JP2020198386A - 処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】処理装置のカセット載置手段に載置されたカセットに収容された被加工物に対して所定の処理が施されないまま、カセットが搬出されることがない処理装置を提供する。【解決手段】複数の被加工物１０が収容されたカセット４０が載置されるカセット載置手段２Ａと、カセット４０から被加工物１０を搬出する搬出手段５０と、被加工物１０に処理を施す処理手段２０と、処理手段２０により処理された被加工物１０をカセット４０に収容する搬入手段５０を備えた処理装置１であって、カセット載置手段２Ａにカセット４０が載置されているか否かを検出する検出手段８０と、搬出手段５０、処理手段２０及び搬入手段５０の作動を指示する作動指示部３０と、を備え、カセット載置手段２Ａからカセット４０を搬出する際、作動指示部３０からの作動の指示がない状態で搬出される場合は、被加工物１０が未処理である旨を表示する制御手段１００を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、カセット載置手段と、該カセット載置手段に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、該被加工物に処理を施す処理手段と、該処理手段によって処理された被加工物を該カセットに収容する搬入手段と、を少なくとも備えた処理装置に関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

また、ウエーハは、ウエーハを収容する開口を備えたリング状のフレームに収容され紫外線の照射によって粘着力が低下する粘着テープによってフレームと一体に形成される。

そして、ウエーハがダイシング装置等によって個々のデバイスチップに分割された後、紫外線照射手段によって紫外線が照射されて、該粘着テープの粘着力が低下された状態で該粘着テープからデバイスチップがピックアップされ、配線基板に配設される（例えば、特許文献１を参照）。

特開平１１−１０２９５６号公報

ところで、上記したように、ウエーハに対する処理（紫外線の照射、ダイシング加工等）を処理装置によって実行するに際し、該ウエーハが収容されたカセットが該処理装置のカセット載置手段上に載置され状態で、様々な要因によって、該ウエーハに対する処理が施されないままになる場合がある。典型的には、作業者が処理装置に対して、処理装置の作動を指示する作動指示ボタンを押し忘れ、処理の作動が開始されたものと勘違いして該処理装置を離れたりする場合や、カセット載置手段にカセットを載置して該処理装置の作業を後任者に交代した際に、前任者が該処理装置の作動を指示していないにも関わらず、後任者が既に作動が行われたと勘違いする場合等が考えられる。

上記したように、該ウエーハに対する処理が施されず、一時的に該処理装置のカセット載置手段にカセットが載置されたままとなっても、その後、該処理装置に対する作動の指示がなされれば特に問題は生じない。しかし、上記した処理装置は、カセットに収容された全てのウエーハに対して自動的に所定の処理を実施するものであり、該処理が施された後のウエーハは全て自動的に該カセットに収容され処理が完了する。したがって、作業者は、該処理装置のカセット載置手段に載置されたままの該カセットに対峙したとき、カセットに収容された全てのウエーハに対して所定の処理が既に施されていると誤認してしまい、そのまま後工程に該カセットを搬送してしまうという問題が生じ得る。仮に、該所定の処理が、紫外線照射手段によってウエーハに貼着された粘着テープに対して紫外線を照射して粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射手段であった場合に、紫外線の照射処理が実施されていないウエーハが収容されたカセットを後に実施されるピックアップ工程に搬送すると、該粘着テープから個々に分割されたデバイスチップをピックアップできずにトラブルが発生し、生産性が悪化するという問題がある。このような問題は、紫外線照射手段による処理を実施する処理装置に限らず、ダイシング装置、レーザー加工装置、洗浄装置、検査装置等の各種の処理装置においても起こり得る問題である。

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、処理装置のカセット載置手段に載置されたカセットに収容された被加工物に対して所定の処理が施されないまま、該カセットが搬出されることがない処理装置を提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、複数の被加工物が収容されたカセットが載置されるカセット載置手段と、該カセット載置手段に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、該被加工物に処理を施す処理手段と、該処理手段によって処理された被加工物を該カセットに収容する搬入手段と、を少なくとも備えた処理装置であって、該カセット載置手段にカセットが載置されているか否かを検出する検出手段と、該搬出手段、該処理手段、及び該搬入手段の作動を指示する作動指示部と、を備え、該カセット載置手段から該カセットを搬出する際、該作動指示部からの作動の指示がない状態で搬出される場合は、被加工物が未処理である旨を表示する制御手段を備えた処理装置が提供される。

