JPH11330103A - 部品の移載方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多品種の部品に対応してこれを用いる各種作
業機での稼働率の向上が図れるようにする。 【解決手段】 複数の移載対象６、７を、移載に供する
部品４の種類や移載対象６、７に必要な供給形態に応じ
て部品４を移載する都度選択使用したり、複数の移載対
象６、７間で部品４を移載したりすることによって、上
記の目的を達成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は部品の移載方法およ
びその装置に関し、例えば電子部品が様々な供給形態で
供給されることに対応して移載できるようにする部品の
移載方法およびその装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子部品の代表例であるＩＣチップは、
例えば、図４に示すようなウエハａの上に所定の回路パ
ターンを持って多数形成され、ダイシングシート上での
ダイシング加工によって個々に切り離される。切り離さ
れた各ＩＣチップｃは縦横にマトリックス状に並んでい
る。一方、電子部品を回路基板に装着して電子回路基板
を製造する部品装着装置では、上記のようなＩＣチップ
ｃなどを図４に示すようなトレイｂに所定数ずつ収納し
てまとめた状態にて供給される。もっとも、電子部品に
よってはトレイ以外のテーピング部品などとした他の供
給形態が採用されることもある。

【０００３】ここで、ダイシング加工された状態のウエ
ハａはＩＣチップｃの電子部品供給物ｄとなり、ウエハ
ａで形成されている各ＩＣチップｃはトレイｂの縦横に
並んだ各ポケットｂ１に移載して収納するなどして所定
の供給形態にしておく必要がある。

【０００４】従来、図４に示すような部品の移載装置を
用いて、電子部品供給物ｄからトレイｂにＩＣチップｃ
を移載し収納するようにしている。このものは、図４に
示すように直交するＸＹ２方向に移動するＸＹテーブル
ｅを備え、このＸＹテーブルｅ上に電子部品供給物ｄを
受載し、前記移載に供する。ＸＹテーブルｅの前部には
ＩＣチップｃが移載されるトレイｂを搬入してＸ方向に
搬送し所定の移載位置に停止させ、ＩＣチップｃの移載
に供した後、トレイｂを搬出する搬送部ｆが設けられて
いる。

【０００５】また、電子部品供給物ｄからＩＣチップｃ
をトレイｂに移載する移載ヘッドｇがＸＹテーブルｅと
搬送部ｆとに跨がったＹ方向テーブルｈによって支持し
て設けられ、ＸＹテーブルｅ上の電子部品供給物ｄの上
とトレイｂの上との間で移動されるようにしている。移
載ヘッドｇには電子部品供給物ｄの各ＩＣチップｃを吸
着して保持しトレイｂの上に持ち運んで移載する吸着ノ
ズルｊが設けられている。

【０００６】ＸＹテーブルｅは受載した電子部品供給物
ｄをＸＹ２方向に移動させることにより、多数並ぶＩＣ
チップｃの１つ１つを吸着ノズルｊによって吸着されピ
ックアップされる位置に順次に位置決めし、全てのＩＣ
チップｃがトレイｂに移載されるようにしている。ＩＣ
チップｃがピックアップされる位置の電子部品供給物ｄ
の下には、図示しない部品突き上げ部材が設けられ、吸
着ノズルｊによって吸着されるＩＣチップｃを突き上げ
て、１つのＩＣチップｃが吸着ノズルｊによって確実に
吸着保持され失敗なくピックアップされるようにする。

【０００７】トレイｂは１つの停止位置でＹ方向に並ぶ
１つの列のポケットｂ１の全てにＩＣチップｃが収納さ
れる都度、Ｘ方向にポケットｂ１が配列された１ピッチ
分だけ搬送されて、次の列のポケットｂ１にＩＣチップ
ｃが収納されるようにし、最終的には全てのポケットｂ
１にＩＣチップｃが収納されるようにする。これによっ
て、トレイｂへのＩＣチップｃの収納が自動的に確実に
達成される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、ＩＣ
チップなどの電子部品が普及するにつれて、形状及び大
きさが多品種になり、これらの電子部品を複合して電子
回路を形成するための部品装着装置では、電子部品の種
類に適した部品供給形態が必要となる。

