JP2020150198A - 処理条件選択方法、基板処理方法、基板製品製造方法、処理条件選択装置、コンピュータープログラム、および、記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
41 記憶部(記憶媒体)
100 基板処理装置(処理条件選択装置)
311 特定部
313 取得部
417 コンピュータープログラム
W 基板
Claims (21)
- 基板を構成する対象物を処理液によって処理するときに使用可能な処理条件を、複数の参照処理条件のうちから選択する処理条件選択方法であって、
前記対象物の複数の測定位置の各々において、前記処理液による処理前に前記対象物の厚みを測定する工程と、
前記複数の測定位置でそれぞれ測定された複数の前記厚みの分布を示す厚みパターンと、予め記憶部に記憶されている複数の参照パターンとを比較して、前記複数の参照パターンのうちから、規定ルールに基づき前記厚みパターンと相関の高い参照パターンを特定する工程と、
前記複数の参照パターンにそれぞれ関連付けられた複数の参照処理条件のうち、特定された前記参照パターンに関連付けられた参照処理条件を、前記処理条件として前記記憶部から取得する工程と
を含み、
前記複数の参照パターンの各々は、参照対象物の物理量の分布を示し、
前記複数の参照処理条件の各々は、前記参照パターンを有する前記参照対象物に対して、前記処理液による処理を過去に実行したときの処理条件を示す、処理条件選択方法。 - 前記複数の参照パターンの各々は、複数の参照グループのうちのいずれかに予め分類されており、
前記複数の参照グループは、参照パターンの形状の特徴に基づいて定められており、
前記参照パターンを特定する前記工程は、
前記厚みパターンを前記複数の参照グループのうちのいずれかの参照グループに分類する工程と、
前記複数の参照パターンのうち、前記厚みパターンが分類された前記参照グループに分類されている2以上の参照パターンを対象として、前記規定ルールに基づき前記厚みパターンと前記参照パターンとの比較を行い、前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンを決定する工程と
を含む、請求項1に記載の処理条件選択方法。 - 前記複数の参照グループは、第1参照グループと第2参照グループと第3参照グループとのうちの少なくとも1つを含み、
前記第1参照グループは、前記対象物または前記参照対象物の中心部からエッジ部までの間に極小部を有するパターンのグループを示し、
前記第2参照グループは、前記対象物または前記参照対象物の中心部からエッジ部までの間に極大部を有するパターンのグループを示し、
前記第1参照グループは、前記対象物または前記参照対象物の中心部からエッジ部に向かって一方向に傾斜しているパターンのグループを示す、請求項2に記載の処理条件選択方法。 - 前記厚みパターンが分類された前記参照グループが前記第1参照グループである場合、前記参照パターンを決定する前記工程では、前記厚みパターンに基づく第1差分と、前記参照パターンに基づく第2差分とを比較して、比較結果に基づいて、前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンを決定し、
前記第1差分は、前記厚みパターンの極小部によって示される前記対象物の厚みと、前記厚みパターンのエッジ部によって示される前記対象物のエッジ部の厚みとの差分を示し、
前記第2差分は、前記参照パターンの極小部によって示される前記参照対象物の物理量と、前記参照パターンのエッジ部によって示される前記参照対象物のエッジ部の物理量との差分を示す、請求項3に記載の処理条件選択方法。 - 前記厚みパターンが分類された前記参照グループが前記第2参照グループである場合、前記参照パターンを決定する前記工程では、前記厚みパターンに基づく第1距離と、前記参照パターンに基づく第2距離とを比較して、比較結果に基づいて、前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンを決定し、
前記第1距離は、前記対象物の中心部から前記厚みパターンの極大部に対応する位置までの距離を示し、
前記第2距離は、前記参照対象物の中心部から前記参照パターンの極大部に対応する位置までの距離を示す、請求項3または請求項4に記載の処理条件選択方法。 - 前記厚みパターンが分類された前記参照グループが前記第3参照グループである場合、前記参照パターンを決定する前記工程では、前記厚みパターンの傾斜と、前記参照パターンの傾斜とを比較して、比較結果に基づいて、前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンを決定する、請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の処理条件選択方法。
- 前記参照パターンを特定する前記工程は、
前記厚みパターンの次元と前記参照パターンの次元とを一致させる工程をさらに含み、
前記参照パターンを決定する前記工程では、前記厚みパターンの次元と前記参照パターンの次元とが一致させられた後に、前記規定ルールに基づき前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンを決定する、請求項2から請求項6のいずれか1項に記載の処理条件選択方法。 - 前記複数の参照処理条件の各々は、前記参照対象物を含む基板の回転速度を示す情報と、前記参照対象物に対して前記処理液を吐出するノズルの折り返し位置を示す情報と、前記参照対象物に沿った前記ノズルの移動速度を示す情報とを含む、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の処理条件選択方法。
- 前記厚みパターンの特徴を示す第1特徴量と、前記参照パターンの特徴を示す第2特徴量とを比較して、比較結果に基づいて、前記記憶部から取得する前記工程によって取得された前記処理条件に含まれる前記ノズルの移動速度を示す情報を調整する工程をさらに含み、
前記第1特徴量は、前記厚みパターンの極値、前記厚みパターンが示す前記対象物の中心部の厚み、または、前記厚みパターンが示す前記対象物のエッジ部の厚みを示し、
