JP2020137110A - キャリブレーション回路及びこれを含む半導体装置 - Google Patents

キャリブレーション回路及びこれを含む半導体装置 Download PDF

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Abstract

【課題】本発明は、半導体装置及びキャリブレーション回路に関する。【解決手段】キャリブレーション回路２００は、基準抵抗レッグ２１０及びエンファシス回路２３０を含むことができる。基準抵抗レッグ２１０は、基準抵抗ノードＲＲＮを介して外部基準抵抗ＲＺＱと連結し、キャリブレーションコードＮＣＡＬ１，ＰＣＡＬ１に基づいて基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを変化させることができる。エンファシス回路２３０は、キャリブレーションコードＮＣＡＬ１，ＰＣＡＬ１に基づいて基準抵抗レッグ２１０が基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを変化させる時、基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルの変化を加速化させることができる。【選択図】図２

Description

本発明は、集積回路技術に関し、特に半導体装置及びキャリブレーション回路(calibration circuit)に関する。
電子装置は多くの電子構成要素を含み、その中でコンピュータシステムは半導体からなる多くの電子構成要素を含むことができる。コンピュータシステムを構成する半導体装置は、データ転送装置を備えてデータが転送できる。半導体装置の動作速度が向上し、消耗電力が減少しながら、外部ノイズの影響及び互いに通信する半導体装置間のインピーダンスミスマッチング(impedance mismatch)により転送される信号に歪曲が発生し得る。したがって、半導体装置は、前記データ転送装置のインピーダンス又は抵抗をマッチングさせる動作が遂行できる。
一般に、半導体装置は、正確な信号転送のためにインピーダンスマッチングを遂行するオンダイターミネーション回路(on die termination circuit)を備える。また、半導体装置は、正確なインピーダンスマッチングが可能になるように、ＰＶＴ変化によってターミネーション抵抗の補正を遂行しなければならない。一般に、メモリ装置は、外部基準抵抗と連結し、前記外部基準抵抗を用いてキャリブレーション動作を遂行することで、前記ターミネーション抵抗のインピーダンス値が補正できる。通常、これをＺＱキャリブレーション動作という。
本発明の実施例は、キャリブレーションコードによって変化するキャリブレーション電圧のレベルを迅速に安定化させることができるキャリブレーション回路を提供する。
また、本発明の実施例は、複数のダイが外部基準抵抗を共有してキャリブレーション動作が遂行できる半導体装置を提供する。
本発明の実施例に係るキャリブレーション回路は、基準抵抗ノードを介して前記外部基準抵抗と連結し、キャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させる基準抵抗レッグ；及び、前記キャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させるエンファシス回路を含むことができる。
本発明の実施例に係るキャリブレーション回路は、基準抵抗ノードを介して外部基準抵抗と連結し、キャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させる基準抵抗レッグ；前記キャリブレーションコードに基づいて、エンファシス制御信号を生成するエンファシス制御信号生成器；及び、前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させるエンファシスドライバを含むことができる。
本発明の実施例に係る半導体装置は、外部基準抵抗と共通に連結し、順次キャリブレーション動作を遂行する複数のダイを含み、前記複数のダイの少なくとも一つは、基準抵抗パッドを介して前記外部基準抵抗と連結し、第１のキャリブレーションコード及び第２のキャリブレーションコードを生成するキャリブレーション回路；及び、前記第１及び第２のキャリブレーションコードに基づいてインピーダンスが設定されてデータを出力するデータ出力回路を含み、前記キャリブレーション回路は、前記基準抵抗パッドと連結する基準抵抗ノードと連結し、前記第１のキャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させる基準抵抗レッグ；及び、前記電圧感知信号及び前記第１のキャリブレーションコードに基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させるエンファシス回路を含むことができる。
本発明は、キャリブレーション抵抗と連結するノードのキャパシタンス(capacitance)が増加しても、正確なキャリブレーション動作を遂行させることで、半導体装置の動作信頼性を向上させることができる。
本発明の実施例に係る半導体装置の構成を示す図である。 本発明の実施例に係るキャリブレーション回路の構成を示す図である。 図２に示すエンファシス制御信号生成器の動作を示す図である。 図４ａは基準抵抗ノードの電圧レベルの変化を示す図であり、図４ｂは基準抵抗ノードの電圧レベルの変化を示す図である。 本発明の実施例に係るキャリブレーション回路の動作を示す図である。
図１は、本発明の実施例に係る半導体装置１００の構成を示す図である。図１に示すように、前記半導体装置１００は複数のダイを含むことができる。前記半導体装置１００は、複数のダイが一つの基板１０１上に積層されて単一パッケージにパッケージ化する積層半導体装置であり得る。図１に示すように、前記半導体装置１００は、４つのダイを含むものを例示したが、これに限定されず、積層されるダイの個数は４つよりも少ないことがあり、４つよりも多いことがある。第１のダイ１１０、第２のダイ１２０、第３のダイ１３０及び第４のダイ１４０は、前記基板１０１上に平面に積層されるものを示したが、概念的に示すものに過ぎず、前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０の一部及び/又は全部が垂直方向に積層されることもできる。第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０は、互いに同一の構造を持つように設計されることができ、全部又は一部が異なる構造及び/又は機能を持つように設計されることもできる。前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０の何れか一つは前記半導体装置１００の外部装置(図示せず)と優先的に通信できるマスターダイ(master die)として機能でき、残りは前記マスターダイを介して前記外部装置と通信するスレーブダイ(slave die)として機能できる。しかしながら、これに限定されず、第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０は、互いに独立的に外部装置と通信することができる。
前記半導体装置１００は、前記基板１０１上に配置される外部基準抵抗ＲＺＱを含むことができる。前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０は、前記外部基準抵抗ＲＺＱと共通に連結できる。前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０は、前記外部基準抵抗ＲＺＱと連結してキャリブレーション動作が各々遂行できる。前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０は、前記外部基準抵抗ＲＺＱと共通に連結し、順次キャリブレーション動作が遂行できる。例えば、前記第１のダイ１１０が優先的にキャリブレーション動作が遂行できる。前記第１のダイ１１０は、前記外部装置からキャリブレーション動作を遂行することを指示するコマンド信号を受信してキャリブレーション動作が遂行できる。第１のダイ１１０のキャリブレーション動作が終了した時、第２のダイ１２０がキャリブレーション動作が遂行できる。第２のダイ１２０のキャリブレーション動作が終了した時、第３のダイ１３０がキャリブレーション動作が遂行でき、第３のダイ１３０のキャリブレーション動作が終了した時、第４のダイ１４０がキャリブレーション動作が遂行できる。第４のダイ１４０のキャリブレーション動作が終了すれば、前記第４のダイ１４０は、前記キャリブレーション動作が終了したことを通知する信号を前記第１のダイ１１０に転送できる。前記第１のダイ１１０は、全てのダイのキャリブレーション動作が完了すれば、前記半導体装置１００のキャリブレーション動作が完了したことを通知する信号を前記外部装置に出力できる。
