JP2009044482A - 表面実装用水晶フィルタ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一主面に入出力電極4a及び4bを他主面に共通電極5を形成した水晶片1と、前記水晶片1を収容する凹部を有した容器本体2と、前記容器本体2を封止するカバー3とを備え、前記入出力電極4a及び4bの間隙部と対向する前記共通電極5の中央部には周辺部よりも高さの高い周波数調整体を有する表面実装用水晶フィルタにおいて、前記周波数調整体は少なくとも前記水晶片1が前記容器本体2に収容される以前の前記入出力電極4a、4b及び共通電極5の形成時に形成された負荷電極7を有した構成とする。
【選択図】図1
Description
面実装フィルタは小型・軽量であることから、例えば携帯電話や陸上移動無線機器に使用されている。近年では、データ通信速度の高速化および大容量化に対応するため、高周波化及び広帯域化が要求されている。
第8図(a)は一従来例を説明する面実装フィルタの断面図である。面実装フィルタは水晶片1、セラミックの積層体からなる凹状とした容器本体2、カバー3からなる。水晶片1は一主面に入出力電極4(ab)、他主面に共通電極5が、下地電極としてクロム、その上に主電極として銀等を蒸着することにより形成されている。入出力電極4(ab)及び共通電極5からは外周部に不図示の引出電極が延出する。これらの電極は水晶片1に電極形成用マスクに密着させて蒸着にて形成される。
しかしながら、上記構成の面実装フィルタでは、高周波数及び小型化が進行する中での広帯域化には充分に対応できない問題があった。すなわち、広帯域化に際しては、入出力電極4(ab)の電極厚みを薄くして、入出力電極4(ab)間の寸法を狭くする必要がある。例えば電極厚みを薄くすると対称モード及び斜対称モードの共振周波数がいずれも下がるので両者間の周波数差は小さくなる。また、入出力電極4(ab)間の寸法を小さくすると対称モードの共振周波数が斜対称モードのそれよりも低くなるので、広帯域になる。
本発明は高周波数化及び小型化を維持して広帯域化に適し、信頼性を維持して生産性に富んだ面実装フィルタを得ることを目的とする。
このような請求項1の構成であれば、容器本体に水晶片を収容した後の調整マスクを用いた周波数調整前に、共通電極の中央部上に負荷電極を予め形成する。この場合、負荷電極は共通電極と同様に、水晶片の両主面に例えば0.02mm以下に近接又は密接した状態にて電極形成用マスクを用いて蒸着あるいはスパッタによって形成できる。また、エッチングの場合は電極形成用マスクを水晶片に密着して形成できる。
請求項9の製造方法であれば、水晶片を容器本体に収容する以前に、入出力電極、共通電極及び負荷電極のいずれもが電極形成用マスクを用いた両主面側からの蒸着あるいはスパッタ又はエッチングによって形成される。したがって、電極形成用マスクは水晶片に近接又は密着して形成されるので、負荷電極を共通電極の中央部に的確に形成できる。この場合、共通電極と負荷電極とはことなる電極形成用マスクを用いた別工程とするので、共通電極と負荷電極とを確実に形成できる。
本発明の請求項2では、前記負荷電極は前記共通電極の表面上に形成される。同請求項3では、前記負荷電極は前記水晶片と前記共通電極との間に形成される。これらにより、いずれの場合でも、入出力電極及び共通電極の形成時に、共通電極の中央部の厚みを大きくするので、帯域幅を効率的に広げられる。
本発明の請求項10では、前記共通電極を前記水晶片の他主面に形成した後、前記前記共通電極上に前記負荷電極を形成する。これにより、負荷電極は電極形成用マスクの内周に沿って輪郭が明確となり、対称モードの最大変位部であって斜対称モードの最小変位部となる共振電極の中央領域に高精度に形成できる。したがって、斜対称モードへの影響を最小限にして独立的に制御でき、帯域幅を効率的に広げられる。
次に、本発明の面実装フィルタとした製造方法の第1具体例を説明する。これらの場合、予め、図示しない水晶ウエハから矩形状の水晶片1を切り出し、フッ酸等が満たされたエッチング槽に多数の水晶片1を入れ、所定の厚みになるまでエッチングを行なう。そして、エッチングが終了し、乾燥させた後、先ず、入出力電極4(ab)、共通電極5及び負荷電極7を、電極形成用マスクを用いた例えば蒸着によって水晶片1の両主面に形成する。
第1具体例では、第1の電極形成用マスク12によって入出力電極4(ab)を形成した後、第2の電極形成用マスク13によって共通電極5の中央部上に負荷電極7を設けたが、第2具体例ではこれらの順番を逆にする。
これらの場合、例えば入出力電極4(ab)と負荷電極7とを先に形成した後、負荷電極7上から共通電極5を形成することもできる「第4図(a)」。また、負荷電極7を先に形成した後、入出力電極4(ab)及び共通電極5を形成することもできる「第4図(b)」。
第5図(a〜f)は従来例と比較した負荷電極の作用を説明する図で、同図(ab)はフィルタの基本例、同図(cd)は従来例、同図(ef)は本発明の具体例である。但し、第5図(a)(c)(e)は水晶片の断面図、同図(b)(d)(f)は周波数に対するリアクタンス特性である。