被加工物が未処理である旨の表示は、ブザーであることが好ましい。また、該搬出手段と該搬入手段とは、共通の手段により実現してもよい。さらに、被加工物は、複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハを収容するリング状のフレームに紫外線の照射によって粘着力が低下する粘着テープによって一体に形成されていて、該処理手段は、紫外線を照射して該粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射手段であることが好ましい。

本発明の処理装置は、複数の被加工物が収容されたカセットが載置されるカセット載置手段と、該カセット載置手段に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、該被加工物に処理を施す処理手段と、該処理手段によって処理された被加工物を該カセットに収容する搬入手段と、を少なくとも備えた処理装置であって、該カセット載置手段にカセットが載置されているか否かを検出する検出手段と、該搬出手段、該処理手段、及び搬入手段の作動を指示する作動指示部と、を備え、該カセット載置手段から該カセットを搬出する際、該作動指示部からの作動の指示がない状態で搬出される場合は、被加工物が未処理である旨を表示する制御手段を備えていることから、処理すべきウエーハが複数収容されたカセットを処理装置にセットした後、処理手段による被加工物に対する処理が実施されないまま、該処理装置からカセットが搬出されて、後工程に搬送されることを防止することができ、後工程においてトラブルが発生し、生産性が悪化する等の問題が解消する。

紫外線照射装置の全体斜視図、及びウエーハを含む一体ユニットの斜視図である。 図１に示す紫外線照射装置の制御手段によって実行される制御のフローチャートである。 紫外線照射装置の吸引搬送手段によって一体ユニットが搬送される態様を示す斜視図である。 紫外線照射装置において、一体ユニットに紫外線が照射される態様を示す斜視図である。 紫外線照射装置から、作業者によってカセットが搬出される態様を示す斜視図である。

以下、本発明に基づいて構成される処理装置に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

図１には、本実施形態の紫外線照射装置１、及び、本実施形態において被加工物となるウエーハ１０を含む一体ユニットＵの斜視図が示されている。一体ユニットＵは、被加工物であるウエーハ１０を収容する開口を備えたリング状のフレーム１２にウエーハ１０を収容し、紫外線の照射によって粘着力が低下する粘着テープ１４を貼着して一体に形成されている。粘着テープ１４は、例えば、ＰＥＴからなる基材と、該基材の表面に配設され紫外線が照射されることにより粘着力が低下する粘着剤と、により構成される。ウエーハ１０は、例えば、複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されており、本実施形態では、該分割予定ラインに対して、別途の切削装置によって予め切削加工が施されて、個々のデバイスチップ１０ａに分割されている。

図１に示すように、カセット４０は、カセットケース４１の前面に開口部４２を備えたカセットケース４１と、カセットケース４１の上面に配設された取っ手部４３とを備え、複数の一体ユニットＵがカセット４０の内部に収容され、取っ手部４３を把持する作業者Ｈによって、紫外線照射装置１に搬入される。

紫外線照射装置１は、略直方体形状の基台２を備え、基台２上に配設され昇降自在に形成されたカセット載置手段２Ａ上に、作業者Ｈによって搬入されたカセット４０が載置される。基台２には、一体ユニットＵの粘着テープ１４に紫外線を照射する処理を実施する処理手段としての紫外線照射手段２０と、紫外線照射装置１の作動を指示する作動指示部３０と、カセット４０から一体ユニットＵを搬出する搬出手段としての機能、及びカセット４０に一体ユニットＵを搬入する搬入手段としての機能を備えた搬出入手段５０と、カセット４０から一体ユニットＵを搬出した後、及び一体ユニットＵをカセット４０に搬入する前に一体ユニットＵを仮置きする仮置きテーブル６０と、仮置きテーブル６０に仮置きされた一体ユニットＵを吸引保持して、紫外線照射手段２０上に搬送すると共に、再び仮置テーブル６０に戻して仮置きするための吸引搬送手段７０と、カセット載置手段２Ａにカセット４０が載置されているか否かを検出する検出手段として機能するカセット検出手段８０と、を備えている。

紫外線照射手段２０は、上部が開放された直方体形状のケース２２と、ケース２２内に配設され上方に向けて紫外線を照射する複数のＵＶ管２４と、ケース２２の上部を閉塞し光透過性を有する板部材２６とからなる。該板部材２６は、ＵＶ管２４から発せられる紫外線が上方に向けて広い範囲でより均等に照射されるように、光拡散板であってもよい。紫外線照射手段２０は、制御手段１００に接続され、上記ＵＶ管２４の点灯及び消灯の制御は、制御手段１００によって実行される。