前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０は、各々基準抵抗パッド１１１、１２１、１３１、１４１、キャリブレーション回路１１２、１２２、１３２、１４２及びデータ出力回路１１３、１２３、１３３、１４３を含むことができる。前記第１のダイ１１０において、前記キャリブレーション回路１１２は、前記基準抵抗パッド１１１を介して前記外部基準抵抗ＲＺＱと連結し、前記外部基準抵抗ＲＺＱを用いてキャリブレーション動作が遂行できる。前記キャリブレーション回路１１２は、前記キャリブレーション動作によって第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ１及び第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ１が生成できる。前記第１及び第２のキャリブレーションコードＮＣＡＬ１、ＰＣＡＬ１は、前記データ出力回路１１３のインピーダンスが設定できる。前記データ出力回路１１３は、前記第１のダイ１１０の内部データに基づいて前記外部装置にデータが出力できる。前記データ出力回路１１３は、データバスと連結することができ、前記データを転送するために前記データバスを駆動するプルアップドライバ(pull up driver)及びプルダウンドライバ(pull down driver)を含むことができる。前記プルアップドライバは複数のプルアップ抵抗レッグを含むことができ、前記プルダウンドライバは複数のプルダウン抵抗レッグを含むことができる。前記データ出力回路１１３の前記プルダウン抵抗レッグは、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ１に基づいて抵抗値が設定できる。前記データ出力回路１１３の前記プルアップ抵抗レッグは、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ１に基づいて抵抗値が設定できる。
前記第２のダイ１２０において、前記キャリブレーション回路１２２は、前記基準抵抗パッド１２１を介して前記外部基準抵抗ＲＺＱと連結し、前記外部基準抵抗ＲＺＱを用いてキャリブレーション動作が遂行できる。前記キャリブレーション回路１２２は、前記キャリブレーション動作によって第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ２及び第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ２が生成できる。前記第１及び第２のキャリブレーションコードＮＣＡＬ２、ＰＣＡＬ２は、前記データ出力回路１２３のインピーダンスが設定できる。前記データ出力回路１２３は、前記第２のダイ１２０の内部データに基づいて前記外部装置にデータが出力できる。前記データ出力回路１２３は、データバスと連結することができ、前記データを転送するために前記データバスを駆動するプルアップドライバ及びプルダウンドライバを含むことができる。前記プルアップドライバは複数のプルアップ抵抗レッグを含むことができ、前記プルダウンドライバは複数のプルダウン抵抗レッグを含むことができる。前記プルダウン抵抗レッグは、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ２に基づいて抵抗値が設定できる。前記プルアップ抵抗レッグは、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ２に基づいて抵抗値が設定できる。
前記第３のダイ１３０において、前記キャリブレーション回路１３２は、前記基準抵抗パッド１３１を介して前記外部基準抵抗ＲＺＱと連結し、前記外部基準抵抗ＲＺＱを用いてキャリブレーション動作が遂行できる。前記キャリブレーション回路１３２は、前記キャリブレーション動作によって第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ３及び第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ３が生成できる。前記第１及び第２のキャリブレーションコードＮＣＡＬ３、ＰＣＡＬ３は、前記データ出力回路１３３のインピーダンスが設定できる。前記データ出力回路１３３は、前記第３のダイ１３０の内部データに基づいて前記外部装置にデータが出力できる。前記データ出力回路１３３は、データバスと連結することができ、前記データを転送するために前記データバスを駆動するプルアップドライバ及びプルダウンドライバを含むことができる。前記プルアップドライバは複数のプルアップ抵抗レッグを含むことができ、前記プルダウンドライバは複数のプルダウン抵抗レッグを含むことができる。前記プルダウン抵抗レッグは、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ３に基づいて抵抗値が設定できる。前記プルアップ抵抗レッグは、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ３に基づいて抵抗値が設定できる。
前記第４のダイ１４０において、前記キャリブレーション回路１４２は、前記基準抵抗パッド１４１を介して前記外部基準抵抗ＲＺＱと連結し、前記外部基準抵抗ＲＺＱを用いてキャリブレーション動作が遂行できる。前記キャリブレーション回路１４２は、前記キャリブレーション動作によって第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ４及び第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ４が生成できる。前記第１及び第２のキャリブレーションコードＮＣＡＬ４、ＰＣＡＬ４は、前記データ出力回路１４３のインピーダンスが設定できる。前記データ出力回路１４３は、前記第４のダイ１４０の内部データに基づいて前記外部装置にデータが出力できる。前記データ出力回路１４３は、データバスと連結することができ、前記データを転送するために前記データバスを駆動するプルアップドライバ及びプルダウンドライバを含むことができる。前記プルアップドライバは複数のプルアップ抵抗レッグを含むことができ、前記プルダウンドライバは複数のプルダウン抵抗レッグを含むことができる。前記プルダウン抵抗レッグは、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ４に基づいて抵抗値が設定できる。前記プルアップ抵抗レッグは、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ４に基づいて抵抗値が設定できる。
