JP2020190665A - 固体撮像素子用カラーフィルタの感光性着色組成物、カラーフィルタ、およびそれを用いた固体撮像素子 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、色再現特性向上を達成する特定の亜鉛フタロシアニン顔料を用いた場合において、顔料含有量が高い、あるいは膜厚が厚くとも、高感度で、塗膜に異物が少ない優れた感光性着色組成物、およびそれを用いたカラーフィルタの提供を目的とする。【解決手段】上記課題は、着色剤（Ａ）と、バインダ樹脂（Ｂ）と、重合性化合物（Ｃ）と、光重合開始剤（Ｄ）とを含有し、前記着色剤（Ａ）は、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、そのうち臭素原子数が平均８〜１２個、かつ塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）を特定の割合で含み、かつ、着色剤（Ａ）が感光性着色組成物の固形分全量に対して５０質量％以上であり、さらに、該光重合開始剤（Ｄ）が一般式（１）で表される光重合開始剤（Ｄ１）を含む固体撮像素子用カラーフィルタに使用される感光性着色組成物によって解決される。【選択図】なし

Description

本発明は、カラー撮像管素子に用いられるカラーフィルタの製造に使用されるカラーフィルタ用感光性着色組成物、及びこれを用いて形成されてなるフィルタセグメントを備えるカラーフィルタ、およびそれを用いた固体撮像素子に関するものである。

固体撮像素子等に使用されるカラーフィルタは、感光性着色組成物を用いてフォトリソグラフィー法により微細なパターンを形成されてなる。近年、固体撮像素子の高精細化に伴い、そのカラーフィルタに含まれる顔料にも、更なる微細化や高濃度化、あるいは着色力が優れている着色剤を選定することが求められており、カラーフィルタとしたときに、異物が発生しやすい状況となっている。また、顔料が高濃度となることから、高感度の感光性着色組成物が求められており、特許文献１に開示されている。

特開２００８−２９９２１８号公報

色再現特性向上を達成する特定の亜鉛フタロシアニン顔料を用いた場合において、顔料含有量が高い、あるいは膜厚が厚くとも、高感度で、塗膜に異物が少ない優れた感光性着色組成物、およびそれを用いたカラーフィルタの提供を目的とする。

すなわち、本発明は、着色剤（Ａ）と、バインダ樹脂（Ｂ）と、重合性化合物（Ｃ）と、光重合開始剤（Ｄ）とを含有し、前記着色剤（Ａ）は、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、そのうち臭素原子数が平均８〜１２個、かつ塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）を含み、該ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）が着色剤（Ａ）の全量に対し、２０質量％〜９５質量％であり、かつ、着色剤（Ａ）が感光性着色組成物の固形分全量に対して５０質量％以上であり、さらに、該光重合開始剤（Ｄ）が下記一般式（１）で表される光重合開始剤（Ｄ１）を含むことを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタに使用される感光性着色組成物に関する。

一般式（１）

〔一般式（１）において、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₃、Ｒ₄は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルキルオキシ基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、置換もしくは未置換のアルキルスルファニル基、置換もしくは未置換のアリールスルファニル基、置換もしくは未置換のアシル基、または置換もしくは未置換のアミノ基を表す。〕

また、本発明は、基材上に、前記感光性着色組成物を用いて形成されるフィルタセグメントを具備するカラーフィルタに関する。

また、本発明は、前記カラーフィルタを有する、固体撮像素子に関する。

本発明の感光性着色組成物は、色再現特性向上を達成する特定の亜鉛フタロシアニン顔料を用いた場合において、顔料含有量が高い、あるいは膜厚が厚くとも、高感度で、塗膜に異物が少ないため、それを用いることにより、高品質なカラーフィルタを得ることができる。

本願明細書の用語を定義する。「（メタ）アクリロイル」、「（メタ）アクリル」、「（メタ）アクリル酸」、「（メタ）アクリレート」、又は「（メタ）アクリルアミド」と表記した場合には、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイル及び／又はメタクリロイル」、「アクリル及び／又はメタクリル」、「アクリル酸及び／又はメタクリル酸」、「アクリレート及び／又はメタクリレート」、又は「アクリルアミド及び／又はメタクリルアミド」を表すものとする。本明細書に挙げる「Ｃ．Ｉ．」は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）を意味する。

本発明は、着色剤（Ａ）と、バインダ樹脂（Ｂ）と、重合性化合物（Ｃ）と、光重合開始剤（Ｄ）とを含有することを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタに使用される感光性着色組成物である。

（着色剤（Ａ））
本発明で使われる着色剤（Ａ）は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）を含み、該ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）が着色剤（Ａ）の全量に対し、２０質量％〜９５質量％であり、かつ、着色剤（Ａ）が感光性着色組成物の固形分全量に対して５０質量％以上であり、顔料（その他の有機顔料、無機顔料）、染料などを適宜併用するものである。

（ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１））
本発明で使われるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）は、複数種の、特定のハロゲン原子組成のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を特定割合にて含有するものである。具体的には、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、そのうち臭素原子数が平均８〜１２個、かつ塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニンである。高色再現を発現するためにより好ましくは、１分子中のハロゲン原子数が平均１１〜１３個であり、そのうち臭素原子数が平均８〜１１個、塩素原子数が平均２〜３個である。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料はハロゲン分布を持つ顔料組成物であり、平均組成は蛍光Ｘ線分析から求めることができる。

本発明で使われるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）は、従来のハロゲン化数が高い緑色顔料ほど、黄味の色相ではなく、青味の色相に特異性のあるものである。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料をカラーフィルタに含有することで、従来の高ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料では、達成出来なかった色相を表現でき、明度が高く、さらに、着色力が高いため、カラーフィルタとした時の膜厚の薄膜化が可能となる。

本発明で用いるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）は、例えば、クロルスルホン酸法、ハロゲン化フタロニトリル法、溶融法等の様な公知の製造方法で製造できる。

クロルスルホン酸法としては、亜鉛フタロシアニンを、クロロスルホン酸等の硫黄酸化物系の溶媒に溶解し、これに塩素ガス、臭素を仕込みハロゲン化する方法が挙げられる。この際の反応は、温度２０〜１２０℃かつ３〜２０時間の範囲で行われる。

ハロゲン化フタロニトリル法としては、例えば、芳香環の水素原子の一部または全部が臭素の他、塩素等のハロゲン原子で置換されたフタル酸やフタロジニトリルと、亜鉛の金属または金属塩を適宜出発原料として使用して、対応するハロゲン化亜鉛フタロシアニンを合成する方法が挙げられる。この場合、必要に応じてモリブデン酸アンモニウム等の触媒を用いてもよい。この際の反応は、温度１００〜３００℃かつ７〜３５時間の範囲で行われる。

溶融法としては、塩化アルミニウム、臭化アルミニウムの様なハロゲン化アルミニウム、四塩化チタンの様なハロゲン化チタン、塩化ナトリウム、臭化ナトリウム等の様なアルカリ金属ハロゲン化物またはアルカリ土類金属ハロゲン化物〔以下、アルカリ（土類）金属ハロゲン化物という〕、塩化チオニル等、各種のハロゲン化の際に溶媒となる化合物の一種または二種以上の混合物からなる１０〜１７０℃程度の溶融物中で、亜鉛フタロシアニンをハロゲン化剤にてハロゲン化する方法が挙げられる。

好適なハロゲン化アルミニウムは、塩化アルミニウムである。ハロゲン化アルミニウムを用いる上記方法における、ハロゲン化アルミニウムの添加量は、亜鉛フタロシアニンに対して、通常は、３倍モル以上であり、好ましくは１０〜２０倍モルである。

ハロゲン化アルミニウムは単独で用いてもよいが、アルカリ（土類）金属ハロゲン化物をハロゲン化アルミニウムに併用すると溶融温度をより下げることができ操作上有利になる。好適なアルカリ（土類）金属ハロゲン化物は、塩化ナトリウムである。加えるアルカリ（土類）金属ハロゲン化物の量は溶融塩を生成する範囲内でハロゲン化アルミニウム１０質量部に対してアルカリ（土類）金属ハロゲン化物が５〜１５質量部が好ましい。

また、ハロゲン化剤としては、塩素ガス、塩化スルフリル、臭素等がある。

ハロゲン化の温度は１０〜１７０℃が好ましいが、３０〜１４０℃がより好ましい。更に、反応速度を速くするため、加圧することも可能である。反応時間は、５〜１００時間で好ましくは、３０〜４５時間である。

前記化合物の二種以上を併用する溶融法は、溶融塩中の塩化物と臭化物とヨウ素化物の比率を調節したり、塩素ガスや臭素やヨウ素の導入量や反応時間を変化させたりすることによって、生成するハロゲン化亜鉛フタロシアニン中における、特定ハロゲン原子組成のハロゲン化亜鉛フタロシアニンの含有比率を任意にコントロールすることができるので好ましい。

ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）における好適な原料となる金属フタロシアニンは、亜鉛フタロシアニンである。反応中の原料の分解が少なく原料からの収率がより優れ、強酸を用いず安価な装置にて反応を行えるので、ハロゲン化亜鉛フタロシアニンを得る上では、溶融法が好適である。

また、原料仕込方法、触媒種や使用量、反応温度や反応時間の最適化により、既存のハロゲン化亜鉛フタロシアニンとは異なるハロゲン原子組成のハロゲン化亜鉛フタロシアニンを得ることが出来る。

上記いずれの製造方法にせよ、反応終了後、得られた混合物を水又は塩酸等の酸性水溶液中に投入すると、生成したハロゲン化亜鉛フタロシアニンが沈殿する。ハロゲン化亜鉛フタロシアニンとしては、これをそのまま用いても良いが、その後、濾過、水または硫酸水素ナトリウム水、炭酸水素ナトリウム水、水酸化ナトリウム水洗浄、必要に応じてアセトン、トルエン、メチルアルコール、エチルアルコール、ジメチルホルムアミド等の有機溶剤洗浄を行い、乾燥等の後処理を行ってから用いるのが好ましい。

ハロゲン化亜鉛フタロシアニンは、必要に応じてアトライター、ボールミル、振動ミル、振動ボールミル等の粉砕機内で乾式磨砕し、ついで、ソルベントソルトミリング法やソルベントボイリング法等で顔料化することによって、顔料化前よりは、分散性や着色力に優れ、かつ、明度の高い緑色を発色する顔料が得られる。

ハロゲン化亜鉛フタロシアニンの顔料化方法には特に制限はなく、例えば、顔料化前のハロゲン化亜鉛フタロシアニンを分散媒に分散させると同時に顔料化を行ってもよいが、多量の有機溶剤中でハロゲン化金属フタロシアニンを加熱攪拌するソルベント処理よりも、容易に結晶成長を抑制でき、かつ比表面積の大きい顔料粒子が得られる点で、ソルベントソルトミリング処理を採用するのが好ましい。

（その他のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ２）、その他の着色剤（Ａ３））
本発明で使われるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）と、併用できる顔料は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）以外のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ２）や、その他の着色剤（Ａ３）である以下のものが挙げられる。

赤色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１２、１４、１５、１６、１７、２１、２２、２３、３１、３２、３７、３８、４１、４７、４８、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５２：２、５３、５３：１、５３：２、５３：３、５７、５７：１、５７：２、５８：４、６０、６３、６３：１、６３：２、６４、６４：１、６８、６９、８１、８１：１、８１：２、８１：３、８１：４、８３、８８、９０：１、１０１、１０１：１、１０４、１０８、１０８：１、１０９、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４７、１４９、１５１、１６６、１６８、１６９、１７０、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８１、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１４、２１６、２２０、２２１、２２４、２３０、２３１、２３２、２３３、２３５、２３６、２３７、２３８、２３９、２４２、２４３、２４５、２４７、２４９、２５０、２５１、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８、２５９、２６０、２６２、２６３、２６４、２６５、２６６、２６７、２６８、２６９、２７０、２７１、２７２、２７３、２７４、２７５、２７６、２７７、２７８、２７９、２８０、２８１、２８２、２８３、２８４、２８５、２８６、２８７、２９１、２９５、２９６等を挙げることができる。

