JP2020123617A

JP2020123617A - 加工装置

Info

Publication number: JP2020123617A
Application number: JP2019013211A
Authority: JP
Inventors: 聖吾戎; Shengwu Rong; 大輔川越; Daisuke Kawagoe; 秀年万波; Hidetoshi Mannami
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-01-29
Filing date: 2019-01-29
Publication date: 2020-08-13

Abstract

【課題】加工装置におけるフルオート動作の途中において、被加工物の除去作業及び回収作業を効率良く行う。【解決手段】タッチパネル１９０に表示される被加工物イラストＷ１をドラッグアンドドロップすると、生成手段が、フルオート搬送ルートにおける各構成要素の動作が記憶された記憶手段から、新たな搬送ルートを抽出し、その搬送ルートを構成する構成要素の動作設定を選出し、その搬送ルートに沿って被加工物Ｗ１を所望の構成要素に搬送する。【選択図】図６

Description

本発明は、タッチパネルを備えた加工装置に関する。

被加工物を保持するチャックテーブルと、加工具を用いて被加工物を加工する加工手段と、被加工物をチャックテーブルに搬送する搬送手段と、被加工物を棚状に収容したカセットが載置されるカセットステージと、被加工物を洗浄する洗浄手段と、加工装置の加工条件の入力及び加工状態の表示に用いられるタッチパネルとを少なくとも備えた加工装置では、フルオート動作が開始されると、カセットから被加工物を取り出してチャックテーブルに搬送し、チャックテーブルに保持された被加工物を加工手段が加工した後、被加工物を洗浄手段に搬送して洗浄し、洗浄後の被加工物をカセットに収納している。

この一連の動作の状況が確認できるように、タッチパネルでは、加工装置を上矢視した図を表示し、その図に、加工及び搬送される被加工物を表示している。そして、加工装置において何らかのトラブルが発生すると、トラブルが発生した場所を赤く表示するなどして、どこでトラブルが発生したかをオペレータに対してわかりやすく知らせている。例えば、加工中に被加工物が破損するというトラブルが発生すると、その加工が行われている場所の被加工物を赤く表示させる。

特開２０１８−１１７００３号公報特開２０１８−１２２４２１号公報

トラブルが発生すると、フルオート動作を止め、トラブルの発生により破損した被加工物をチャックテーブルから除去する除去作業と、そのチャックテーブルにこれから搬送しようと待機していた破損していない被加工物も回収する回収作業とを行う必要がある。しかし、かかる除去作業及び回収作業は、加工装置の各ユニット（各構成要素）を１つずつ動作させることによって行っている。そのため、生産性に欠け、時間がかかるという問題がある。

また、トラブルが発生したとき以外、例えば、加工装置の特定の構成要素における処理が終了した直後の被加工物の状態を確認したい場合等においても、フルオート動作を止め、被加工物をチャックテーブルから除去するとともに待機している被加工物を回収する必要がある。

本発明が解決しようとする課題は、加工装置におけるフルオート動作の途中において、被加工物の除去作業及び回収作業を効率良く行うことにある。

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物を複数収容したカセットが載置されるカセットステージと、該カセットから被加工物を取り出し該チャックテーブルに搬入するとともに該カセットに被加工物を収納するために該チャックテーブルから被加工物を搬出する搬送手段と、各構成要素を上方から見た構成要素イラストと被加工物イラストとを表示するタッチパネルと、フルオート搬送ルートで被加工物を搬送する際の各構成要素の動作が記憶された記憶手段と、を少なくとも備える加工装置であって、該各構成要素には、被加工物を保持していることを認識する被加工物認識部を備え、該タッチパネルに表示される該構成要素イラストには、該被加工物認識部により被加工物を認識している際に該被加工物イラストが表示され、該タッチパネルに表示されている該被加工物イラストを、搬送したい行き先の構成要素イラストにドラッグアンドドロップすると、該被加工物イラストをドラッグした搬送元の構成要素から該被加工物イラストをドロップした搬送先の構成要素への新たな搬送ルートを該フルオート搬送ルートから抽出し、該新たな搬送ルートを構成する構成要素の動作設定を該記憶手段から選出する生成手段を備え、ドラッグした被加工物イラストが示す被加工物を、該新たな搬送ルートを通り、該被加工物イラストをドロップした該構成要素へ搬送する。