前記外部基準抵抗ＲＺＱは、一端が電圧端子と連結し、他端が前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０の前記基準抵抗パッド１１１、１２１、１３１、１４１と共通に連結し得る。前記電圧端子は電源電圧が供給される電源電圧端子であり得る。前記電源電圧は、接地電圧よりも高いレベルを有し、前記半導体装置１００の外部電源から印加される前記半導体装置１００の動作電源電圧であり得る。前記外部基準抵抗ＲＺＱが電源電圧端子と連結する時、前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０のキャリブレーション回路１１２、１２２、１３２、１４２は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ１、ＮＣＡＬ２、ＮＣＡＬ３、ＮＣＡＬ４を優先的に生成し、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ１、ＮＣＡＬ２、ＮＣＡＬ３、ＮＣＡＬ４に基づいて前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ１、ＰＣＡＬ２、ＰＣＡＬ３、ＰＣＡＬ４が生成できる。一実施例において、前記電圧端子は接地電圧と連結する接地電圧端子であり得る。前記外部基準抵抗ＲＺＱが接地電圧端子と連結する時、前記第１〜第４のダイ１１０、１２０、１３０、１４０のキャリブレーション回路１１２、１２２、１３２、１４２は、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ１、ＰＣＡＬ２、ＰＣＡＬ３、ＰＣＡＬ４を優先的に生成し、前記第２のキャリブレーションコード ＰＣＡＬ１、ＰＣＡＬ２、ＰＣＡＬ３、ＰＣＡＬ４に基づいて前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ１、ＮＣＡＬ２、ＮＣＡＬ３、ＮＣＡＬ４が生成できる。
図２は、本発明の実施例に係るキャリブレーション回路２００の構成を示す図である。前記キャリブレーション回路２００は、図１に示すキャリブレーション回路１１２、１２２、１３２、１４２の一部又は全部に適用できる。図２に示すように、前記キャリブレーション回路２００は、基準抵抗パッド２１１を介して外部基準抵抗ＲＺＱと連結し得る。前記基準抵抗パッド２１１は、基準抵抗ノードＲＲＮと連結し得る。前記キャリブレーション回路２００は、基準抵抗レッグ２１０、第１のキャリブレーションコード生成回路２２０及びエンファシス回路(emphasizer)２３０を含むことができる。前記基準抵抗レッグ２１０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮ及び前記基準抵抗パッド２１１を介して前記外部基準抵抗ＲＺＱと連結し得る。前記基準抵抗レッグ２１０は、第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞が受信でき、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて抵抗値が設定できる。前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて変化し得る。前記外部基準抵抗ＲＺＱの一端は第１の電源電圧ＶＤＤＱ端子と連結し、他端は前記基準抵抗パッド２１１を介して前記基準抵抗ノードＲＲＮと連結できる。前記基準抵抗レッグ２１０の一端は前記基準抵抗ノードＲＲＮと連結し、他端は接地電圧(ＶＳＳ)端子と連結できる。前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルは、前記外部基準抵抗ＲＺＱ及び前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗比によって前記第１の電源電圧ＶＤＤＱ及び前記接地電圧ＶＳＳ間で決定できる。したがって、前記基準抵抗レッグ２１０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを変化させることができる。
前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮと連結し得る。前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルと基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとが比較できる。前記基準電圧ＶＲＥＦは、前記第１の電源電圧ＶＤＤＱ及び前記接地電圧ＶＳＳの中間に対応する電圧レベルを持つことができる。前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルと前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとを比較して、電圧感知信号ＶＤ及び前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞が生成できる。前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルと前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとの比較結果に基づいて、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞が生成できる。例えば、前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも高いと、前記電圧感知信号ＶＤのレベルをロジックハイレベルに遷移させることができる。前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも低いと、前記電圧感知信号ＶＤのレベルをロジックローレベルに遷移させることができる。前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも高い時、前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値を減少させることができるように、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を変化させることができる。例えば、前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を増加させることができる。前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも低い時、前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値を増加させることができるように、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を変化させることができる。例えば、前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を減少させることができる。
前記エンファシス回路２３０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞及び前記電圧感知信号ＶＤに基づいて、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを変化させることができる。前記エンファシス回路２３０は、前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値の変化によって前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが変化する時、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルをさらに変化させることができる。前記エンファシス回路２３０は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルの変化をブースティング(boosting)させるようにエンファシス動作が遂行できる。前記エンファシス回路２３０は、前記基準抵抗レッグ２１０が前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを上昇させる時、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを共に上昇させることができる。前記エンファシス回路２３０は、前記基準抵抗レッグ２１０が前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを下降させる時、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを共に下降させることができる。前記エンファシス回路２３０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値の変化を感知して、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを変化させることができる。前記エンファシス回路２３０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の少なくとも一部に基づいて前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを変化させることができる。これに関する詳細は後述する。