前記第2特徴量は、前記参照パターンの極値、前記参照パターンが示す前記参照対象物の中心部の物理量、または、前記参照パターンが示す前記参照対象物のエッジ部の物理量を示す、請求項8に記載の処理条件選択方法。 - 前記参照パターンを特定する前記工程では、ユーザーからの入力装置への入力結果に基づいて、前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンが特定される、請求項1に記載の処理条件選択方法。
- 前記処理液による処理前の前記対象物の前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンを特定または調整するために利用される情報、または、前記処理液による処理後の前記対象物の厚みパターンを評価するために利用される情報を、表示装置に表示する工程をさらに含む、請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の処理条件選択方法。
- 前記処理液は、前記対象物をエッチングするエッチング液であり、
前記物理量は、エッチングレートまたはエッチング量である、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の処理条件選択方法。 - 前記処理液は、前記対象物を除去する除去液であり、
前記物理量は、除去レートまたは除去量である、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の処理条件選択方法。 - 請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の処理条件選択方法と、
前記処理条件選択方法において選択された前記処理条件に従って、前記対象物を前記処理液によって処理する工程と
を含む、基板処理方法。 - 前記処理液による処理後の前記対象物の複数の測定位置の各々において、処理後の前記対象物の厚みを測定する工程をさらに含む、請求項14に記載の基板処理方法。
- 処理前の前記対象物の厚みの分布を示す処理前の前記厚みパターンと、処理前の前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンと、前記処理条件と、処理後の前記対象物の厚みの分布を示す処理後の厚みパターンとを関連付けて記憶部に記憶する工程をさらに含む、請求項15に記載の基板処理方法。
- 処理前の前記対象物の厚みの分布を示す処理前の前記厚みパターンと、処理前の前記厚みパターンと相関の高い前記参照パターンと、前記処理条件と、処理後の前記対象物の厚みの分布を示す処理後の厚みパターンと、処理後の前記厚みパターンに対する評価結果とを関連付けて記憶部に記憶する工程をさらに含む、請求項15に記載の基板処理方法。
- 請求項14から請求項17のいずれか1項に記載の基板処理方法によって前記基板を処理して、処理後の前記基板である基板製品を製造する、基板製品製造方法。
- 基板を構成する対象物を処理液によって処理するときに使用可能な処理条件を、複数の参照処理条件のうちから選択する処理条件選択装置であって、
前記対象物の複数の測定位置の各々において、前記処理液による処理前に前記対象物の厚みを測定する厚み測定部と、
各々が参照対象物の物理量の分布を示す複数の参照パターンを予め記憶している記憶部と、
前記複数の測定位置でそれぞれ測定された複数の前記厚みの分布を示す厚みパターンと、前記複数の参照パターンとを比較して、前記複数の参照パターンのうちから、規定ルールに基づき前記厚みパターンと相関の高い参照パターンを特定する特定部と、
前記複数の参照パターンにそれぞれ関連付けられた複数の参照処理条件のうち、特定された前記参照パターンに関連付けられた参照処理条件を、前記処理条件として前記記憶部から取得する取得部と
を備え、
前記複数の参照処理条件の各々は、前記参照パターンを有する前記参照対象物に対して、前記処理液による処理を過去に実行したときの処理条件を示す、処理条件選択装置。 - 基板を構成する対象物を処理液によって処理するときに使用可能な処理条件を、複数の参照処理条件のうちから選択するコンピュータープログラムであって、
前記対象物の複数の測定位置の各々において、前記処理液による処理前に前記対象物の厚みを測定する工程と、
前記複数の測定位置でそれぞれ測定された複数の前記厚みの分布を示す厚みパターンと、予め記憶部に記憶されている複数の参照パターンとを比較して、前記複数の参照パターンのうちから、規定ルールに基づき前記厚みパターンと相関の高い参照パターンを特定する工程と、
前記複数の参照パターンにそれぞれ関連付けられた複数の参照処理条件のうち、特定された前記参照パターンに関連付けられた参照処理条件を、前記処理条件として前記記憶部から取得する工程と
をコンピューターに実行させ、
前記複数の参照パターンの各々は、参照対象物の物理量の分布を示し、
前記複数の参照処理条件の各々は、前記参照パターンを有する前記参照対象物に対して、前記処理液による処理を過去に実行したときの処理条件を示す、コンピュータープログラム。 - 請求項20に記載のコンピュータープログラムを記憶した記憶媒体。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019048214A JP7166966B2 (ja) | 2019-03-15 | 2019-03-15 | 処理条件選択方法、基板処理方法、基板製品製造方法、処理条件選択装置、コンピュータープログラム、および、記憶媒体 |
TW109100285A TWI775032B (zh) | 2019-03-15 | 2020-01-06 | 處理條件選擇方法、基板處理方法、基板製品製造方法、處理條件選擇裝置、電腦程式以及記憶媒體 |
PCT/JP2020/001915 WO2020188992A1 (ja) | 2019-03-15 | 2020-01-21 | 処理条件選択方法、基板処理方法、基板製品製造方法、処理条件選択装置、コンピュータープログラム、および、記憶媒体 |
KR1020217032961A KR102617186B1 (ko) | 2019-03-15 | 2020-01-21 | 처리 조건 선택 방법, 기판 처리 방법, 기판 제품 제조 방법, 처리 조건 선택 장치 및 프로그램을 저장한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체 |