本発明では、加工装置において、タッチパネルにおいて被加工物イラストをドラッグアンドドロップするだけで、搬送元から搬送先への被加工物の搬送を自動で行うことができる。したがって、被加工物の除去作業を効率的に行うことができる。また、除去した被加工物を所望の搬送先に搬送することができるため、装置からの回収も容易である。

加工装置の一例の構成を示す平面図である。加工装置に備える保持部における吸引及びエアブローを行うための構成を示すブロック図である。タッチパネルにおける入力処理及び表示処理を行うための構成を示すブロック図である。タッチパネルに表示される画像の例を示す説明図である。記憶手段に記憶されるフルオート搬送動作の内容を示す説明図である。タッチパネルに表示された画像においてドラッグアンドドロップする様子を示す説明図である。タッチパネルに表示された画像においてドラッグアンドドロップすることにより設定された被加工物の搬送ルートを示す説明図である。

図１に示す研削装置１００は、加工装置の一例であり、２つのチャックテーブル１１０に保持された被加工物を加工手段１２０によって研削加工する装置である。

研削装置１００の前部（−Ｙ方向側）には、研削加工前の被加工物、例えばウェーハＷを複数収容可能な第１カセット１３１が載置される第１カセットステージ１４１と、研削加工後のウェーハを複数収容可能な第２カセット１３２が載置される第２カセットステージ１４２とを備えている。第１カセット１３１及び第２カセット１３２は、後部側（＋Ｙ方向側）に、ウェーハの出し入れを行うための開口を備えている。

第１カセットステージ１４１及び第２カセットステージ１４２よりも＋Ｙ方向側には、
第１カセット１３１から研削加工前のウェーハを搬出するとともに第２カセット１３２へ研削加工後のウェーハを搬入する第１搬送手段１５０が配設されている。第１搬送手段１５０は、図２に示すように、バルブ１１を介して吸引源１２及びエア供給源１３に選択的に接続された保持部１５１と、水平軸を回転軸として保持部１５１を回転させる回転駆動部１５２と、保持部１５１及び回転駆動部１５２を昇降させるとともに及び水平方向に（Ｘ−Ｙ平面上で）移動させるアーム部１５３とを備えている。保持部１５１は、吸引源１２に接続されているときは、吸引がオンとなり、エア供給源１３に接続されているときは、エアブローがオンとなる。

第１搬送手段１５０の保持部１５１の移動範囲には、第１搬送手段１５０が第１カセット１３１から搬出したウェーハを一定の位置に位置合わせする仮置き手段１６０が配設されている。仮置き手段１６０は、ウェーハが載置される載置テーブル１６１と、載置テーブル１６１の径方向に移動可能な複数のピン１６２とを備えている。

第１搬送手段１５０の保持部１５１の移動範囲には、研削加工後のウェーハを洗浄する洗浄手段１７０が配設されている。洗浄手段１７０は、ウェーハを保持して回転可能な保持部１７１と、保持部１７１に保持され回転するウェーハに対して洗浄液及び高圧エアをそれぞれ噴出する図示しないノズルとを備えている。

２つのチャックテーブル１１０は、回転可能なターンテーブル１１２によって自転及び公転可能に支持されている。ターンテーブル１１２の回転により、一方のチャックテーブル１１０を、加工手段１２０による研削加工が行われる加工領域１１３に位置させ、他方のチャックテーブル１１０を、仮置き手段１６０又は洗浄手段１７０との間におけるウェーハの受け渡しが行われる領域である受け渡し領域１１４に位置させることが可能となっている。各チャックテーブル１１０には、図２に示すように、バルブ１１を介して吸引源１２及びエア供給源１３に選択的に接続された保持部１１１を備えている。保持部１１１は、吸引源１２に接続されているときは、吸引がオンとなり、エア供給源１３に接続されているときは、エアブローがオンとなる。