青色顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ピグメントブルー１、１：２、９、１４、１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、１７、１９、２５、２７、２８、２９、３３、３５、３６、５６、５６：１、６０、６１、６１：１、６２、６３、６６、６７、６８、７１、７２、７３、７４、７５、７６、７８、７９などを挙げることができる。

紫色顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１：１、２、２：２、３、３：１、３：３、５、５：１、１４、１５、１６、１９、２３、２５、２７、２９、３１、３２、３７、３９、４２、４４、４７、４９、５０などを挙げることができる。

緑色顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ピグメント グリーン１、２、４、７、８、１０、１３、１４、１５、１７、１８、１９、２６、３６、３７、４５、４８、５０、５１、５４、５５、６２、６３などを挙げることができるが、

黄色顔料では、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１４７、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９２、１９３、１９４、１９６、１９８、１９９、２１３、２１４、２３１、２３３等が挙げられる。

また、無機顔料としては、酸化チタン、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III)）、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、合成鉄黒等が挙げられる。無機顔料は、彩度と明度のバランスを取りつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、有機顔料と組合せて用いられる。

本発明で使われるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）と、併用できる顔料のなかで、もっとも好ましく使用される顔料は、Ｃ．Ｉ．ピグメント グリーン７、３６、６２、６３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、１８５、２３１、２３３である。

＜顔料の微細化＞
着色剤として有機顔料を使用する場合は、微細化処理を行った後、他の原料と混合することが好ましい。微細化処理の方法は、例えば、湿式磨砕、乾式磨砕、溶解析出法等が挙げられる。これらの中でも湿式磨砕の１種であるニーダー法によるソルトミリング処理等が好ましい。微細化処理後の有機顔料の平均一次粒子径は、１０〜８０ｎｍが好ましく、１５〜７０ｎｍがより好ましい。適度な粒子径により分散性がより向上し、被膜のコントラスト比がより向上する。なお、平均一次粒子径は、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）の拡大画像から任意に選択した約２０個の粒子の平均値である。なお、粒子の縦軸長さと横軸長さがある場合、縦軸長さを使用する。

ソルトミリング処理とは、顔料と水溶性無機塩と水溶性有機溶剤との混合物を、例えば、ニーダー、２本ロールミル、３本ロールミル、ボールミル、アトライター、サンドミル、プラネタリー型ミキサー等のバッチ式又は連続式混練機を用いて、加熱しながら機械的に混練した後、水洗により水溶性無機塩と水溶性有機溶剤を除去する処理である。水溶性無機塩は、破砕助剤として働くものであり、ソルトミリング時に無機塩の硬度の高さを利用して顔料が破砕される。顔料をソルトミリング処理する際の条件を最適化することにより、一次粒子径が非常に微細であり、また、分布の幅がせまく、シャープな粒度分布をもつ顔料を得ることができる。

水溶性無機塩は、例えば塩化ナトリウム、塩化バリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウム等が挙げられる。これらの中でも、価格の点から塩化ナトリウム（食塩）が好ましい。水溶性無機塩の使用量は、処理効率と生産効率の両面から、顔料１００質量部に対し、５０〜２０００質量部が好ましく、３００〜１０００質量部がより好ましい。

水溶性有機溶剤は、顔料及び水溶性無機塩を湿潤する。水溶性有機溶剤は、水に溶解（混和）し、水溶性無機塩を実質的に溶解しない化合物である。水溶性有機溶剤は、ソルトミリング時の温度上昇で揮発しにくい面で沸点１２０℃以上の高沸点溶剤が好ましい。水溶性有機溶剤は、例えば、２−メトキシエタノール、２−ブトキシエタノール、２−（イソペンチルオキシ）エタノール、２−（ヘキシルオキシ）エタノール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、液状のポリエチレングリコール、１−メトキシ−２−プロパノール、１−エトキシ−２−プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、液状のポリプロピレングリコール等が挙げられる。水溶性有機溶剤の使用量は、顔料１００質量部に対し、５〜１０００質量部が好ましく、５０〜５００質量部がより好ましい。

ソルトミリング処理の際、樹脂できる。樹脂は、例えば、天然樹脂、変性天然樹脂、合成樹脂、天然樹脂で変性された合成樹脂等が挙げられる。樹脂は、室温で固体であり、水不溶性であることが好ましく、かつ水溶性有機溶剤に一部可溶であることがより好ましい。樹脂の使用量は、顔料１００質量部に対し、５〜２００質量部が好ましい。

＜染料＞
染料は、例えば、酸性染料、直接染料、塩基性染料、造塩染料、油溶性染料、分散染料、反応染料、媒染染料、建染染料、硫化染料等が挙げられる。また、染料の誘導体や、染料をレーキ化したレーキ顔料も挙げられる。

また、染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料、直接染料の場合、酸性染料の無機塩；酸性染料と、四級アンモニウム塩化合物、三級アミン化合物、二級アミン化合物、または一級アミン化合物との造塩化合物；これらアミノ基を有する樹脂成分と酸性染料等の造塩化合物等が挙げられる。酸性染料とオニウム塩基を有する化合物との造塩化合物も、堅牢性に優れるため好ましい。なお、オニウム塩基を有する化合物は、側鎖にカチオン性基を有する樹脂が好ましい。

塩基性染料は、有機酸、もしくは過塩素酸、またはこれらの金属塩との造塩化合物が挙げられる。造塩化合物の中でも塩基性染料の造塩化合物は、各種耐性、顔料との相溶性に優れているために好ましい。

染料の化学構造は、例えば、アゾ系染料、ジスアゾ系染料、アゾメチン系染料（インドアニリン系染料、インドフェノール系染料など）、ジピロメテン系染料、キノン系染料（ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、アントラキノン系染料、アントラピリドン系染料など）、カルボニウム系染料（ジフェニルメタン系染料、トリフェニルメタン系染料、キサンテン系染料、アクリジン系染料など）、キノンイミン系染料（オキサジン系染料、チアジン系染料など）、アジン系染料、ポリメチン系染料（オキソノール系染料、メロシアニン系染料、アリーリデン系染料、スチリル系染料、シアニン系染料、スクアリリウム系染料、クロコニウム系染料など）、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料、ペリノン系染料、インジゴ系染料、チオインジゴ系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、ニトロソ系染料、ローダミン系染料等が挙げられる。これらの中でも、色相、色分離性、色むらなどの色特性の観点から、アゾ系染料、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、スクアリリウム系染料、キノフタロン系染料、フタロシアニン系染料、サブフタロシアニン系染料が好ましく、キサンテン系染料、シアニン系染料、トリフェニルメタン系染料、アントラキノン系染料、ジピロメテン系染料、フタロシアニン系染料がより好ましい。染料の具体的な構造は「新版染料便覧」（有機合成化学協会編；丸善、１９７０）、「カラーインデックス」（Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ）、「色素ハンドブック」（大河原他編；講談社、１９８６）などに記載されている。

＜色素誘導体＞
着色組成物には、必要に応じて色素誘導体を使用できる。色素誘導体は、有機色素残基に酸性基、塩基性基、中性基などを有する化合物である。色素誘導体は、例えば、スルホ基、カルボキシ基、またはリン酸基などの酸性置換基を有する化合物、ならびにこれらのアミン塩、スルホンアミド基、または末端に３級アミノ基などの塩基性置換基を有する化合物、フェニル基やフタルイミドアルキル基などの中性置換基を有する化合物が挙げられる。
有機色素は、例えばジケトピロロピロール系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チアジンインジゴ系顔料、トリアジン系顔料、ベンズイミダゾロン系顔料、ベンゾイソインドール等のインドール系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、ナフトール系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料、アゾ、ジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料等が挙げられる。

具体的には、ジケトピロロピロール系色素誘導体は、特開２００１−２２０５２０号公報、ＷＯ２００９／０８１９３０号パンフレット、ＷＯ２０１１／０５２６１７号パンフレット、ＷＯ２０１２／１０２３９９号パンフレット、特開２０１７−１５６３９７号公報、フタロシアニン系色素誘導体は、特開２００７−２２６１６１号公報、ＷＯ２０１６／１６３３５１号パンフレット、特開２０１７−１６５８２０号公報、特許第５７５３２６６号公報、アントラキノン系色素誘導体は、特開昭６３−２６４６７４号公報、特開平０９−２７２８１２号公報、特開平１０−２４５５０１号公報、特開平１０−２６５６９７号公報、特開２００７−０７９０９４号公報、ＷＯ２００９／０２５３２５号パンフレット、キナクリドン系色素誘導体は、特開昭４８−５４１２８号公報、特開平０３−９９６１号公報、特開２０００−２７３３８３号公報、ジオキサジン系色素誘導体は、特開２０１１−１６２６６２号公報、チアジンインジゴ系色素誘導体は、特開２００７−３１４７８５号公報、トリアジン系色素誘導体は、特開昭６１−２４６２６１号公報、特開平１１−１９９７９６号公報、特開２００３−１６５９２２号公報、特開２００３−１６８２０８号公報、特開２００４−２１７８４２号公報、特開２００７−３１４６８１号公報、ベンゾイソインドール系色素誘導体は、特開２００９−５７４７８号公報、キノフタロン系色素誘導体は、特開２００３−１６７１１２号公報、特開２００６−２９１１９４号公報、特開２００８−３１２８１号公報、特開２０１２−２２６１１０号公報、ナフトール系色素誘導体は、特開２０１２−２０８３２９号公報、特開２０１４−５４３９号公報、アゾ系色素誘導体は、特開２００１−１７２５２０号公報、特開２０１２−１７２０９２号公報、酸性置換基は、特開２００４−３０７８５４号公報、塩基性置換基は、特開２００２−２０１３７７号公報、特開２００３−１７１５９４号公報、特開２００５−１８１３８３号公報、特開２００５−２１３４０４号公報に記載された色素誘導体が挙げられる。なおこ、れらの文献には、色素誘導体を誘導体、顔料誘導体、分散剤、顔料分散剤若しくは単に化合物などと記載している場合があるが、前記した有機色素残基に酸性基、塩基性基、中性基などの置換基を有する化合物は、色素誘導体と同義である。

これら色素誘導体は、単独又は２種類以上を混合して用いることができる。

色素誘導体は、顔料１００質量部に対し、１〜１００質量部添加することが好ましく、３〜７０質量部添加することがより好ましく、５〜５０質量部添加することがさらに好ましい。

顔料に色素誘導体を添加し、アシッドペースティング、アシッドスラリー、ドライミリング、ソルトミリング、ソルベントソルトミリング等の顔料化処理を行う事で、顔料表面に色素誘導体が吸着し、色素誘導体を添加しない場合と比較して顔料の一次粒子をより微細化することができる。

顔料に色素誘導体を添加し二本ロール、三本ロール、ビーズを用いた湿式分散などの分散処理を行うことで、色素誘導体が顔料表面に吸着し顔料表面が極性を持ち樹脂型分散剤の吸着が促進され、顔料、色素誘導体、樹脂型分散剤、溶媒、その他添加剤との相溶性が向上し、着色組成物や着色硬化性組成物とした時の分散安定性や経時粘度安定性が向上する。また、相溶性が向上することで着色硬化性組成物をガラス基板等に塗工した際の塗膜経時安定性に優れ、着色硬化性組成物の塗布から露光までの待ち時間（ＰＣＤ：Ｐｏｓｔ Ｃｏａｔｉｎｇ Ｄｅｌａｙ）や露光から熱処理までの待ち時間（ＰＥＤ：Ｐｏｓｔ Ｅｘｐｏｓｕｒｅ Ｄｅｌａｙ）に対するパターン形状などの安定性・特性依存性や、線幅感度安定性が良好となる。また顔料表面が色素誘導体および樹脂型分散剤で吸着・被覆されることで、塗膜を加熱焼成した際の顔料の凝集や昇華による結晶析出を抑制できる。さらに現像時間ばらつきや現像残渣も抑制される。