作動指示部３０は、作業者Ｈが押すことにより、少なくとも紫外線照射手段２０と、搬出入手段５０の作動を指示するものであり、本実施形態においては、紫外線照射手段２０と、搬出入手段５０に加え、カセット載置手段２Ａ、仮置きテーブル６０、及び吸引搬送手段７０の作動を含み、カセット４０から一体ユニットＵを搬出し、一体ユニットＵに対する紫外線の照射処理を施した後、再び一体ユニットＵをカセット４０に搬入する一連の動作を、カセット４０に収容された全ての一体ユニットＵに対して実施することを指示するボタンである。なお、図１に示す作動指示部３０は、本発明の一実施形態にすぎず、他の形態、例えば、別途の操作パネルによって実現されるものであってもよい。

搬出入手段５０は、把持部５２を備え、基台２上に直線状に形成された凹レール５４に沿って図示しない駆動手段によって矢印Ｘ１で示す方向の任意の位置に移動可能に構成されている。搬出入手段５０は、上記したカセット載置手段２Ａ上に載置されたカセット４０の開口部４２に接近して、所定の高さに昇降制御されたカセット４０内の所定の一体ユニットＵを把持部５２で把持し、搬出入手段５０の移動に伴って引き出して仮置きテーブル６０上に搬出して仮置きする。また、紫外線照射手段２０による紫外線の照射処理が完了し、仮置きテーブル６０上に仮置きされた一体ユニットＵを、カセット４０の所定の収容位置に搬入する場合は、搬出入手段５０を移動して把持部５２を一体ユニットＵのフレーム１２に当接させて押し込むことで、カセット４０に収容する。すなわち、本実施形態においては、搬出手段及び搬入手段が、共通の手段である搬出入手段５０により実現される。なお、仮置きテーブル６０は、その幅が変更可能に構成されており、一体ユニットＵをカセット４０から搬出する際、及び一体ユニットＵをカセット４０に搬入する際に一体ユニットＵをガイドする。カセット載置手段２Ａ、及び搬出入手段５０は、制御手段１００に接続されており、制御手段１００の指示信号により、カセット載置手段２Ａの昇降位置が精密に制御されると共に、搬出入手段５０を移動させる該駆動手段、及び把持部５２が制御される。

吸引搬送手段７０は、直列に配置された上記紫外線照射手段２０、カセット４０、及び搬出入手段５０の配設方向に沿うように基台２の側端部に立設された門型フレーム７１と、門型フレーム７１の上面に形成された案内レール７２と、案内レール７２に沿って移動可能に構成された保持手段７３と、保持手段７３を支持するアーム部７４と、アーム部７４が連結され案内レール７２と係合する係合部７５と、を備えている。

案内レール７２内には、係合部７５を案内レール７２に沿って矢印Ｘ２で示す方向で進退させる図示しない駆動手段が配設されている。該駆動手段は、例えば、図示しないモータの回転運動を、係合部７５の図示しない雌ねじ部に伝達し、係合部７５と共に保持手段７３を案内レール７２に沿ったＸ２方向において進退させる。さらに、保持手段７３は、軸部７３２を上下方向に進退可能に支持するケース７３１と、軸部７３２の下端に配設された板状部材７３３と、板状部材７３３の両端部近傍に配設された複数の吸着パッド７３４とを備えている。吸着パッド７３４は、図示しない吸引手段に接続されており、各吸着パッド７３４を一体ユニットＵのフレーム１２に当接した状態で該吸引手段を作動することで、一体ユニットＵを吸引保持することが可能に構成されている。吸引搬送手段７０は、制御手段１００に接続されており、制御手段１００の指示信号に応じて、該駆動手段の動作、軸部７３２の進退動作、及び吸着パッド７３４の吸引動作が制御される。

カセット検出手段８０は、制御手段１００に接続され、例えば、赤外線をカセット４０が配設される方向に照射し反射して戻ってきた赤外線を受信して、カセット載置手段２Ａ上に載置されるカセット４０の有無を検出する赤外線型近接センサによって構成される。なお、本発明のカセット検出手段８０は、上記した赤外線型近接センサに限定されず、超音波型近接センサ、静電容量型近接センサ等の他の周知の近接センサを採用することができ、さらに言えば、近接センサに限定されず、カセット４０が載置されることで物理的に押され、カセット４０がカセット載置手段２Ａ上に載置されているか否かを検出する接触式のセンサであってもよい。