加工手段１２０は、環状に形成され回転可能な研削ホイール１２１を備えており、この研削ホイール１２１の下面には、図示しない研削砥石が環状に固着されている。研削ホイール１２１は、昇降可能に構成されている。

受け渡し領域１１４の近傍には、仮置き手段１６０において位置合わせされた研削加工前のウェーハを受け渡し領域１１４に位置するチャックテーブル１１０に搬送するとともに、受け渡し領域１１４に位置しチャックテーブル１１０に保持された研削加工後のウェーハを洗浄手段１７０に搬送する第２搬送手段１８０が配設されている。第２搬送手段１８０は、昇降および旋回可能なアーム部１８１と、アーム部１８１の先端に連結されウェーハを保持する保持部１８２とを備えている。保持部１８２は、図２に示すように、バルブ１１を介して吸引源１２及びエア供給源１３に選択的に接続されており、吸引源１２に接続されているときは、吸引がオンとなり、エア供給源１３に接続されているときは、エアブローがオンとなる。

研削装置１００の前部には、オペレータによる加工条件等の入力及びその表示並びに研削装置１００の状態を表示するタッチパネル１９０が配設されている。

図２に示すように、バルブ１１は、研削装置１００全体の動作を統括する制御手段２０によって制御される。保持部１１１、１５１、１７１、１８２には、それぞれ、ウェーハを保持しているか否かを認識する被加工物認識部２１が接続されている。被加工物認識部２１としては、例えば、圧力センサ、静電容量センサ、反射型光センサ等を用いることができる。なお、図２においては被加工物認識部２１を１つのみ示しているが、実際には、保持部１１１、１５１、１６１、１８２に対し、別々の被加工物認識部２１がそれぞれ接続されている。

図３に示すように、研削装置１００には、タッチパネル１９０に表示させる内容を制御する表示制御部２２と、タッチパネル１９０にタッチされた位置等を検出する入力認識部２３と、フルオート搬送動作における各構成要素の動作を記憶する記憶手段２４と、入力認識部２３が検知した操作に応じて記憶手段２４の記憶内容を参照してウェーハの搬送ルートを生成する生成手段２５とを備えている。

表示制御部２２は、被加工物認識部２１による認識結果に応じ、研削装置１００の各構成要素の上にウェーハを重畳させてタッチパネル１９０に表示する。また、いずれかの構成要素にエラーが生じた場合には、その構成要素を点滅させる等してオペレータに報知する。

入力認識部２３は、タッチパネル１９０上においてオペレータによってどのような操作がなされたかを検知し、その操作の内容を示す情報を生成手段２５に通知する。また、タッチパネル１９０上において加工条件が入力された場合は、その加工条件を制御手段２０に通知する。

記憶手段２４は、少なくともメモリを備え、研削装置１００がフルオートにて動作する際の搬送ルートと、その際の各構成要素の動作とをあらかじめ記憶している。

生成手段２５は、ＣＰＵ及びメモリを備え、入力認識部２３から操作に関する情報が通知されると、記憶手段２４を参照し、オペレータの操作に応じた新たな搬送ルートを求め、その新たな搬送ルートを制御手段２０に通知する。

タッチパネル１９０には、例えば図４に示す画像２００が表示される。この画像２００は、図１に示した研削装置１００の全体を上方から見た状態を示している。以下では、図１に示した各加工構成要素を図４の画像２００に表示したものを、構成要素イラストと称する。なお、図４においては、図１に示したチャックテーブル１１０、加工手段１２０等の各構成要素のイラストに、下２桁が図１と共通であり、図１における最上位桁の１を２に変更した符号を付している。したがって、例えば図１のチャックテーブル１１０を図４の画像２００に示したものは、チャックテーブルイラスト２１０となる。他の構成要素についても同様である。

