以上の破壊歪みを有し、
その光学コーティングは、約50nm以上の圧痕深さに沿って、バーコビッチ圧子硬度試験により空気側の表面で測定して12GPa以上の最大硬度を有し、
その被覆物品は、約80%以上の平均明所視透過率を有する、被覆物品。
(i)その光学コーティングが、約350nmから約600nm未満の厚さ、約0.65%超の破壊歪み、および14GPa以上の最大硬度を有する;および
(ii)その光学コーティングが、約600nm以上の厚さ、約0.4%超のコーティング破壊歪み、および13GPa以上の最大硬度を有する;
の内の一方である、実施の形態1の被覆物品。
その残留圧縮応力を有する光学コーティングの一部が、複数のイオン交換可能な金属イオンおよび複数のイオン交換された金属イオンをさらに含み、そのイオン交換された金属イオンは、イオン交換可能な金属イオンの原子半径より大きい原子半径を有する、実施の形態1または実施の形態2の被覆物品。
その残留圧縮応力が、機械的ブラスト技法によって光学コーティングに与えられる、実施の形態1または実施の形態2の被覆物品。
その光学コーティングの少なくとも一部が熱膨張係数を有し、その基板が熱膨張係数を有し、その基板が、光学コーティングの少なくとも一部が有するよりも大きい熱膨張係数を有し、その熱膨張係数は、約20℃から約300℃の温度範囲に亘り測定される、実施の形態1または実施の形態2の被覆物品。
その光学コーティングの少なくとも一部の熱膨張係数に対する基板の熱膨張係数の比が、約1.2:1以上である、実施の形態5の被覆物品。
その被覆物品が、約50nm以上の圧痕深さに沿って、バーコビッチ圧子硬度試験により空気側の表面で測定して約14GPa以上の最大硬度を示す、実施の形態1から6いずれか1つの被覆物品。
その基板が非晶質基板または結晶質基板を含む、実施の形態1から7いずれか1つの被覆物品。
被覆物品を製造する方法において、
空気側の表面を形成し、堆積材料の1つ以上の層を備える光学コーティングを基板の主面上に堆積させる工程、
を有してなり、
その光学コーティングの少なくとも一部は、約50MPa超の残留圧縮応力を有し、
その光学コーティングは、リング・オン・リング引張試験手順で測定して約0.4%以上の破壊歪みを有し、
その光学コーティングは、約50nm以上の圧痕深さに沿って、バーコビッチ圧子硬度試験により空気側の表面で測定して12GPa以上の最大硬度を有し、
その被覆物品は、約80%以上の平均明所視透過率を有する、方法。
(i)その光学コーティングが、約350nmから約600nm未満の厚さ、約0.65%超の破壊歪み、および14GPa以上の最大硬度を有する;および
(ii)その光学コーティングが、約600nm以上の厚さ、約0.4%超のコーティング破壊歪み、および13GPa以上の最大硬度を有する;
の内の一方である、実施の形態9の方法。
堆積された光学コーティングをイオン交換処理することによって、その光学コーティング上に残留圧縮応力を与える工程をさらに含む、実施の形態9または実施の形態10の方法。
そのイオン交換処理が、その光学コーティングをイオン性塩浴と接触させる工程を含む、実施の形態11の方法。
そのイオン交換処理が、電界イオン交換を含む、実施の形態11または実施の形態12の方法。
機械的ブラスト技法により光学コーティング上に残留圧縮応力を与える工程をさらに含む、実施の形態9または実施の形態10の方法。
その光学コーティングの堆積前に、物理的応力下で基板を変形させる工程、および
光学コーティングの堆積後に、変形した基板にそれ自体を再形成させる工程、
をさらに含み、
その光学コーティングは、変形した上に堆積されている、実施の形態9または実施の形態10の方法。
その基板上に光学コーティングの一部を堆積させ、その基板を加熱し、その基板を、その上に堆積されたコーティングと共に冷ます工程をさらに含む、実施の形態9または実施の形態10の方法。
その被覆物品が、約50nm以上の圧痕深さに沿って、バーコビッチ圧子硬度試験により空気側の表面で測定して約14GPa以上の最大硬度を示す、実施の形態9から16のいずれか1つの方法。
消費家電製品において、前面、背面および側面を有する筐体;その筐体の少なくとも部分的に内部に設けられた電気部品であって、少なくとも制御装置、メモリ、およびディスプレイであって、その筐体の前面にまたはそれに隣接して設けられたディスプレイを含む電気部品;およびそのディスプレイ上に配置されたカバーガラスを有し、その筐体の一部またはカバーガラスの少なくとも一方が、実施の形態1から8いずれか1つの被覆物品から作られている、消費家電製品。
す。より深い圧痕深さでは、硬度とモジュラスの両方が、応答がより軟質のガラス基板の影響を受けるので、徐々に減少する。この場合、コーティングの硬度およびモジュラスは、最大硬度およびモジュラスを示す領域に関連するものと解釈される。より硬質のガラス基板上の軟質コーティングの場合、コーティングの性質は、比較的小さい圧痕深さで生じる最低の高度およびモジュラスレベルにより示される。より深い圧痕深さでは、硬度およびモジュラスは、より硬質のガラスの影響のために、徐々に増加する。深さに対する硬度およびモジュラスのこれらのプロファイルは、従来のOliverおよびPharrの手法(Fischer-Crippsに記載されたような)、またはより効率的な連続剛性手法(Hay参照)のいずれかを使用して得ることができる。信頼できるナノインデンテーションデータの抽出には、確立したプロトコルにしたがう必要がある。そうでなければ、これらの評価指標は、著しい誤差に曝され得る。これらの弾性率値および硬度値は、上述したような、公知のダイヤモンドナノインデンテーション方法を使用して、バーコビッチダイヤモンド圧子の先端で、そのような薄膜について測定される。
