JP2020143343A - 高融点金属炭化物の製造方法および高融点金属炭化物 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態にかかる高融点金属炭化物の製造方法について説明する。高融点金属炭化物は、図1に示す真空熱処理装置を用いて製造する。
CmHn+C+Ta→TaCx+CyHz+H2
H2+C+Ta→TaCx+CyHz
以上説明したように、本実施形態では、被炭化部材20を炭素繊維で構成されたフェルト部材21で覆った状態とし、還元雰囲気ガスを供給して加熱処理を行うようにしている。これにより、被炭化部材20の近傍に配置されたフェルト部材21を透過してより多くのガスを供給できることから、C供給量をより多く、かつ、均一に供給できて、CPの均一化を図ることができる。したがって、被炭化部材20の表層部に、より均一に、より厚いC含有層20aを形成することが可能となる。
本開示は、上記した実施形態に準拠して記述されたが、当該実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。
20 被炭化部材
20a C含有層
21 フェルト部材
22 炭素基材
Claims (13)
- 高融点金属もしくは高融点金属合金で構成された被炭化部材(20)を用意することと、
前記被炭化部材の周囲を炭素繊維(21)で覆うことと、
前記炭素繊維で覆った状態で前記被炭化部材を真空熱処理炉(10)に設置し、前記真空熱処理炉内に還元雰囲気ガスを導入すると共に加熱処理を行うことで、前記被炭化部材の少なくとも表層部を浸炭させて炭素含有層(20a)を形成することと、を含む高融点金属炭化物の製造方法。 - 前記炭素繊維で覆うことでは、前記炭素繊維として、比表面積が200〜2500m2/gのものを用いる、請求項1に記載の高融点金属炭化物の製造方法。
- 前記炭素繊維で覆うことでは、前記炭素繊維として、嵩密度が0.08〜0.2g/cm3のものを用いる、請求項1または2に記載の高融点金属炭化物の製造方法。
- 前記炭素含有層を形成することでは、前記真空熱処理炉の雰囲気圧力を5〜200kPaとし、前記還元雰囲気ガスとして水素ガスを用いる、請求項1ないし3のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。
- 前記炭素繊維で覆うことでは、前記炭素繊維を布状としたフェルト部材(21)にて前記被炭化部材を覆う、請求項1ないし4のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。
- 前記被炭化部材を用意することでは、前記高融点金属としてタンタルもしくはタンタル合金を用い、
前記炭素含有層を形成することでは、前記加熱処理時の温度を1800〜2700℃とする、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。 - 前記被炭化部材を用意することでは、前記高融点金属としてニオブもしくはニオブ合金を用い、
前記炭素含有層を形成することでは、前記加熱処理時の温度を1600〜2000℃とする、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。 - 前記被炭化部材を用意することでは、前記高融点金属としてジルコニウムもしくはジルコニウム合金を用い、
前記炭素含有層を形成することでは、前記加熱処理時の温度を1600〜2000℃とする、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。 - 前記被炭化部材を用意することでは、前記高融点金属としてハフニウムもしくはハフニウム合金を用い、
前記炭素含有層を形成することでは、前記加熱処理時の温度を1500〜1800℃とする、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。 - 前記被炭化部材を用意することでは、前記高融点金属としてタングステンもしくはタングステン合金を用い、
前記炭素含有層を形成することでは、前記加熱処理時の温度を2200〜2600℃とする、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。 - 前記被炭化部材を用意することでは、前記高融点金属としてクロムもしくはクロム合金を用い、
前記炭素含有層を形成することでは、前記加熱処理時の温度を1400〜1700℃とする、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。 - 前記被炭化部材を用意することでは、前記高融点金属としてチタンもしくはチタン合金を用い、
前記炭素含有層を形成することでは、前記加熱処理時の温度を1000〜1400℃とする、請求項1ないし5のいずれか1つに記載の高融点金属炭化物の製造方法。 - 少なくとも表層部が炭素含有層(20a)とされ、高融点金属もしくは高融点金属合金にて構成された被炭化部材(20)を有し、
前記炭素含有層の厚みが0.5μm以上で均一な厚みとなっている高融点金属炭化物。
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JP2012117096A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Toyo Tanso Kk | タンタル容器の浸炭処理方法 |
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