前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０は、第１の比較器２２１及び第１の制御信号生成器２２２を含むことができる。前記第１の比較器２２１は、前記基準抵抗ノードＲＲＮと連結して前記基準電圧ＶＲＥＦが受信できる。前記第１の比較器２２１は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルと前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとが比較できる。例えば、前記第１の比較器２２１は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも高い時、ロジックハイレベルを持つ信号が出力できる。前記第１の比較器２２１は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも低い時、ロジックローレベルを持つ信号が出力できる。前記第１の比較器２２１はクロック信号ＣＬＫがさらに受信できる。前記第１の比較器２２１は、前記クロック信号ＣＬＫに同期して電圧比較動作が遂行できる。例えば、前記第１の比較器２２１は、前記クロック信号のエッジに同期して前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルと前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとを比較する動作が遂行できる。前記第１の比較器２２１は、前記クロック信号ＣＬＫの立ち上がりエッジに同期して電圧比較動作が遂行できる。一実施例において、前記第１の比較器２２１は、前記クロック信号ＣＬＫの立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジの全部に同期して電圧比較動作が遂行できる。
前記第１の制御信号生成器２２２は、前記第１の比較器２２１から出力された信号を受信して、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞が生成できる。前記第１の制御信号生成器２２２は、前記第１の比較器２２１の出力に基づいて前記電圧感知信号ＶＤのロジックレベルを遷移させ、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を増加又は減少させることができる。例えば、前記第１の比較器２２１からロジックハイレベルを持つ信号が出力された時、前記電圧感知信号ＶＤをロジックハイレベルに遷移させ、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を増加させることができる。前記第１の制御信号生成器２２２は、前記第１の比較器２２１からロジックローレベルを持つ信号が出力された時、前記電圧感知信号ＶＤをロジックローレベルに遷移させ、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を減少させることができる。
前記エンファシス回路２３０は、エンファシス制御信号生成器２３１及びエンファシスドライバ２３２を含むことができる。前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記第１のキャリブレーションコード生成回路２２０の前記第１の制御信号生成器２２２から前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞が受信できる。前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいてエンファシス制御信号ＰＳが生成できる。前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記エンファシス制御信号ＰＳと共に相補信号ＰＳＢが生成できる。前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の少なくとも一部に基づいて前記エンファシス制御信号ＰＳが生成できる。例えば、前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の中で最下位ビット(Last Significant Bit、LSB)の遷移を感知して前記エンファシス制御信号ＰＳが生成できる。前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の最下位ビットのロジックレベルが遷移する毎に、前記エンファシス制御信号ＰＳ及び相補信号ＰＳＢをイネーブルさせることができる。
前記エンファシスドライバ２３２は、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記エンファシス制御信号ＰＳが受信できる。前記エンファシスドライバ２３２は、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記エンファシス制御信号ＰＳに基づいて前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを変化させることができる。前記エンファシスドライバ２３２は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも低い時、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記エンファシス制御信号ＰＳに基づいて前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを上昇させることができる。前記エンファシスドライバ２３２は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも高い時、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記エンファシス制御信号ＰＳに基づいて前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを 下降させることができる。
前記エンファシスドライバ２３２は、プルアップエンファシスドライバ２３２−１及びプルダウンエンファシスドライバ２３２−２を含むことができる。前記プルアップエンファシスドライバ２３２−１は、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記エンファシス制御信号の相補信号ＰＳＢが受信できる。前記プルアップエンファシスドライバ２３２−１は、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記エンファシス制御信号の相補信号ＰＳＢに基づいて、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを上昇させることができる。前記プルダウンエンファシスドライバ２３２−２は、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記エンファシス制御信号ＰＳが受信できる。前記プルダウンエンファシスドライバ２３２−２は、前記電圧感知信号ＶＤ及び前記エンファシス制御信号ＰＳに基づいて、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルを下降させることができる。前記プルアップエンファシスドライバ２３２−１は、第２の電源電圧(ＶＤＤ)端子及び前記基準抵抗ノードＲＲＮ間に連結して、前記基準抵抗ノードＲＲＮをプルアップ駆動できる。前記プルダウンエンファシスドライバ２３２−２は、前記基準抵抗ノードＲＲＮ及び前記接地電圧(ＶＳＳ)端子間に連結して、前記基準抵抗ノードＲＲＮをプルダウン駆動できる。