＜樹脂型分散剤＞
本発明の感光性着色組成物には公知の樹脂型分散剤を用いることができる。樹脂型分散剤としては、添加着色剤に吸着する性質を有する着色剤親和性部位と、着色剤担体と相溶性のある部位とを有し、添加着色剤に吸着して着色剤担体への分散を安定化する働きをするものであれば良く、具体的には、ポリウレタン等のウレタン系分散剤、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩等の油性分散剤、（メタ）アクリル酸−スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコ−ル、ポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート系、エチレンオキサイド／プロピレンオキサイド付加化合物、リン酸エステル系等が用いられ、これらは単独または２種以上を混合して用いることができる。
塩基性官能基を有する高分子分散剤としては、窒素原子含有グラフト共重合体や、側鎖に３級アミノ基、４級アンモニウム塩基、含窒素複素環などを含む官能基を有する、窒素原子含有アクリル系ブロック共重合体及びウレタン系高分子分散剤などが挙げられる。

樹脂型分散剤は、着色剤全量に対して３〜２００質量％程度使用することが好ましく、成膜性の観点から５〜１００質量％程度使用することがより好ましい。

＜バインダ樹脂（Ｂ）＞
本明細書の着色組成物は、バインダ樹脂を含む。バインダ樹脂は、４００〜７００ｎｍの全波長領域において透過率が８０％以上の樹脂である。なお、透過率は、９５％以上が好ましい。バインダ樹脂は硬化性の面でいうと、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、活性エネルギー線硬化性樹脂等が挙げられる。なお、活性エネルギー線硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂、または熱硬化樹脂に活性エネルギー線反応性官能基を有しても良い。また、バインダ樹脂は、物性面でいうと、現像性の観点からアルカリ可溶性樹脂が好ましい。アルカリ可溶性は、カラーフィルタ作製時のアルカリ現像工程において現像溶解性を付与するためのものであり、酸性基が必要である。

バインダ樹脂は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

バインダ樹脂の含有量は、着色剤１００質量部に対して、２０〜４００質量部が好ましく、５０〜２５０質量部がより好ましい。適量含有すると被膜を容易に形成できる上、良好な色特性が得やすい。

＜熱可塑性樹脂＞
熱可塑性樹脂は、例えば、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、スチレン−マレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、ビニル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン（ＨＤＰＥ、LＤＰＥ）、ポリブタジエン、及びポリイミド樹脂等が挙げられる。
アルカリ可溶性を有する熱可塑性樹脂は、例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性基を有する樹脂が挙げられる。アルカリ可溶性を有する熱可塑性樹脂は、例えば、酸性基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン／（無水）マレイン酸共重合体、スチレン／スチレンスルホン酸共重合体、エチレン／（メタ）アクリル酸共重合体、又はイソブチレン／（無水）マレイン酸共重合体等が挙げられる。これらの中でも現像性、耐熱性、透明性が向上する面で酸性基を有するアクリル樹脂、スチレン／スチレンスルホン酸共重合体が好ましい。

＜活性エネルギー線硬化性アルカリ可溶性樹脂＞
活性エネルギー線硬化性アルカリ可溶性樹脂は、エチレン性不飽和二重結合を有することが好ましい。エチレン性不飽和二重結合は、例えば以下に示す(ｉ) (ｉｉ)の方法で導入できる。活性エネルギー線による硬化で樹脂は、３次元架橋されることで架橋密度が上がり、薬品耐性が向上する。

[方法(ｉ)]
方法(ｉ)は、例えば、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の単量体とを共重合して得られた共重合体の側鎖エポキシ基に、エチレン性不飽和二重結合を有する不飽和一塩基酸のカルボキシル基を付加反応させる。次いで、生成した水酸基に、多塩基酸無水物を反応させることで、エチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を導入する方法である。

エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体は、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−グリシドキシエチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、及び３，４−エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレートが挙げられる。これらの中でも不飽和一塩基酸との反応性の観点で、グリシジル（メタ）アクリレートが好ましい。

不飽和一塩基酸は、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ｏ−、ｍ−、ｐ−ビニル安息香酸、（メタ）アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体等のモノカルボン酸等が挙げられる。

多塩基酸無水物は、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられる。なお、カルボキシル基の数を増やす等、必要に応じて、トリメリット酸無水物等のトリカルボン酸無水物を用いたり、ピロメリット酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物を用いて、残った無水物基を加水分解したりすること等もできる。

方法(ｉ)の類似の方法として、例えば、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の単量体とを共重合で得られた共重合体の側鎖カルボキシル基の一部に、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を付加反応させ、エチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を導入する方法である。

[方法(ｉｉ)]
方法(ｉｉ)は、水酸基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖水酸基に、イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体のイソシアネート基を反応させる方法である。

水酸基を有するエチレン性不飽和単量体は、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−若しくは３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−若しくは３−若しくは４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、又はシクロヘキサンジメタノールモノ（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキルメタアクリレート類が挙げられる。また、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートに、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び／又はブチレンオキシド等を付加重合させたポリエーテルモノ（メタ）アクリレートや、ポリγ−バレロラクトン、ポリε−カプロラクトン、及び／又はポリ１２−ヒドロキシステアリン酸等を付加したポリエステルモノ（メタ）アクリレートも挙げられる。塗膜異物抑制の観点から、２−ヒドロキシエチルメタアクリレート、又はグリセロールモノ（メタ）アクリレートが好ましく、また感度の点からは２個以上６個以下の水酸基を有するものを使用することが感度の点から好ましく、グリセロールモノ（メタ）アクリレートがさらに好ましい。

イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体は、例えば、２−（メタ）アクリロイルエチルイソシアネート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、又は１，１−ビス〔メタアクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられる。

アルカリ可溶性樹脂を構成できるその他単量体は、既に説明したその他のエチレン性不飽和単量体に加え、Ｎ-置換マレイミド類、アルキレンオキシ基含有単量体、リン酸エステル基含有エチレン性不飽和単量体、カルボキシル基含有エチレン性不飽和単量体等が挙げられる。
Ｎ-置換マレイミド類は、例えば、シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、１，２−ビスマレイミドエタン１，６−ビスマレイミドヘキサン、３−マレイミドプロピオン酸、６，７−メチレンジオキシ−４−メチル−３−マレイミドクマリン、４，４’−ビスマレイミドジフェニルメタン、ビス（３−エチル−５−メチル−４−マレイミドフェニル）メタン、Ｎ，Ｎ’−１，３−フェニレンジマレイミド、Ｎ，Ｎ’−１，４−フェニレンジマレイミド、Ｎ−（１−ピレニル）マレイミド、Ｎ−（２，４，６−トリクロロフェニル）マレイミド、Ｎ−（４−アミノフェニル）マレイミド、Ｎ−（４−ニトロフェニル）マレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−ブロモメチル−２，３−ジクロロマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオナート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチラート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドヘキサノアート、Ｎ−［４−（２−ベンゾイミダゾリル）フェニル］マレイミド、９−マレイミドアクリジン等が挙げられる。アルキレンオキシ基含有単量体は、例えば、ＥＯ変性クレゾールアクリレート、ｎ−ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、エトキシ化フェニルアクリレート、フェノールのエチレンオキサイド（ＥＯ）変性（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのＥＯ又はプロピレンオキサイド（ＰＯ）変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＥＯ変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＰＯ変性（メタ）アクリレート等が挙げられる。

カルボキシル基含有エチレン性不飽和単量体は、既に説明した単量体を使用できる。

リン酸エステル基含有エチレン性不飽和単量体は、例えば、上記水酸基含有エチレン性不飽和単量体の水酸基に、たとえば５酸化リンやポリリン酸等のリン酸エステル化剤を反応させた化合物である。

＜エチレン性不飽和二重結合を有しないアルカリ可溶性樹脂＞
本明細書の着色組成物は、被膜の硬化度を調整するために、エチレン性不飽和二重結合を有しないアルカリ可溶性樹脂を含有できる。

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、アルカリ現像溶解性を付与するために、２，０００以上４０，０００以下であり、３，０００以上３０，０００以下が好ましく、４，０００以上２０，０００以下がより好ましい。また、Ｍｗ／Ｍｎの値は１０以下であることが好ましい。重量平均分子量（Ｍｗ）が２，０００未満であると基板に対する密着性が低下し、露光パターンが残りにくくなる。４０，０００を超えるとアルカリ現像溶解性が低下し、残渣が発生しパターンの直線性が悪化する。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の酸価は、アルカリ現像溶解性を付与するために５０以上〜２００以下（ＫＯＨｍｇ/ｇ）であり、７０以上１８０以下の範囲が好ましく、より好ましくは９０以上１７０以下の範囲である。酸価が５０未満であるとアルカリ現像溶解性が低下し、残渣が発生しパターンの直線性が悪化する。２００を超えると基板への密着性が低下し、露光パターンが残りにくくなる。

バインダ樹脂の合成に使用する各原料は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

＜熱硬化性化合物＞
本発明においては、バインダ樹脂として熱可塑性樹脂と併用して、さらに熱硬化性化合物を含むことが出来る。本発明のカラーフィルタ用着色組成物を用いてカラーフィルタを作製する際、熱硬化性化合物を含むことで、フィルタセグメントの焼成時に反応し塗膜の架橋密度を高め、そのためフィルタセグメントの耐熱性が向上し、フィルタセグメント焼成時の顔料凝集が抑えられ、コントラスト比が向上するという効果が得られる。

熱硬化性化合物は、低分子化合物でもよく、樹脂のような高分子量化合物でもよい。
熱硬化性化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ベンゾグアナミン化合物、ロジン変性マレイン酸化合物、ロジン変性フマル酸化合物、メラミン化合物、尿素化合物、およびフェノール化合物が挙げられるが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明のカラーフィルタ用着色組成物ではエポキシ化合物およびオキセタン化合物が好ましく用いられる。

＜重合性化合物（Ｃ）＞
本発明の感光性着色組成物は、重合性化合物（Ｃ）を含む。重合性化合物（Ｃ）には、紫外線や熱などにより硬化して透明樹脂を生成するモノマーもしくはオリゴマーが含まれる。

重合性化合物（Ｃ）は、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、β−カルボキシエチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、フェノキシテトラエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性ジ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性トリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、メチロール化メラミンの（メタ）アクリル酸エステル、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタンアクリレート等の各種アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。

（酸基を有する重合性化合物）
重合性化合物（Ｃ）は、酸基を有していても良く、酸基としては、スルホン酸基、カルボキシル基、リン酸基等が挙げられる。

酸基を有する重合性化合物は、例えば、多価アルコールと（メタ）アクリル酸との遊離水酸基含有ポリ（メタ）アクリレート類と、ジカルボン酸類とのエステル化物；多価カルボン酸と、モノヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類とのエステル化物等が挙げられる。具体例は、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート等のモノヒドロキシオリゴアクリレート又はモノヒドロキシオリゴメタクリレート類と、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、フタル酸等のジカルボン酸類との遊離カルボキシル基含有モノエステル化物；プロパン−１，２，３−トリカルボン酸（トリカルバリル酸）、ブタン−１，２，４−トリカルボン酸、ベンゼン−１，２，３−トリカルボン酸、ベンゼン−１，３，４−トリカルボン酸、ベンゼン−１，３，５−トリカルボン酸等のトリカルボン酸類と、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート等のモノヒドロキシモノアクリレート又はモノヒドロキシモノメタクリレート類との遊離カルボキシル基含有オリゴエステル化物等が挙げられる。

（ウレタン結合を有する重合性化合物）
重合性化合物（Ｃ）は、ウレタン結合を有していても良い。ウレタン結合を有する重合性化合物は、例えば、水酸基を有する（メタ）アクリレートに多官能イソシアネートを反応させて得られる多官能ウレタンアクリレートや、アルコールに多官能イソシアネートを反応させ、さらに水酸基を有する（メタ）アクリレートを反応させて得られる多官能ウレタンアクリレート等が挙げられる。

水酸基を有する（メタ）アクリレートは、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールプロピレンオキサイド変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ペンタ（メタ）アクリレート、グリセロールアクリレートメタクリレート、グリセロールジメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイルプロピルメタクリレート、エポキシ基含有化合物とカルボキシ（メタ）アクリレートの反応物、水酸基含有ポリオールポリアクリレート等が挙げられる。

また、多官能イソシアネートは、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ポリイソシアネート等が挙げられる。