【０００９】現在、電子部品の荷姿にはウエハ、ゲルパ
ック、テーピング、トレイ等様々な形態が存在してお
り、次工程の電子部品装着装置を考慮すると、荷姿を統
一し、稼働率の向上を考えなければならない。例えば、
ゲルパックは超高価で破壊しやすいＩＣチップｃを、製
造後これを運送したり保管したりしている間、十分に保
護できるようにトレイｂ内のＩＣチップｃはゲル材を介
して保持するようにしている。しかし、このＩＣチップ
ｃを使用する段階ではゲルパックの供給形態ではゲル材
の存在によってＩＣチップｃは取扱いにくく、作業能率
が悪いので、通常のトレイに収納し直した供給形態とす
ることが望まれる。

【００１０】ところが、上記従来のような部品の移載装
置の構成では、一度に１種類のトレイしか取り扱えない
ので、電子部品装着装置で様々ある荷姿に対応すること
ができず、電子部品装着装置の部品供給部は、統一され
ない特定の供給形態に対応し切れず稼働率の低下を引き
起こしている。

【００１１】本発明の目的は、上記従来のような問題点
に鑑み、多品種の部品に対応してこれを用いる部品装着
装置などの各種作業機での稼働率の向上が図れる部品の
移載方法およびその装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するため、本発明の部品の移載方法は、部品供給部の部
品を部品取り扱いツールによって保持して移載対象上に
持ち運んで移載するのに、移載対象を複数併設しておい
て、部品供給部での供給部品の種類や移載対象に必要な
供給形態に応じて選択使用することを１つの特徴として
いる。

【００１３】これによれば、複数併設した移載対象を、
移載に供する部品の種類や移載対象に必要な供給形態に
応じて部品を移載する都度選択使用することにより、移
載対象に部品を移載して必要な供給形態のものとして、
これを用いる部品装着装置など各種作業機での稼働率を
向上することができる。

【００１４】複数の移載対象間において部品の移載を行
うようにすると、部品をゲルパックなどの製造段階から
保管している間の保護に好適な形態の移載対象から、そ
の部品を部品装着装置などで使用するのに好適な形態の
移載対象に切り換え使用することができ、部品の保護お
よび部品装着装置などの各種作業機での使用に最適とな
る。

【００１５】本発明の部品の移載方法は、部品供給部の
部品を部品取り扱いツールによって保持して移載対象上
に持ち運んで移載するのに、持ち運ぶ部品を途中でその
良否につき検査して、良品のみを移載することも１つの
特徴としている。

【００１６】これによれば、移載対象には良品の部品の
みが移載されるので、移載対象上に不良品が混在するこ
とにより、その移載対象を用いる部品装着装置などの各
種作業機で不良品を装着してしまって最終製品の歩留り
を低下させたり、部品供給タイミングが乱れたり遅れた
りして稼働率が低下するようなことを防止することがで
きる。

【００１７】部品取り扱いツールが持ち運ぶ部品の保持
姿勢を途中で検査して、検査結果に応じて適正な保持姿
勢に補正するようにすると、部品の保持姿勢が不適正な
ために移載が失敗したり、移載対象への移載姿勢が不適
正なためにこれを用いる部品装着装置など各種の作業機
で装着ミスが生じるなどして、部品やこれを用いる製品
の歩留りが低下するようなことを防止することができ
る。

【００１８】本発明の部品の移載装置は、直交するＸＹ
２方向に移動する部品供給部と、この部品供給部にＸ方
向隣接位置から部品供給物を供給する部品供給物供給機
構と、部品供給部のＹ方向隣接位置にＸ方向に移動でき
るように設けられて、複数の移載対象を保持する移載対
象搬送部と、前記部品供給部および移載対象搬送部とに
Ｙ方向に跨がって移載ヘッドを移動させて移載ヘッドに
備えた部品取り扱いツールにより部品供給部から選択さ
れた移載対象の上に部品を移載する移載機構とを備えた
ことを１つの特徴としている。

【００１９】これによれば、上記方法における複数併設
した移載対象を選択使用した部品の移載や、複数の移載
対象間での部品の移載が、所定のプログラムに従って自
動的に安定して行える。

【００２０】移載対象搬送部の複数の移載対象を支持す
る支持部の部品供給部とＹ方向外側で対向して、各部品
供給部に対して移載対象の供給および取り出しを行う移
載対象供給部および移載対象取出し部を設けると、複数
設置されて部品の移載を受ける移載対象については、部
品が満杯になる都度空の移載対象と交換して移載作業を
続け、部品を他へ移載される移載対象については部品が
空になる都度満杯の移載対象と交換して移載作業を続け
ることができ、多量の移載対象を取り扱って連続で部品
を移載するのに便利であり、作業能率が向上する。