プラズマ蒸着によって、ガラス基板上に膜を堆積させた。膜は、反応性スパッタリング堆積を使用して、「Gorilla」Glass(約850MPaのCS、約40マイクロメートルのDOC、および1.0ミリメートル(mm)の厚さを有するCorningコード#5318)上に膜を堆積させた。スパッタリング標的は、シリコンおよびアルミニウムの直径3インチ(約7.5cm)の標的であった。各標的は、シャッターが閉じたときに、スパッタ物質の堆積を防ぐ、またはシャッターが開いたときに基板上にスパッタ物質の堆積を可能にすることができる空気圧駆動シャッターを有した。サンプルは、スパッタリング標的の上に位置している。チャンバ内のスパッタリング発射距離は約100mmであった。均一性を改善するために、サンプルをスパッタリング標的上で回転させた。基板近く(約1mm離れた)の温度をモニタするために、基板ホルダの近くに配置した熱電対を使用した。サンプルを、堆積の前と最中に、チャンバ内で加熱し、200℃に保持するように制御した。このチャンバに、圧力を制御するために可変角度仕切弁を使用した。この可変角度弁は、便利なものであるが、ここに開示された膜特性を達成するためには必要ない。堆積チャンバでは、チャンバ中にサンプルを輸送するためにロードロックを使用した。このチャンバは、ターボ分子ポンプにより引いた。このチャンバの基準圧力は、約0.1マイクロトール(すなわち、10−7トール(約13×10−6Pa))であった。
Tecport Symphony堆積装置を使用したイオンアシストプラズマ蒸着を利用して、「Gorilla」Glass(約850MPaのCS、約40マイクロメートルのDOC、および1.0mmの厚さを有するCorningコード#5318)上にコーティングを堆積させた。表4は、堆積の条件を示している。実施例2の全てのコーティングは、AlONから形成した。堆積中にAlマグネトロンに印加した電力は、4kWであった。堆積時間は、表4に示されるように、変えた。マグネトロンに供給したアルゴン流は40sccmであり、イオン銃に供給したアルゴン流は25sccmであった。イオン銃に供給した窒素流は45sccmであり、イオン銃に供給した酸素流は2.5sccmであった。堆積のポンピングには、1.39mT(約0.19Pa)のチャンバ圧のために2つのクライオポンプを使用した。サンプルは、20rpmで回転させた。表4は、サンプルのモジュラスおよび硬度、並びに被覆基板の破壊歪みも示している。
被覆物品において、
主面を有する基板と、
前記基板の主面上に配置され、空気側の表面を形成する光学コーティングであって、堆積材料の1つ以上の層を含む光学コーティングと、
を備え、
前記光学コーティングの少なくとも一部は、約50MPa超の残留圧縮応力を有し、
前記光学コーティングは、リング・オン・リング引張試験手順で測定して約0.4%以上の破壊歪みを有し、
前記光学コーティングは、約50nm以上の圧痕深さに沿って、バーコビッチ圧子硬度試験により前記空気側の表面で測定して12GPa以上の最大硬度を有し、
前記被覆物品は、約80%以上の平均明所視透過率を有する、被覆物品。
(i)前記光学コーティングが、約350nmから約600nm未満の厚さ、約0.65%超の破壊歪み、および14GPa以上の最大硬度を有する;および
(ii)前記光学コーティングが、約600nm以上の厚さ、約0.4%超のコーティング破壊歪み、および13GPa以上の最大硬度を有する;
の内の一方である、実施形態1に記載の被覆物品。
前記残留圧縮応力を有する前記光学コーティングの一部が、複数のイオン交換可能な金属イオンおよび複数のイオン交換された金属イオンをさらに含み、該イオン交換された金属イオンは、該イオン交換可能な金属イオンの原子半径より大きい原子半径を有する、実施形態1または2に記載の被覆物品。
前記残留圧縮応力が、機械的ブラスト技法によって前記光学コーティングに与えられる、実施形態1または2に記載の被覆物品。
前記光学コーティングの前記少なくとも一部が熱膨張係数を有し、前記基板が熱膨張係数を有し、該基板が、該光学コーティングの該少なくとも一部が有するよりも大きい熱膨張係数を有し、該熱膨張係数は、約20℃から約300℃の温度範囲に亘り測定される、実施形態1または2に記載の被覆物品。
前記光学コーティングの前記少なくとも一部の熱膨張係数に対する前記基板の熱膨張係数の比が、約1.2:1以上である、実施形態5に記載の被覆物品。
前記光学コーティングが、約14GPa以上の最大硬度を示す、実施形態1から6いずれか1つに記載の被覆物品。
前記基板が非晶質基板または結晶質基板を含む、実施形態1から7いずれか1つに記載の被覆物品。
消費家電製品において、
前面、背面および側面を有する筐体;
前記筐体の少なくとも部分的に内部に設けられた電気部品であって、少なくとも制御装置、メモリ、およびディスプレイであって、該筐体の前面にまたはそれに隣接して設けられたディスプレイを含む電気部品;および
