JP2020114669A - セラミックグリーンシート製造用離型フィルム - Google Patents
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Abstract
Description
1. 二軸配向ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層されており、前記離型層が少なくとも離型剤とメラミン系化合物を含む組成物が硬化されてなるものであり、離型剤がカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンであり、かつメラミン系化合物の含有率が前記離型層形成用組成物の固形分に対し80質量%以上であるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. 基材の片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、基材の前記表面層Aとは反対側に表面層Bを有し、表面層Bが粒子を含有し、前記粒子の少なくとも一部がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、表面層Bの質量に対する粒子の合計含有率が5000〜15000ppmである上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 前記離型フィルムの離型層の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ、最大突起高さ(P)が100nm以下である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. 上記第1〜第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法。
5. 上記第4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
本発明において基材として用いる二軸配向ポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成形したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
本発明における離型層には、少なくともメラミン系化合物とカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンを含む組成物が硬化されてなることが好ましい。本発明の効果を損なわない範囲で、前記樹脂や添加剤以外にも他の成分を添加することができる。
本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型塗布層重量が0.01〜2.0μmとなる範囲がよく、0.01〜1.0μmであることがより好ましく、0.01〜0.8μmであることが更に好ましく、0.02〜0.5μmであることが更に好ましく、0.02〜0.3μmであることが最も好ましい。離型層の厚みが0.01μm以上であると剥離性能が得られ好ましい。また、2.0μm以下であると、硬化時間を短くでき、離型フィルムの平面性が保たれてセラミックグリーンシートの厚みムラを抑制できて好ましい。
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
非接触表面形状計測システム(VertScan R550H−M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学株式会社製: 全自動接触角計
DM−701)を用いて離型フィルムの離型面に水(液滴量1.8μL)、ジヨードメタン(液適量0.9μL)、エチレングリコール(液適量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は、各液を離型フィルムに滴下後10秒後の接触角を採用した。前記方法で得られた、水、ジヨードメタン、エチレングリコールの接触角データを「北崎−畑」理論より計算し離型フィルムの表面自由エネルギーの分散成分γsd、極性成分γsp、水素結合成分γshを求め、各成分を合計したものを表面自由エネルギーγsとした。本計算には、本接触角計ソフトウェア(FAMAS)内の計算ソフトを用いて行った。
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S)
3.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが1μmになるように塗工し90℃で1分乾燥後、以下の基準で塗工性を評価した。
○:ハジキなどがなく全面に塗工できている。
△:塗工端部でややハジキがあるが、ほぼ全面に塗工できている。
×:ハジキが多く、塗工できていない。
前記セラミックスラリーの塗工性評価と同様にして離型フィルムの離型面に厚さ1μmのセラミックグリーンシートを成型した。次いで、成型したセラミックグリーンシート付き離型フィルムから離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cm2の範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。
○:ピンホールの発生なし
△:ピンホールの発生がほぼなし
×:ピンホールの発生が多数あり
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S)
6.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが10μmの厚みになるように塗布し90℃で1分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを除電機(キーエンス社製、SJ−F020)を用いて除電した後に30mmの幅で剥離角度90度、剥離速度10m/minで剥離した。剥離時にかかる応力を測定し剥離力とした。得られた剥離力の数値から下記の基準で判定した。
○:0.5mN/mm2以上、2.0mN/mm2以下
△:2.0mN/mm2より大きく、2.5mN/mm2以下
×:2.5mN/mm2より大きい
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ポリビニルブチラール(PVB)溶解液を得た。
トルエン 45.0質量部
エタノール 45.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S)
10.0質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のポリビニルブチラール(PVB)シートが10μmになるように塗工し90℃で1分乾燥後、離型フィルムを剥離し、剥離したPVBシートの離型フィルムが接触していた面(離型層)および、PVBシートを塗工する前の離型フィルムの離型層を蛍光X線装置(Rigaku製ZSX Primus2)にてSi強度を測定し、シリコーン成分の移行量を定量した。蛍光X線装置の測定条件は下記の通りとした。
分析線:Si−KA、 ターゲット:Rh4.0kW
管電圧:50kV、 管電流:60mA
フィルタ:OUT、 アッテネータ:1/1、 スリット:S4、 分光結晶:PET
検出器:PC、 PHA条件:100(下限)-300(上限)
測定径:30mm、雰囲気:真空