【００２１】この場合、移載対象搬送部はＹ方向に移動
するＹ方向テーブルの上に支持して設けると、移載対象
搬送部が部品供給部との間の部品の移載に際し部品供給
部の直近に移動させることによりそれらの間の部品の移
載距離を最小にして移載の作業能率を向上し、移載対象
搬送部が移載対象供給部や移載対象取出し部との間で移
載対象を供給しまたは取り出すのに、これら移載対象供
給部や移載対象取出し部の直近に移動させておくことに
より、移載対象の供給や取出しを短い距離で能率よく達
成できる。

【００２２】本発明のそれ以上の目的および特徴は、以
下の詳細な説明および添付の図面の記載によって明らか
になる。本発明の各特徴は、可能な限りにおいてそれ単
独であるいは種々な組合せにより複合して用いることが
できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
てその実施例とともに、図１から図３を用いて説明す
る。

【００２４】本実施の形態は図２に示すようにダイシン
グシート上でダイシングされたウエハ１を電子部品供給
物３として取り扱い、ウエハ１に形成されている各ＩＣ
チップ４を移載機構５によって複数種類のトレイ６、７
等に選択的に移載し、複数の荷姿、つまり複数の供給形
態が得られ、あるいは必要に応じて複数種類のトレイな
ど各種の移載対象相互間でＩＣチップ４を移載できるよ
うにした場合の一例である。供給形態としては上記した
テーピング部品など必要な形態の移載対象を搭載して種
々のものが得られる。部品供給物も前記電子部品供給物
３に限られることはなく、種々な形態の部品供給物３に
対し互換性のある受載機構を採用すればよい。

【００２５】まず、図１、図２を参照して装置の全体構
成について説明する。ＩＣチップ４の移載のために電子
部品供給物３を受載して部品の１つの実施例であるＩＣ
チップ４を供給する部品供給部１１が基台１２の上のほ
ぼ中央位置に設けられている。部品供給部１１はＥＸ軸
のモータ１３およびＥＹ軸のモータ１４によって直交す
るＸＹ２方向に移動されるＸＹテーブル１５を備え、こ
のＸＹテーブル１５の上に受載する電子部品供給物３の
ダイシングシートをエキスパンド操作してＩＣチップ４
の配列ピッチを拡げるエキスパンドユニット１６を備え
ている。エキスパンドユニット１６の不要な部品供給物
３を受載するときはこのエキスパンドユニット１６を取
り外して互換性を満足するようにすればよい。

【００２６】部品供給部１１のＸ方向隣接位置、例えば
右横にはＩＣチップ４の移載に供するウエハ１をストッ
クするためのマガジン１７が交換できるように装着さ
れ、エキスパンドユニット１６に把持されたウエハ１の
ＩＣチップ４の全てが移載された都度、マガジン１７内
のウエハ１がウエハハンドＷＸによって把持してエキス
パンドユニット１６までＸ方向に持ち運ばれ、エキスパ
ンドユニット１６に補給されて、ＩＣチップ４の移載が
継続されるようにする。

【００２７】部品供給部１１の上には部品認識ユニット
２１が移載機構５に装備して設けられている。部品認識
ユニット２１はズームレンズ機能を持ち、ウェハ１上の
ＩＣチップ４のサイズに応じて自由に倍率を変更でき、
ＩＣチップ４が移載されるときの姿勢を画像認識して補
正をかけるためのものである。本実施の形態では移載機
構５の移載ヘッド２２に備える部品取り扱いツールの１
つの実施例である角錐コレットや平コレットなどである
吸着ノズル２３がウエハ１上のＩＣチップ４を吸着した
ときの吸着姿勢を画像認識する。移載ヘッド２２は吸着
ノズル２３が吸着したＩＣチップ４の吸着姿勢を補正す
るために吸着ノズル２３を縦軸Ｖまわりに自転させる姿
勢補正モータ１２４と、ウエハ１からＩＣチップ４を吸
着保持してピックアップし、トレイ６、７などの移載対
象に移載するために吸着ノズル２３をＺ方向に昇降させ
る水平軸Ｈ上の昇降モータ２５とを備えている。移載ヘ
ッド２２はＨＹ軸のモータ２０によってＹ方向に移動さ
れるようにＨＹテーブル２６に支持されて、部品供給部
１１とそのＹ方向隣接位置、例えば前部に設けられたト
レイ６、７などの移載対象を支持して搬送する移載対象
搬送部２４との間をＩＣチップ４の移載のために往復移
動される。部品取り扱いツールとしては部品を挟み持つ
タイプのものなど各種のものを用いることができる。