図１に示す基台２上の所定の位置、例えば、門型フレーム７１の角部には、表示手段として機能する表示灯９０が配設されている。表示灯９０は、回転しながら点滅する複数の発光手段（青ランプ９１、黄ランプ９２、赤ランプ９３）を備え、さらに、所定の音（例えばブザー、サイレン）等を周囲に向けて発するブザー９４を備えている。表示灯９０は、制御手段１００に接続され、制御手段１００の指示信号に基づき、各発光手段、及びブザー９４が作動する。なお、本発明の「表示手段」は、作業者の視覚に訴える青ランプ９１、黄ランプ９２、赤ランプ９３等に例示される発光手段に限定されず、図示しない液晶モニター等に作業者に訴えるべき情報内容を表示する手段、ブザー９４等によって実現されるブザー音等を鳴らして作業者の聴覚に伝える手段等も含む。

制御手段１００は、コンピュータにより構成され、制御プログラムに従って演算処理する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、該制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、各種センサによって検出した情報、及び演算結果等を一時的に格納するための読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と、入力インターフェース、及び出力インターフェースとを備えている（詳細についての図示は省略）。制御手段１００には、作動指示部３０及びカセット検出手段８０が接続され、作動指示部３０から発せられる作動指示信号、及びカセット検出手段８０により検出されるカセット検出信号が入力され、制御手段１００から発せられる指示信号により、カセット載置手段２Ａ、紫外線照射手段２０、搬出入手段５０、仮置きテーブル６０、搬送手段７０、表示灯９０の各動作が制御される。なお、図１においては、説明の都合上、制御手段１００を紫外線照射装置１の外部に示しているが、実際は、基台２の内部に収容される。

紫外線照射装置１は、概ね上記したとおりの構成を備えており、本実施形態の紫外線照射装置１の機能、作用について、以下に、より具体的に説明する。

図２には、紫外線照射装置１に配設された制御手段１００に格納された制御プログラムのフローチャート１２０が示されている。紫外線照射装置１に電源が投入されて制御手段１００の作動が開始されると、フローチャート１２０に沿って制御プログラムが実行される。該制御プログラムが実行されると、まず初めに、フローチャート１２０のステップＳ１が実行されて、カセット検出手段８０によって、カセット載置手段２Ａ上にカセット４０が載置されているか否かが検出される。カセット検出手段８０の検出信号に基づいて、カセット載置手段２Ａにカセット４０が載置されていないと検出された場合は、次のステップＳ２に進まずにステップＳ１を繰り返して実行する。

図１に示すように、作業者Ｈによって、カセット４０が紫外線照射装置１に搬入され、カセット載置手段２Ａ上に載置されたならば、カセット検出手段８０によってカセット載置手段２Ａにカセット４０が載置されていることが検出され、ステップＳ１で「ｙｅｓ」の判定がなされ、ステップＳ２に進む。

ステップＳ２に進んだならば、紫外線照射装置１の作動の開始を指示すべく作業者Ｈによって作動指示部３０が押されたか否か、すなわち、作動指示がされたか否かを判定する。ここで、作動指示がなされておらず「ｎｏ」と判定されたならば、ステップＳ３に進む。

ステップＳ３に進み、カセット載置手段２Ａから、カセット４０が搬出されたか否かを、カセット検出手段８０からの信号に基づいて判定する。ここで、カセット４０がカセット載置手段２Ａ上から搬出されず、載置されたままの状態である場合は、ステップＳ２に戻り、再びステップＳ２を実行する。

他方、ステップＳ２において、作業者Ｈによって作動指示部３０が押され、紫外線照射装置１に対して作動の指示がなされて「ｙｅｓ」と判定されたならば、ステップＳ５に進む。ステップＳ５に進んだならば、紫外線照射装置１の作動を実行すると共に、表示灯９０を作動（ＯＮ）する。以下に、紫外線照射装置１の作動、及び表示灯９０の作動について図３、図４を参照しながら、より具体的に説明する。