前記ディスプレイ上に配置されたカバーガラス;
を備え、
前記筐体の一部または前記カバーガラスの少なくとも一方が、実施形態1から8いずれか1つに記載の被覆物品から作られている、消費家電製品。
被覆物品を製造する方法において、
空気側の表面を形成し、堆積材料の1つ以上の層を備える光学コーティングを基板の主面上に堆積させる工程、
を有してなり、
前記光学コーティングの少なくとも一部は、約50MPa超の残留圧縮応力を有し、
前記光学コーティングは、リング・オン・リング引張試験手順で測定して約0.4%以上の破壊歪みを有し、
前記光学コーティングは、約50nm以上の圧痕深さに沿って、バーコビッチ圧子硬度試験により前記空気側の表面で測定して12GPa以上の最大硬度を有し、
前記被覆物品は、約80%以上の平均明所視透過率を有する、方法。
(i)前記光学コーティングが、約350nmから約600nm未満の厚さ、約0.65%超の破壊歪み、および14GPa以上の最大硬度を有する;および
(ii)前記光学コーティングが、約600nm以上の厚さ、約0.4%超のコーティング破壊歪み、および13GPa以上の最大硬度を有する;
の内の一方である、実施形態10に記載の方法。
堆積された前記光学コーティングをイオン交換処理することによって、該光学コーティング上に残留圧縮応力を与える工程をさらに含む、実施形態10または実施形態11に記載の方法。
前記イオン交換処理が、前記光学コーティングをイオン性塩浴と接触させる工程を含む、実施形態12に記載の方法。
前記イオン交換処理が、電界イオン交換を含む、実施形態12または13に記載の方法。
機械的ブラスト技法により前記光学コーティング上に残留圧縮応力を与える工程をさらに含む、実施形態10または11に記載の方法。
前記光学コーティングの堆積前に、物理的応力下で前記基板を変形させる工程、および
前記光学コーティングの堆積後に、変形した前記基板にそれ自体を再形成させる工程、
をさらに含み、
前記光学コーティングは、前記変形した基板上に堆積されている、実施形態10または11に記載の方法。
前記基板上に前記光学コーティングの前記少なくとも一部を堆積させ、該基板を加熱し、該基板を、その上に堆積されたコーティングと共に冷ます工程をさらに含む、実施形態10または11に記載の方法。
前記被覆物品が、約14GPa以上の最大硬度を示す、実施形態10から17のいずれか1つに記載の方法。
110 基板
112、114 主面
116、118 副面
120 光学コーティング
122 空気側の表面
130 反射防止コーティング
130A、130B 複数の層
132 周期
140 上面コーティング
150 耐引掻性層
160 上部勾配層
170 底部勾配層
300 リング・オン・リング機械式試験装置
302 底部リング
304 上部リング
700 家庭用電子機器
702 筐体
704 前面
706 背面
708 側面
710 ディスプレイ
712 カバー基板
Claims (7)
- 被覆物品において、
主面を有する基板と、
前記基板の主面上に配置され、空気側の表面を形成する光学コーティングであって、堆積材料の1つ以上の層を含む光学コーティングと、
を備え、
前記光学コーティングの少なくとも一部は、約50MPa超の残留圧縮応力を有し、
前記光学コーティングは、リング・オン・リング引張試験手順で測定して約0.4%以上の破壊歪みを有し、
前記光学コーティングは、約50nm以上の圧痕深さに沿って、バーコビッチ圧子硬度試験により前記空気側の表面で測定して12GPa以上の最大硬度を有し、
前記被覆物品は、約80%以上の平均明所視透過率を有する、被覆物品。 - (i)前記光学コーティングが、約350nmから約600nm未満の厚さ、約0.65%超の破壊歪み、および14GPa以上の最大硬度を有する;および
(ii)前記光学コーティングが、約600nm以上の厚さ、約0.4%超のコーティング破壊歪み、および13GPa以上の最大硬度を有する;
の内の一方である、請求項1記載の被覆物品。 - 前記残留圧縮応力を有する前記光学コーティングの一部が、複数のイオン交換可能な金属イオンおよび複数のイオン交換された金属イオンをさらに含み、該イオン交換された金属イオンは、該イオン交換可能な金属イオンの原子半径より大きい原子半径を有する、請求項1または2記載の被覆物品。
- 前記残留圧縮応力が、機械的ブラスト技法によって前記光学コーティングに与えられる、請求項1または2記載の被覆物品。
- 前記光学コーティングの前記少なくとも一部が熱膨張係数を有し、前記基板が熱膨張係数を有し、該基板が、該光学コーティングの該少なくとも一部が有するよりも大きい熱膨張係数を有し、該熱膨張係数は、約20℃から約300℃の温度範囲に亘り測定される、請求項1または2記載の被覆物品。
- 前記光学コーティングの前記少なくとも一部の熱膨張係数に対する前記基板の熱膨張係数の比が、約1.2:1以上である、請求項5記載の被覆物品。
- 消費家電製品において、
前面、背面および側面を有する筐体;
前記筐体の少なくとも部分的に内部に設けられた電気部品であって、少なくとも制御装置、メモリ、およびディスプレイであって、該筐体の前面にまたはそれに隣接して設けられたディスプレイを含む電気部品;および
前記ディスプレイ上に配置されたカバーガラス;
を備え、
