JP2020199617A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 基板の被研磨面が上向きとなるように前記基板を保持する研磨装置のための研磨ヘッドであって、
   前記研磨ヘッドの回転シャフトの周囲に設けられた、液体を受けるための液体リザーバ部と、
   前記液体リザーバ部の上部に設けられた、液体を前記液体リザーバ部に注入するための液体注入口と、
   前記液体リザーバ部の下部に設けられた、液体を前記液体リザーバ部から排出するための液体排出口と、
   前記液体リザーバ部により受けられた液体を、前記液体排出口を介して圧送するための圧送部と、
   を備えた、研磨ヘッド。
2. 請求項１に記載の研磨ヘッドであって、
   前記液体リザーバ部は、上部から下部に向かって内径が広くなるように形成される、
   研磨ヘッド。
3. 請求項２に記載の研磨ヘッドであって、
   前記リザーバ部の少なくとも一部を構成する側壁が、上部に開口を有するドーム状に形成されている、
   研磨ヘッド。
4. 請求項３に記載の研磨ヘッドであって、前記研磨ヘッドはさらに、
   中央に開口を有する板状の基体と、
   前記回転シャフトの下端に設けられているフランジと、を有し、
   前記側壁は、前記基体の開口の周囲に設けられており、
   前記基体、前記側壁、前記回転シャフト、前記フランジ、およい前記圧送部は一体的な構造である、
   研磨ヘッド。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の研磨ヘッドであって、
   前記液体排出口は、前記液体リザーバ部の下部の外周部に設けられる、
   研磨ヘッド。
6. 請求項１から５のいずれか一項に記載の研磨ヘッドであって、
   前記圧送部は、前記液体リザーバ部の内部において前記研磨ヘッドの回転シャフトに取り付けられた羽根車を含む、
   研磨ヘッド。
7. 請求項１から５のいずれか一項に記載の研磨ヘッドであって、
   前記液体排出口と連通する空間をさらに含み、
   前記研磨ヘッドの回転シャフトは、中空であり、
   前記圧送部は、前記研磨ヘッドの回転シャフトの内部を通る駆動シャフトと、前記空間に設けられ、前記駆動シャフトに結合された羽根車と、を含む、
   研磨ヘッド。
8. 請求項１から５のいずれか一項に記載の研磨ヘッドであって、
   前記液体排出口と連通する空間をさらに含み、
   前記研磨ヘッドの回転シャフトは、中空であり、
   前記回転シャフトの中空部分と前記液体排出口と連通する空間との間に、液体が前記回転シャフトの中空部分に侵入するのを防止するためのシール部材が設けられている、
   研磨ヘッド。
9. 上面に基板を着脱可能に支持するための基板支持機構と、
   前記基板支持機構に対向するように設けられた、請求項１から８のいずれか一項に記載の研磨ヘッドと、
   前記研磨ヘッドの前記液体注入口を介して前記液体リザーバ部に液体を供給するための液体供給ノズルと、
   を備える、研磨装置。
10. 請求項９に記載の研磨装置であって、
    前記液体リザーバ部から液体が溢れていないか、および／または、前記液体排出口が液体で満たされているか、を監視するための液面監視装置を有する、
    研磨装置。
11. 請求項１０に記載の研磨装置であって、さらに、
    前記液面監視装置の測定値に基づいて前記圧送部の駆動出力を制御する制御部を有する、
    研磨装置。
12. 請求項９から１１のいずれか一項に記載の研磨装置を用いた研磨方法であって、
    前記研磨ヘッドの下面に取り付けられた研磨パッドを前記基板に接触させるステップと、
    前記液体供給ノズルから前記液体リザーバ部に液体を供給するステップと、
    前記圧送部を駆動させるステップと、
    を含む、研磨方法。
13. 請求項７に従属する請求項９から１１のいずれか一項に記載の研磨装置を用いた請求項
    １２に記載の研磨方法であって、
    前記圧送部を駆動させるステップとは独立して前記研磨ヘッドを回転させるステップと、
    前記圧送部の駆動を制御するステップと、
    を含む、研磨方法。
14. 請求項１３に記載の研磨方法であって、
    前記圧送部の駆動を制御するステップは、
    前記液体リザーバ部に供給された液体の液面位置を測定するステップと、
    前記液体の液面位置と基準位置とを比較するステップと、
    前記液体の液面位置と前記基準位置との比較結果に応じて、前記圧送部の駆動出力を維持する、上げる、または下げるステップと、
    を含む、研磨方法。