一実施例において、前記第２の電源電圧ＶＤＤは、前記第１の電源電圧ＶＤＤＱと同一の電圧レベルを持つことができる。前記第１の電源電圧ＶＤＤＱ及び第２の電源電圧ＶＤＤが同一の電圧レベルを持つ時、前記第１の電源電圧ＶＤＤＱを供給する端子と前記第２の電源電圧ＶＤＤを供給する端子とは互いに電気的に分離できる。一実施例において、前記第２の電源電圧ＶＤＤは前記第１の電源電圧ＶＤＤＱと異なる電圧レベルを持つことができ、前記第２の電源電圧ＶＤＤは前記第１の電源電圧ＶＤＤＱよりも高い電圧レベルを持つことができる。一実施例において、前記基準抵抗レッグ２１０が連結する接地電圧端子は第１の接地電圧(ＶＳＳＱ)端子であり、前記プルダウンエンファシスドライバ２３２−２が連結する接地電圧端子は第２の接地電圧(ＶＳＳ)端子であり得る。前記第１の接地電圧(ＶＳＳＱ)端子と第２の接地電圧(ＶＳＳ)端子とは電気的に分離できる。
前記プルアップエンファシスドライバ２３２−１は、第１のトランジスタＴ１及び第２のトランジスタＴ２を含むことができる。前記第１及び第２のトランジスタＴ１、Ｔ２はＰチャンネルモストランジスタであり得る。前記第１のトランジスタＴ１のゲートが前記電圧感知信号ＶＤを受信し、ソースが前記第２の電源電圧(ＶＤＤ)端子と連結し得る。前記第２のトランジスタＴ２のゲートが前記エンファシス制御信号の相補信号ＰＳＢを受信し、ソースが前記第１のトランジスタＴ１のドレインと連結し、ドレインが前記基準抵抗ノードＲＲＮと連結し得る。前記プルアップエンファシスドライバ２３２−１は、前記電圧感知信号ＶＤがロジックローレベルを有し、前記エンファシス制御信号の相補信号ＰＳＢがロジックローレベルにイネーブルされる時、前記基準抵抗ノードＲＲＮを前記第２の電源電圧ＶＤＤにプルアップ駆動できる。
前記プルダウンエンファシスドライバ２３２−２は、第３のトランジスタＴ３及び第４のトランジスタＴ４を含むことができる。前記第３及び第４のトランジスタＴ３、Ｔ４はＮチャンネルモストランジスタであり得る。前記第３のトランジスタＴ３のゲートが前記電圧感知信号ＶＤを受信し、ソースが前記接地電圧(ＶＳＳ)端子と連結し得る。前記第４のトランジスタＴ４のゲートが前記エンファシス制御信号ＰＳを受信し、ドレインが前記基準抵抗ノードＲＲＮと連結し、ソースが前記第３のトランジスタＴ３のドレインと連結し得る。前記プルダウンエンファシスドライバ２３２−２は、前記電圧感知信号ＶＤがロジックハイレベルを有し、前記エンファシス制御信号ＰＳがロジックハイレベルにイネーブルされる時、前記基準抵抗ノードＲＲＮを前記接地電圧ＶＳＳにプルダウン駆動できる。
図３は、図２に示すエンファシス制御信号生成器２３１の動作を示す図である。図３に示すように、前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の最下位ビットＬＳＢのロジックレベルが遷移する毎に、前記エンファシス制御信号ＰＳをロジックハイレベルにイネーブルさせ、前記エンファシス制御信号の相補信号ＰＳＢをロジックローレベルにイネーブルさせることができる。前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の最下位ビットＬＳＢは、前記第１の比較器２２１の電圧比較結果によって前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のビットの中で最も頻繁にロジックレベルが変化できる。したがって、前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の最下位ビットＬＳＢを感知して、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが変化する毎に前記エンファシス制御信号ＰＳ及び相補信号ＰＳＢが生成できる。一実施例において、前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記最下位ビットＬＳＢでない他のビットのロジックレベル遷移を感知して、前記エンファシス制御信号ＰＳ及び相補信号ＰＳＢを生成することもできる。
図４ａ及び図４ｂは、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルの変化を示す図である。図４ａは、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値が増加して、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが上昇することを示す図である。図１に示すように、複数のダイが一つの外部基準抵抗ＲＺＱと共通に連結する場合、一つのダイが外部基準抵抗ＲＺＱと連結する場合よりも、複数のダイの各々の基準抵抗パッドのロード及び/又はキャパシタンスは増加し得る。したがって、図２に示すエンファシス回路２３０を備えない場合、前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値が増加して、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが上昇する時、点線で示す曲線(Ａ)のように電圧レベル上昇の傾きは減少し得る。前記エンファシス回路２３０を備える場合、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが上昇する時、前記エンファシス回路２３０が前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルをさらにブースティングさせることができる。したがって、実線で示す曲線(Ｂ)のように電圧レベル上昇の傾きが増加でき、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルは速やかに上昇して目標電圧レベルに迅速に安定化できる。
図４ｂは、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて、前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値が減少して、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが下降することを示す図である。図２に示すエンファシス回路２３０を備えない場合、前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値が増加して、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが下降する時、点線で示す曲線(Ｃ)のように電圧レベル下降の傾きは減少し得る。前記エンファシス回路２３０を備える場合、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが下降する時、前記エンファシス回路２３０が前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルをさらにブースティングさせることができる。したがって、実線で示す曲線(Ｄ)のように電圧レベル下降の傾きが増加でき、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルは速やかに下降して目標電圧レベルに迅速に安定化できる。