図２に示した被加工物認識部２１は、各保持部１１１、１５１、１７１、１８２においてウェーハＷが保持されているか否かを常に監視している。そして、ウェーハＷを保持していることを認識すると、その保持部のイラスト上に、ウェーハＷを上方から見たウェーハイラストＷを表示する。図４の例では、保持部イラスト２１０及び２７１においてウェーハＷが保持されていることが示されている。

次に、図１を参照して、研削装置１００におけるフルオート動作の概要を説明する。なお、フルオート動作とは、図３に示した記憶手段２４に、例えば図５に示すような各構成
要素の動作手順を記憶しておくことにより、制御手段２０がその手順に沿って制御を行い、オペレータによる操作がなくても自動で加工等を順次進めていく動作モードである。以下では、図５に示す各ステップを参照しつつ、フルオート動作について説明する。

まず、第１搬送手段１５０を構成する保持部１５１が第１カセット１３１に進入し（ステップ１）、図２に示した吸引源１２を保持部１５１に連通させて吸引をオンとし、研削加工前のウェーハＷを吸引保持する（ステップ２）。

次に、保持部１５１に対応する被加工物認識部２１によってウェーハＷの吸引が確認されると、保持部１５１が第１カセット１３１から退出し（ステップＳ３）、仮置き手段１６０の載置テーブル１６１の上方に移動し（ステップＳ４）、その後に下降して載置テーブル１６１にウェーハＷを載置する。そして、保持部１５１における吸引を停止するとともに、エアブローを行い、保持部１５１からウェーハＷを離間させる（ステップ５）。そして、アーム部１５３を上昇させて旋回させることにより、保持部１５１を元の位置に戻す（ステップ６）。仮置き手段１６０では、複数のピン１６２が互いに近づく方向に移動することにより、ウェーハＷが一定の位置に位置合わせされる。

次に、第２搬送手段１８０の保持部１８２が仮置き手段１６０の載置テーブル１６１の上方に移動する（ステップ７）。そして、アーム部１８１を下降させ（ステップ８）、吸引をオンとし、ウェーハＷを吸引保持する（ステップ９）。保持部１８２に対応する被加工物認識部２１により吸引が確認されると、アーム部１８１が上昇することにより保持部１８２が上昇し（ステップ１０）、アーム部１８１が旋回することにより、ウェーハＷを、受け渡し領域１１４に位置するチャックテーブル１１０の上方まで移動させる（ステップ１１）。次に、アーム部１８１が下降することにより保持部１８２が下降し、これによりウェーハＷがチャックテーブル１１０の保持部１１１に載置される（ステップ１２）。

次に、チャックテーブル１１０の保持部１１１が吸引をオンにしてウェーハＷを吸引保持する（ステップ１３）。チャックテーブル１１０に対応する被加工物認識部２１により吸引が確認されると、第２搬送手段１８０の保持部１８２がエアブローをオンにし（ステップ１４）、保持部１８２を上昇させる（ステップ１５）。その後、アーム部１８１が旋回することにより、保持部１８２は元の位置に戻る（ステップ１６）。

次に、ターンテーブル１１２が所定角度回転することにより、ウェーハＷを保持したチャックテーブル１１０が加工領域１１３の研削ホイール１２１の下方に移動する。そして、チャックテーブル１１０が回転するとともに、研削ホイール１２１が回転しながら下降し、回転する研削砥石がウェーハの上面に接触して研削が行われる。ウェーハが所定の厚さに形成されると、研削ホイール１２１が上昇して研削を終了する。

ウェーハの研削が終了すると、ターンテーブル１１２が所定角度回転し、研削されたウェーハＷを保持するチャックテーブル１１０が受け渡し領域１１４に戻る。そうすると、第２搬送手段１８０のアーム部１８１が旋回し、保持部１８２がチャックテーブル１１０に保持されたウェーハＷの上方に移動する（ステップ１７）。そして、保持部１８２が下降し（ステップ１８）、吸引をオンにしてウェーハＷを吸引保持する（ステップ１９）。