【００２８】移載対象搬送部２４のトレイ６、７などを
支持する支持部２４ａ、２４ｂのさらにＹ方向外側、つ
まりさらに前部にはトレイ６の供給部３１および取出し
部３２、トレイ７の供給部３３および取出し部３４が、
それぞれＸ方向に並んで併設されている。トレイ６、７
は互いに異なる供給形態のもので、ゲルパック、２イン
チトレイ、４インチトレイ等種々なものを併設して選択
し取り扱えるようにする。移載対象搬送部２４および供
給部３１、３３および取出し部３２、３４もトレイ以外
の供給形態のものも取り扱える構成とすることができ
る。

【００２９】移載対象搬送部２４はＴＸテーブル３５に
支持されて、ＴＸ軸のモータ３６によってＸ方向に移動
されるようにしている。ＸＹテーブル１５を直接支持す
るＥＸテーブル３７とＴＸテーブル３５とは、Ｙ方向ガ
イド３８によってＹ方向に移動できるように支持、案内
され、ＥＸテーブル３７はＥＹ軸のモータ１４によっ
て、ＴＸテーブル３５はシリンダ３９によってそれぞれ
Ｙ方向に移動されるようにしてある。

【００３０】ＩＣチップ４の移載は、主に図２に矢印Ａ
で示すように、、部品供給物３のＩＣチップ４を吸着ノ
ズル２３により吸着保持して移載対象であるトレイ７、
８のいずれか一方に移載するか、図２に矢印Ｂで示すよ
うにトレイ７、８相互間で移載するかのパターンがあ
り、矢印Ｂの移載パターンではトレイ７、８がＸ方向に
移動されることによって達成される。もっとも、トレイ
７、８のＸ方向に代わって、あるいはそれと共に移載機
構５がＸ方向に移動されるようにしても同様に達成でき
る。

【００３１】このように、移載対象であるトレイ６、７
などを複数併設しておいて、部品供給部１１での供給部
品であるＩＣチップ４の種類や移載対象であるトレイ
６、７などに必要な供給形態に応じて選択使用すると複
数併設したトレイ６、７などを、移載に供するＩＣチッ
プ４の種類やトレイ６、７などに必要な供給形態に応じ
てＩＣチップ４を移載する都度選択使用することによ
り、トレイ６、７にＩＣチップ４を移載して必要な供給
形態のものとして、これを用いる部品装着装置など各種
作業機での稼働率を向上することができる。

【００３２】また、複数のトレイ６、７等の間において
ＩＣチップ１５の移載を行うようにすると、図２に示す
ように、ゲルパックなどの製造段階から保管している間
の保護に好適な形態の、あるいは大型のトレイ７などか
ら、そのＩＣチップ４を部品装着装置などで使用するの
に好適な形態の通常の、あるいは小さなトレイ６に切り
換え使用することができ、ＩＣチップ４の保護および部
品装着装置などの各種作業機での使用に最適となる。

【００３３】基台１２の前部の上に操作パネル４１が設
けられ各種移載モードの選択、動作の開始や停止、その
他必要な操作を行う。基台１２の後部の上には各種操作
に対応した動作制御を行う制御部４２、動作状態表示用
のモニタ４３、および操作ガイド４４が設けられてい
る。

【００３４】前記矢印Ｂで示すトレイ６、７など、Ｘ方
向に併設した複数の移載対象間でのＩＣチップ４などの
部品の移載のパターンにつき、図３に示すようにをウ
エハ一般、を４インチトレイ、を４インチゲルパッ
ク、を２インチトレイとしたときの移載パターンにつ
き説明すると、以下のように主に８種類のパターンが得
られる。

