JP7172178B2 - 磁気センサ - Google Patents
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図1は、本発明の第1の実施形態による磁気センサ1の構造を説明するための模式的な透視斜視図である。また、図2は磁気センサ1の断面図である。
図15は、本発明の第2の実施形態による磁気センサ2の主要部の構造を説明するための模式的な斜視図である。
図18は、本発明の第3の実施形態による磁気センサ3の構造を説明するための模式的な断面図である。
10 回路基板
11 主面
20,20A,20B センサチップ
21~24 側面
25 素子形成面
26 裏面
30,30A,30B 集磁部材
30M 磁性部
30N 非磁性部
31 第1の部分
32 第2の部分
33 第3の部分
41,42 永久磁石
50 筐体
51~53 磁性体層
61,62 磁気シールド
R1,R2 感磁素子
φ 磁束
Claims (4)
- 第1の方向に配列された第1及び第2の永久磁石と、
前記第1の方向から前記第1及び第2の永久磁石に挟まれるよう配置され、第1及び第2の感磁素子を有するセンサチップと、
前記第1の方向から前記第1及び第2の永久磁石に挟まれるよう配置され、前記第1及び第2の感磁素子に磁束を集める集磁部材と、を備え、
前記センサチップは、前記第1の方向と直交し、前記第1及び第2の感磁素子が形成された素子形成面と、前記素子形成面に対して垂直であり、互いに平行な第1及び第2の側面と、前記素子形成面、前記第1の側面及び前記第2の側面に対して垂直な第3の側面とを有し、
前記第1及び第2の感磁素子は、前記第1及び第2の側面に対して垂直な第2の方向を固定磁化方向とし、
前記第1の感磁素子は前記第1の側面の近傍に配置され、
前記第2の感磁素子は前記第2の側面の近傍に配置され、
前記集磁部材は、前記センサチップの前記第1、第2及び第3の側面をそれぞれ覆う第1、第2及び第3の部分を有し、
前記集磁部材の前記第1の方向における中心位置は、前記第1の永久磁石と前記第2の永久磁石の間の前記第1の方向における中心にアライメントされ、
前記第1及び第2の感磁素子の前記第1の方向における位置は、前記第1の永久磁石と前記第2の永久磁石の間の前記第1の方向における中心に対してオフセットしており、
前記素子形成面の前記第1の方向における位置は、前記第3の側面に対して垂直な第3の方向から見て、前記第1、第2及び第3の部分の前記第1の方向における中心位置と前記第1、第2及び第3の部分の前記第1の方向における一方の端面の間、或いは、前記第1、第2及び第3の部分の前記第1の方向における中心位置と前記第1、第2及び第3の部分の前記第1の方向における他方の端面の間に存在し、これにより前記集磁部材と重なりを有していることを特徴とする磁気センサ。 - 前記センサチップ及び前記集磁部材と前記第1の永久磁石の間に配置された第1の磁気シールドと、
前記センサチップ及び前記集磁部材と前記第2の永久磁石の間に配置された第2の磁気シールドと、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。 - 主面に前記センサチップ及び前記集磁部材が搭載された回路基板をさらに備え、
前記センサチップの前記素子形成面は、前記回路基板の前記主面と平行であり、
前記集磁部材は、前記センサチップの前記素子形成面と接することなく前記回路基板の前記主面に搭載されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサ。 - 前記集磁部材は、磁性材料からなる磁性部と非磁性材料からなる非磁性部とを含み、
前記非磁性部は、前記回路基板の前記主面と前記磁性部の間に位置することを特徴とする請求項3に記載の磁気センサ。
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- 2018-06-27 JP JP2018121542A patent/JP7172178B2/ja active Active
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