US17/438,975 US20220148896A1 (en) | 2019-03-15 | 2020-01-21 | Processing condition selection method, substrate processing method, substrate product production method, processing condition selecting device, computer program, and storage medium |
CN202080021193.2A CN113614886A (zh) | 2019-03-15 | 2020-01-21 | 处理条件选择方法、基板处理方法、基板制品制造方法、处理条件选择装置、计算机程序以及存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019048214A JP7166966B2 (ja) | 2019-03-15 | 2019-03-15 | 処理条件選択方法、基板処理方法、基板製品製造方法、処理条件選択装置、コンピュータープログラム、および、記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020150198A true JP2020150198A (ja) | 2020-09-17 |
JP7166966B2 JP7166966B2 (ja) | 2022-11-08 |
Family
ID=72432131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019048214A Active JP7166966B2 (ja) | 2019-03-15 | 2019-03-15 | 処理条件選択方法、基板処理方法、基板製品製造方法、処理条件選択装置、コンピュータープログラム、および、記憶媒体 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220148896A1 (ja) |
JP (1) | JP7166966B2 (ja) |
KR (1) | KR102617186B1 (ja) |
CN (1) | CN113614886A (ja) |
TW (1) | TWI775032B (ja) |
WO (1) | WO2020188992A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022270129A1 (ja) * | 2021-06-24 | 2022-12-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理システム |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10275753A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Hitachi Ltd | 半導体基板の製造方法 |
JP2001313279A (ja) * | 2000-05-01 | 2001-11-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 厚み計測装置、及びそれを用いたウエットエッチング装置、ウエットエッチング方法 |
JP2005051210A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 面内分布データの圧縮法、面内分布の測定方法、面内分布の最適化方法、プロセス装置の管理方法及びプロセス管理方法 |
JP2005136345A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Canon Inc | 基板処理方法、基板処理装置、測定装置およびデータ制御方法 |
JP2006066779A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラズマcvd装置、基板処理システム、及び製膜・セルフクリーニング方法 |
JP2008034877A (ja) * | 2007-10-10 | 2008-02-14 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および製造システム |
WO2017176641A1 (en) * | 2016-04-05 | 2017-10-12 | Veeco Precision Surface Processing Llc | An apparatus and method to control etch rate through adaptive spiking of chemistry |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004071862A (ja) | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
US9002497B2 (en) * | 2003-07-03 | 2015-04-07 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for inspection of wafers and reticles using designer intent data |
CN103173766A (zh) * | 2011-12-26 | 2013-06-26 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 湿法蚀刻工艺的先进工艺控制方法 |
JP5998010B2 (ja) * | 2012-10-24 | 2016-09-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理システム、基板処理装置の制御方法、プログラムおよび記録媒体 |
US9698062B2 (en) * | 2013-02-28 | 2017-07-04 | Veeco Precision Surface Processing Llc | System and method for performing a wet etching process |