その後、チャックテーブル１１０の保持部１１１のブローをオンにした後（ステップ２０）、第２搬送手段１８０の保持部１８２が上昇する（ステップ２１）。

次に、アーム部１８１が旋回して保持部１８２が洗浄手段１７０の保持部１７１の上方に移動した後（ステップ２２）、保持部１８２が下降してウェーハＷを洗浄手段１７０の保持部１７１に載置する（ステップ２３）。そして、保持部１７１の吸引をオンにしてウェーハＷを吸引保持する（ステップ２４）。その後、第２搬送手段１８０の保持部１８２がエアブローをオンにしてウェーハＷから離間した後（ステップ２５）、保持部１８２が上昇し（ステップ２６）、アーム部１８１の旋回によって保持部１８２が元の位置に戻る（ステップ２７）。

洗浄手段１７０においては、ウェーハＷを保持して保持部１７１が低速回転するとともにノズルから洗浄水が噴出され、ウェーハＷが洗浄される（ステップ２８）。ウェーハＷが洗浄された後、保持部１７１が高速回転するとともにノズルからエアが噴出され、ウェーハＷから洗浄水が除去される（ステップ２９）。そして、洗浄水の除去が終了すると、保持部１７１の回転が停止する（ステップ３０）。

次に、第１搬送手段１５０の保持部１５１が、洗浄手段１７０の保持部１７１の上方に移動し（ステップ３１）、保持部１７１の吸引をオンとしてウェーハＷを吸引保持する（ステップ３２）。次に、洗浄手段１７０の保持部１７１のエアブローをオンとした後（ステップ３３）、第１搬送手段１５０の保持部１５１が洗浄手段１７０の保持部１７１から離間する（ステップ３４）。

保持部１７１から離間した第１搬送手段１５０の保持部１５１は、第２カセット１３２に進入する（ステップ３５）。そして、保持部１５１のエアブローをオンとしてウェーハＷを保持部１５１から離脱させて第２カセット１３２に収容する（ステップ３６）。そして、保持部１５１が第２カセット１３２から退出し、元の位置に戻る（ステップ３７）。

このように行われる図５に示したフルオート搬送手順は、各構成要素の保持部がウェーハＷを保持するための保持動作設定と、ウェーハＷの保持を解除するための離間動作設定とに分けて、構成要素ごとに記憶手段２４に記憶されている。また、ウェーハの保持及び離間は、複数の動作の組合せによって実現するものであり、図５において実線の枠によって囲まれた保持処理ブロックＲＢ１、ＲＢ２、ＲＢ３、ＲＢ４と、破線の枠によって囲まれた離間処理ブロックＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４と、搬送には関係しない洗浄処理ブロックＷＢ１とによって構成されている。保持処理ブロックＲＢ１、ＲＢ２、ＲＢ３、ＲＢ４は、各構成要素の保持部がウェーハを保持するまでの複数の動作をまとめたものであり、離間処理ブロックＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４は、各構成要素の保持部がウェーハを離脱させるまでの複数の動作をまとめたものである。生成手段２５は、記憶手段２４から、これらの各処理ブロック単位で情報を読み出し、読み出した処理ブロックを組み合わせて新たな搬送ルートを生成すことができる。

例えば、図６に示す画像３００においては、２つのチャックテーブル１１０において、それぞれウェーハＷ１、Ｗ２が保持されていることが示されている。チャックテーブル１１０がウェーハを保持していることは、図２に示した被加工物認識部２１によって認識される。被加工物認識部２１は、チャックテーブル１１０の保持部１１１がウェーハを保持していることを認識すると、そのことを、図３に示す表示制御部２２に通知する。表示制御部２２では、かかる通知を受け取ると、図６に示すように、該当するチャックテーブルイラスト２１０の上にウェーハイラストＷ１、Ｗ２を表示する処理を行う。表示制御部２２は、ウェーハイラストＷ１、Ｗ２を異なる色によって表示したり、ハッチングを施して表示したりする。なお、図６には示していないが、第1搬送手段１５０の保持部１５１、第２搬送手段１８０の保持部１８２又は洗浄手段１７０の保持部１７１においてウェーハを保持している場合にも、同様に、該当する構成要素イラストの上にウェーハイラストを重ねて表示する。