第6図は負荷電極の効果を説明する図、特に負荷電極の厚みを変えたときの対称モードと斜対称モードの周波数差dF(=fs′−fs)を示したグラフである。但し、中心周波数は前述したように312MHzで入出力電極4(ab)の間隙は0.05mm、負荷電極7の幅は間隙と同じ幅の0.05mmである。また、負荷電極は共通電極の中央上に設けた場合で、入出力電極及び共通電極の電極厚みは700Åである。
なお、上記実施形態では、入出力電極4(ab)、共通電極5及び負荷電極7は蒸着によって形成されるとしたがスパッタによって形成してもよい。この場合でも、前述した第1及び第2の電極形成用マスク12、13が適用される。さらには、蒸着あるいはスパッタに限らず、エッチングによって形成した場合でも適用できる。
Claims (15)
- 一主面に入出力電極を他主面に共通電極を形成した水晶片と、前記水晶片を収容する凹部を有した容器本体と、前記容器本体を封止するカバーとを備え、前記入出力電極の間隙部と対向する前記共通電極の中央部には周辺部よりも高さの大きい周波数調整体を有する表面実装用水晶フィルタにおいて、前記周波数調整体は少なくとも前記水晶片が前記容器本体に収容される以前の前記入出力電極及び共通電極の形成時に形成された負荷電極を有することを特徴とする表面実装用水晶フィルタ。
- 前記負荷電極は前記共通電極の表面上に形成された請求項1の表面実装用水晶フィルタ
- 前記負荷電極は前記水晶片と前記共通電極との間に形成された請求項1の表面実装用水晶フィルタ
- 前記負荷電極は電極形成用マスクを用いた蒸着あるいはスパッタ又はエッチングによって形成された請求項1〜3の表面実装用水晶フィルタ。
- 前記負荷電極の幅は前記入出力電極の間隙幅内である請求項1、2、3又は4の表面実装用水晶フィルタ。
- 前記共通電極と前記負荷電極の電極厚みの合計を800〜3000Åとし、前記共通電極の電極厚みを700Å以上とした請求項1の表面実装用水晶フィルタ。
- 前記周波数調整体は、前記負荷電極と、前記水晶片が前記容器本体に収容された後に前記負荷電極の位置する前記共通電極の中央部上に設けられた調整膜とからなる請求項1の表面実装用水晶フィルタ。
- 前記周波数調整体は、前記水晶片が前記容器本体に収容された後に前記負荷電極の位置する前記共通電極の中央部の厚みが減じられた請求項1の表面実装用水晶フィルタ。
- 一主面に入出力電極を他主面に共通電極を有するとともに、前記入出力電極の間隙と対向した前記共通電極の中央部に周波数調整体としての負荷電極を有し、前記水晶片を容器本体に収容する以前に前記入出力電極と前記共通電極と前記負荷電極とがいずれも電極形成用マスクを用いた両主面側からの蒸着あるいはスパッタ又はエッチングによって形成される水晶フィルタの製造方法であって、少なくとも前記共通電極と前記負荷電極とは異なる電極形成用マスクを用いた別工程で形成されたことを特徴とする表面実装用水晶フィルタの製造方法。
- 請求項9において、前記共通電極を前記水晶片の他主面に形成した後、前記共通電極上に前記負荷電極を形成したことを特徴とする表面実装用水晶フィルタの製造方法。
- 請求項9において、前記負荷電極を前記水晶片の他主面に形成した後、前記負荷電極上に前記共通電極を形成したことを特徴とする表面実装用水晶フィルタの製造方法。
- 請求項9において、前記入出力電極と前記共通電極と前記負荷電極とは前記水晶片の両主面側からの蒸着又はスパッタにて形成され、
前記水晶片は少なくとも前記共通電極に対応した透孔を有する第1の電極形成用マスクに収容され、前記第1の電極形成用マスクにて前記共通電極を形成する第1のメッキ工程と、
前記第1の電極形成用マスクから前記水晶片を取り出した後、前記水晶片は少なくとも前記負荷電極に対応した透孔を有する第2の電極形成用マスクに収容され、前記第2の電極形成用マスクにて前記負荷電極を形成する第2のメッキ工程と、
からなることを特徴とする表面実装用水晶フィルタの製造方法。 - 請求項9において、前記入出力電極と前記共通電極と前記負荷電極とは前記水晶片の両主面側からの蒸着又はスパッタにて形成され、
前記水晶片は少なくとも前記負荷電極に対応した透孔を有する第2の電極形成用マスクに収容され、前記第2の電極形成用マスクにて前記負荷電極を形成する第1のメッキ工程と、
前記第2の電極形成用マスクから前記水晶片を取り出した後、前記水晶片は少なくとも前記共通電極に対応した透孔を有する第1の電極形成用マスクに収容され、前記第1の電極形成用マスクにて前記共通電極を形成する第2のメッキ工程と、
からなることを特徴とする表面実装用水晶フィルタの製造方法。 - 請求項9、10、11、12又は13において、前記水晶片は容器本体に収容された後、前記負荷電極の位置する前記共通電極の中央部に調整膜を設けた表面実装用水晶フィルタの製造方法。
- 請求項9、10、11、12又は13において、前記水晶片は容器本体に収容された後、前記負荷電極の位置する前記共通電極の中央部の厚みを減じた請求項8、9、10又は11の表面実装用水晶フィルタの製造方法。
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