重合性化合物（Ｃ）は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

重合性化合物（Ｃ）の配合量は、感光性着色組成物の不揮発分１００質量％中、１〜５０質量％が好ましく、２〜４０質量部がより好ましい。適量配合すると硬化性及び現像性がより向上する。

＜光重合開始剤（Ｄ）＞
本発明の感光性着色組成物に含有される光重合開始剤（Ｄ）は、一般式（１）で表される光重合開始剤（Ｄ１）を含む。光重合開始剤（Ｄ１）を含むことにより、色再現特性向上を達成する特定のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いた場合において、顔料含有量が高い、あるいは膜厚が厚くとも、高感度で、現像速度が速く、かつ、保存安定性が優れた感光性着色組成物を提供出来る。

＜光重合開始剤（Ｄ１）＞
一般式（１）

Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₃、Ｒ₄は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルキルオキシ基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、置換もしくは未置換のアルキルスルファニル基、置換もしくは未置換のアリールスルファニル基、置換もしくは未置換のアシル基、または置換もしくは未置換のアミノ基を表す。

前述したＲ_１〜Ｒ₄における置換基の水素原子はさらに他の置換基で置換されていても良い。

そのような置換基としては、例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン基、メトキシ基、エトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、ｐ−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、ｔｅｒｔ−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、ｐ−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、ｐ−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、メチル基、エチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、フェニル基、ｐ−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、ベンゾフラニル基等のアリール基、フリル基、チエニル基等の複素環基等の他、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、ｐ−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。

Ｒ₁が直鎖アルキル基であるか、分岐アルキル基であるか、または環状アルキル基で置換されたアルキル基であることが好ましく、例えば、下記式（２）〜（４）で表される化合物が挙げられる。
式（２）

式（３）

式（４）

本発明の感光性着色組成物に含有される光重合開始剤（Ｄ１）は、オキシムエステル系光重合開始剤である。オキシムエステル系光重合開始剤は、紫外線を吸収することによってオキシムエステル部分が分解してイミニルラジカルとアルキロキシラジカルを生成し、さらに分解して生成した活性種のラジカルが反応を引き起こすと考えられているが、本発明の感光性着色組成物に含有される光重合開始剤（Ｄ１）は、一般式（１）で表される構造を有することにより、紫外線照射による分解効率が非常に高く、少ない露光量でパターンを形成させることができる。
本発明の光重合開始剤（Ｄ１）が従来の開始剤よりも高感度に機能しうる理由としては、次にあげる２つの理由が可能性として考えられるが、詳細は明らかではない。

１つ目の理由としては、本発明の光重合開始剤（Ｄ１）は、一般式（１）で表される構造が良好な紫外線吸収性能を有することにより、与えられたエネルギー線によるエネルギーを極めて良好に吸収することができることである。さらに、得られたエネルギーがオキシムエステル部位の分解に効率的に使用されることにより、エネルギー線照射による分解が速く、瞬時に多量のラジカルを生成することが可能になっていることが考えられる。

２つ目の理由としては、本発明の光重合開始剤（Ｄ１）は、紫外線を吸収して発生したイミニルラジカルから活性種のラジカルへの分解が、一般式（１）で表される構造に由来して、非常に速いことが考えられる。生成するイミニルラジカルが準安定であれば分解は遅くなり、活性なラジカルの生成量は少なくなるが、これは紫外線吸収部分の化学構造により大きく影響を受ける。本発明の光重合開始剤（Ｄ１）は、一般式（１）に示す構造をとることにより、光照射による分解により生じたイミニルラジカルの分解が非常に速く、多量のラジカルを生成する結果をもたらしていると考えられる。
また、本発明の光重合開始剤（Ｄ１）は、上述したように、イミニルラジカルの分解が非常に速いため再結合が抑制されていることが考えられる。再結合が多い場合、分解により生じた活性種が減少してしまうため、ラジカル重合開始剤としての機能は低下する。

一般式（１）で表される光重合開始剤（Ｄ１）は、感光性着色組成物中の着色剤（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは、１〜５０質量部、特に好ましくは１〜３０質量部の量で用いることができる。

＜その他の光重合開始剤（Ｄ２）＞
本発明の感光性着色組成物には、一般式（１）で表される光重合開始剤（Ｄ１）と共に、他の光重合開始剤（Ｄ２）を併用することが、さらに良好なパターン形状を得ることができるため好ましい。
他の光重合開始剤（Ｄ２）としては、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン等のアセトフェノン系化合物、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物、チオキサントン、２−クロルチオキサントン、２−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジン等のトリアジン系化合物、１，２−オクタンジオン，１−〔４−（フェニルチオ）フェニル−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）〕、Ｏ−（アセチル）−Ｎ−（１−フェニル−２−オキソ−２−（４’−メトキシ−ナフチル）エチリデン）ヒドロキシルアミン等のオキシムエステル系化合物、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド等のホスフィン系化合物、２，２´−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４´，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−メトキシフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−メチルフェニル）ビイミダゾール、等のイミダゾール系化合物、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物、ボレート系化合物、カルバゾール系化合物、チタノセン系化合物等が用いられる。

これらの中でも、アセトフェノン系化合物、ホスフィン系化合物、光重合開始剤（Ｄ１）以外のオキシムエステル系化合物およびイミダゾール系化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種類の光重合開始剤（Ｄ２）を含むことがより好ましい。これらその他の光重合開始剤（Ｄ２）は１種または必要に応じて任意の比率で２種以上混合して用いることができる。他の光重合開始剤（Ｄ２）は、感光性着色組成物中の着色剤（Ａ）１００質量部に対して、１〜１００質量部、好ましくは１〜５０質量部の量で用いることができる。また、光重合開始剤（Ｄ１）１００質量部に対して、１〜３０００質量部の量で用いることができる。より良好なパターン形状を得るためには光重合開始剤（Ｄ１）１００質量部に対して、５〜２０００質量部の量が好ましい。

＜増感剤＞
さらに、本発明の感光性着色組成物には、増感剤を含有させることができる。
増感剤としては、カルコン誘導体、ジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される１，２−ジケトン誘導体、ベンゾイン誘導体、フルオレン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、キサンテン誘導体、チオキサンテン誘導体、キサントン誘導体、チオキサントン誘導体、クマリン誘導体、ケトクマリン誘導体、シアニン誘導体、メロシアニン誘導体、オキソノ−ル誘導体等のポリメチン色素、アクリジン誘導体、アジン誘導体、チアジン誘導体、オキサジン誘導体、インドリン誘導体、アズレン誘導体、アズレニウム誘導体、スクアリリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、テトラフェニルポルフィリン誘導体、トリアリールメタン誘導体、テトラベンゾポルフィリン誘導体、テトラピラジノポルフィラジン誘導体、フタロシアニン誘導体、テトラアザポルフィラジン誘導体、テトラキノキサリロポルフィラジン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、サブフタロシアニン誘導体、ピリリウム誘導体、チオピリリウム誘導体、テトラフィリン誘導体、アヌレン誘導体、スピロピラン誘導体、スピロオキサジン誘導体、チオスピロピラン誘導体、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体、又はミヒラーケトン誘導体、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、４，４’−ジエチルイソフタロフェノン、３，３’又は４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。

上記増感剤の中で、特に好適に増感しうる増感剤としては、チオキサントン誘導体、ミヒラーケトン誘導体、カルバゾール誘導体が挙げられる。さらに具体的には、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノン、Ｎ−エチルカルバゾール、３−ベンゾイル−Ｎ−エチルカルバゾール、３，６−ジベンゾイル−Ｎ−エチルカルバゾール等が用いられる。

これらの増感剤は、１種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で２種以上混合して用いることができる。

さらに具体的には、大河原信ら編、「色素ハンドブック」（１９８６年、講談社）、大河原信ら編、「機能性色素の化学」（１９８１年、シーエムシー）、池森忠三朗ら編、及び「特殊機能材料」（１９８６年、シーエムシー）に記載の増感剤が挙げられるがこれらに限定されるものではない。また、その他、紫外から近赤外域にかけての光に対して吸収を示す増感剤を含有させることもできる。

増感剤は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

増感剤の含有量は、光重合開始剤１００質量部に対し、３〜６０質量部でが好ましく、５〜５０質量部がより好ましい。適量含有すると硬化性、現像性がより向上する。

＜チオール系連鎖移動剤＞
本発明の感光性着色組成物は連鎖移動剤として、チオール系連鎖移動剤を含むことが好ましい。チオールを光重合開始剤とともに使用することにより、光照射後のラジカル重合過程において、連鎖移動剤として働き、酸素による重合阻害を受けにくいチイルラジカルが発生するので、得られる着色組成物は高感度となる。

また、チオール基が２個以上あるメチレン、エチレン基等の脂肪族基に結合した多官能脂肪族チオールが好ましい。より好ましくは、チオール基が４個以上ある多官能脂肪族チオールである。官能基数が増えることで、重合開始機能が向上し、パターンにおける表面から基材付近まで硬化させることができる。

多官能チオールとしては、例えば、ヘキサンジチオール 、デカンジチオール 、１，４−ブタンジオールビスチオプロピオネート、１，４−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、２、４、６−トリメルカプト−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ）−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジンなどが挙げられ、好ましくは、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネートが挙げられる。

チオール系連鎖移動剤は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

チオール系連鎖移動剤の含有量は、感光性着色組成物の不揮発分１００質量％中、１〜１０質量％が好ましく、２〜８質量％がより好ましい。適量含有すると光感度、テーパー形状が向上し、被膜表面にシワが発生し難くなる。

＜重合禁止剤＞
感光性着色組成物は、重合禁止剤を含有できる。これによりフォトリソグラフィー法の露光時にマスクの回折光による感光を抑制できるため、所望の形状のパターンが得やすくなる。

重合禁止剤としては、例えば、カテコール、レゾルシノール、１，４−ヒドロキノン、２−メチルカテコール、３−メチルカテコール、４−メチルカテコール、２−エチルカテコール、３−エチルカテコール、４−エチルカテコール、２−プロピルカテコール、３−プロピルカテコール、４−プロピルカテコール、２−ｎ−ブチルカテコール、３−ｎ−ブチルカテコール、４−ｎ−ブチルカテコール、２−ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、３−ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、４−ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルカテコール等のアルキルカテコール系化合物、２−メチルレゾルシノール、４−メチルレゾルシノール、２−エチルレゾルシノール、４−エチルレゾルシノール、２−プロピルレゾルシノール、４−プロピルレゾルシノール、２−ｎ−ブチルレゾルシノール、４−ｎ−ブチルレゾルシノール、２−ｔｅｒｔ−ブチルレゾルシノール、４−ｔｅｒｔ−ブチルレゾルシノール等のアルキルレゾルシノール系化合物、メチルヒドロキノン、エチルヒドロキノン、プロピルヒドロキノン、ｔｅｒｔ−ブチルヒドロキノン、２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルヒドロキノン等のアルキルヒドロキノン系化合物、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリベンジルホスフィン等のホスフィン化合物、トリオクチルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイドなどのホスフィンオキサイド化合物、トリフェニルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイト等のホスファイト化合物、ピロガロール、フロログルシンなどが挙げられる。

重合禁止剤の含有量は、感光性着色組成物の不揮発分１００質量％中、０．０１〜０．４質量部が好ましい。この範囲において、重合禁止剤の効果が大きくなり、テーパーの直線性や塗膜のシワ、パターン解像性等が良好になる。

＜紫外線吸収剤＞
発明の感光性着色組成物は、紫外線吸収剤を含んでも良い。本発明における紫外線吸収剤とは、紫外線吸収機能を有する有機化合物であり、ベンゾトリアゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、サリチル酸エステル系化合物、シアノアクリレート系化合物、及びサリシレート系化合物などが挙げられる。

紫外線吸収剤の含有量は、光重合開始剤と紫外線吸収剤との合計１００質量％中、５〜７０質量％が好ましい。適量含有すると現像後の解像性がより向上する。

また、光重合開始剤と紫外線吸収剤の合計含有量は、感光性着色組成物の不揮発分１００質量％中、１〜２０質量％が好ましい。適量含有すると基板と被膜の密着性がより向上し、良好な解像性が得られる。