図６に示す状態では、受け渡し領域１１４に位置するチャックテーブル１１０に保持されたウェーハＷ１は、研削が終了した状態となっている。一方、加工領域１１３に位置するチャックテーブル１１０に位置するウェーハＷ２に対しては、加工手段１２０によって加工が行われている最中となっている。この状態において、例えば加工手段１２０にトラブルが生じると、加工手段１２０を点滅させる等の処理を表示制御部２２が行うことにより、その旨をオペレータに報知する。この報知を受けたオペレータは、タッチパネル１９０において所定の操作を行うことにより、フルオート動作を停止させる。

次に、オペレータは、研削装置１００に対し、まず、研削後のウェーハＷ１を回収することを指示する。研削装置１００は、図５に示した順にしか動作しないため、図５に示した各ステップを踏んでウェーハＷ１の回収が行われる。ここで、正常に研削が終了していないウェーハＷ２は、第２カセット１３２には収容せず、洗浄手段１７０の保持部１７１に保持させ、オペレータの手によって回収することとする。また、ウェーハＷ２を洗浄手段１７０に回収する前に、正常に研削が終了したウェーハＷ１については、第２カセット１３２に収容する。

ウェーハＷ１を第２カセット１３２に収容するために、オペレータは、画像３００が表示されているタッチパネル１９０上において、受け渡し領域１１４に位置するチャックテーブルイラスト２１０上のウェーハイラストＷ１に指Ｆをタッチする。そして、その指ＦをウェーハイラストＷ１にタッチした状態を、所定時間以上、例えば１秒以上維持する。そうすると、図３に示した入力認識部２３がその操作を認識し、表示制御部２２に通知する。その通知を受けた表示制御部２２は、タッチされたウェーハイラストＷ１に対し、色を変える、点滅させる等の処理を行い、他のウェーハや構成要素と区別できるようにする。

次に、オペレータが、その指Ｆをタッチパネル１９０から離すことなく第２カセットイラスト２３２まで移動させ、その後に指Ｆをタッチパネル１９０から離す（ドラッグアンドドロップする）。そうすると、図３に示した入力認識部２３がその指の動きを認識する。指Ｆを最初にタッチした位置は、ウェーハＷ１の搬送元であり、指Ｆを離した位置は、ウェーハＷ１を搬送しようとする搬送先である。入力認識部２３は、ウェーハイラストＷ１を指した指Ｆがどこからどこまで移動したかについての情報を生成手段２５に通知する。つまり、タッチパネル１９０に指Ｆがタッチした座標と、タッチパネル１９０から指Ｆを離した座標の情報を生成手段２５に通知する。

その通知を受けた生成手段２５は、ウェーハＷ１の搬送元の構成要素から搬送先の構成要素への搬送を実際に行うための新たな搬送ルートを、記憶手段２４に記憶されたフルオート搬送ルートから抽出する。受け渡し領域１１４に位置するチャックテーブル１１０から、第２カセット１３２にウェーハＷ１を搬送するためには、第２搬送手段１８０に設定される保持動作設定と、チャックテーブル１１０に設定される離間動作設定と、洗浄手段１７０に設定される保持動作設定と、第２搬送手段１８０に設定される離間動作設定と、洗浄手段１７０における洗浄動作設定と、第１搬送手段１５０における保持動作設定と、洗浄手段１７０における離間動作設定と、第１搬送手段１５０における離間動作設定とが必要となる。

チャックテーブル１１０からのウェーハＷ１の搬出は、チャックテーブル１１０に保持されたウェーハＷ１を第２搬送手段１８０の保持部１８２が保持することから始まるため、生成手段２５は、保持処理ブロックＲＢ３を選択する。その後は、フルオート搬送ルートの最後のステップまで実行すればよいため、生成手段２５は、保持処理ブロックＲＢ３に続く離間処理ブロックＬＢ３、洗浄処理ブロックＷＢ１、保持処理ブロックＲＢ４及び離間処理ブロックＬＢ４を選択する。そして、生成手段２５は、選択したすべての処理ブロックを構成する各ステップの動作を、制御手段２０に指示する。