前記筐体の一部または前記カバーガラスの少なくとも一方が、請求項1から6いずれか1項記載の被覆物品から作られている、消費家電製品。
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WO2019067698A1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Corning Incorporated | GLASS, CERAMIC AND CERAMIC ARTICLES HAVING CALIBRATED PROTECTIVE COATINGS HAVING HARDNESS AND STRENGTH |
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CN111094200B (zh) * | 2018-08-17 | 2022-01-07 | 康宁股份有限公司 | 具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品 |
KR20210110807A (ko) * | 2018-11-21 | 2021-09-09 | 코닝 인코포레이티드 | 경도 및 인성을 갖는 보호 코팅을 갖는 유리, 유리-세라믹 및 세라믹 물품 |
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CN111020513B (zh) * | 2019-12-30 | 2022-01-07 | 西安理工大学 | 一种提高纳米金属多层膜韧性的方法 |
US20220009824A1 (en) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | Corning Incorporated | Anti-glare substrate for a display article including a textured region with primary surface features and secondary surface features imparting a surface roughness that increases surface scattering |
EP4259587A1 (en) | 2020-12-11 | 2023-10-18 | Corning Incorporated | Cover glass articles for camera lens and sensor protection and apparatus with the same |
US20220317340A1 (en) | 2021-04-01 | 2022-10-06 | Corning Incorporated | Transparent glass-ceramic articles with retained strength and display devices with the same |
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WO2023183180A1 (en) | 2022-03-21 | 2023-09-28 | Corning Incorporated | Cover articles with high hardness and anti-reflective properties for infrared sensors |
WO2023215206A1 (en) | 2022-05-03 | 2023-11-09 | Corning Incorporated | Transparent articles with high shallow hardness and display devices with the same |
WO2024137879A2 (en) * | 2022-12-20 | 2024-06-27 | Intevac, Inc. | Low index of refraction thin film with high hardness coating and method and apparatus to produce same |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02143918A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスクの製造方法 |
JPH0551237A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-02 | Matsushita Electric Works Ltd | ガラスの強化方法 |
US20050287309A1 (en) * | 2004-06-25 | 2005-12-29 | Guardian Industries Corp., | Coated article with ion treated underlayer and corresponding method |
JP2008147053A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JP2015535804A (ja) * | 2012-10-03 | 2015-12-17 | コーニング インコーポレイテッド | 表面改質ガラス基板 |