【００３５】（ａ）８インチウェハから４インチトレ
イに電子部品を移載する場合 （ｂ）８インチウェハから４インチゲルパックに電
子部品を移載する場合 （ｃ）８インチウェハから２インチトレイに電子部
品を移載する場合 （ｄ）４インチゲルパックから２インチトレイに電
子部品を移載する場合 （ｅ）４インチゲルパックから４インチトレイに電
子部品を移載する場合 （ｆ）２インチトレイから４インチトレイに電子部
品を移載する場合 （ｇ）２インチトレイから４インチゲルパックに電
子部品を移載する場合 図３の矢印Ｂで示すようにＩＣチップ４をトレイ７から
トレイ６に移載する場合について述べると、トレイ７の
供給部３３には満杯のトレイ７を容易しておき、移載対
象搬送部２４上のトレイ７が空になる都度、これをトレ
イ７の取出し部３４に取り出した後に、移載対象搬送部
２４上に満杯のトレイ７をその供給部３３から供給す
る。また、移載対象搬送部２４上の満杯になったトレイ
６をその取出し部３２に取出した後、トレイ６の供給部
の空のトレイ３２を移載対象搬送ぶ２４上に供給する。
これによって、トレイ７からトレイ６へのＩＣチップ４
などの移載を必要なだけ連続して行うことができる。

【００３６】さらに、本実施の形態では、部品供給部１
１のＩＣチップ４などを吸着ノズル２３によって保持し
てトレイ６、７、あるいはその他に持ち運んで移載する
のに、持ち運ぶＩＣチップ４を途中で移載対象搬送部２
４上などに設けた下部認識ユニット５１によって画像認
識してその良否につき検査して、良品のみを移載する。
不良品は不良品回収部５２などに回収し廃棄などする。

【００３７】これによって、トレイ６、７などには良品
のＩＣチップ４などのみが移載されるので、トレイ６、
７などに不良品が混在することにより、そのトレイ６、
７などを用いる部品装着装置などの各種作業機で不良品
を装着してしまって最終製品の歩留りを低下させたり、
部品供給タイミングが乱れたり遅れたりして稼働率が低
下するようなことを防止することができる。

【００３８】また、吸着ノズル２３持ち運ぶＩＣチップ
４などの保持姿勢を途中で認識ユニット２１により画像
認識して検査し、検査結果に応じて適正な保持姿勢に補
正するようにする。これによって、ＩＣチップ４の保持
姿勢が不適正なために移載が失敗したり、トレイ６、７
への移載姿勢が不適正なためにこれを用いる部品装着装
置など各種の作業機で装着ミスが生じるなどして、部品
やこれを用いる製品の歩留りが低下するようなことを防
止することができる。

【００３９】上記の場合、移載対象搬送部２４はＹ方向
に移動するものであることにより、移載対象搬送部２４
が部品供給部１１との間のＩＣチップ４などの移載に際
し部品供給部１１の直近に移動させることによりそれら
の間のＩＣチップ４などの移載距離を最小にして移載の
作業能率を向上し、移載対象搬送部２４が供給部３１、
３３や取出し部３２、３４との間でトレイ６、７などを
供給しまたは取り出すのに、これら供給部３１、３３や
取出し部３２、３４の直近に移動させておくことによ
り、トレイ６、７などの供給や取出しを短い距離で能率
よく達成できる。

【００４０】なお、前記の各直進の駆動機構はモータお
よびねじの組合せやシリンダに代えてリニアモータを駆
動してもよく、種々な動作方式および駆動方式、駆動伝
達方式のものを採用することができる。

【００４１】

【発明の効果】本発明の部品の移載方法によれば、複数
の移載対象を、移載に供する部品の種類や移載対象に必
要な供給形態に応じて部品を移載する都度選択使用する
ことにより、移載対象に部品を移載して必要な供給形態
のものとし、これを用いる部品装着装置など各種作業機
での稼働率を向上する。

【００４２】また、複数の移載対象間の部品の移載によ
って、部品をゲルパックなどの製造段階から保管してい
る間の保護に好適な形態の移載対象から、その部品を部
品装着装置などで使用するのに好適な形態の移載対象に
切り換え使用することができ、部品の保護および部品装
着装置などの各種作業機での使用に最適となる。

【００４３】さらに、持ち運ぶ部品の良否につき検査し
て良品のみを移載し、移載対象上に不良品が混在するこ
とにより、その移載対象を用いる部品装着装置などの各
種作業機で不良品が混在していることにより、不良品を
装着してしまって最終製品の歩留りを低下させたり、部
品供給タイミングが乱れたり遅れたりして稼働率が低下
するようなことを防止することができる。

【００４４】また、持ち運ぶ部品の保持姿勢を検査し
て、適正な保持姿勢に補正することにより、部品の保持
姿勢が不適正なために移載が失敗したり、移載対象への
移載姿勢が不適正なまためにこれを用いる部品装着装置
など各種の作業機で装着ミスが生じるなどして、部品や
これを用いる製品の歩留りが低下するようなことを防止
することができる。

