JP2020134419A - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
10 磁気センサ
20 センサチップ
20a 素子形成面
20b センサチップの上面
21〜23 磁性体層
30,41,42 集磁体
31〜36 集磁体の表面
51〜56 端子電極
61 差動アンプ
62 検出回路
70 ディスペンサ
71〜73 接着剤
81 付勢治具
82 固定治具
C 補償コイル
OH1,OH2 オーバーハング部分
R1〜R4 感磁素子
Claims (8)
- 基板と、
感磁素子が形成された素子形成面を有し、前記素子形成面が前記基板の表面に対して垂直となるよう、前記基板の前記表面に搭載されたセンサチップと、
第1の表面が前記基板の前記表面と向かい合い、第2の表面が前記センサチップの前記素子形成面と向かい合うよう、前記基板の前記表面に搭載された集磁体と、を備え、
前記集磁体は、前記第1及び第2の表面の平坦性が、他の少なくとも一つの表面の平坦性よりも高いことを特徴とする磁気センサ。 - 前記集磁体は、第3の表面を有し、
前記センサチップと前記集磁体は、前記センサチップと前記集磁体の前記第3の表面に塗布された接着剤を介して相互に固定され、
前記第1及び第2の表面の平坦性は、前記第3の表面の平坦性よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記集磁体は、第4の表面をさらに有し、
前記基板と前記集磁体は、前記基板の前記表面と前記集磁体の前記第4の表面に塗布された接着剤を介して相互に固定され、
前記第1及び第2の表面の平坦性は、前記第4の表面の平坦性よりも高いことを特徴とする請求項2に記載の磁気センサ。 - 前記集磁体がフェライト材料からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 磁性材料からなるブロックから集磁体を切り出す第1の工程と、
前記集磁体の第1及び第2の表面を選択的に研削又は研磨することによって、前記第1及び第2の表面の平坦性を選択的に高める第2の工程と、
感磁素子が形成された素子形成面が基板の表面に対して垂直となるよう、センサチップを前記基板の前記表面に搭載する第3の工程と、
前記第1の表面が前記基板の前記表面と向かい合い、前記第2の表面が前記センサチップの前記素子形成面と向かい合うよう、前記基板の前記表面に前記集磁体を搭載する第4の工程と、を備えることを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 前記第4の工程は、前記集磁体の前記第2の表面が前記センサチップの前記素子形成面に押し当てられるよう、前記集磁体を付勢しながら行うことを特徴とする請求項5に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記集磁体は、第3の表面を有し、
前記第2の工程においては、前記第3の表面を研削又は研磨することなく前記第1及び第2の表面を研削又は研磨し、
前記第4の工程においては、前記センサチップと前記集磁体の前記第3の表面に接着剤を塗布することを特徴とする請求項6に記載の磁気センサの製造方法。 - 前記集磁体は、第4の表面をさらに有し、
前記第2の工程においては、前記第4の表面を研削又は研磨することなく前記第1及び第2の表面を研削又は研磨し、
前記第4の工程においては、前記基板の前記表面と前記集磁体の前記第4の表面に接着剤を塗布することを特徴とする請求項7に記載の磁気センサの製造方法。
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