シリコーン成分の移行量は、PVBシートを塗工する前の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(前)、PVBシートを塗工・剥離後の離型フィルムの離型面のSi強度をSi(後)として、Si(前)からSi(後)を引いた値をシリコーン成分の移行量とした。得られたシリコーン成分の移行量の数値から下記の基準で判断した。
○:0.04kcps以下
△:0.04kcpsより大きく、0.10kcpsより小さい。
×:0.10kcps以上
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで100℃15分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるようにガラス板の上に離型フィルムサンプルを置いて、4隅のガラス板から浮いている部分の高さを測定した。この時測定した4隅の浮き量の平均値をカール量とした。以下の基準でカール性の評価を行った。◎:カールが1mm以下であり、ほとんどカールしていない
○:カールが1mmよりも大きく、3mm以下であり、少しカールが見られた。
△:カールが3mmよりも大きく、10mm以下であり、カールが見られた。
×:カールが10mmよりも大きくカールしていた。
分析条件
試料16mgを秤量し、クロロホルム8mlに溶解させた。0.2μmのメンブランフィルターで濾過し、得られた試料溶液のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)分析を
以下の条件で実施した。
装置:TOSOH HLC-8320GPC
カラム:K-G+ K-802(排除限界分子量5×103)+ K-801(排除限界分子量1.5×103)(Shodex)、
溶媒:クロロホルム100%
流速:1.0ml/min
濃度:0.2%
注入量:50μL 温度:40℃
検出器:RI
重量平均分子量をポリスチレン換算で算出し、その値を基に重量平均重合度を算出した。ポリスチレンは、PStQuickシリーズのPStQuick C(TOSOH)を使用した。PStQuick C(TOSOH)に添加されているポリスチレンのうち、カラムの排除限界分子量を大きく超えているポリスチレンMw2110000、427000、37900については、検量線作成から外した。
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmのとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm2)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
一方、上記PET(I)チップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
PET(I)の粒子の種類、含有量をポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.9μmの合成炭酸カルシウム0.75質量%に変更した以外は、PET(I)と同様にしてPETチップを得た(以後、PET(III)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.75質量%であった。
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/(II)=60質量%/40質量%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは28nmであった。
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、25μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
積層フィルムX3としては、厚み25μmのA4100(コスモシャイン(登録商標)、東洋紡社製)を使用した。A4100は、フィルム中に粒子を実質的に含有せず、表面層B側にインラインコートで粒子を含んだコート層を設けた構成をしている。積層フィルムX3の表面層AのSaは1nm、表面層BのSaは2nmであった。
積層フィルムX4としては、厚み25μmのE5101(東洋紡エステル(登録商標)フィルム、東洋紡社製)を使用した。E5101は、フィルム中に粒子を含有した構成になっている。積層フィルムX4の表面層AのSaは24nm、表面層BのSaは24nmであった。
積層フィルムX1の表面層A上に以下の組成の塗布液をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が50nmになるように塗工し、140℃で15秒乾燥することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し塗工性、剥離性、シリコーン成分の移行量、ピンホール、カールなどを評価したところ、良好な評価結果が得られた。
メチルエチルケトン 49.45質量部
トルエン 49.45質量部
メラミン系化合物 0.95質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.05質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学工業社製、ジメチルシロキサンとカルボキシル基の間にアルキル基が介在)
酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を0.98質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を0.02質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を0.9質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を0.1質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の塗布液のフルエーテル型メチル化メラミンの含有量を0.8質量部とし、離型剤(X22−3710)の添加量を0.2質量部に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の離型層の膜厚を表1に記載の膜厚に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の基材フィルムを、フィルム厚みが25μmの積層フィルムX2に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の積層フィルムを、積層フィルムX3に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の乾燥条件を、90℃15秒に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の乾燥条件を、110℃15秒に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の離型剤をX22−3701E(側鎖型カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の離型剤をX22−162C(両末端型カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業社製)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1のフルエーテル型メチル化メラミンをMW−30(フルエーテル型メチル化メラミン、三和ケミカル社製、重量平均重合度1.5)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1のフルエーテル型メチル化メラミンをMS−21(フルエーテル型メチル化メラミン、三和ケミカル社製、重量平均重合度1.8)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1のフルエーテル型メチル化メラミンをMX−730(イミノ型メチル化メラミン、固形分80%、三和ケミカル社製、重量平均重合度2.4)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
