JP5548174B2 - PIT炭素芯TaCチューブの製造方法、及び、PIT炭素芯TaCチューブ - Google Patents
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Description
I.グラファイトブロック、もしくはグラファイトシートとTaを図3のような配置で高温高真空熱処理炉中の予備加熱炉に設置し、炉内を1×10−5torr程度になるまで真空引きを行なう。
II.予備加熱炉内が真空に引けると、真空中で試料温度が800℃になるまで1時間ほど掛けてゆっくりと加熱を行ない、炉内のガス出しを行なう。
III.サンプルを予備加熱炉から熱処理炉に搬送することにより、800℃から2000℃〜2200℃まで瞬間昇温させ、2〜10時間真空アニールを行う。
Claims (3)
- タンタル若しくはタンタル合金をチューブ状の形状に加工する、チューブ加工ステップと、
前記チューブ加工ステップの後、前記チューブの中にPIT方式で炭素粉末を圧入する、圧入ステップと、
前記圧入ステップの後、前記チューブを圧延成形して焼結固形化前の加工性の高い間に全体を所定のコイル形状に加工する、コイル加工ステップと、
前記コイル加工ステップの後、前記チューブを真空熱処理炉内に設置する、設置ステップと、
前記設置ステップの後、前記チューブの表面に形成されている自然酸化膜であるTa2O5が昇華する条件下で熱処理を行い、前記Ta2O5を除去する、除去ステップと、
前記除去ステップの後、前記真空熱処理炉内に炭素源を導入して前記真空熱処理炉内温度を更に上昇させて、前記チューブの内表面と前記PIT炭素粉末とが固相拡散結合で分子接合する温度条件下で、前記チューブの内表面と前記PIT炭素粉末とを焼結固形化して固相拡散分子結合させると同時に、前記チューブの外表面に炭素を浸入させてTaCを形成する、TaC形成ステップと、
を備えたことを特徴とする、PIT炭素芯TaCチューブの製造方法。 - タンタル若しくはタンタル合金をチューブ状の形状に加工する、チューブ加工ステップと、
前記チューブ加工ステップの後、前記チューブの中にPIT方式で炭素粉末を圧入する、圧入ステップと、
前記圧入ステップの後、前記チューブを圧延成形してリボン状に成形して焼結固形化前の加工性の高い間に全体を所定のコイル形状に加工する、コイル加工ステップと、
前記コイル加工ステップの後、前記チューブを真空熱処理炉内に設置する、設置ステップと、
前記設置ステップの後、前記チューブの表面に形成されている自然酸化膜であるTa2O5が昇華する条件下で熱処理を行い、前記Ta2O5を除去する、除去ステップと、
前記除去ステップの後、前記真空熱処理炉内に炭素源を導入して前記真空熱処理炉内温度を更に上昇させて、前記チューブの内表面と前記PIT炭素粉末とが固相拡散結合で分子接合する温度条件下で、前記チューブの内表面と前記PIT炭素粉末とを焼結固形化して固相拡散分子結合させると同時に、前記チューブの外表面に炭素を浸入させてTaCを形成する、TaC形成ステップと、
を備えたことを特徴とする、PIT炭素芯TaCチューブの製造方法。 - 請求項1または2に記載の製造方法で製造されたPIT炭素芯TaCチューブであって、タンタル炭化物のフィラメント若しくはヒータであることを特徴とする、PIT炭素芯TaCチューブ。
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