JP2020129758A - 圧電振動フィルタの周波数調整方法および周波数調整装置 - Google Patents
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Abstract
Description
・バランス調整
・帯域調整(Fs調整、Fa調整)
・全面調整
の3種類の工程がこの順序で実施される(例えば、特許文献1)。尚、これらの各工程は、圧電振動フィルタ100のその時点の周波数特性に応じて選択的に実施され、調整の必要がない場合には一部の工程が省略されることもある。図3は、パーシャル調整による周波数調整の各工程を示す図であり、(a)はバランス調整、(b)はFs調整、(c)はFa調整、(d)は全面調整を示している。また、図4は、イオンパーシャル調整による周波数調整の各工程を示す図であり、(a)はバランス調整、(b)はFs調整、(c)はFa調整、(d)は全面調整を示している。尚、図3ではパーシャル調整によって膜厚を増加させられた部分を斜線ハッチングにて示し、図4ではイオンパーシャル調整によって膜厚を減少させられる部分を射影ハッチングにて示している。
・バランス調整
・ΔF比調整
・ΔF調整(帯域調整に相当)
・全面調整
の4種類の工程が実施される(例えば、特許文献2)。尚、これらの各工程も、圧電振動フィルタのその時点の周波数特性に応じて選択的に実施され、調整の必要がない場合には一部の工程が省略されることもある。
11 調整処理部
12 制御部(演算部)
13 記憶部
14 表示部
15 入力部
100,200 圧電振動フィルタ
101,201 圧電振動板
102,202 共通電極
103,203 入力電極
104,204 出力電極
205 接地電極
Claims (8)
- 同一の製品規格で製造される複数の圧電振動フィルタに対し、圧電振動フィルタ毎の周波数特性を調整するための圧電振動フィルタの周波数調整方法であって、
当該周波数調整方法は、1つの圧電振動フィルタに対して、圧電振動フィルタの通過帯域幅を広げる調整と圧電振動フィルタの通過帯域幅を狭める調整とによって通過帯域幅の調整を行う帯域調整が少なくとも含まれるものであり、
少なくとも一つの圧電振動フィルタに対して前記帯域調整を含む周波数調整が行われた後、さらに他の圧電振動フィルタに対して周波数調整を行う場合に、
周波数特性の調整が行われた少なくとも一つの圧電振動フィルタの調整ログから、前記帯域調整における調整量の設定に使用可能な予測値を算出し、
前記予測値が算出された後に周波数特性の調整を行う他の圧電振動フィルタに対して、前記予測値に基づいて前記帯域調整における最適な調整量を算出し、算出した当該調整量にて前記帯域調整を行うことを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整方法。 - 請求項1に記載の圧電振動フィルタの周波数調整方法であって、
周波数特性の調整が行われた圧電振動フィルタの調整ログから算出される前記予測値は、複数の圧電振動フィルタに対する平均値として算出されるものであり、一つ圧電振動フィルタに対する周波数調整が終わるたびに、その調整結果を加えて更新される値であることを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整方法。 - 請求項1または2に記載の圧電振動フィルタの周波数調整方法であって、
前記圧電振動フィルタは、2ポールまたは4ポールの圧電振動フィルタであり、
前記帯域調整は、対称モードの帯域を調整するFs調整と、斜対称モードの帯域を調整するFa調整とによって行われるものであり、
前記予測値は、Fs調整を行ったときの対称モードの周波数変化量ΔFsに対する斜対称モードの周波数変化量ΔFaの割合(ΔFa/ΔFs)、およびFa調整を行ったときの斜対称モードの周波数変化量ΔFaに対する対称モードの周波数変化量ΔFsの割合(ΔFs/ΔFa)”として算出されることを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整方法。 - 請求項1または2に記載の圧電振動フィルタの周波数調整方法であって、
前記圧電振動フィルタは、3ポールの圧電振動フィルタであり、
前記帯域調整は、第1対称モードの帯域を調整するFs1調整と、第2対称モードの帯域を調整するFs2調整とによって行われるものであり、
前記予測値は、Fs1調整を行ったときの第1対称モードの周波数変化量ΔFs1に対する第2対称モードの周波数変化量ΔFs2の割合(ΔFs2/ΔFs1)、およびFs2調整を行ったときの第2対称モードの周波数変化量ΔFs2に対する第1対称モードの周波数変化量ΔFs1の割合(ΔFs1/ΔFs2)”として算出されることを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整方法。 - 圧電振動フィルタ毎の周波数特性を調整するための圧電振動フィルタの周波数調整装置であって、
当該周波数調整装置は、1つの圧電振動フィルタに対して、圧電振動フィルタの通過帯域幅を広げる調整と圧電振動フィルタの通過帯域幅を狭める調整とによって通過帯域幅の調整を行う帯域調整を少なくとも行えるものであり、
周波数特性の調整が行われた少なくとも一つの圧電振動フィルタの調整ログから、前記帯域調整における調整量の設定に使用可能な予測値を算出する演算部と、
前記演算部により算出された前記予測値を表示する表示部とを有することを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整装置。 - 請求項5に記載の圧電振動フィルタの周波数調整装置であって、
前記演算部は、
一つの圧電振動フィルタに対して周波数特性の調整が行われるたびに、前記予測値を算出し、
前記一つの圧電振動フィルタに対して算出した前記予測値を、それ以前に周波数特性の調整が行われていた圧電振動フィルタの調整ログから求められた前記予測値と比較して、その比較における比または差が所定値以上であるか否かを判断し、当該比または差が所定値以上である場合に警告を行うことを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整装置。 - 請求項5または6に記載の圧電振動フィルタの周波数調整装置であって、
前記圧電振動フィルタは、2ポールまたは4ポールの圧電振動フィルタであり、
前記帯域調整は、対称モードの帯域を調整するFs調整と、斜対称モードの帯域を調整するFa調整とによって行われるものであり、
前記予測値を、Fs調整を行ったときの対称モードの周波数変化量ΔFsに対する斜対称モードの周波数変化量ΔFaの割合(ΔFa/ΔFs)、およびFa調整を行ったときの斜対称モードの周波数変化量ΔFaに対する対称モードの周波数変化量ΔFsの割合(ΔFs/ΔFa)”として算出することを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整装置。 - 請求項5または6に記載の圧電振動フィルタの周波数調整装置であって、
前記圧電振動フィルタは、3ポールの圧電振動フィルタであり、
前記帯域調整は、第1対称モードの帯域を調整するFs1調整と、第2対称モードの帯域を調整するFs2調整とによって行われるものであり、
前記予測値を、Fs1調整を行ったときの第1対称モードの周波数変化量ΔFs1に対する第2対称モードの周波数変化量ΔFs2の割合(ΔFs2/ΔFs1)、およびFs2調整を行ったときの第2対称モードの周波数変化量ΔFs2に対する第1対称モードの周波数変化量ΔFs1の割合(ΔFs1/ΔFs2)”として算出することを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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