実施例1の塗布層に対して離型剤を入れない塗布液を用いた以外は実施例1と同様の方法で超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。離型剤が入っていないため、剥離力が重くなった。
積層フィルムX1の代わりに、積層フィルムX4(E5101−25μm、東洋紡製)に変更した以外は、実施例1と同様の方法で超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。E5101は、表面層A、表面層Bともに粒子を含有しており、表面層A、表面層Bの両層のSaがともに24nmであった。表面粗さが大きいため、セラミックグリーンシートにピンホールが発生した。
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。離型剤を多く添加し、メラミン系化合物が離型層の70質量%しかない比較例3ではセラミックグリーンシートへのPDMS移行量が大きくなった。
メチルエチルケトン 49.45質量部
トルエン 49.45質量部
メラミン系化合物 0.70質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.30質量部
(片末端カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学工業社製)
酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。BYK−370は、1分子中に2種類の官能基(エステル基およびヒドロキシル基)を有するポリジメチルシロキサンである。PDMS移行量は低く良好であるが、ヒドロキシル基とメラミン系化合物の相互作用が強く、PDMSが表面に出ていないためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 48.38質量部
トルエン 48.37質量部
メラミン 0.95質量部
(フルエーテル型メチル化メラミン、固形分100%、三和ケミカル社製、商品名MW−30M、重量平均重合度1.3)
離型剤 0.20質量部
(ポリエステル変性OH基含有ポリジメチルシロキサン、BYK−370、固形分25%、ビックケミージャパン社製) 酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
実施例1の離型剤を、片末端エポキシ変性ポリジメチルシロキサン(X22−173DX、信越化学工業社製)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。メラミン系化合物とエポキシ基の相互作用が弱いためかPDMSの移行量が多くなった。
実施例1の離型剤を、片末端ヒドロキシ変性ポリジメチルシロキサン(X22−170DX、信越化学工業社製)に変更した塗布液を用いた以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。PDMS移行量は低く良好であるが、カルビノール基とメラミン系化合物の相互作用が強く、PDMSが表面に出ていないためか、剥離力が重くなった。
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。PDMS移行量は低く良好であるが、ヒドロキシル基とメラミン系化合物の相互作用が強く、PDMSが表面に出ていないためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 49.32質量部
トルエン 49.32質量部
メラミン系化合物 1.25質量部
(イミノ型メチル化メラミン、固形分80%、三和ケミカル社製、商品名 MX−730、重量平均重合度2.4)
離型剤 0.005質量部
(ポリエーテル変性OH基含有ポリジメチルシロキサン、BYK−377、固形分100%、ビックケミージャパン社製)
酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
塗布液を以下の組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックシート製造用離型フィルムを得た。PDMS移行量は低く良好であるが、ヒドロキシル基とメラミン系化合物の相互作用が強く、PDMSが表面に出ていないためか、剥離力が重くなった。
メチルエチルケトン 49.26質量部
トルエン 49.26質量部
メラミン系化合物 1.18質量部
(イミノ型メチル化メラミン、固形分80%、三和ケミカル社製、商品名 MX−730、重量平均重合度2.4)
離型剤 0.20質量部
(ポリエステル変性OH基含有ポリジメチルシロキサン、BYK−370、固形分25%、ビックケミージャパン社製)
酸触媒 0.10質量部
(p−トルエンスルホン酸、日立化成社製、商品名 ドライヤー(登録商標)900、固形分50%)
Claims (5)
- 二軸配向ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層されており、前記離型層が少なくとも離型剤とメラミン系化合物を含む組成物が硬化されてなるものであり、離型剤がカルボキシル基を含有したポリオルガノシロキサンであり、かつメラミン系化合物の含有率が前記離型層形成用組成物の固形分に対し80質量%以上であるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 基材の片面に無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、基材の前記表面層Aとは反対側に表面層Bを有し、表面層Bが粒子を含有し、前記粒子の少なくとも一部がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、表面層Bの質量に対する粒子の合計含有率が5000〜15000ppmである請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 前記離型フィルムの離型層の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、かつ、最大突起高さ(P)が100nm以下である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法。
- 請求項4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
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