そうすると、制御手段２０は、表示制御部２２にその搬送ルートを通知し、表示制御部２２は、図７に示す画像４００に新たな搬送ルートＲ１を表示する。そして、制御手段２０は、保持処理ブロックＲＢ３の最初のステップ１７から離間処理ブロックＬＢ４の最後のステップ３７までの処理を制御する。これにより、研削加工済みのウェーハＷ１は、第２カセット１３２に収容される。

次に、オペレータは、トラブルの発生により途中で研削を中止したウェーハＷ２の状態をチェックするために、加工領域１１３に位置するチャックテーブル１１０に保持されたウェーハＷ２を洗浄手段１７０の保持部１７１に搬送する旨の指示をタッチパネル１９０上において行う。すなわち、オペレータが指ＦでウェーハイラストＷ２にタッチする。そして、その指ＦをウェーハイラストＷ２にタッチした状態を、所定時間以上、例えば１秒以上維持する。そうすると、図３に示した入力認識部２３がその操作を認識し、表示制御部２２に通知する。その通知を受けた表示制御部２２は、タッチされたウェーハイラストＷ２に対し、色を変える、点滅させる等の処理を行い、他のウェーハや構成要素と区別できるようにする。

オペレータは、その指Ｆをタッチパネル１９０から離すことなく洗浄手段１７０の保持部１７１まで移動させてから離す（ドラッグアンドドロップする）。そうすると、図３に示した入力認識部２３がその指の動きを認識する。入力認識部２３は、ウェーハイラストＷ２を指した指Ｆがどこからどこまで移動したかについての情報を生成手段２５に通知する。

その通知を受けた生成手段２５は、ウェーハＷ２の搬送元の加工領域１１３に位置するチャックテーブル１１０から搬送先の洗浄手段１７０の保持部１７１への搬送を実際に行うための新たな搬送ルートを、記憶手段２４に記憶されたフルオート搬送ルートから抽出する。

ここで、加工領域１１３に位置するウェーハＷ２を第２搬送手段１８０によって保持することはできないため、生成手段は、記憶手段２４に記憶させた図５に示したフルオート搬送手順にはないターンテーブル１１２の回転という動作を制御手段２０に指示する。そして、チャックテーブル１１０からのウェーハＷ１の搬出は、チャックテーブル１１０に保持されたウェーハＷ２を第２搬送手段１８０の保持部１８２が保持することから始まるため、生成手段２５は、記憶手段２４に記憶されたフルオート搬送手順から、保持処理ブロックＲＢ３を選択する。その後は、離間処理ブロックＬＢ３までを実行すればよいため、生成手段２５は、保持処理ブロックＲＢ３に続いて離間処理ブロックＬＢ３を選択する。そして、生成手段２５は、選択したすべての処理ブロックを構成する各ステップの動作を、制御手段２０に指示する。

そうすると、制御手段２０は、保持処理ブロックＲＢ３の最初のステップ１７から離間処理ブロックＬＢ３のステップ２７までの処理を制御する。これにより、研削途中のウェーハＷ２が、洗浄手段１７０の保持部１７１に吸引保持される。したがって、オペレータは、洗浄手段１７０の保持部１７１からウェーハＷを取り出すことができる。このようにしてウェーハＷ２の搬送が終了すると、生成手段２５は、自身に備えるメモリのうち新たな搬送ルートが記憶された領域を開放する。