JP2015535731A (ja) * | 2012-09-20 | 2015-12-17 | アプヴィオン インコーポレイテッド | 噴霧乾燥マイクロカプセル |
JP2016519340A (ja) * | 2013-05-07 | 2016-06-30 | コーニング インコーポレイテッド | 勾配層を有する耐擦傷性物品 |
Family Cites Families (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4168113A (en) * | 1977-07-05 | 1979-09-18 | American Optical Corporation | Glass lens with ion-exchanged antireflection coating and process for manufacture thereof |
US4995684A (en) | 1986-06-18 | 1991-02-26 | Raytheon Company | Impact resistant and tempered optical elements |
US5035745A (en) * | 1990-06-29 | 1991-07-30 | Ppg Industries, Inc. | Ion-exchanged abrasion resistant coatings |
US5508368A (en) * | 1994-03-03 | 1996-04-16 | Diamonex, Incorporated | Ion beam process for deposition of highly abrasion-resistant coatings |
SE9502687D0 (sv) * | 1995-07-24 | 1995-07-24 | Sandvik Ab | CVD coated titanium based carbonitride cutting tool insert |
DE10019355A1 (de) * | 2000-04-18 | 2001-10-31 | Schott Glas | Glaskörper mit erhöhter Festigkeit |
US7229533B2 (en) * | 2004-06-25 | 2007-06-12 | Guardian Industries Corp. | Method of making coated article having low-E coating with ion beam treated and/or formed IR reflecting layer |
US7311975B2 (en) * | 2004-06-25 | 2007-12-25 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article having low-E coating with ion beam treated IR reflecting layer and corresponding method |
US7585396B2 (en) * | 2004-06-25 | 2009-09-08 | Guardian Industries Corp. | Coated article with ion treated overcoat layer and corresponding method |
EP1825943B1 (en) * | 2004-12-14 | 2017-01-25 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Coated cutting tool |
WO2009041528A1 (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Citizen Holdings Co., Ltd. | 時計用カバーガラス |
KR101231651B1 (ko) | 2007-12-14 | 2013-02-08 | (주)엘지하우시스 | 고강도 내취성 기재가 접착된 유리 인테리어 장식재 |
JP2009217018A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Seiko Epson Corp | 光学物品及び光学物品の製造方法 |
EP2307328A1 (en) | 2008-07-11 | 2011-04-13 | Corning Incorporated | Glass with compressive surface for consumer applications |
US8187671B2 (en) * | 2008-07-28 | 2012-05-29 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Method of making heat treated coated article using diamond-like carbon (DLC) coating and protective film including removal of protective film via blasting |