さらに、図２を参照すれば、前記キャリブレーション回路２００は、プルダウン抵抗レッグ２４０、プルアップ抵抗レッグ２５０及び第２のキャリブレーションコード生成回路２６０をさらに含むことができる。前記プルダウン抵抗レッグ２４０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞が受信できる。前記プルダウン抵抗レッグ２４０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて抵抗値が設定できる。前記プルダウン抵抗レッグ２４０の抵抗値は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて変化できる。前記プルダウン抵抗レッグ２４０は、ノードＮＤ及び前記接地電圧(ＶＳＳ)端子間に連結できる。前記プルダウン抵抗レッグ２４０は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて前記基準抵抗レッグ２１０と同一の抵抗値で設定できる。前記プルアップ抵抗レッグ２５０は、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞が受信できる。前記プルアップ抵抗レッグ２５０は、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて抵抗値が設定できる。前記プルアップ抵抗レッグ２５０の抵抗値は、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて変化できる。前記プルアップ抵抗レッグ２５０は、前記第１の電源電圧(ＶＤＤＱ)端子及び前記ノードＮＤ間に連結できる。
前記第２のキャリブレーションコード生成回路２６０は、前記プルアップ抵抗レッグ２５０及び前記プルダウン抵抗レッグ２４０の抵抗比によって変化する電圧レベルを感知して、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞が生成できる。前記第２のキャリブレーションコード生成回路２６０は、前記ノードＮＤと連結し、前記ノードＮＤの電圧レベルと前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとを比較して、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞が生成できる。前記ノードＮＤの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも高い時、前記第２のキャリブレーションコード生成回路２６０は、前記プルアップ抵抗レッグ２５０の抵抗値が増加するように前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を変化させることができる。例えば、前記第２のキャリブレーションコード生成回路２６０は、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を減少させることができる。前記ノードＮＤの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも低い時、前記第２のキャリブレーションコード生成回路２６０は、前記プルアップ抵抗レッグの抵抗値が減少するように前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を変化させることができる。例えば、前記第２のキャリブレーションコード生成回路２６０は、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を増加させることができる。
前記第２のキャリブレーションコード生成回路２６０は、第２の比較器２６１及び第２の制御信号生成器２６２を含むことができる。前記第２の比較器２６１は、前記ノードＮＤと連結して前記基準電圧ＶＲＥＦが受信できる。前記第２の比較器２６１は、前記ノードＮＤの電圧レベルと前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとが比較できる。例えば、前記第２の比較器２６１は、前記ノードＮＤの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも高い時、ロジックハイレベルを持つ信号が出力でき、前記ノードＮＤの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも低い時、ロジックローレベルを持つ信号が出力できる。前記第２の比較器２６１は前記クロック信号ＣＬＫをさらに受信できる。前記第２の比較器２６１は、前記クロック信号ＣＬＫに同期して電圧比較動作が遂行できる。例えば、前記第２の比較器２６１は、前記クロック信号ＣＬＫの立ち上がりエッジに同期して、前記ノードＮＤの電圧レベルと前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとを比較する動作が遂行できる。
前記第２の制御信号生成器２６２は、前記第２の比較器２６１から出力された信号を受信して、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞が生成できる。前記第２の制御信号生成器２６２は、前記第２の比較器２６１からロジックハイレベルを持つ信号が出力された時、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を減少させることができる。前記第２の制御信号生成器２６２は、前記第２の比較器２６１からロジックローレベルを持つ信号が出力された時、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を増加させることができる。
図５は、本発明の実施例に係るキャリブレーション回路２００の動作を示す図である。図１、図２及び図５を全部参照して、本発明の実施例に係るキャリブレーション回路２００及び半導体装置１００の動作を説明すれば、次の通りである。前記半導体装置１００のキャリブレーション動作を遂行するために前記クロック信号ＣＬＫの立ち上がりエッジが発生すれば、前記第１の比較器２２１は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルと前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとが比較できる。前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも低い場合、前記第１の制御信号生成器２２２は、前記電圧感知信号ＶＤをロジックローレベルに遷移させ、前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値を増加させるために前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を減少させることができる。前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値が減少すれば、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の最下位ビットＬＳＢのロジックレベルが遷移されることができる。前記最下位ビットＬＳＢのロジックレベルがローレベルからハイレベルに遷移すれば、前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記第１のキャリブレーションコードの最下位ビットのロジックレベル遷移を感知して、前記エンファシス制御信号ＰＳをロジックハイレベルにイネーブルさせ、前記相補信号ＰＳＢをロジックローレベルにイネーブルさせることができる。前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の減少したコード値によって増加でき、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが上昇できる。前記電圧感知信号ＶＤはロジックローレベルを持つので、前記プルアップエンファシスドライバ２３２−１は、前記基準抵抗ノードＲＲＮをプルアップ駆動して前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルの上昇を加速化させることができ、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルは目標電圧レベルに迅速に安定できる。
