JP2020164406A - 耐食性部材 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、純度99.9%のイットリア粉末(信越化学工業株式会社製)を57重量%、純度99.99%のアルミナ粉末(住友化学株式会社製)を43重量%、バインダーとしてのPVA系バインダーを2重量%、分散剤としての水溶性アクリル酸系分散剤を0.3重量%及び可塑剤としてのグリセリンを0.5重量%、イオン交換水と共にポットに投入し、ボールミルにより湿式混合を行い、スラリーを形成した。なお、本実施例では添加していないが、焼結助剤としてのSiO2を0.15重量%以上10重量%以下の範囲で加えてもよい。
比較例1においては、実施例1〜5と同様に円柱形状のYAG焼結体を作製した。そして、このYAG焼結体の一方の円形状の面を表1の値となるように研磨加工を行った。加工条件は砥粒の種類、粒径、盤の種類、荷重、研磨時間などで調整した。
比較例2においては、実施例1〜5と同様に円柱形状のYAG焼結体を作製した。そして、このYAG焼結体の一方の円形状の面を表1の値となるように研磨加工を行った。加工条件は砥粒の種類、粒径、盤の種類、荷重、研磨時間などで調整した。
酸化アルミニウムの焼結体を以下のようにして作製した。純度99.7%のアルミナ粉末(昭和電工株式会社製)に、バインダーとしてPVA系バインダーを2.0重量%、分散剤として水溶性アクリル酸系分散剤を0.15重量%、硝酸マグネシウムを0.6重量%、可塑剤としてグリセリンを0.5重量%、イオン交換水と共にポットに投入し、ボールミルにより湿式混合を行い、スラリーを形成した。
酸化イットリウムの焼結体を以下のようにして作製した。純度99.9%のイットリア粉末(信越化学工業株式会社製)に、バインダーとしてPVA系バインダーを2.0重量%、分散剤として水溶性アクリル酸系分散剤を0.2重量%、可塑剤としてグリセリンを0.5重量%、イオン交換水と共にポットに投入し、ボールミルにより湿式混合を行い、スラリーを形成した。
Claims (6)
- 腐食性ガスに曝される部分を有する耐食性部材であって、
前記腐食性ガスに曝される部分がセラミックス焼結体からなり、
前記セラミックス焼結体の表面は、輪郭曲線要素の平均粗さ(Rsm)が25μm以下、輪郭曲線要素の平均粗さ(Rsm)と算術平均粗さ(Ra)との比(Rsm/Ra)が4000以下であることを特徴とする耐食性部材。 - 前記セラミックス焼結体の表面の算術平均粗さ(Ra)は0.02μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の耐食性部材。
- 前記セラミックス焼結体の表面の最大高さ(Rz)は0.2μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の耐食性部材。
- 前記セラミックス焼結体は、アルミナ、イットリア、及びイットリウム・アルミニウム・ガーネットから選択される少なくとも一種を主成分とすることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の耐食性部材。
- 前記腐食性ガスに曝される部分は、少なくともガスノズルのノズル孔を形成する部分であることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の耐食性部材。
- 前記輪郭曲線要素の平均粗さ(Rsm)が5μm以上であって、前記比(Rsm/Ra)が250以上であることを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の耐食性部材。
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