ベンゾトリアゾール系化合物としては２−（５メチル−２−ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、２−[２−ヒドロキシ−３,５−ビス(α, α-ジメチルベンジル)フェニル]−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、２−（３−ｔブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、２−(２'−ヒドロキシ−５'−t−オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、５％の２−メトキシ−１−メチルエチルアセテートと９５％のベンゼンプロパン酸，３−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−（１，１−ジメチルエチル）−４−ヒドロキシ，Ｃ７−９側鎖及び直鎖アルキルエステルの混合物、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４，６−ビス（１−メチル−１−フェニルエチル）フェノール、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−６−（１−メチル−１−フェニルエチル）−４−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）フェノール、メチル ３−（３−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−５−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート／ポリエチレングリコール３００の反応生成物、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）フェノール、２，２’−メチレンビス［６−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）フェノール］、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−ｐ−クレゾール、２−（５−クロロ−２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−６−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール、２−（３，５−ジ−ｔ−アミル−２−ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２−［２−ヒドロキシ−５−［２−（メタクリロイルオキシ）エチル］フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、オクチル−３−［３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−（５−クロロ−２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）フェニル］プロピオネート、２−エチルヘキシル−３−［３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−（５−クロロ−２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）フェニル］プロピオネートが挙げられる。その他ベンゾトリアゾール構造を有するオリゴマータイプ及びポリマータイプの化合物等も使用することが出来る。

トリアジン系化合物としては、２，４−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−６−（２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクチルオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２‐［４，６‐ビス（２，４‐ジメチルフェニル）‐１，３，５‐トリアジン‐２‐イル］‐５‐［３‐（ドデシルオキシ）‐２‐ヒドロキシプロポキシ］フェノール、２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジンと（２−エチルヘキシル）−グリシド酸エステルの反応生成物、２，４−ビス「２−ヒドロキシ−４−ブトキシフェニル」−６−（２，４−ジブトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（４，６−ジフェニル−１，３，５−トリアジン−２−イル）−５−（ヘキシルオキシ）フェノール、２−（４，６−ジフェニル−１，３，５−トリアジン−２−イル）−５−［２−（２−エチルヘキサノイルオキシ）エトキシ］フェノール、２，４，６−トリス（２−ヒドロキシ−４−ヘキシルオキシ−３−メチルフェニル）−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。その他トリアジン構造を有するオリゴマータイプ及びポリマータイプの化合物等も使用することが出来る。

ベンゾフェノン系化合物としては、２，４−ジ−ヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２，２’−ジ−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２，２’−ジヒドロキシ−４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、４−ドデシロキシ−２−ヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−オクタデシロキシベンゾフェノン、２，２’ジヒドロキシ−４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシ−２’−カルボキシベンゾフェノン等が挙げられる。その他ベンゾフェノン構造を有するオリゴマータイプ及びポリマータイプの化合物等も使用することが出来る。

サリチル酸エステル系化合物としては、サリチル酸フェニル、サリチル酸ｐ−オクチルフェニル、サリチル酸ｐ−ｔｅｒｔブチルフェニル等が挙げられる。その他サリチル酸エステル構造を有するオリゴマータイプ及びポリマータイプの化合物等も使用することが出来る。

＜酸化防止剤＞
本発明の感光性着色組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤は、感光性着色組成物に含まれる光重合開始剤や熱硬化性化合物が、熱硬化やＩＴＯアニール時の熱工程によって酸化し黄変することを防ぐため、塗膜の透過率を向上できる。特に着色組成物の着色剤濃度が高い場合、塗膜架橋成分量が少なくなるため高感度の架橋成分の使用や、光重合開始剤の増量といった対応を取るため熱工程の黄変が強くなる現象が見られる。そのため、酸化防止剤を含むことで、加熱工程時の酸化による黄変を防止し、高い塗膜の透過率を得る事ができる。

酸化防止剤は、例えば、ヒンダードフェノール系、ヒンダードアミン系、リン系、イオウ系、及びヒドロキシルアミン系の化合物が挙げられる。なお、本明細書で酸化防止剤は、ハロゲン原子を含有しない化合物が好ましい。

ここれらの中でも、塗膜の透過率と感度の両立の観点から、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、ヒンダードアミン系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤が好ましい。

酸化防止剤は、単独または２種類以上を併用して使用できる。

また酸化防止剤の含有量は、着色組成物の固形分１００質量％中、０．５〜５．０質量％の場合、透過率、分光特性、及び感度が良好であるためより好ましい。

＜レベリング剤＞
本発明の感光性着色組成物には、透明基板上での組成物の塗布性、着色被膜の乾燥性を良好することを目的として、レベリング剤を添加することが好ましい。レベリング剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。

本発明の感光性着色組成物に界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の添加量は、本発明の組成物の全固形分に対して、０．００１〜２．０質量％が好ましく、より好ましくは０．００５〜１．０質量％である。この範囲内であることで、着色組成物の塗布性とパターン密着性、透過率のバランスが良好となる。
本発明の感光性着色組成物は、界面活性剤を、１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜貯蔵安定剤＞
本発明の着色組成物には、組成物の経時粘度を安定化させるために貯蔵安定剤を含有させることができる。貯蔵安定剤としては、例えば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、ｔ−ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。貯蔵安定剤は、着色剤の全量を基準（１００質量％）として、０．１〜１０質量％の量で用いることができる。

＜密着向上剤＞
本発明の感光性着色組成物には、基材との密着性を高めるためにシランカップリング剤等の密着向上剤を含有させることができる。密着向上剤による密着性が向上することにより、細線の再現性が良好となり解像度が向上する。

密着向上剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のビニルシラン類、３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の（メタ）アクリルシラン類、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン類、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（ビニルベンジル）−２−アミノエチル−３−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩等のアミノシラン類、３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト類、ｐ−スチリルトリメトキシシラン等のスチリル類、３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイド類、ビス（トリエトキシシリルプロピル）テトラスルフィド等のスルフィド類、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネート類などのシランカップリング剤が挙げられる。密着向上剤は、着色組成物中の着色剤１００質量部に対し、０．０１〜１０質量部、好ましくは０．０５〜５質量部の量で用いることができる。この範囲内で効果が大きくなり、密着性、解像性、感度のバランスが良好であるためより好ましい。

＜感光性組成物の製造方法＞
本発明に含まれる感光性着色組成物は、着色剤を、分散剤、バインダ樹脂などの着色剤担体及び／又は溶剤中に、好ましくは分散助剤（色素誘導体や界面活性剤）と一緒に、ニーダー、２本ロールミル、３本ロールミル、ボールミル、横型サンドミル、縦型サンドミル、アニュラー型ビーズミル、又はアトライター等の各種分散手段を用いて微細に分散して製造することができる（着色剤分散体）。このとき、２種以上の着色剤等を同時に着色剤担体に分散しても良いし、別々に着色材担体に分散したものを混合しても良い。染料等、着色剤の溶解性が高い場合、具体的には使用する溶剤への溶解性が高く、攪拌により溶解、異物が確認されない状態であれば、上記のような微細に分散して製造する必要はない。

また、本発明のカラーフィルタ用感光性着色組成物は、溶剤現像型あるいはアルカリ現像型の感光性着色組成物として調製することができる。溶剤現像型あるいはアルカリ現像型感光性着色組成物は、前記着色剤分散体と、光重合性単量体及び／又は光重合開始剤と、必要に応じて、溶剤、その他の分散助剤、及び添加剤等を混合して調整することができる。光重合開始剤は、着色組成物を調製する段階で加えてもよく、調製した着色組成物に後から加えてもよい。

＜溶剤＞
本発明の着色組成物には、ガラス等の基板上に乾燥膜厚が０．２〜５μｍとなるように塗布して着色膜を形成することを容易にするために溶剤を含有させる。溶剤は、着色組成物の塗布性が良好であることに加え、着色組成物の各成分の溶解性、さらには安全性を考慮して選定される。

溶剤としては、当該分野で通常使用される溶剤を用いることが出来、沸点、ＳＰ値、蒸発速度、粘度などの性能を勘案し、塗布条件（速度、乾燥条件など）に合わせて適宜、単独または混合して使用される。

使用される溶剤としては、例えば、エステル溶剤（分子内に−ＣＯＯ−を含み、−Ｏ−を含まない溶剤）、エーテル溶剤（分子内に−Ｏ−を含み、−ＣＯＯ−を含まない溶剤）、エーテルエステル溶剤（分子内に−ＣＯＯ−と−Ｏ−とを含む溶剤）、ケトン溶剤（分子内に−ＣＯ−を含み、−ＣＯＯ−を含まない溶剤）、アルコール溶剤（分子内にＯＨを含み、−Ｏ−、−ＣＯ−及び−ＣＯＯ−を含まない溶剤）、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。

上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、１ａｔｍにおける沸点が１２０℃以上１８０℃以下である有機溶剤を含むことが好ましい。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、乳酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルピロリドン等が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等がより好ましい。

＜粗大粒子の除去＞
本発明の感光性着色組成物は、遠心分離、焼結フィルタやメンブレンフィルタによる濾過等の手段にて、５μｍ以上の粗大粒子、好ましくは１μｍ以上の粗大粒子、さらに好ましくは０．５μｍ以上の粗大粒子及び混入した塵の除去を行うことが好ましい。このように着色組成物は、実質的に０．５μｍ以上の粒子を含まないことが好ましい。より好ましくは０．３μｍ以下であることが好ましい。

＜カラーフィルタ＞
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。
本発明のカラーフィルタは、赤色フィルタセグメント、緑色フィルタセグメント、及び青色フィルタセグメントを具備する。また、カラーフィルタは、さらにマゼンタ色フィルタセグメント、シアン色フィルタセグメント、及び黄色フィルタセグメントを具備するものであってもよい。

＜カラーフィルタの製造方法＞
カラーフィルタは、まず基材上にブラックマトリクスを形成し、次いでフィルタセグメントを形成することが好ましい。なお、基材上に薄膜トランジスター（ＴＦＴ）をあらかじめ形成してからブラックマトリクスを形成することができる。
ブラックマトリクスは、例えば、クロムやクロム／酸化クロムの多層膜、窒化チタニウムなどの無機膜や、遮光剤を分散した樹脂膜が挙げられる。

フィルタセグメントの形成は、例えば、印刷法、電着法、転写法、インクジェット法、フォトリソグラフィー法等で作製できる。
印刷法は、印刷インキとして調製した感光性着色組成物の印刷と乾燥を繰り返すだけでパターン形成ができるため、カラーフィルタの製造法としては、低コストで量産性に優れている。さらに、印刷技術の発展により高い寸法精度及び平滑度を有する微細パターンの印刷を行うことができる。印刷を行うためには、印刷の版上にて、あるいはブランケット上にてインキが乾燥、固化しないような組成とすることが好ましい。また、印刷機上でのインキの流動性の制御も重要であり、分散剤や体質顔料によるインキ粘度の調整を行うこともできる。

電着法は、透明基板上に形成した透明導電膜を利用して、コロイド粒子の電気泳動により各色のフィルタセグメントをそれぞれ透明導電膜の上に電着形成することでカラーフィルタを作製する。また、転写法は、剥離性シートの剥離処理面に、フィルタセグメントを形成する。次いでこのフィルタセグメントを透明基板に転写して作製する。

フォトリソグラフィー法は、例えば、ある色調の着色剤を含有する感光性着色組成物を、透明基板上に、乾燥膜厚が０．２〜５μｍ程度になるように塗布し被膜を形成する。得られた被膜（以下、第一の被膜という）は、所定のパターンを有するマスクを通して露光（光照射）を行う。次いで、溶剤又はアルカリ現像液に浸漬するかもしくはスプレーなどにより現像液を噴霧し現像を行い、未硬化部分を除去して所望のパターンを得る。この工程を他の色調の着色剤を有する感光性着色組成物を使用して同様に行うことで、各色のフィルタセグメントを有するカラーフィルタを製造できる。また、露光前の第一の被膜上にさらにポリビニルアルコールや水溶性アクリル樹脂を使用して第二の被膜（酸素遮断膜）を形成できる。これにより第一の被膜は、酸素に接しないため露光感度がより向上する。また、カラーフィルタは、フィルタセグメント中に未硬化の光重合性化合物を硬化させるために加熱を行うことができる。なおフォトリソグラフィー法は、印刷法より精度の高いカラーフィルタが製造できるため好ましい。