前記クロック信号ＣＬＫの次の立ち上がりエッジが発生すれば、前記第１の比較器２２１は、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルと基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとが再度比較できる。このとき、前記エンファシス回路２３０を備えない場合、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが目標レベルに到達できないが、前記エンファシス回路２３０を備える場合、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが目標電圧レベルに到達できる。したがって、本発明の実施例は、目標電圧レベルに到達された基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルと基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルとを比較してキャリブレーション動作が遂行でき、正確なキャリブレーション動作が遂行できるようにする。また、基準抵抗ノードの電圧レベルを目標電圧レベルに迅速に安定化させ、電圧比較動作の周期を減少させることができる。したがって、キャリブレーション動作の遂行にかかる時間を短縮させることができる。前記第１の比較器２２１の比較結果、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルよりも低い場合、前記第１の制御信号生成器２２２は、前記電圧感知信号ＶＤのロジックレベルをロジックローレベルに維持させ、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を減少させることができる。前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値の減少により、前記最下位ビットＬＳＢのロジックレベルはロジックハイレベルからロジックローレベルに遷移されることができる。前記エンファシス制御信号生成器２３１は、前記最下位ビットＬＳＢの遷移を感知して、前記エンファシス制御信号ＰＳをロジックハイレベルにイネーブルさせ、前記相補信号ＰＳＢをロジックローレベルにイネーブルさせることができる。前記基準抵抗レッグ２１０の抵抗値は、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の減少したコード値によって増加でき、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルは上昇できる。このとき、前記プルアップエンファシスドライバ２３２−１は、前記基準抵抗ノードＲＲＮをプルアップ駆動して前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルの上昇を加速化させることができ、前記基準抵抗ノードＲＲＮの電圧レベルが新規の目標電圧レベルに迅速に安定化できるようにする。
前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞の生成が完了すれば、前記第１のキャリブレーションコードＮＣＡＬ＜１：ｎ＞に基づいて、前記プルダウン抵抗レッグ２４０の抵抗値が設定できる。前記第２のキャリブレーションコード生成回路２６０は、前記プルアップ抵抗レッグ２５０及び前記プルダウン抵抗レッグ２４０の抵抗比によって変化する前記ノードＮＤの電圧レベルを前記基準電圧ＶＲＥＦの電圧レベルと比較して、前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞のコード値を増加又は減少させることができる。前記第２のキャリブレーションコードＰＣＡＬ＜１：ｎ＞の生成が完了すれば、キャリブレーション動作が終了できる。
本発明の属する技術分野における通常の技術者は、本発明がその技術的思想や必須特徴から逸脱しない範囲内において、他の具体的な形態で実施できるので、前述した実施例は全ての面において例示的なものであり、限定的なものでないと理解しなければならない。本発明の範囲は前記詳細な説明よりも後述する特許請求の範囲により示され、特許請求の範囲の意味及び範囲、その等価概念から導出される全ての変更又は変形された形態が、本発明の範囲に含まれるものと理解しなければならない。

Claims (26)

  1. 基準抵抗ノードを介して前記外部基準抵抗と連結し、キャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させる基準抵抗レッグ；及び、
    前記キャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させるエンファシス回路を含むことを特徴とする、キャリブレーション回路。
  2. 前記基準抵抗ノードの電圧レベルと基準電圧の電圧レベルとを比較して、電圧感知信号及び前記キャリブレーションコードを生成するキャリブレーションコード生成回路をさらに含み、
    前記エンファシス回路は、前記基準抵抗レッグが前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させる時、前記電圧感知信号及び前記キャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させることを特徴とする、請求項１に記載のキャリブレーション回路。
  3. 前記キャリブレーションコード生成回路は、前記基準抵抗ノードの電圧レベルと前記基準電圧の電圧レベルとの比較結果に基づいて前記電圧感知信号のロジックレベルを遷移させ、前記キャリブレーションコードのコード値を増加又は減少させることを特徴とする、請求項２に記載のキャリブレーション回路。
  4. 前記エンファシス回路は、前記キャリブレーションコードに基づいてエンファシス制御信号を生成するエンファシス制御信号生成器；及び、
    前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させるエンファシスドライバを含むことを特徴とする、請求項２に記載のキャリブレーション回路。
  5. 前記エンファシス制御信号生成器は、前記キャリブレーションコードの少なくとも一部の遷移を感知して、前記エンファシス制御信号をイネーブルさせることを特徴とする、請求項４に記載のキャリブレーション回路。
  6. 前記エンファシスドライバは、前記基準抵抗ノードの電圧レベルが前記基準電圧の電圧レベルよりも低い時、前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを上昇させ、
    前記基準抵抗ノードの電圧レベルが前記基準電圧の電圧レベルよりも高い時、前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを下降させることを特徴とする、請求項４に記載のキャリブレーション回路。
  7. 前記エンファシスドライバは、前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号の相補信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを上昇させるプルアップエンファシスドライバ；及び、
    前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを下降させるプルダウンエンファシスドライバを含むことを特徴とする、請求項４に記載のキャリブレーション回路。
  8. 前記外部基準抵抗は第１の電源電圧端子及び前記基準抵抗ノード間に連結し、前記基準抵抗レッグは前記基準抵抗ノード及び接地電圧端子間に連結し、
    前記プルアップエンファシスドライバは第２の電源電圧端子及び前記基準抵抗ノード間に連結し、前記プルダウンエンファシスドライバは前記基準抵抗ノード及び前記接地電圧端子間に連結することを特徴とする、請求項７に記載のキャリブレーション回路。