WO2010014163A1 (en) | 2008-07-29 | 2010-02-04 | Corning Incorporated | Dual stage ion exchange for chemical strengthening of glass |
TWI372993B (en) | 2008-08-12 | 2012-09-21 | Cando Corp | Cover lens with touch-sensing function and method for fabricating the same |
US8439808B2 (en) | 2008-09-08 | 2013-05-14 | Brian H Hamilton | Bicycle trainer with variable resistance to pedaling |
TWM359148U (en) | 2009-01-05 | 2009-06-11 | Samya Technology Co Ltd | Universal battery charger |
CN102121279B (zh) | 2011-01-19 | 2012-10-31 | 北京索利特新型建筑材料有限公司 | 挤塑聚苯板外墙外保温系统及其制作工艺 |
US8668990B2 (en) * | 2011-01-27 | 2014-03-11 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable four layer anti-reflection coating |
CN109384399A (zh) | 2011-11-30 | 2019-02-26 | 康宁股份有限公司 | 具有光学涂层和易清洁涂层的玻璃制品的制备方法 |
CN202416723U (zh) | 2011-12-31 | 2012-09-05 | 北京振利节能环保科技股份有限公司 | 一种带有柔性找平砂浆的防水保温屋面 |
TWI606986B (zh) * | 2012-10-03 | 2017-12-01 | 康寧公司 | 用於保護玻璃表面的物理氣相沉積層 |
US10487009B2 (en) | 2012-10-12 | 2019-11-26 | Corning Incorporated | Articles having retained strength |
JP6213867B2 (ja) * | 2013-02-21 | 2017-10-18 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
US9110230B2 (en) * | 2013-05-07 | 2015-08-18 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with retained optical properties |
US9366784B2 (en) * | 2013-05-07 | 2016-06-14 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
US9684097B2 (en) * | 2013-05-07 | 2017-06-20 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with retained optical properties |
US9359261B2 (en) * | 2013-05-07 | 2016-06-07 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
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US10160688B2 (en) * | 2013-09-13 | 2018-12-25 | Corning Incorporated | Fracture-resistant layered-substrates and articles including the same |
TWI592311B (zh) * | 2013-09-13 | 2017-07-21 | 康寧公司 | 具有多層光學膜的低色偏抗刮物件 |
US20150166407A1 (en) | 2013-12-08 | 2015-06-18 | Saxon Glass Technologies, Inc. | Strengthened glass and methods for making utilizing electric field assist |
CN106103370B (zh) * | 2014-03-21 | 2020-05-01 | 康宁股份有限公司 | 具有图案化涂层的制品 |
US9335444B2 (en) * | 2014-05-12 | 2016-05-10 | Corning Incorporated | Durable and scratch-resistant anti-reflective articles |
US11267973B2 (en) * | 2014-05-12 | 2022-03-08 | Corning Incorporated | Durable anti-reflective articles |