塗布装置は、例えば、スプレーコートやスピンコート、スリットコート、ロールコート等が挙げられる。塗工に際し、乾燥工程を行うことができる。乾燥装置は、例えば、熱風オーブン、赤外線ヒーター等が挙げられる。

前記現像液は、アルカリ現像液として、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム等の無機アルカリ；ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリが挙げられる。また、現像液は、消泡剤や界面活性剤を添加できる。

以下に、実施例により本発明を説明する。なお、実施例中の「部」及び「％」とは、それぞれ「質量部」及び「質量％」を表す。

実施例に先立ち、樹脂の重量平均分子量、及び樹脂の酸価の測定方法の計算方法について説明する。

（樹脂の平均分子量）
樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）は、ＲＩ検出器を装備したゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定した。装置としてＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー株式会社製）を用い、分離カラムを２本直列に繋ぎ、両方の充填剤には「ＴＳＫ−ＧＥＬ ＳＵＰＥＲ ＨＺＭ−Ｎ」を２連でつなげて使用し、オーブン温度４０℃、溶離液としてＴＨＦ溶液を用い、流速０．３５ｍｌ/ｍｉｎで測定した。サンプルは１ｗｔ％の上記溶離液からなる溶剤に溶解し、２０マイクロリットル注入した。分子量はいずれもポリスチレン換算値である。

（樹脂の酸価）
樹脂溶液０．５〜１ｇに、アセトン８０ｍｌ及び水１０ｍｌを加えて攪拌して均一に溶解させ、０．１ｍｏｌ／ＬのＫＯＨ水溶液を滴定液として、自動滴定装置（「ＣＯＭ−５５５」平沼産業製）を用いて滴定し、樹脂溶液の酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）を測定した。そして、樹脂溶液の酸価と樹脂溶液の固形分濃度から、樹脂の固形分あたりの酸価を算出した。

＜ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）の製造方法＞

（ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−１）の製造）
３００ｍＬフラスコに、塩化スルフリル９１部、塩化アルミニウム１０９部、塩化ナトリウム１５部、亜鉛フタロシアニン３０部、臭素７４部を仕込んだ。１３０℃まで４０時間かけて昇温し、水に取り出した後、ろ過することにより緑色粗顔料を得た。得られた緑色粗顔料２０部、粉砕した塩化ナトリウム１４０部、ジエチレングリコール３２部、キシレン１．８部を１Ｌ双腕型ニーダーに仕込み、１００℃で６時間混練した。混練後８０℃の水２ｋｇに取り出し、１時間攪拌後、ろ過、湯洗、乾燥、粉砕することにより、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−１）を得た。得られたハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−１）は、リガク社製ＺＳＸ１００Ｅによる蛍光Ｘ線分析から、１分子中のハロゲン原子数が平均１３．９７個であり、そのうち臭素原子数が平均１１．４６個、塩素原子数が平均２．５１個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であった。

（ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−２）の製造）
３００ｍＬフラスコに、塩化スルフリル９１部、塩化アルミニウム１０９部、塩化ナトリウム１５部、亜鉛フタロシアニン３０部、臭素５９部を仕込んだ。１３０℃まで４０時間かけて昇温し、水に取り出した後、ろ過することにより緑色粗顔料を得た。得られた緑色粗顔料２０部、粉砕した塩化ナトリウム１４０部、ジエチレングリコール３２部、キシレン１．８部を１Ｌ双腕型ニーダーに仕込み、１００℃で６時間混練した。混練後８０℃の水２ｋｇに取り出し、１時間攪拌後、ろ過、湯洗、乾燥、粉砕することにより、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−２）を得た。得られたハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−２）は、蛍光Ｘ線分析から、１分子中のハロゲン原子数が平均１２．７１個であり、そのうち臭素原子数が平均１０．２２個、塩素原子数が平均２．４９個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であった。

（ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−３）の製造）
３００ｍＬフラスコに、塩化スルフリル９１部、塩化アルミニウム１０９部、塩化ナトリウム１５部、亜鉛フタロシアニン３０部、臭素４４部を仕込んだ。１３０℃まで４０時間かけて昇温し、水に取り出した後、ろ過することにより緑色粗顔料を得た。得られた緑色粗顔料２０部、粉砕した塩化ナトリウム１４０部、ジエチレングリコール３２部、キシレン１．８部を１Ｌ双腕型ニーダーに仕込み、１００℃で６時間混練した。混練後８０℃の水２ｋｇに取り出し、１時間攪拌後、ろ過、湯洗、乾燥、粉砕することにより、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−３）を得た。得られたハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−３）は、蛍光Ｘ線分析から、１分子中のハロゲン原子数が平均１１．９８個であり、そのうち臭素原子数が平均９．００個、塩素原子数が平均２．９８個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であった。

（ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−４）の製造）
３００ｍＬフラスコに、塩化スルフリル１０９部、塩化アルミニウム１３１部、塩化ナトリウム１８部、亜鉛フタロシアニン３０部、臭素５２部を仕込んだ。１３０℃まで４０時間かけて昇温し、水に取り出した後、ろ過することにより緑色粗顔料を得た。得られた緑色粗顔料２０部、粉砕した塩化ナトリウム１４０部、ジエチレングリコール３２部、キシレン１．８部を１Ｌ双腕型ニーダーに仕込み、１００℃で６時間混練した。混練後８０℃の水２ｋｇに取り出し、１時間攪拌後、ろ過、湯洗、乾燥、粉砕することにより、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−４）を得た。得られたハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１−４）は、蛍光Ｘ線分析から、１分子中のハロゲン原子数が平均１２．７０個であり、そのうち臭素原子数が平均８．５４個、塩素原子数が平均４．１６個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であった。

（その他のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ２）の製造）

（その他のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ２−１）の製造）
３００ｍＬフラスコに、塩化スルフリル９１部、塩化アルミニウム７２部、塩化ナトリウム １５部、亜鉛フタロシアニン３０部、臭素２９部を仕込んだ。１３０℃まで４０時間かけて昇温し、水に取り出した後、ろ過することにより緑色粗顔料を得た。得られた緑色粗顔料２０部、粉砕した塩化ナトリウム１４０部、ジエチレングリコール３２部、キシレン１．８部を１Ｌ双腕型ニーダーに仕込み、１００℃で６時間混練した。混練後８０℃の水２ｋｇに取り出し、１時間攪拌後、ろ過、湯洗、乾燥、粉砕することにより、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ２−１）を得た。得られたハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ２−１）は、蛍光Ｘ線分析から、１分子中のハロゲン原子数が平均８．８８個であり、そのうち臭素原子数が平均６．９０個、塩素原子数が平均１．９８個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であった。

（その他のハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ２−２）の製造）
市販のＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８（ＤＩＣ社製ＦＡＳＴＯＧＥＮ Ｇｒｅｅｎ Ａ１１０）をそのまま使用した。蛍光Ｘ線分析から、１分子中のハロゲン原子数が平均１５．４６個であり、そのうち臭素原子数が平均１４．７５個、塩素原子数が平均０．７１個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であった。

（その他の着色剤（Ａ３）の製造）
（微細化顔料（Ａ３−１））
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロ−１３８（ＰＹ１３８）（ＢＡＳＦジャパン社製「パリオト−ルイエロ−Ｋ０９６０−ＨＤ」）１００部、塩化ナトリウム７００部、およびジエチレングリコ−ル１８０部をステンレス製１ガロンニ−ダ−（井上製作所製）に仕込み、８０℃で６時間混練した。この混合物を温水２０００部に投入し、８０℃に加熱しながら１時間攪拌してスラリ−状とし、濾過、水洗をくりかえして食塩および溶剤を除いた後、８０℃で一昼夜乾燥し、９５部の微細化顔料（Ａ３−１）を得た。

（微細化顔料（Ａ３−２））
イソインドリン系黄色顔料Ｃ．Ｉ．ｐｉｇｍｅｎｔ ｙｅｌｌｏｗ １３９（ＢＡＳＦジャパン社製「イルガフォアイエロー ２Ｒ−ＣＦ」）１００部、塩化ナトリウム１６００部、及びジエチレングリコール１９０部をステンレス製１ガロンニーダーに仕込み、６０℃で１０時間混練した。つぎにこの混合物を３リットルの温水に投入し、約８０℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約１時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして塩化ナトリウム及び溶剤を除いた後、８０℃で１昼夜乾燥し、微細化顔料（Ａ３−２）を得た。

（微細化顔料（Ａ３−３）の製造）
金属錯体系黄色顔料（Ｃ．Ｉ．ｐｉｇｍｅｎｔ ｙｅｌｌｏｗ １５０、ランクセス社製 「Ｙｅｌｌｏｗ Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｅ４ＧＮ」）１００部、塩化ナトリウム１６００部、及びジエチレングリコール１９０部をステンレス製１ガロンニーダーに仕込み、６０℃で１０時間混練した。つぎにこの混合物を３リットルの温水に投入し、約８０℃に加熱しながらハイスピードミキサーで約１時間攪拌してスラリー状とし、濾過、水洗をくりかえして塩化ナトリウム及び溶剤を除いた後、８０℃で１昼夜乾燥し、微細化顔料（Ａ３−３）を得た。

＜色素誘導体＞
下記の通りの色素誘導体を使用した。
色素誘導体（１）

色素誘導体（２）

（樹脂型分散剤溶液の製造）
ガス導入管、温度、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、メタクリル酸１０部、メチルメタクリレート１００部、ｉ−ブチルメタクリレート７０部、ベンジルメタクリレート２０部、ＰＧＭＡｃ５０部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を５０℃に加熱撹拌し、３−メルカプト−１，２−プロパンジオール１２部を添加した。９０℃に昇温し、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．１部をＰＧＭＡｃ９０部に加えた溶液を添加しながら７時間反応した。固形分測定により９５％が反応したことを確認した。ピロメリット酸無水物１９部、ＰＧＭＡｃ５０部、シクロヘキサノン５０部、触媒として１，８−ジアザビシクロ−［５．４．０］−７−ウンデセン０．４部を追加し、１００℃で７時間反応させた。酸価の測定で９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了し、固形分測定で固形分３０％となるようＰＧＭＡｃを加えて希釈し、酸価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量８５００の樹脂型分散剤溶液を得た。

＜バインダ樹脂（Ｂ）液の製造例＞
＜バインダ樹脂（Ｂ１：非感光性樹脂）の製造＞
（バインダ樹脂（Ｂ１−１）液の調製）
セパラブル４口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１９６部を仕込み、８０℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、ｎ−ブチルメタクリレート３７．２部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１２．９部、メタクリル酸１２．０部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亞合成社製「アロニックスＭ１１０」）２０．７部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１．１部の混合物を２時間かけて滴下した。滴下終了後、更に３時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約２部をサンプリングして１８０℃、２０分間加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が２０％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加してバインダ樹脂（Ｂ１−１）液を調製した。質量平均分子量（Ｍｗ）は２６０００であった。

（バインダ樹脂（Ｂ１−２）液の調製）
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたフラスコ内を窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２１０部を入れ、撹拌しながら１００℃まで昇温した。次いで、ベンジルメタクリレート１０６部、アクリル酸２２部及びジシクロペンタニルメタクリレート（日立化成社製ＦＡ−５１３Ｍ）２２部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２１５部に溶解させ、さらに２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３．６部を溶解させて調製した溶液を、フラスコ内に滴下し、１００℃で５時間撹拌し続けることにより、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約２部をサンプリングして１８０℃、２０分間加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が２０％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加してバインダ樹脂を調製し、質量平均分子量（Ｍｗ）１００００の樹脂（Ｂ１−２）溶液を得た。