  9. 前記第２の電源電圧は、前記第１の電源電圧よりも高い電圧レベルを持つことを特徴とする、請求項８に記載のキャリブレーション回路。
  10. 基準抵抗ノードを介して外部基準抵抗と連結し、キャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させる基準抵抗レッグ；
    前記キャリブレーションコードに基づいて、エンファシス制御信号を生成するエンファシス制御信号生成器；及び、
    前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させるエンファシスドライバを含むことを特徴とする、キャリブレーション回路。
  11. クロック信号に同期して前記基準抵抗ノードの電圧レベルを基準電圧の電圧レベルと比較して、電圧感知信号及び前記キャリブレーションコードを生成するキャリブレーションコード生成回路をさらに含むことを特徴とする、請求項１０に記載のキャリブレーション回路。
  12. 前記キャリブレーションコード生成回路は、前記基準抵抗ノードの電圧レベルと前記基準電圧の電圧レベルとの比較結果に基づいて、前記電圧感知信号のロジックレベルを遷移させ、前記キャリブレーションコードのコード値を増加又は減少させることを特徴とする、請求項１１に記載のキャリブレーション回路。
  13. 前記エンファシス制御信号生成器は、前記キャリブレーションコードの少なくとも一部の遷移を感知して、前記エンファシス制御信号をイネーブルさせることを特徴とする、請求項１０に記載のキャリブレーション回路。
  14. 前記エンファシスドライバは、前記基準抵抗ノードの電圧レベルが前記基準電圧の電圧レベルよりも低い時、前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを上昇させ、
    前記基準抵抗ノードの電圧レベルが前記基準電圧の電圧レベルよりも高い時、前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを下降させることを特徴とする、請求項１１に記載のキャリブレーション回路。
  15. 前記エンファシスドライバは、前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号の相補信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを上昇させるプルアップエンファシスドライバ；及び、
    前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを下降させるプルダウンエンファシスドライバを含むことを特徴とする、請求項１１に記載のキャリブレーション回路。
  16. 前記外部基準抵抗は第１の電源電圧端子及び前記基準抵抗ノード間に連結し、前記基準抵抗レッグは前記基準抵抗ノード及び接地電圧端子間に連結し、
    前記プルアップエンファシスドライバは第２の電源電圧端子及び前記基準抵抗ノード間に連結し、前記プルダウンエンファシスドライバは前記基準抵抗ノード及び前記接地電圧端子間に連結することを特徴とする、請求項１５に記載のキャリブレーション回路。
  17. 前記第２の電源電圧は、前記第１の電源電圧よりも高い電圧レベルを持つことを特徴とする、請求項１６に記載のキャリブレーション回路。
  18. 外部基準抵抗と共通に連結し、順次キャリブレーション動作を遂行する複数のダイを含み、
    前記複数のダイの少なくとも一つは、基準抵抗パッドを介して前記外部基準抵抗と連結し、第１のキャリブレーションコード及び第２のキャリブレーションコードを生成するキャリブレーション回路；及び、
    前記第１及び第２のキャリブレーションコードに基づいてインピーダンスが設定されてデータを出力するデータ出力回路を含み、
    前記キャリブレーション回路は、前記基準抵抗パッドと連結する基準抵抗ノードと連結し、前記第１のキャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させる基準抵抗レッグ；及び、
    前記電圧感知信号及び前記第１のキャリブレーションコードに基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させるエンファシス回路を含むことを特徴とする、半導体装置。
  19. 前記基準抵抗ノードの電圧レベルと基準電圧の電圧レベルとを比較して、電圧感知信号及び前記第１のキャリブレーションコードを生成する第１のキャリブレーションコード生成回路をさらに含み、
    前記エンファシス回路は、前記基準抵抗レッグが前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させる時、前記電圧感知信号及び前記第１のキャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させることを特徴とする、請求項１８に記載の半導体装置。
  20. 前記エンファシス回路は、前記基準抵抗レッグが前記第１のキャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを上昇させる時、前記電圧感知信号及び前記第１のキャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを上昇させ、
    前記基準抵抗レッグが前記第１のキャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを下降させる時、前記電圧感知信号及び前記第１のキャリブレーションコードに基づいて前記基準抵抗ノードの電圧レベルを下降させることを特徴とする、請求項１９に記載の半導体装置。
  21. 前記エンファシス回路は、前記キャリブレーションコードに基づいて、エンファシス制御信号を生成するエンファシス制御信号生成器；及び、
    前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを変化させるエンファシスドライバを含むことを特徴とする、請求項１９に記載の半導体装置。
  22. 前記エンファシス制御信号生成器は、前記キャリブレーションコードの一部のビットの遷移を感知して、前記エンファシス制御信号をイネーブルさせることを特徴とする、請求項２１に記載の半導体装置。
  23. 前記エンファシスドライバは、前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号の相補信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを上昇させるプルアップエンファシスドライバ；及び、
    前記電圧感知信号及び前記エンファシス制御信号に基づいて、前記基準抵抗ノードの電圧レベルを下降させるプルダウンエンファシスドライバを含むことを特徴とする、請求項２１に記載の半導体装置。
  24. 前記外部基準抵抗は第１の電源電圧端子及び前記基準抵抗ノード間に連結し、前記基準抵抗レッグは前記基準抵抗ノード及び接地電圧端子間に連結し、
    前記プルアップエンファシスドライバは第２の電源電圧端子及び前記基準抵抗ノード間に連結し、前記プルダウンエンファシスドライバは前記基準抵抗ノード及び前記接地電圧端子間に連結することを特徴とする、請求項２３に記載の半導体装置。
  25. 前記第２の電源電圧は、前記第１の電源電圧よりも高い電圧レベルを持つことを特徴とする、請求項２４に記載の半導体装置。
  26. 前記キャリブレーション回路は、前記第１のキャリブレーションコードに基づいて抵抗値が設定されるプルダウン抵抗レッグ；
    前記第２のキャリブレーションコードに基づいて抵抗値が設定されるプルアップ抵抗レッグ；及び、
    前記プルアップ抵抗レッグ及び前記プルダウン抵抗レッグの抵抗比による電圧レベルと前記基準電圧の電圧レベルとを比較して、前記第２のキャリブレーションコードを生成する第２のキャリブレーションコード生成回路をさらに含むことを特徴とする、請求項１９に記載の半導体装置。
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