US9543225B2 (en) * | 2014-04-29 | 2017-01-10 | Lam Research Corporation | Systems and methods for detecting endpoint for through-silicon via reveal applications |
US9460944B2 (en) * | 2014-07-02 | 2016-10-04 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate treating apparatus and method of treating substrate |
TWI641934B (zh) * | 2014-08-05 | 2018-11-21 | 聯華電子股份有限公司 | 虛擬量測系統與方法 |
KR20160045299A (ko) * | 2014-10-17 | 2016-04-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치, 연계 처리 시스템 및 기판 처리 방법 |
US9870928B2 (en) * | 2014-10-31 | 2018-01-16 | Veeco Precision Surface Processing Llc | System and method for updating an arm scan profile through a graphical user interface |
WO2016091534A1 (en) * | 2014-12-09 | 2016-06-16 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for image analysis |
US10699926B2 (en) * | 2017-08-30 | 2020-06-30 | Kla-Tencor Corp. | Identifying nuisances and defects of interest in defects detected on a wafer |
-
2019
- 2019-03-15 JP JP2019048214A patent/JP7166966B2/ja active Active
-
2020
- 2020-01-06 TW TW109100285A patent/TWI775032B/zh active
- 2020-01-21 US US17/438,975 patent/US20220148896A1/en active Pending
- 2020-01-21 WO PCT/JP2020/001915 patent/WO2020188992A1/ja active Application Filing
- 2020-01-21 KR KR1020217032961A patent/KR102617186B1/ko active IP Right Grant
- 2020-01-21 CN CN202080021193.2A patent/CN113614886A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10275753A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Hitachi Ltd | 半導体基板の製造方法 |
JP2001313279A (ja) * | 2000-05-01 | 2001-11-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 厚み計測装置、及びそれを用いたウエットエッチング装置、ウエットエッチング方法 |
JP2005051210A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 面内分布データの圧縮法、面内分布の測定方法、面内分布の最適化方法、プロセス装置の管理方法及びプロセス管理方法 |
JP2005136345A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Canon Inc | 基板処理方法、基板処理装置、測定装置およびデータ制御方法 |
JP2006066779A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラズマcvd装置、基板処理システム、及び製膜・セルフクリーニング方法 |
JP2008034877A (ja) * | 2007-10-10 | 2008-02-14 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および製造システム |
WO2017176641A1 (en) * | 2016-04-05 | 2017-10-12 | Veeco Precision Surface Processing Llc | An apparatus and method to control etch rate through adaptive spiking of chemistry |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022270129A1 (ja) * | 2021-06-24 | 2022-12-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102617186B1 (ko) | 2023-12-27 |
US20220148896A1 (en) | 2022-05-12 |
WO2020188992A1 (ja) | 2020-09-24 |
TWI775032B (zh) | 2022-08-21 |
CN113614886A (zh) | 2021-11-05 |
KR20210137179A (ko) | 2021-11-17 |
JP7166966B2 (ja) | 2022-11-08 |
TW202036469A (zh) | 2020-10-01 |
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