（バインダ樹脂（Ｂ１−Ｍ）液の調製）
バインダ樹脂（Ｂ１−１）液とバインダ樹脂（Ｂ１−２）液を同量混合・撹拌してバインダ樹脂（Ｂ１−Ｍ）液を調整した。

＜バインダ樹脂（Ｂ２：感光性樹脂）の製造例＞
（バインダ樹脂（Ｂ２−１）液の調製）
セパラブル４口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０７部を仕込み、８０℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、メタクリル酸２０部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亜合成社製アロニックスＭ１１０）２０部、メタクリル酸メチル４５部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート８．５部、及び２，２'−アゾビスイソブチロニトリル１．３３部の混合物を２時間かけて滴下した。滴下終了後、更に３時間反応を継続し、共重合体樹脂溶液を得た。次に得られた共重合体溶液全量に対して、窒素ガスを停止し乾燥空気を１時間注入しながら攪拌したのちに、室温まで冷却した後、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工社製カレンズＭＯＩ）６．５部、ラウリン酸ジブチル錫０．０８部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２６部の混合物を７０℃で３時間かけて滴下した。滴下終了後、更に１時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約２部をサンプリングして１８０℃、２０分間加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が２０％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加してバインダ樹脂（Ｂ２−１）を調製した。質量平均分子量（Ｍｗ）は１８０００であった。

（バインダ樹脂（Ｂ２−２）液の調製）
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３３３ｇを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、１００℃に昇温後、ベンジルメタクリレート７０．５ｇ（０．４０モル）、グリシジルメタクリレート７１.１ｇ（０．５０モル）、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート（日立化成社製ＦＡ−５１３Ｍ）２２．０ｇ（０．１０モル）および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１６４ｇからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、メタクリル酸４３．０ｇ［０．５モル、（本反応に用いたグリシジルメタクリレートのグリシジル基に対して１００モル％）］、トリスジメチルアミノメチルフェノール０．９ｇおよびハイドロキノン０．１４５ｇをフラスコ内に投入し、１１０℃で６時間反応を続け不揮発分酸価が１ｍｇＫＯＨ／ｇとなったところで反応を終了した。次に、テトラヒドロフタル無水フタル酸６０．９ｇ（０．４０モル）、トリエチルアミン０．８ｇを加え、１２０℃で３．５時間反応させ酸価８０ｍｇＫＯＨ／ｇの感光性透明樹脂溶液を得た。室温まで冷却した後、感光性透明樹脂溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した感光性透明樹脂溶液に不揮発分が２０質量％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加してバインダ樹脂（Ｂ２−２）液を調製した。質量平均分子量（Ｍｗ）は１２，０００であった。

（バインダ樹脂（Ｂ２−３）液の調整）
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１８２ｇを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、１００℃に昇温後、ベンジルメタクリレート７０．５ｇ（０．４０モル）、メタクリル酸４３．０ｇ（０．５モル）、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート（日立化成社製ＦＡ−５１３Ｍ）２２．０ｇ（０．１０モル）およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１３６ｇからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル３．６ｇを添加した溶液を滴下ロートから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに１００℃で５時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート３５．５ｇ［０．２５モル、（本反応に用いたメタクリル酸のカルボキシル基に対して５０モル％）］、トリスジメチルアミノメチルフェノール０．９ｇおよびハイドロキノン０．１４５ｇをフラスコ内に投入し、１１０℃で６時間反応を続け、酸価が７９ｍｇＫＯＨ／ｇの感光性透明樹脂溶液を得た。室温まで冷却した後、感光性透明樹脂溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した感光性透明樹脂溶液に不揮発分が２０質量％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加してバインダ樹脂（Ｂ２−３）液を調製した。質量平均分子量（Ｍｗ）は１３，０００であった。

（バインダ樹脂（Ｂ２−４）液の調製）
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、他方、単量体滴下槽として、ジメチル−２，２’−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート４０部、メタクリル酸４０部、メタクリル酸メチル１２０部、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート（日本油脂製「パーブチルＯ」）４部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４０部をよく攪拌混合したものを準備し、連鎖移動剤滴下槽として、ｎ−ドデカンチオール８部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３２部をよく攪拌混合したものを準備した。
反応槽にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３９５部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を９０℃まで昇温した。反応槽の温度が９０℃に安定してから、単量体滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から滴下を開始した。滴下は、温度を９０℃に保ちながら、それぞれ１３５分間かけて行った。滴下が終了してから６０分後に昇温を開始して反応槽を１１０ ℃ にした。３時間１１０℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素／窒素＝５／９５（体積比）混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、メタクリル酸グリシジル７０部、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）０．４部、トリエチルアミン０．８部を仕込み、そのまま１１０℃ で１２時間反応させた。その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０部を加えて室温まで冷却し、樹脂溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が２０質量％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加してバインダ樹脂（Ｂ２−４）液を得た。樹脂の質量平均分子量（Ｍｗ）は１８０００ 、不揮発分当たりの酸価は２ｍｇＫＯＨ／ｇであった。

（バインダ樹脂（Ｂ２−Ｍ）液の調製）
バインダ樹脂（Ｂ２−１）〜（Ｂ２−４）液の４種類を同量混合・撹拌してバインダ樹脂（Ｂ２−Ｍ）液を調整した。

＜着色組成物（単色）の製造方法＞
［製造例１］
（着色組成物（Ｒ−１）の作製）
下記の混合物を均一になるように攪拌混合した後、直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを用いて、アイガーミル（アイガージャパン社製「ミニモデルＭ−２５０ ＭＫＩＩ」）で３時間分散した後、孔径５．０μｍのフィルタで濾過し、不揮発成分が２３．０質量％の着色組成物（Ｒ−１）を作製した。
顔料（Ａ１−１） ：１７．０部
色素誘導体（１） ：２．０部
樹脂型分散剤（不揮発分３０％液） ：４．０部
バインダ樹脂（Ｂ１−Ｍ：不揮発分２０％液） ：１４．０部
溶剤（Ｓ） ：６３．０部

［製造例２〜９］
（着色組成物（Ｒ−２〜９）の作製）
表１に記載した通りの材料種、質量に変更した以外は、製造例１と同様に着色組成物（Ｒ−２〜９）を作製した。

＜着色組成物（色材混合）の製造方法＞
［製造例１１］
（着色組成物（Ｘ−１）の作製）
以下の原料を混合、攪拌し、孔径１．０μｍのフィルタで濾過して着色組成物（Ｘ−１）を得た。
着色組成物（Ｒ−１：不揮発分２３．０％液） ：５６.０部
着色組成物（Ｒ−７：不揮発分２３．０％液） ：４２.０部
バインダ樹脂（Ｂ１−Ｍ：不揮発分２０％液） ：２.０部

［製造例１２〜３０］
（着色組成物（Ｘ−２〜２０）の作製）
表２に記載した通りの材料種、質量に変更した以外は、製造例１１と同様に着色組成物（Ｘ−２〜２０）を作製した。

＜感光性着色組成物の製造方法＞
［実施例１］
（感光性着色組成物（Ｙ−１））
以下の原料を混合、攪拌し、孔径１．０μmのフィルタで濾過して感光性着色組成物（Ｙ−１）を得た。
着色組成物（Ｘ−１：不揮発分２２．９％） ：６５．０部
バインダ樹脂（Ｂ２−Ｍ：不揮発分２０％） ：２．０部
熱硬化性化合物（ＢＥ−１） ：０．５部
熱硬化性化合物（ＢＥ−２） ：０．５部
重合性単量体（Ｃ−Ｍ） ：２．０部
光重合開始剤（Ｄ１−１） ：１．８部
増感剤（Ｈ） ：０．２部
チオール系連鎖移動剤（Ｉ） ：０．４部
重合禁止剤（Ｊ） ：０．１部
紫外線吸収剤（Ｋ） ：０．１部
酸化防止剤（Ｌ） ：０．１部
レベリング剤（Ｍ：不揮発分３％） ：１．０部
貯蔵安定剤（Ｎ） ：０．１部
シランカップリング剤（Ｏ） ：０．２部
溶剤（Ｓ） ：２６．０部

［実施例２〜２３、比較例１］
（感光性着色組成物（Ｙ−２〜２４）の作製）
表３に記載した通りの材料種、質量に変更した以外は、実施例１と同様に行い感光性着色組成物（Ｙ−２〜２４）をそれぞれ作製した。

＜熱硬化性化合物（ＢＥ）＞
・エポキシ化合物（ＢＥ−１）
（ＢＥ−１−１）２，２‘−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−
エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物
[ＥＨＰＥ−３１５０（ダイセル社製）]、
（ＢＥ−１−２）ソルビトールのグリシジルエーテル化エポキシ化合物
[デナコールＥＸ６１１（ナガセケムテックス株式会社製）]、
（ＢＥ−１−３）イソシアヌル酸トリグリシジル
（ＢＥ−１−１）〜（ＢＥ−１−３）をそれぞれ同量混合し、エポキシ化合物（ＢＥ−１）とした。

・オキセタン化合物（ＢＥ−２）：
３−エチル−３−［（３−エチルオキセタン−３−イル）メトキシメチル］オキセタン
[アロンオキセタンＯＸＴ−２２１（東亞合成株式会社製）]

＜重合性化合物（Ｃ−Ｍ）＞
（Ｃ−１）トリメチロールプロパントリアクリレート
[アロニックスＭ３０９（東亞合成株式会社製）]
（Ｃ−２）ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（Ｅ−２）
[アロニックスＭ４０２（東亞合成株式会社製）]
（Ｃ−３）多塩基酸性アクリルオリゴマー
[アロニックスＭ５２０（東亞合成株式会社製）]
（Ｃ−４）カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
[ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＣＡ−３０（日本化薬社製）]

（Ｃ−５）下記による多官能ウレタンアクリレート
内容量が１リットル５つ口反応容器に、ペンタエリスリトールトリアクリレート（４３２ｇ、ヘキサメチレンジイソシアネート８４ｇを仕込み、６０℃で８時間反応させ、（メタ）アクリロイル基を有する多官能ウレタンアクリレート（Ｃ−５）を含む生成物を得た。生成物中、多官能ウレタンアクリレート（Ｃ−５）の占める割合は、７０質量％であり、残部を他の光重合性モノマーで占めている。なお、ＩＲ分析により反応生成物中にイソシアネート基が存在しないことを確認した。

（Ｃ−６）２官能のビスフェノールＡ型（メタ）アクリレート
[ＡＢＥ−３００（新中村化学社製）]
（Ｃ−７）エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート
[Ａ−９３００（新中村化学社製）]
以上、（Ｃ−１）〜（Ｃ−７）をそれぞれ同量にて混合し、光重合性単量体（Ｃ−Ｍ）とした。

＜光重合開始剤（Ｄ１−１）＞
式（２）の構造の光重合開始剤。
＜光重合開始剤（Ｄ１−２）＞
式（３）の構造の光重合開始剤。
＜光重合開始剤（Ｄ１−３）＞
式（４）の構造の光重合開始剤。
＜光重合開始剤（Ｄ１−４）＞
式（２）の構造の光重合開始剤とエタン−１−オン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］，１−（Ｏ−アセチルオキシム）
[イルガキュアＯＸＥ０２（ＢＡＳＦジャパン社製）]を同量混合したもの。

＜光重合開始剤（Ｄ２−Ｍ）＞
（Ｄ２−１）２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン
[イルガキュア９０７（ＢＡＳＦジャパン社製）]
（Ｄ２−２）２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン
[イルガキュア３７９（ＢＡＳＦジャパン社製）]
（Ｄ２−３）２，４，６−トリメチルベンゾイルージフェニルーホスフィンオキサイド
[ルシリンＴＰＯ（ＢＡＳＦジャパン社製）]
（Ｄ２−４）２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４’，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール
[ビイミダゾール（黒金化成社製）]
（Ｄ２−５）ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン
[ＤＭＡ（ダイキファイン社製）]
（Ｄ２−６）エタン−１−オン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］，１−（Ｏ−アセチルオキシム）
[イルガキュアＯＸＥ０２（ＢＡＳＦジャパン社製）]
（Ｄ２−７）１−[４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル] −２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン
[イルガキュア２９５９（ＢＡＳＦジャパン社製）]
（Ｄ２−８）ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）-フェニルホスフィンオキサイド
[イルガキュア８１９（ＢＡＳＦジャパン社製）]
以上、（Ｄ２−１）〜（Ｄ２−８）をそれぞれ同量にて混合し、光重合開始剤（Ｄ２−Ｍ）とした。