DE102014108059B4 (de) * | 2014-06-06 | 2016-07-07 | Schott Ag | Verfahren zur Herstellung eines Deckglas-Elements, insbesondere für Anzeigen mobiler Elektronikgeräte und verfahrensgemäß hergestelltes Deckglas |
US9790593B2 (en) * | 2014-08-01 | 2017-10-17 | Corning Incorporated | Scratch-resistant materials and articles including the same |
CN107567431A (zh) | 2015-02-25 | 2018-01-09 | 康宁股份有限公司 | 具有高硬度多层堆叠的光学结构和制品以及它们的制造方法 |
EP3300520B1 (en) * | 2015-09-14 | 2020-11-25 | Corning Incorporated | High light transmission and scratch-resistant anti-reflective articles |
WO2017218452A1 (en) * | 2016-06-13 | 2017-12-21 | Corning Incorporated | Scratch-resistant and optically transparent materials and articles |
TWI733903B (zh) * | 2016-09-27 | 2021-07-21 | 美商康寧公司 | 具有工程設計的應力分佈的基於玻璃的製品及其製造方法 |
KR102505252B1 (ko) * | 2016-12-30 | 2023-03-03 | 코닝 인코포레이티드 | 잔류 압축 응력을 갖는 광학 코팅(optical coating)이 있는 코팅된 제품 |
TWI833695B (zh) * | 2017-05-08 | 2024-03-01 | 美商康寧公司 | 具有在光學及抗刮塗層上之耐久性光滑抗指紋塗層之玻璃, 玻璃陶瓷及陶瓷製品及其製造方法 |
CN215340409U (zh) * | 2017-05-08 | 2021-12-28 | 康宁股份有限公司 | 包含光学涂层的制品 |
CN111132945B (zh) * | 2017-07-31 | 2022-10-21 | 康宁股份有限公司 | 具有受控的粗糙度和微结构的涂层 |
CN111094200B (zh) * | 2018-08-17 | 2022-01-07 | 康宁股份有限公司 | 具有薄的耐久性减反射结构的无机氧化物制品 |
KR20210110807A (ko) * | 2018-11-21 | 2021-09-09 | 코닝 인코포레이티드 | 경도 및 인성을 갖는 보호 코팅을 갖는 유리, 유리-세라믹 및 세라믹 물품 |
WO2021041065A1 (en) * | 2019-08-27 | 2021-03-04 | Corning Incorporated | Optical film structures and articles for hidden displays and display devices |
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2023
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02143918A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスクの製造方法 |
JPH0551237A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-02 | Matsushita Electric Works Ltd | ガラスの強化方法 |
US20050287309A1 (en) * | 2004-06-25 | 2005-12-29 | Guardian Industries Corp., | Coated article with ion treated underlayer and corresponding method |
JP2008147053A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JP2015535731A (ja) * | 2012-09-20 | 2015-12-17 | アプヴィオン インコーポレイテッド | 噴霧乾燥マイクロカプセル |
JP2015535804A (ja) * | 2012-10-03 | 2015-12-17 | コーニング インコーポレイテッド | 表面改質ガラス基板 |
JP2016519340A (ja) * | 2013-05-07 | 2016-06-30 | コーニング インコーポレイテッド | 勾配層を有する耐擦傷性物品 |
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