上記したように、紫外線照射装置１の作動指示部３０が押されると、図３に示すように、表示灯９０の青ランプ９１が回転しながら点滅し青色光Ｌを発する。それと共に、カセット載置手段２Ａが昇降して、カセット４０がＺ方向における所望の高さに位置付けられる。次いで、搬出入手段５０をカセット４０の開口部４２に接近させて、所定の一体ユニットＵのフレーム１２を把持部５２によって把持する。次いで、搬出入手段５０をカセット４０とは反対方向に移動して、カセット４０から所定の一体ユニットＵを仮置きテーブル６０上に搬出する。この際、一体ユニットＵを構成するフレーム１２は、仮置きテーブル６０によってガイドされる。さらに、一体ユニットＵが仮置きテーブル６０に搬出されたならば、図３に示すように、搬出入手段５０を図に示す退避位置に移動させると共に、保持手段７３を一体ユニットＵの直上に移動し、軸部７３２を伸長して板状部材７３３を下降させる。板状部材７３３が下降して吸着パッド７３４がフレーム１２に当接したならば、図示しない吸引手段を作動して、吸着パッド７３４を介して保持手段７３によって一体ユニットＵを吸引保持する。

次いで、保持手段７３の板状部材７３３を上昇し、保持手段７３を矢印Ｘ２で示す方向で移動して、図４に示すように、一体ユニットＵを紫外線照射手段２０上に位置付ける。一体ユニットＵを紫外線照射手段２０の上方に位置付けたならば、紫外線照射手段２０のＵＶ管２４を作動して、一体ユニットＵの粘着テープ１４に対し、紫外線を例えば１５秒間程度照射して、粘着テープ１４の粘着力を低下させる。なお、この際、紫外線によって適切に粘着テープ１４の粘着力が適切に低下するように、軸部７３２の進退量を調整し、紫外線照射手段２０と一体ユニットＵとの距離を調整することが好ましい。

上記したように、一体ユニットＵの粘着テープ１４に紫外線を照射したならば、保持手段７３を作動して、仮置きテーブル６０上に一体ユニットＵを搬送し載置する。次いで、搬出入手段５０によってカセット４０から一体ユニットＵを搬出した際の動作と逆の動作を実施して、搬出入手段５０の把持部５２を押し当てて一体ユニットＵをカセット４０に押し込み、該一体ユニットＵが収容されていた位置に搬入して、一つの一体ユニットＵに対する一連の処理が完了する。このような処理を、カセット載置手段２Ａの昇降位置を制御しながら、カセット４０に収容されている全ての一体ユニットＵに対して実施する。

フローチャート１２０のステップＳ５が実施され、上記したように紫外線照射装置１の作動が開始された後は、ステップＳ６にて紫外線照射装置１の作動が完了したか否かが繰り返し判定される。カセット４０に収容されている全ての一体ユニットＵに対する紫外線の照射を実行する処理が完了していない場合はステップＳ６にて「ｎｏ」と判定され、その間、表示灯９０の青ランプ９１の作動が継続される。上記した紫外線照射装置１の作動が完了し、すなわち、カセット４０に収容されている全ての一体ユニットＵに対して紫外線を照射する処理が完了したならば、ステップＳ６にて「ｙｅｓ」と判定され、ステップＳ７に進む。ステップＳ７に進んだならば、表示灯９０の作動が停止され、ステップＳ８に進む。なお、表示灯９０は、上記した紫外線を照射する処理を実施している最中に発生する諸状況に応じて、黄ライト９２、赤ライト９３に適宜切り替わるように設定されている。

ステップＳ８では、カセット載置手段２Ａから、カセット４０が搬出されたか否かを、カセット検出手段８０からの信号に基づいて判定する。ステップＳ８にて、カセット４０がカセット載置手段２Ａ上から搬出されておらず、載置されたままの状態が維持されて「ｎｏ」と判定される場合は、ステップＳ８を繰り返し実行する。

ここで、図５に示すように、作業者Ｈが、カセット載置手段２Ａ上から、カセット４０を搬出し、上記したステップＳ３、又はステップＳ８において「ｙｅｓ」と判定される場合について説明する。

上記したように、ステップＳ３において、作業者Ｈが、カセット載置手段２Ａ上から、カセット４０を搬出し「ｙｅｓ」と判定されるのは、作動指示部３０によって作動の指示がなされていない状態であり、カセット４０がカセット載置手段２Ａに載置されて以降、紫外線照射手段２０、及び搬出入手段５を作動させるための指示がなされておらず、紫外線を一体ユニットＵに照射する処理が実施されていないことから、ステップＳ４に進み、未処理表示を実施する。該未処理表示について、より具体的に説明する。