＜増感剤（Ｈ）＞
（Ｈ−１）２，４−ジエチルチオキサントン
[カヤキュアＤＥＴＸ−Ｓ（日本化薬社製）]
（Ｈ−２）４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
[ＣＨＥＭＡＲＫ ＤＥＡＢＰ（Ｃｈｅｍａｒｋ Ｃｈｅｍｉｃａｌ社製）]
以上、（Ｈ−１）（Ｈ−２）をそれぞれ同量にて混合し、増感剤（Ｈ）とした。

＜チオール系連鎖移動剤（Ｉ）＞
（Ｉ−１）トリメチロールエタントリス（３−メルカプトブチレート）
[ＴＥＭＢ（昭和電工社製）]
（Ｉ−２）トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）
[ＴＰＭＢ（昭和電工社製）]
（Ｉ−３）ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）
[ＰＥＭＰ（堺化学工業社製）]
（Ｉ−４）トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）
[ＴＭＭＰ（堺化学工業社製）]
（Ｉ−５）トリス[（３−メルカプトプロピオニルオキシ）−エチル]−イソシアヌレート
[ＴＥＭＰＩＣ（堺化学工業社製）]
以上、（Ｉ−１）〜（Ｉ−５）をそれぞれ同量にて混合し、チオール系連鎖移動剤（Ｉ）とした。

＜重合禁止剤（Ｊ）＞
（Ｊ−１）３−メチルカテコール
（Ｊ−２）メチルヒドロキノン
（Ｊ−３）ｔ−ブチルヒドロキノン
以上、（Ｊ−１）〜（Ｊ−３）をそれぞれ同量にて混合し、重合禁止剤（Ｊ）とした。

＜紫外線吸収剤（Ｋ）＞
（Ｋ−１）２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−（ドデシルおよびトリデシル）オキシプロピル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン
[ＴＩＮＵＶＩＮ４００（ＢＡＳＦジャパン社製）]
（Ｋ−２）２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４，６−ビス（１−メチル−１−フェニルエチル）フェノール
[ＴＩＮＵＶＩＮ９００（ＢＡＳＦジャパン社製）]
以上、（Ｋ−１）〜（Ｋ−２）をそれぞれ同量にて混合し、紫外線吸収剤（Ｋ）とした。

＜酸化防止剤（Ｌ）＞
（Ｌ−１）ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート
（Ｌ−２）３，３'−チオジプロパン酸ジオクタデシル
（Ｌ−３）トリス［２，４−ジ−（ｔ）−ブチルフェニル］ホスフィン
（Ｌ−４）ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル）セバケート
（Ｌ−５）サリチル酸ｐ−オクチルフェニル
以上、（Ｌ−１）〜（Ｌ−５）をそれぞれ同量にて混合し、酸化防止剤（Ｌ）とした。

＜レベリング剤（Ｍ）＞
ビックケミー社製「ＢＹＫ−３３０ 」 1部、
ＤＩＣ株式会社製「メガファックＦ−５５１」 1部、
花王株式会社製「エマルゲン１０３」 1部
をＰＧＭＡｃ９７部に溶解させた混合溶液。

＜貯蔵安定剤（Ｎ）＞
（Ｎ−１）２，６−ビス（１，１−ジメチルエチル）−４−メチルフェノール
（本州化学工業社製「ＢＨＴ」）
（Ｎ−２）トリフェニルホスフィン
（北興化学工業社製「ＴＰＰ」）
以上、（Ｎ−１）〜（Ｎ−２）をそれぞれ同量にて混合し、貯蔵安定剤（Ｎ）とした。

＜密着向上剤（Ｏ）＞
（Ｏ−１）３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン
[信越シリコーン シランカップリング剤ＫＢＭ−４０３（信越化学工業株式会社製）]
（Ｏ−２）３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン
[信越シリコーン シランカップリング剤ＫＢＥ−５０３（信越化学工業株式会社製）]
（Ｏ−３）Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン
[信越シリコーン シランカップリング剤ＫＢＭ−６０３（信越化学工業株式会社製）]
（Ｏ−４）３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン
[信越シリコーン シランカップリング剤ＫＢＭ−８０３（信越化学工業株式会社製）]
以上、（Ｏ−１）〜（Ｏ−４）をそれぞれ同量にて混合し、シランカップリング剤（Ｏ）とした。

＜溶剤（Ｓ）＞
（Ｓ−１）ＰＧＭＡｃ ３０部
（Ｓ−２）シクロヘキサノン ３０部
（Ｓ−３）３−エトキシプロピオン酸エチル １０部
（Ｓ−４）プロピレングリコールモノメチルエーテル １０部
（Ｓ−５）シクロヘキサノールアセテート １０部
（Ｓ−６）ジプロプレングリコールメチルエーテルアセテート １０部
以上、（Ｓ−１）〜（Ｓ−６）をそれぞれ上記質量部にて混合し、溶剤（Ｓ）とした。

＜感光性着色組成物の評価＞
感度、塗膜異物の各試験を下記の方法で行った。試験の結果を表４に示す。

＜感度＞
感光性着色組成物を、１０ｃｍ角のガラス基板上に、スピンコーターを用いて乾燥膜厚が１．２μｍとなるように回転塗工し、１２０℃で１２０秒間プリベークを行った。次いで、この基板を室温に冷却後、超高圧水銀ランプを用い、１００μｍ間隔のフォトマスクを介して紫外線を露光した。その後、この基板を２３℃の炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像した後、イオン交換水で洗浄して風乾し、クリーンオーブン中で、２３０℃で３０分間ポストベークを行い、基板上にストライプ状の着色画素を形成した。
形成された着色画素のパタ−ンがフォトマスクの画像寸法どおりに仕上がる最低照射露光量により、感光性着色組成物の感度を評価した。評価のランクは次の通りである。
○：１００ｍＪ／ｃｍ²未満
△：１００以上、１５０ｍＪ／ｃｍ²未満
×：１５０ｍＪ／ｃｍ²以上

＜塗膜異物試験＞
１０ｃｍ角のガラス試験基板を作製し粒子の数をカウントして行った。ガラス基板上に乾燥塗膜が約２．０μmとなるように感光性着色組成物を塗布し、オーブンで１１０℃２０分加熱し試験基板を得た。評価はオリンパスシステム社製金属顕微鏡「ＢＸ６０」）を用いて表面観察を行った。倍率は５００倍とし、透過にて任意の５視野で観測可能な粒子の数をカウントする。
下記の評価結果において、○は良好であり、△は異物が多いものの使用上問題ないレベルであり、×は異物による塗工ムラ（斑）が発生する。
○：２０個未満
△：２０個以上、１００個未満
×：１００個以上

本発明の感光性着色組成物は、感度、塗膜異物ともに良好な結果が得られたのに対して、比較例の感光性着色組成物は感度、塗膜異物ともに実施例よりも劣った結果であった。

（カラーフィルタの作製）
以下の各色レジストを用いて、シリコンウエハ（固体撮像素子基板）基板のデバイス形成面側にレッド、グリーン、ブルーのカラーフィルタを作成した。

（赤色レジスト材（ＲＲ−１）の作製）
下記の組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、直径０．５ｍｍジルコニアビーズを用いて、アイガーミル（アイガージャパン社製「ミニモデルＭ−２５０ ＭＫＩＩ」）にて５時間分散した後、５．０μｍのフィルタで濾過し、赤色顔料分散体１を作製した。
赤色顔料 （Ｃ．Ｉ．ピグメント レッド ２５４） ９．６部
黄色顔料 （Ｃ．Ｉ．ピグメント イエロー １３８） ２．４部
バインダ樹脂溶液（Ｂ−１：２０％） ３５．０部
樹脂型分散剤溶液（ＢＡＳＦ社製「ＥＦＫＡ４３００」） ５．０部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４８．０部

続いて、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、１．０μｍのフィルタで濾過し、赤色レジスト材（ＲＲ−１）を作製した。
赤色顔料分散体１ ５０．０部
バインダ樹脂溶液（Ｂ−２：２０％） ７．５部
光重合性単量体 ２．０部
（東亞合成社製「アロニックスＭ−４０２」）
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製「ＯＸＥ−０２」） １．５部
シクロヘキサノン ３９．０部

（緑色レジスト材（ＲＧ−１）の作製）
上述の感光性着色組成物（Ｙ−１）を緑色レジスト材（ＲＧ−１）として使用した。

（青色レジスト材（ＲＢ−１）の作製）
下記の組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、直径０．５ｍｍジルコニアビーズを用いて、アイガーミル（アイガージャパン社製「ミニモデルＭ−２５０ ＭＫＩＩ」）にて５時間分散した後、５．０μｍのフィルタで濾過し、青色顔料分散体１を作製した。
青色顔料 （Ｃ．Ｉ．ピグメント ブルー １５：６） ９．６部
紫色顔料 （Ｃ．Ｉ．ピグメント バイオレット ２３） ２．４部
バインダ樹脂溶液（Ｂ−１：２０％） ３５．０部
樹脂型分散剤溶液（ＢＡＳＦ社製「ＥＦＫＡ４３００」） ５．０部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４８．０部

続いて、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、１．０μｍのフィルタで濾過し、青色レジスト材（ＲＢ−１）を作製した。
青色顔料分散体１ ５０．０部
バインダ樹脂溶液（Ｂ−２：２０％） ７．５部
光重合性単量体 ２．０部
（東亞合成社製「アロニックスＭ−４０２」）
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製「ＯＸＥ−０２」） １．５部
シクロヘキサノン ３９．０部

（カラーフィルタの作製）
あらかじめヘキサメチルジシラザンを噴霧した８インチのデバイス形成済みシリコンウエハ（固体撮像素子基板）基板のデバイス形成面側にスピンコーターで赤色レジスト材（ＲＲ−１）を塗布し着色被膜を形成した。次いで、１００℃のホットプレートを用いて１８０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。
次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ社製）を使用して、３６５ｎｍの波長で１．０μｍ四方の赤色画素を形成するためのフォトマスクを通して露光量１５０ｍＪ／ｃｍ^２にてパターン露光を行った。
次いで０．２質量％の炭酸ナトリウム水溶液からなるアルカリ現像液によりスプレー現像して未露光部分を取り除いた後、イオン交換水で洗浄し、この基板を２３０℃で１２分加熱して、赤色フィルタセグメントを形成した。ここで、赤色フィルタセグメントは、２３０℃での熱処理後で、Ｃ光源において（以下、緑色、青色にも用いる）ｘ＝０．６４０、ｙ＝０．３３０の色度に合うようにした。また、同様の方法により、緑色フィルタセグメントは、緑色レジスト材（ＲＧ−１）を用いてｘ＝０．２９０、ｙ＝０．６００の色度に合うようにし、青色フィルタセグメントは、青色レジスト材（ＲＢ−１）を用いてｘ＝０．１５０、ｙ＝０．０６０の色度に合うようにし、各フィルタセグメントを形成して、撮像素子用カラーフィルタを得た。

Claims (3)

1. 着色剤（Ａ）と、バインダ樹脂（Ｂ）と、重合性化合物（Ｃ）と、光重合開始剤（Ｄ）とを含有し、前記着色剤（Ａ）は、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、そのうち臭素原子数が平均８〜１２個、かつ塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）を含み、該ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料（Ａ１）が着色剤（Ａ）の全量に対し、２０質量％〜９５質量％であり、かつ、着色剤（Ａ）が感光性着色組成物の固形分全量に対して５０質量％以上であり、さらに、該光重合開始剤（Ｄ）が下記一般式（１）で表される光重合開始剤（Ｄ１）を含むことを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタに使用される感光性着色組成物。
   一般式（１）
   
   〔一般式（１）において、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₃、Ｒ₄は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルキルオキシ基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、置換もしくは未置換のアルキルスルファニル基、置換もしくは未置換のアリールスルファニル基、置換もしくは未置換のアシル基、または置換もしくは未置換のアミノ基を表す。〕
2. 基材上に、請求項１に記載の感光性着色組成物を用いて形成されるフィルタセグメントを具備するカラーフィルタ。
3. 請求項２記載のカラーフィルタを有する、固体撮像素子。