【００４５】本発明の部品の移載装置によれば、上記方
法における複数併設した移載対象を選択使用した部品の
移載や、複数の移載対象間での部品の移載が、所定のプ
ログラムに従って自動的に安定して行える。

【００４６】また、部品の移載を受ける移載対象につい
ては、部品が満杯になる都度空の移載対象と交換して移
載作業を続け、部品を他へ移載される移載対象について
は部品が空になる都度満杯の移載対象と交換して移載作
業を続けることができ、多量の移載対象を取り扱って連
続で部品を移載するのに便利であり、作業能率が向上す
る。

【００４７】さらに、移載対象搬送部が部品供給部の直
近に移動して相互間の部品の移載距離を最小にして移載
の作業能率を向上でき、移載対象搬送部が移載対象供給
部や移載対象取出し部の直近に移動して、相互間での移
載対象の供給や取出しを能率よくかつ脱落などのトラブ
ルが生じにくい安全な状態で作業ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態による部品の移載装置の
全体構成を示す斜視図である。

【図２】 図１の装置の要部の詳細を示す斜視図であ
る。

【図３】 図１の装置における電子部品の移載パターン
を示す説明図である。

【図４】 従来の電子部品の移載装着の全体構成を示す
概要図である。

【符号の説明】

１ ウエハ ３ 電子部品供給物 ４ ＩＣチップ ５ 移載機構 ６、７ トレイ １１ 部品供給部 １５ ＸＹテーブル １６ エキスパンドユニット １７ マガジン ２１ 部品認識ユニット ２２ 移載ヘッド ２３ 吸着ノズル １２４ 姿勢補正モータ ２４ 移載対象搬送部 ２４ａ、２４ｂ 支持部 ３１、３３ 供給部 ３２、３４ 取出し部 ３８ ガイド ３９ シリンダ ４１ 操作パネル ４２ 制御部 ５１ 下部認識ユニット ５２ 不良品回収部

フロントページの続き (72)発明者 南谷 昌三 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 松村 信弥 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 尾登 俊司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 渡辺 雅也 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 犬塚 良治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 高橋 健治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 部品供給部の部品を部品取り扱いツール
   によって保持して移載対象上に持ち運んで移載するの
   に、移載対象を複数併設しておいて、部品供給部での供
   給部品の種類や移載対象に必要な供給形態に応じて選択
   使用することを特徴とする部品の移載方法。
2. 【請求項２】 部品供給部の部品を部品取り扱いツール
   によって保持して移載対象上に持ち運んで移載するの
   に、移載対象を複数併設しておいて、複数の移載対象間
   において部品の移載を行うことを特徴とする部品の移載
   方法。
3. 【請求項３】 部品供給部の部品を部品取り扱いツール
   によって保持して移載対象上に持ち運んで移載するの
   に、持ち運ぶ部品を途中でその良否につき検査して、良
   品のみを移載することを特徴とする部品の移載方法。
4. 【請求項４】 部品取り扱いツールが持ち運ぶ部品の保
   持姿勢を途中で検査して、検査結果に応じて適正な保持
   姿勢に補正する請求項３に記載の部品の移載方法。
5. 【請求項５】 直交するＸＹ２方向に移動する部品供給
   部と、この部品供給部にＸ方向隣接位置から部品供給物
   を供給する部品供給物供給機構と、部品供給部のＹ方向
   隣接位置にＸ方向に移動できるように設けられて、複数
   の移載対象を保持する移載対象搬送部と、前記部品供給
   部および移載対象搬送部とにＹ方向に跨がって移載ヘッ
   ドを移動させて移載ヘッドに備えた部品取り扱いツール
   により部品供給部から選択された移載対象に部品を移載
   する移載機構とを備えたことを特徴とする部品の移載装
   置。
6. 【請求項６】 移載対象搬送部の複数の移載対象を支持
   する支持部の部品供給部とＹ方向外側で対向して、各部
   品供給部に対して移載対象の供給および取出しを行う移
   載対象供給部および移載対象取出し部を設ける請求項５
   に記載の部品の移載装置。
7. 【請求項７】 移載対象搬送部はＹ方向に移動するＹ方
   向テーブルの上に支持して設ける請求項５、６のいずれ
   か一項に記載の部品の移載装置。