なお、ウェーハＷ２を洗浄手段１７０に搬送する前におけるウェーハＷ１の第２カセット１３２への収容は、オペレータによる指示なしでも行うこともできる。すなわち、回収により点検しようとするウェーハＷ２よりもフルオート搬送ルートの下流側にウェーハＷ１が存在することは、各保持部に対応する被加工物認識部２１が検出することができる。したがって、ウェーハＷ２よりもフルオート搬送ルートの下流側のいずれかの保持部においてウェーハが保持されていることが被加工物認識部２１によって検出されると、最も下流側において保持されているウェーハを第２カセット１３２に収容するために、生成手段２５は、そのウェーハが保持されている保持部から第２カセット１３２までの新たな搬送ルートを記憶手段２４から抽出し、その新たな搬送ルートに沿った搬送を制御手段２０に指示し、そのウェーハを第２カセット１３２に収容する。また、ほかにも、ウェーハＷ２よりも下流側であって、第２カセット１３２に収容したウェーハよりもフルオート搬送ルートの上流側に位置するウェーハがある場合は、同様の処理により、そのウェーハも第２カセット１３２に収容する。このように、点検等のために回収しようとするウェーハよりもフルオート搬送ルートの下流側にあるウェーハを自動で第２カセットに収容することにより、オペレータによる操作を簡略化しつつも、回収しようとするウェーハのほかのウェーハが邪魔になるのを防止することができる。

このように、研削装置１００にトラブルが発生した場合に、タッチパネル１９０においてドラッグアンドドロップするだけで、搬送元から搬送先へのウェーハの搬送を自動で行うことができる。したがって、トラブルの影響を受けたウェーハを除去することができるため、かかる除去作業を効率的に行うことができる。また、除去したウェーハを所望の位置に搬送することができるため、装置からの回収も容易である。また、例えば加工直後や搬送直後のウェーハの状態を確認したい場合等にも、同様に、ウェーハの除去及び回収を効率良く行うことができる。

なお、研削装置には、搬送手段が１つのみのものや、カセットが１つのみのものや、洗浄手段がないものもある。また、本実施形態では、加工装置の例として研削装置を例に挙げて説明したが、加工装置は、切削装置、レーザー加工装置等であってもよい。

１００：研削装置
１１０：チャックテーブル１１１：保持部
１１２：ターンテーブル
１１３：加工領域１１４：受け渡し領域
１２０：加工手段１２１：研削ホイール
１３１：第１カセット１３２：第２カセット
１４１：第１カセットステージ１４２：第２カセットステージ
１５０：第１搬送手段１５１：保持部
１５２：回転駆動部１５３：アーム部
１６０：仮置き手段１６１：載置テーブル１６２：ピン
１７０：洗浄手段１７１：保持部
１８０：第２搬送手段１８１：アーム部１８２：保持部
１９０：タッチパネル
２００、３００、４００：画像
２１０：保持部イラスト２１０：チャックテーブルイラスト
Ｆ：指
１１：バルブ１２：吸引源１３：エア供給源
２０：制御手段２１：被加工物認識部２２：表示制御部２３：入力認識部
２４：記憶手段２５：生成手段
ＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４：離間処理ブロック
ＲＢ１、ＲＢ２、ＲＢ３、ＲＢ４：保持処理ブロック
ＷＢ１：洗浄処理ブロック
Ｒ１：搬送ルート

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物を複数収容したカセットが載置されるカセットステージと、該カセットから被加工物を取り出し該チャックテーブルに搬入するとともに該カセットに被加工物を収納するために該チャックテーブルから被加工物を搬出する搬送手段と、各構成要素を上方から見た構成要素イラストと被加工物イラストとを表示するタッチパネルと、フルオート搬送ルートで被加工物を搬送する際の各構成要素の動作が記憶された記憶手段と、を少なくとも備える加工装置であって、
該各構成要素には、被加工物を保持していることを認識する被加工物認識部を備え、
該タッチパネルに表示される該構成要素イラストには、該被加工物認識部により被加工物を認識している際に該被加工物イラストが表示され、
該タッチパネルに表示されている該被加工物イラストを、搬送したい行き先の構成要素イラストにドラッグアンドドロップすると、該被加工物イラストをドラッグした搬送元の構成要素から該被加工物イラストをドロップした搬送先の構成要素への新たな搬送ルートを該フルオート搬送ルートから抽出し、該新たな搬送ルートを構成する構成要素の動作設定を該記憶手段から選出する生成手段を備え、
ドラッグした該被加工物イラストが示す被加工物を、該新たな搬送ルートを通り、該被加工物イラストをドロップした該構成要素へ搬送する加工装置。