ステップＳ４で実施される該未処理表示は、典型的には、未処理である旨を表示すべく、図５に示すように、ブザー９４から警告音としてのブザーＢを発信する。また、ブザーＢの発信に替えて、又は加えて、表示灯９０の赤ランプ９３を作動して、赤色光Ｌを回転、点滅しながら発して、作業者Ｈに知らせるようにしてもよい。さらには、紫外線照射装置１に配設される図示しない液晶モニターに「取り出したカセットは未処理です！」等の未処理である旨を示すメッセージを表示してもよい。このように未処理表示が実施されることで、作業者Ｈは、一体ユニットＵに対して紫外線を照射する処理を実施していないカセット４０を搬出した勘違いに気づくことができる。上記したようにステップＳ４による未処理表示が実施されたならば、フローチャート１２０による制御が終了（エンド）となる。なお、作業者Ｈが再度カセット載置手段２Ａにカセット４０を載置した場合は、再度フローチャート１２０のステップＳ１から実行される。

他方、ステップＳ８において、カセット載置手段２Ａ上から、カセット４０が搬出されて「ｙｅｓ」と判定される場合は、既にカセット４０に収容された全てのウエーハ１０に対して紫外線照射手段２０による紫外線照射処理が完了しているので、そのまま搬出されることに問題はない。よって、ステップＳ９に進み、ＯＫ処理を実施する。なお、ＯＫ処理は、カセット４０がカセット載置手段２Ａから搬出される際に、カセット４０に収容される全てのウエーハ１０に対する処理が完了している旨を、適宜の表示手段に表示するものであってもよいが、そのまま搬出されても何ら問題はないことから、何らのメッセージを発しない処理であってもよい。

本発明によれば、上記した実施形態に限定されず、種々の変形例が提供される。例えば、上記した実施形態では、本発明を紫外線照射装置１に適用した例を示したが、本発明はこれに限定されず、カセットに収容された被加工物に対して、切削処理を施すダイシング装置、レーザー加工処理を施すレーザー加工装置、洗浄処理を施す洗浄装置、各種の検査処理を施す検査装置等の処理装置に適用することが可能である。

上記した実施形態では、カセット４０から一体ユニットＵを搬出する搬出手段としての機能、及びカセット４０に一体ユニットＵを搬入する搬入手段としての機能を備えた搬出入手段５０を配設した例を示したが、本発明はこれに限定されず、カセット４０から一体ユニットＵを搬出する搬出手段と、カセット４０に一体ユニットＵを搬入する搬入手段とを別個の手段により実現するものであってもよい。

１：紫外線照射装置
２：基台
２Ａ：カセット載置手段
１０：ウエーハ
１２：フレーム
１４：粘着テープ
２０：紫外線照射手段
２４：ＵＶ管
２６：板部材
３０：作動指示部
４０：カセット
４１：カセットケース
４２：開口部
４３：取っ手部
５０：搬出入手段
６０：仮置きテーブル
７０：吸引搬送手段
７２：レール
７３：保持手段
７３１：ケース
７３２：軸部
７３３：板状部材
７３４：吸着パッド
７５：係合部
８０：カセット検出手段
９０：表示灯
１００：制御手段
１２０：フローチャート

Claims (4)

1. 複数の被加工物が収容されたカセットが載置されるカセット載置手段と、該カセット載置手段に載置されたカセットから被加工物を搬出する搬出手段と、該被加工物に処理を施す処理手段と、該処理手段によって処理された被加工物を該カセットに収容する搬入手段と、を少なくとも備えた処理装置であって、
   該カセット載置手段にカセットが載置されているか否かを検出する検出手段と、該搬出手段、該処理手段、及び該搬入手段の作動を指示する作動指示部と、を備え、
   該カセット載置手段から該カセットを搬出する際、該作動指示部からの作動の指示がない状態で搬出される場合は、被加工物が未処理である旨を表示する制御手段を備えた処理装置。
2. 被加工物が未処理である旨の表示は、ブザーである請求項１に記載の処理装置。
3. 該搬出手段と該搬入手段とは、共通の手段により実現される請求項１又は２に記載の処理装置。
4. 被加工物は、複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハを収容するリング状のフレームに紫外線の照射によって粘着力が低下する粘着テープによって一体に形成されていて、
   該処理手段は、紫外線を照射して該粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射手段である請求項１乃至３のいずれかに記載の処理装置。